聲表面波濾波器的雙通道隔離線的製作方法

2023-09-20 16:37:00

專利名稱：聲表面波濾波器的雙通道隔離線的製作方法
技術領域：
本發明涉及集成於壓電晶體材料上的聲表面波濾波器，特別涉及傳輸型聲表面波吸聲材料的塗敷工藝，具體來說是一種聲表面波濾波器的兩個通道間的隔離線。
背景技術：
當電壓加載在具有壓電特性的基片材料的電極上，會在壓電體材料的晶格中形成機械形變。當加載在壓電晶體材料電極上的電壓為輸入的電信號，會在壓電晶體材料表面的晶格中形成聲表面波，該聲表面波是一種在壓電晶體材料表面傳播，振幅隨深入基片材料深度的增加而迅速減少的彈性機械波。聲表面波濾波器的基本結構是在壓電特性的基片材料上通過半導體工藝形成交叉成對的梳狀金屬結構(稱之為叉指換能器)，在叉指換能器上施加電信號，壓電材料表面產生機械振動同時產生聲表面波，這種聲表面波在壓電材料表面傳播。兩個具有基本結構 的聲表面波濾波器集成在同一基片上則形成雙通道聲表面波濾波器，其兩個通道產生的聲表面波相互幹擾，通常採用塗敷吸聲材料形成隔離線的辦法來減輕幹擾。現有雙通道聲表面波濾波器的兩個通道間的吸聲材料隔離線為直線狀，如圖I所示。吸聲材料通常為半流體的油墨，在油墨凝固之前的一段時間內，會有一定程度的流動，特別是叉指之間的微小空隙會存在毛細效應，加劇油墨的流動。如果油墨流淌至叉指換能器的切指加權包絡線區域內，則會吸收有用聲波，使得器件的性能變差，降低器件成品率。這是聲表面波濾波器生產過程中影響成品率最關鍵的一個因素。

發明內容
本申請人針對現有聲表面波濾波器吸聲材料塗敷後形成的直線狀隔離線所存在的上述問題進行了研究改進，提供一種邊緣成凹凸相間狀的聲表面波濾波器的雙通道隔離線，既提高濾波器性能，又提高成品率，從而降低生產成本。本發明的技術方案如下一種聲表面波濾波器的雙通道隔離線，所述隔離線設置在集成於同一基片上的兩個並行排列的兩個濾波器通道之間，所述隔離線為邊緣具有凹凸相間狀的吸聲材料。其進一步的技術方案為所述吸聲材料為半流體的油墨。以及，其進一步的技術方案為所述隔離線上相鄰的凸起之間的距離為O. I O. 2mm ;優選為O. 15mm。所述隔離線上的每個凸起的寬度為O. I O. 3mm ;優選為O. 2mm。所述隔離線上的每個凸起的高度為O. 05 O. Imm ;優選為O. 06mm。本發明的有益技術效果是本發明由於在油墨隔離線的邊緣形成凹凸相間的鋸齒狀，破壞了聲表面波對原有油墨邊界的反射效果，抑制了波導效應，提高了聲表面波濾波器的性能；另一方面，又減少了油墨的量，並且改變了部分油墨的流淌方向和距離，如圖3所示，使油墨向叉指換能器內的流動得到很大程度的抑制，提高了成品率。


圖I是現有技術中聲表面波濾波器的雙通道隔離線的示意圖。圖2是本發明的聲表面波濾波器的雙通道隔離線的示意圖。圖3是圖2中隔離線的局部放大。圖4是本發明隔離線尺寸的範圍。圖5是本發明隔離線尺寸的一個實施例。
具體實施方式
下面結合附圖對本發明的具體實施方式
做進一步說明。圖2示出了一個具有本發明的隔離線的雙通道聲表面波濾波器。如圖2所示，一個雙通道聲表面波濾波器包括集成於同一基片上的兩個並行排列的濾波器通道I和濾波器通道2，每個濾波器通道由輸入端叉指換能器11/21、輸出端叉指換能器12/22以及輸入端和輸出端之間的屏蔽條13/23構成。在濾波器通道I和濾波器通道2之間塗敷有一條由吸聲材料(本實施例中為油墨)形成的隔離線3。如圖2、圖3所示，隔離線3的邊緣為凹凸相間狀。如圖4所示，隔離線3上相鄰的兩個凸起之間的距離範圍為O. I O. 2mm ;每個凸起的寬度範圍為O. I O. 3mm ;每個凸起的高度範圍為O. 05 O. 1mm。如圖5所示，在一個實施例中，隔離線3上相鄰的兩個凸起之間的距離優選為O. 15mm ;每個凸起的寬度優選為O. 2mm ;每個凸起的高度優選為O. 06_。以上所述的僅是本發明的優選實施方式，本發明不限於以上實施例。可以理解，本領域技術人員在不脫離本發明的基本構思的前提下直接導出或聯想到的其他改進和變化，均應認為包含在本發明的保護範圍之內。
權利要求
1.一種聲表面波濾波器的雙通道隔離線，所述隔離線設置在集成於同一基片上的兩個並行排列的兩個濾波器通道之間，其特徵在於所述隔離線為邊緣具有凹凸相間狀的吸聲材料。
2.根據權利要求I所述聲表面波濾波器的雙通道隔離線，其特徵在於所述吸聲材料為半流體的油墨。
3.根據權利要求I或2所述聲表面波濾波器的雙通道隔離線，其特徵在於所述隔離線上相鄰的凸起之間的距離為O. I O. 2mm。
4.根據權利要求3所述聲表面波濾波器的雙通道隔離線，其特徵在於所述隔離線上相鄰的凸起之間的距離為O. 15mm。
5.根據權利要求I或2所述聲表面波濾波器的雙通道隔離線，其特徵在於所述隔離線上的每個凸起的寬度為O. I O. 3mm。
6.根據權利要求5所述聲表面波濾波器的雙通道隔離線，其特徵在於所述隔離線上的每個凸起的寬度為O. 2mm。
7.根據權利要求I或2所述聲表面波濾波器的雙通道隔離線，其特徵在於所述隔離線上的每個凸起的高度為O. 05 O. 1mm。
8.根據權利要求7所述聲表面波濾波器的雙通道隔離線，其特徵在於所述隔離線上的每個凸起的高度為O. 06mm。
全文摘要
本發明公開一種聲表面波濾波器的雙通道隔離線，隔離線設置在集成於同一基片上的兩個並行排列的兩個濾波器通道之間，隔離線為邊緣具有凹凸相間狀的吸聲材料，吸聲材料為半流體的油墨。本發明由於在油墨隔離線的邊緣形成凹凸相間的鋸齒狀，破壞了聲表面波對原有油墨邊界的反射效果，抑制了波導效應，提高了聲表面波濾波器的性能；另一方面，又減少了油墨的量，並且改變了部分油墨的流淌方向和距離，使油墨向叉指換能器內的流動得到很大程度的抑制，提高了成品率。
文檔編號H03H9/25GK102882490SQ20121038338
公開日2013年1月16日 申請日期2012年10月11日 優先權日2012年10月11日
發明者梅從祥 申請人:無錫市好達電子有限公司