在通過式處理設備中處理平坦物體的方法與裝置的製作方法

2023-09-20 22:24:10

專利名稱：在通過式處理設備中處理平坦物體的方法與裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及在通過式處理設備(Durchlaufanlage)中以水平輸送對平坦的物體進行輸送和處理的一種方法和一種裝置。本發明優選地用於對電路板和電路膜(電路片)進行溼化學的和電解的處理。所述處理在電路板技術中例如涉及表面的清洗與蝕刻、從孔除去鑽孔屑，對孔進行鍍通(Durchkontaktierung)、對可導電的層和結構進行電解的加強，對導線線路進行顯影、剝離(Strippen)和蝕刻、和對表面進行氧化和還原以及其它處理過程。用輸送輥和接觸輥輸送電路板與電路膜通過所述通過式處理設備。這裡重要的是，即使在所述物體的小的孔中也要進行強烈的物質交換。這是通過利用電解液對表面的入射流動來實現的。對於精密電路板，所述孔和結構的尺寸越來越小。所述尺寸達到25μm或更小的尺寸，這要求用電解液進行較強的入射流動，以實現所需的物質交換。
在輸送當厚度在50μm以下的範圍內時具有很高的柔性的電路膜時，會附加產生另外一個難度由於由電解液對表面的入射流動(衝擊)，會使電路膜從輸送軌道上偏轉。此時表面會在引導元件上磨損，或在最嚴重的情況下會造成輸送堵塞。但是為了對於應該在相同的通過式處理設備中生產的電路板在所述孔中實現物質交換，以電解液對物體進行入射流動的必需的。
背景技術：
文獻DE 100 44 209 A1說明了一個用於對具有孔與盲孔的電路板進行電解處理的發明。該發明也可用於溼化學處理方法。引導所述物體從周期性地改變噴射方向的噴嘴旁經過。噴嘴距物體的表面的距離應該小，以能完全利用噴射作用。噴嘴到達物體的距離上達1mm。即使是優選的5mm的距離也是有問題的。一方面，當距待溼化學地處理的物體的距離小時，每個噴嘴管特別是對於膜形成一會發生磕碰的邊緣，另一方面，所述管在擺動時形成一具有不同的距所述物體距離的圓形軌跡。在電解處理所述物體時，所述可擺動的噴嘴管位於由電極和所述物體形成的電解池的外部。因此，特別是當處理電路膜時，必須對電極進行絕緣，以避免短路。對於非常薄的電路膜不再存在輸送可靠性。電解液流會使所述物體從輸送軌道中偏轉出來，特別是如果擺動方向與輸送方向相反地延伸時，總是會發生這種情況。由於費用較高，也只能實現沿輸送軌道布置較少的噴嘴管。
文獻DE 197 17 512 C3說明了一用於電解地處理具有孔的電路板的發明。具有孔或噴嘴的電解液噴灑管設置在電解池外部。電解液通過陽極中的孔流到所述物體的表面上和孔中。這種電解液流可很容易地使電路膜從輸送軌道中偏轉出來。因此該發明只適用於處理電路板。
在文獻DE 197 18 769 A1中說明了一種用於利用水平輸送所述物體以進行溼化學的蝕刻的通過式處理設備。在輸送輥之間，交替地在所述物體的兩側設有噴嘴杆(Düsenstock)。從噴嘴流出的電解液指向所述物的相應表面。由於所述單側的入射流電路膜會從輸送軌道中偏轉出來。因此這只允許處理電路板。
在例如具有0.2mm或更大厚度的電路板的溼化學或電解處理中，通孔和盲孔中的物質交換是重要的。文獻DE 195 19 211 A1說明了用於利用水平輸送物體溼化學處理在連續運行設備中的浴液面下方的電路板的一種裝置和一種方法。電解液從橫向於輸送方向設置的噴嘴管中流出，所述電解液會積滯(stauen)在輸送輥上。噴嘴管與輸送輥沿輸送方向錯開地設置在平坦物體的上側和下側上。由此，由於沿表面流動的電解液在噴嘴管的區域內在平坦物體的兩側上形成不同的靜壓力和動態壓力。因此，根據伯努利(Bernoulli)定理，電解液會從具有較大靜壓力的一側沿朝向較低壓力的方向流過通孔。在電解液以比物體相對側上的流速大的速度沿物體表面流動的位置存在較低的靜壓力。這會使得通孔中進行很好的物質交換，因此該發明適用於處理電路板。有越來越多的具有很小的通孔與盲孔的電路板和多層電路板(Multilayer)需要處理，所述孔要求強烈的物質交換。對於盲孔，伯努利定理無助於物質交換，因為所述物體的兩側上的壓力差無法發揮作用。因此該發明對於盲孔的處理是接近無效的。

發明內容
本發明的目的是，提供一種方法和一種裝置，所述方法和裝置使得在一通過式處理設備中不需要採取改裝措施就可以可靠地輸送具有通孔和盲孔的厚的電路板以及具有孔的極薄電路膜。此外，所述通孔和盲孔經受強烈的物質交換。
所述目的通過根據權利要求1至10的方法和根據權利要求11至21的裝置來實現。
在本發明中，利用輸送輥和在一些情況下利用接觸輥輸送所述物體通過所述通過式處理設備。待處理的物體既可以是電路板也可以是柔性很高的電路膜。根據本發明，所述兩種物體利用不同的電解液流處理，而不必為此改裝通過式處理設備。
沿輸送方向傾斜地從兩側到達所述物體上的電解液流入射衝流電路膜。所述電解液流在所述物體上側和下側鏡像對稱地這樣到達所述表面，以使得由流動引起的力相互抵消。由此所述物體保持在輸送平面中。通過所選沿輸送方向的流動方向可附加地促進薄的電路膜的輸送。因此總體上實現了即使是很薄的電路膜的可靠的輸送。
較厚的電路膜和電路板也設有大部分非常小的盲孔。根據本發明盲孔的物質交換可通過另一個電解液入射流來實現。電解液從同樣橫向於物體的輸送方向設置的噴灑管沿接近垂直的流動方向流到物體的表面上。所述上側上的在角度上鏡像對稱的電解液入射流沿輸送方向相對於物體下側上的電解液入射流稍微錯開。所述電解液流的中心(線)並不相交。由此在通孔中也進行附加的物質交換。特別是當其具有大的體積流量和/或大的流速時，由於垂直的電解液入射流會使所述物體從輸送軌道中偏轉出來，因此只有在生產具有盲孔的較厚電路膜或電路板之時，才啟動所述電解液流。也可採用一節流閥或其它改變電解液流裝置，以與由所述物體提出要求相匹配。對於薄的電路膜實際上不會有盲孔。所述界限約在100μm的厚度。在此厚度以下，不需要垂直的電解液入射流，或只需要具有小體積流量的垂直的電解液入射流。
特別是所述接近垂直地流到物體上的第二電解液流可設計成在流量上是可變的，且可通過電解液循環迴路中可調整的泵、節流閥、節流盤(Stauscheiben)或閘板(Klappe)而與物體的厚度相匹配。
根據本發明，通孔中進一步的物質交換是通過伯努利定理實現的。在浴液面下方，在物體附近且橫向於輸送方向從兩側設置有電解液噴灑管。沿表面流動的電解液從所述噴灑管沿輸送方向傾斜地流出。在物體兩側上的電解液的不同流速造成大小不同的靜壓力，該靜壓力使得電解液通過電路板中的通孔流過。對於薄的電路膜，所述壓力差可能會使電路膜從輸送軌道上偏離。因此，根據本發明，局部地限制物體兩側上的壓力差，且使所述壓力差橫向於輸送方向地交替作用在小面積區域中的上側和下側上。因此，由於所述流整體地作用在電路膜上的力這樣地抵消，以使得電路膜不會從輸送軌道上偏轉。通過所述從電解液噴灑管沿輸送方向傾斜地相對於輸送平面鏡像對稱地流出的電解液還附加地促進電路膜的輸送。由此一電路膜也可靠地保持在輸送軌道中。由於在物體兩側上的電解液中局部交替作用的壓力差伯努利定理保持有效。隨著應該也在相同的通過式處理設備中處理的物體越來越厚，這對於通孔中的物質交換具有決定性的意義。


在下面根據示意性但不是按比例的附圖1至4圖詳細說明本發明。
圖1和電解液噴灑管一起示出用於溼化學地處理物體和促進電路膜的輸送的輸送輥的側視圖，圖2示出另一用於處理帶有盲孔和通孔的電路板的電解液入射流的類似側視圖，
圖3示出一溼化學處理設備沿與物體輸送方向相反觀察的剖視圖和側視圖，在物體兩側有交替的局部電解液流，圖4示出一用於處理電路膜和電路板的電解設備的側視圖。
具體實施例方式
圖1中，具有軸線4的受驅動的輸送輥2沿輸送方向3輸送待處理的物體1。有越來越多薄的以及很薄的物體也要溼化學地和/或電解地處理。在電路板技術中，所述導電膜的厚度d為50μm或更小。如果所述電路膜的芯部例如由聚醯胺製成，則它可具有特別高的柔性且在表面上特別敏感。這使得輸送通過溼化學的通過式處理設備明顯地變得困難。由於電解液流電路膜會從輸送軌道中偏轉出來並導致輸送堵塞。根據本發明通過在輸送平面17中引導所述物體1使得可以可靠地輸送電路膜。這是通過一樣大小的在輸送平面17的上側6與下側7鏡像對稱地指向物體的表面的第一電解液流8實現的。所述電解液流8的方向指向輸送方向3。通過一對物體1的準確調整的傾斜的入射流，利用從兩側以角度α作用的第一電解液流8，薄的電路膜也可在輸送平面17中被引導。所述第一電解液流8從相對於輸送平面成對地設置的電解液噴灑管10流出，所述電解液噴灑管設有位於其中且成排設置的開口9。所述開口9例如可以是孔或噴嘴。電解液噴灑管10在輸送平面17的兩側橫向於輸送方向至少在物體的整個寬度上延伸。藉助於未示出的泵在循環迴路中輸送電解液經過電解液噴灑管10進入填充有電解液的未示出的工作容器，並由這裡輸送回一泵池(Pumpensumpf)。
由電解液流8造成的力在物體1的兩側基本上相互抵消，由於電解液流沿輸送方向成角度α的流動方向還附加地促進物體的輸送。所述角度α相對於物體的表面在5°至60°的範圍內，優選為15°。
輸送輥2這樣地支承在上側6上，以使所述輸送輥針對所作用的力F而與物體1的厚度d相匹配。輸送輥這樣支承在物體的下側7上，以使所述輸送輥確定地規定輸送平面。優選地由彈簧力或重力形成力F。所述力也可設計成可調整的。隨著電路板厚度的逐漸增加，通常需要逐漸增加的力F。為了清楚起見，在圖1和2中示出了輸送輥2沿輸送方向3的大的間距。輸送輥2和電解液噴灑管10也可按另一種順序設置。
圖2中的設置有利於具有盲孔的電路板的處理。所述物體也是由具有軸線4的受驅動的輸送輥2輸送。一第二電解液流11由一排的第二開口12從電解液噴灑管10流出，並在盲孔中也形成強烈的物質交換。開口12穿過內噴灑管13與外部電解液噴灑管10的壁部延伸。第二電解液流11的流出角度β與流出角度α明顯不同。流出角度β在60°至90°的範圍內，優選為80°。當流出角度β小於90°時，第二電解液流11也指向物體1的輸送方向。所述第二電解液流11可和第一電解液流8相同地由相同的電解液噴灑管10供應。這種成本低廉的實施形式適於處理具有盲孔的電路板，所述電路板由於其厚度不會從輸送軌道中偏轉出來。如果如圖2所示，第二電解液流11在物體1的上側6與下側7上沿輸送方向略微錯開，情況也是這樣。這種錯開的設置還導致附加的流通過通孔，同時還保持了盲孔中的物質交換。但對於非常敏感的薄電路膜所述第二電解液流11表現為幹擾性的。當流動強時，電路膜的輸送可靠性受影響，而當流動弱時，則應該在相同的通過式處理設備中處理的電路板的盲孔中的物質交換過小。因此從兩個電解液噴灑管由優選是兩個可相互獨立地調整的電解液循環迴路供應兩個電解液流8、11。所述兩個電解液噴灑管也可沿輸送方向3前後順序設置在物體的兩側。為了縮短設備長度或提高處理時間，優選地選則一種「管中管」結構。該結構需要小的空間以裝入設備中。附圖中所示的圓形管可看作是一種「管中管」結構的示例。也可相互套裝矩形管。同樣也可採用在一結構元件中兩個電解液循環迴路的銑削、粘接或擠出的電解液噴灑管10和內噴灑管13中的電解液流8、11可相互獨立地調整。這種調整涉及流量和流速。特別是對於非常薄的—例如具有小於等於50μm的厚度—電路膜，可完全關閉第二電解液流。這種實施形式使得可在同一通過式處理設備中相繼地且無需改裝設備地處理極薄的電路膜和電電路板。通過控制技術上的作用在未示出的電解液泵和閥上的措施來調整電解液流8、11相應的所需的強度。
對於具有例如1.6mm或更大的厚度的電路板，則在連續處理(Durchlauf)中，特別是當孔直徑很小時，例如0.2mm，即使在啟動第二電解液流的情況下，穿流過孔的時間段仍表現得太短。沿輸送方向觀察，必須增加電解液噴灑管的數量，以實現較長的處理時間以在孔中進行物質交換。為了避免這種設備技術上的花費，在本發明的另一實施形式中將第一電解液流8設計成使物體中的通孔在設備的一較長距離上由電解液流過，而不必增加電解液噴灑管的數量。這通過利用伯努利定理來實現。由於物體1的上側6和下側7上的電解液壓力差可實現使電解液流過孔。電解液從具有較大靜壓力的一側經所述孔流到具有較小靜壓力的一側。在物體兩側存在這種壓力差時，薄的電路膜也會從輸送軌道上偏離。結果是在設備中出現電路膜的堵塞。因此根據本發明，在物體的上側6和下側7上調整出相對地局部地交替的壓力差，因此作用在電路膜上的力相互抵消。物體將仍舊在輸送平面內被引導。
圖3示出局部壓力差的產生。電解液噴灑管帶有或不帶有內噴灑管地成對設置在輸送平面17兩側。所述噴灑管內有分別間隔設置的開口。上側6上的電解液噴灑管10的第一開口9相對於下側7的第一開口9分別錯開一(同側)開口之間間距的一半的距離。由此，在兩側沿物體1的表面形成交替的具有不同電解液流速的區域。通過從電解液噴灑管10的開口9快速流出的電解液，在物體表面上在緊密靠近開口9的位置處在高的動態壓力下形成一具有小的靜壓力的區域14。在開口9之間流速較小。因此在這裡形成一個具有低動態壓力和高靜壓力的區域。所述區域橫行於輸送方向交替分布。由於在相對側上的電解液噴灑管10的開口9相互錯開，所述交替的壓力區域也相互錯開。由此在第一電解液流8的區域內在物體兩側一個局部高靜壓分別和一個低靜壓相對。所述局部壓力差使得在一較大的輸送路徑上形成一流過通孔的通過流並由此促使進行一時間較長的有效的物質交換。這樣局部交替地利用伯努利定律的措施可與對盲孔特別有效的第二電解液流11組合使用。為此類似地也可使用一內噴灑管13。通過受驅動的以軸線4支承的輸送輥2進行物體的輸送。
圖4以側視圖示出一應用本發明的電解通過式處理設備。所述設備例如是用於對鍍通進行強化和/或用於構造線路圖。在電解處理中，方法的經濟性也由孔和盲孔中的物質交換決定。較強的物質交換允許使用大的電流密度。在電鍍時試圖將有效長度—即陽極長度—沿輸送方向相對於通過式處理設備的長度設計得較大。因此，特別適於在這裡採用「管中管」結構。這種實施形式對電路膜和電路板都適用。特別是在電解地構造線路圖時重要的是，物體1的有效區域不能被結構元件接觸。在精密電路技術中對機械性負荷非常敏感的形成結構的抗電鍍劑位於所述區域中。鏡像對稱的第一電解液流8在陽極16的下方也將薄的電路膜保持在輸送軌道中。如此就不需其它的在一些情況下可能會損壞物體表面的絕緣結構。陽極16可以是可溶或不可溶的陽極。輸送輥2可同時部分或完全地用作向所述物體1傳遞電流的接觸輥。也可使用其它類型的接通，例如接線夾(Klammer)或接觸輪。
為了可靠地引導特別是很薄的電路膜，本發明所有的實施形式中，如果物體1的上側6和下側7的流體動力條件完全相同，則是有利的。這可以通過將物體1的上側6和下側7上的成對設置的電解液噴灑管10連接到一共同的電解液循環迴路上來實現。至少有一對電解液噴灑管10連接到一循環迴路上，即連接到一電解液泵上。這保證了電解液噴灑管中的相同的流體動力條件。對於一對內噴灑管13情況也是這樣。上側6和下側7的所述(內噴灑)管連接到另一個共同的電解液循環迴路上。
對於只需持續處理一種產品的連續運行裝置，一個共同的電解液循環迴路對於可靠地輸送電路膜就足夠了。例如通過泵、閥、閘板或節流盤將電解液流8、11調整成確定的。
上述說明將相應用於處理過程的處理液通稱為電解液。在溼化學和電解處理時，當從一種處理過程過渡到隨後的處理過程時，必須衝洗物體，以避免處理液的拖帶。在衝洗過程中，孔和盲孔中的物質交換也很重要。因此本發明也涉及這種在浴液面下方的處理過程，即涉及通過式處理設備中的衝洗浴。
在本發明的說明中，由於實用上的原因，對物體特徵的說明是以不同的厚度d位出發點的，因為在實用中厚度d可以非常方便地測量。此處說明了電路板、電路膜與非常薄的電路膜。此時的出發點是，薄的物體比較厚的物體柔性高。實際上的情況太多數也是這樣。
為了可靠地輸送物體通過所述通過式處理設備，平坦物體的柔性或剛性是決定性的。應該指出，同樣厚的板或膜可具有不同的剛度。例如，一片在由塑料製成的芯部的厚度降低而位於芯部上的鍍銅層的厚度增加時，即使厚度d保持同樣大小，電路膜的剛度也提高。
本發明在電路板技術的實用中適用於現存所有類型的(平坦)物體。以下的例子說明了這一點。但本發明也適用於溼化學和電解地處理水平地連續行進的其它平坦物體，例如太陽能電池。
當電路板具有一假定為2.4mm的厚度並具有直徑例如為0.3mm的通孔時，所述溼化學和/或電解處理要求在孔中進行強烈的物質交換。這也適用於板中的盲孔。根據本發明可很好地實現所述物質交換。當電路膜的厚度例如為50μm時，孔直徑與孔深度的比例約為1∶1。因此為了孔中進行物質交換，不需要強烈的電解液入射流。因此，優選地不採用垂直的電解液流而進行電路膜的處理。通過稍微傾斜設置的輸送輥進行輸送，所述輸送輥只在邊緣處抓持並輸送所述物體。由此不接觸物體的有效區域。輸送輥軸線的傾斜位置這樣定向，使得可張緊薄的柔性的物體，但不會過度張緊。通過利用來自從兩側成對設置的電解液噴灑管的電解液向電路膜作用有目的的且大小相同的入射流來避免非常薄的電路膜偏離輸送平面，以一個與相對於輸送平面的90°角度明顯不同的角度來實現所述入射流，其中該流動方向指向物體的輸送方向。同時電解液流在上側和下側的力相互抵消。
參考標號表1平坦物體、電路板、電路膜2輸送輥、接觸輥3輸送方向4軸線5力方向箭頭6上側7下側8第一電解液流9第一開口10 電解液噴灑管11 第二電解液流12 第二開口13 內噴灑管14 具小靜壓力的區域15 具大靜壓力的區域16 陽極17 輸送平面
權利要求
1.用於在溼化學的和/或電解的通過式處理設備中在電解液中輸送和處理平坦物體最好是電路膜和電路板的方法，其中水平地輸送所述物體，其特徵在於，將作用在所述物體上的張緊力調整得較小，從而即使對於電路膜也不會出現尺寸精確性的喪失，且所述物體在輸送平面中通過電解液流(8)被引導，所述電解液流在所述物體的上側和下側上從電解液噴灑管(10)中的一排第一開口(9)中鏡像對稱地向所述物體流出，且所述電解液流在對所述物體的力作用上接近相互抵消，其中電解液流(8)的流出方向指向輸送方向以促進所述物體的輸送。
2.根據權利要求1的方法，其特徵在於所述兩側的電解液噴灑管(10)設有分別至少另一排開口(12)，電解液從所述開口向所述物體的方向以一角度(β)流出，所述角度(β)與所述第一排開口(9)的角度(α)不同；以及與第一排的第一電解液流(8)無關地，所述電解液流(11)在流出的電解液量與流速上進行改變並使其與所述物體的要求相匹配。
3.根據權利要求1或2的方法，其特徵在於所述第一電解液流(8)從具有各單個的開口(9)的成對設置的電解液噴灑管中流出，所述開口在上側和下側相對地這樣錯開設置，以在兩側的表面上交替地形成相對的具有小的電解液的靜壓力和大的靜壓力的局部區域，所述區域在使流動引起的作用在所述物體上的力相互抵消的同時，還使得形成一通過物體中的通孔的通過流，由於所述力的相互抵消，電路膜也被在輸送軌道中可靠地引導。
4.根據權利要求1至3中任一項的方法，其特徵在於通過所述物體兩側上的第一電解液流(8)促進物體的輸送，所述第一電解液流以一相對於輸送平面的角度(α)從電解液噴灑管中流出，所述角度在5°至60°的範圍內，優選為15°。
5.根據權利要求1至4中任一項的方法，其特徵在於通過所述物體兩側上第二電解液流(11)實現盲孔中的物質交換，所述第二電解液流以一相對於輸送平面的角度(β)從電解液噴灑管中流出，所述角度在60°至90°的範圍內，優選為80°。
6.根據權利要求1至5中任一項的方法，其特徵在於對所述第一及第二電解液流的流量和流速相互獨立地在強度上進行調整並使其與所述物體的要求相匹配。
7.根據權利要求1至6中任一項的方法，其特徵在於這樣來延長所述物體沿輸送路段的處理時間，即，所述第一和第二電解液流通過一佔用空間較少的「管中管」的結構從一結構元件中流出。
8.根據權利要求1至7中任一項的方法，其特徵在於通過輸送輥和/或接觸輥輸送所述物體。
9.根據權利要求1至8中任一項的方法，其特徵在於在電解處理時，通過接觸輥、接觸輪或接線夾電接通所述物體。
10.根據權利要求1至9中任一項的方法，其特徵在於利用可溶或不可溶的陽極來進行所述物體的電解處理。
11.用於實施根據權利要求1至10中任一項的方法的用於在溼化學的和/或電解的通過式處理設備中在電解液中輸送和處理平坦物體最好是電路膜和電路板的裝置，其中水平地輸送所述物，其特徵在於設有電解液噴灑管(10)，所述電解液噴灑管橫向於所述物體的輸送方向定向並成對地設置，同時在輸送平面(17)的上側和下側各有一排開口(9)，其中所述開口(9)的方向確定成使得兩組電解液噴灑管(10)的電解液流(8)鏡像對稱地沿輸送方向以一角度(α)這樣地流出，以使兩側(6、7)的相同大小的電解液流(8)在所述物體上的力作用可相互抵消。
12.根據權利要求11的裝置，其特徵在於所述電解液噴灑管中的一排第二開口(12)，其中第二電解液流(11)的流出角度(β)與第一電解液流(8)的流出角度(α)不同。
13.根據權利要求11或12的裝置，其特徵在於所述電解液噴灑管中的間隔設置的第一開口(9)，所述開口在上側(6)和下側(7)上相對地分別相互錯開同側開口之間的距離的一半，以在表面上形成交替地具有小電解液靜壓力和大電解液靜壓力的區域(14、15)。
14.根據權利要求11至13中任一項的裝置，其特徵在於所述第一電解液流(8)相對於所述物體的表面的角度(α)在5°至60°的範圍內，優選為15°。
15.根據權利要求11至14中任一項的裝置，其特徵在於所述第二電解液流(11)相對於所述物體的表面的角度(β)在70°至90°的範圍內，優選為80°。
16.根據權利要求11至15中任一項的裝置，其特徵在於所述電解液噴灑管(10)設計成「管中管」，其中第一開口(9)排設置在外部管中，而第二開口(12)排設置在較小的內部管(13)中，所述第二開口(12)同時穿過外部管的壁部延伸。
17.根據權利要求11至16中任一項的裝置，其特徵在於設有用於單獨控制電解液的電解液流(8、11)的裝置，如泵、閥、閘板、滑閥和節流盤。
18.根據權利要求11至17中任一項的裝置，其特徵在於通過輸送輥和/或接觸輥輸送所述物體。
19.根據權利要求11至18中任一項的裝置，其特徵在於設有接觸輥、接觸輪或接線夾以電接通所述物體。
20.根據權利要求11至19中任一項的裝置，其特徵在於在電解的通過式處理設備中設有可溶或不溶的陽極。
21.根據權利要求11至20中任一項的裝置，其中設有用於第一電解液流(8)的電解液噴灑管對，且設有與所述電解液噴灑管分開設置的用於第二電解液流(11)的電解液噴灑管對。
全文摘要
本發明涉及用於利用藉助輸送輥的水平輸送在通過式處理設備中對電路板和電路膜的輸送和處理。根據現有技術，如果在相同的設備中要在不進行改裝的情況下生產電路板，對於薄電路膜不再存在所需的輸送可靠性。根據本發明，通過沿輸送方向(3)鏡像對稱地指向物體(1)的電解液流(8)來實現要求的輸送可靠性。當電路板具有盲孔時，為了提高孔中的物質交換，附加的電解液流(11)鏡像對稱地接近垂直地流向物體(1)。為了形成另外的流過通孔的通過流，根據伯努利定理在物體的兩側產生電解液靜壓差。特別是對於通過式處理的電解設備。對於電解液流(8、11)的噴灑管選擇一種「管中管」結構，以在保持設備總長度不變時，實現較大的有效設備長度。
文檔編號H05K3/00GK1638603SQ20041008667
公開日2005年7月13日 申請日期2004年12月10日 優先權日2003年12月10日
發明者T·科西科夫斯基 申請人:霍爾穆勒機械製造有限公司