直流勵磁式類金剛石膜塗層設備的製作方法
2023-09-18 22:08:10 5
直流勵磁式類金剛石膜塗層設備的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種直流勵磁式類金剛石膜塗層設備，包括塗層室、底座、電池箱、進氣口、管道、恆溫控制室，所述塗層室下方設有一底座，所述底座上安裝有一電池箱，所述塗層室底部裝有一絕緣底板，所述絕緣底板上分布有直流勵磁線圈相連，所述直流勵磁線圈通過聯接線與電池箱頂部的外接線柱相連；所述塗層室的一側設有進氣口，所述進氣口通過管道連接到恆溫控制室，所述的恆溫控制室上部設有熱電偶。採用本實用新型的製作類金剛石膜塗層，具有效率高、速度快、質量穩定的優點。
【專利說明】直流勵磁式類金剛石膜塗層設備
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種類金剛石膜塗層設備，尤其涉及一種直流勵磁式類金剛石膜塗層設備。
【背景技術】
[0002]類金剛石膜(DLC)是一種非晶碳的亞穩定形態，具有優異的機械性能和良好的生物相容性。類金剛石膜共享了石墨和金剛石的性能，比如:高硬度和彈性模量、化學惰性、良好的電阻率、紅外透明、高析射率和卓越的平滑性。這些性能在沒有晶界的各向異性無序的薄膜中獲得，使得類金剛石膜與金剛石相比生產成本更便宜，因此很多要求硬度高、耐磨性好的工件或刀具的表面都採用類金剛石膜塗層。
[0003]在製作類金剛石薄膜的過程中，需要將離子沉積或轟擊在工件基體表面上，現有的類金剛石膜塗層設備在離子沉積或轟擊過程中存在效率低、速度慢、質量不穩定的缺點。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的是為了克服現有技術的不足，提供一種效率高、速度快、質量穩定的直流勵磁式類金剛石膜塗層設備。
[0005]本實用新型的目的是這樣實現的:直流勵磁式類金剛石膜塗層設備，包括塗層室、底座、電池箱、進氣口、管道、恆溫控制室，所述塗層室下方設有一底座，所述底座上安裝有一電池箱，所述電池箱頂部設有外接線柱；所述塗層室的一側設有進氣口，所述進氣口通過管道連接到恆溫控制室，所述的恆溫控制室上部設有熱電偶；所述塗層室底部裝有一絕緣底板，所述絕緣底板上分布有內接線柱，所述內接線柱上端與直流勵磁線圈相連，所述內接線柱下端通過聯接線與外接線柱相連；所述塗層室上裝有門。
[0006]進一步的，所述的電池箱上設有控制開關、電壓表、指示燈、遙控接收器。
[0007]本實用新型的有益效果有:(1)塗層室內設有多個直流勵磁線圈，所述直流勵磁線圈通過內接線柱、聯接線、外接線柱與電池相連。工作時，控制開關打開，直流勵磁線圈通電產生磁場，驅使離子加速沉積到工件表面，不僅效率高、速度快，而且表面厚度更厚、質量更好；(2)電池箱上設有控制開關和遙控接收器，採用遙控器遠距離操作，操作方便。電池箱採用充電式蓄電池為電源，電池箱上設有電壓表、指示燈，充電過程有顯示提醒，安全可靠。(3)用來產生離子的氣體是從塗層室側部的進氣口進入塗層室的，氣體在進入前，先在恆溫控制室內用電阻進行加熱，並通過熱電偶測溫控溫，從而保證進入塗層室的氣體保持在最佳溫度範圍內，這樣有利於提高塗層的效率和質量。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型結構示意圖。
[0009]附圖中，1:塗層室，2:工件，3:門，4:絕緣底板，5:直流勵磁線圈，6:內接線柱，7:底座，8:聯接線，9:外接線柱，10:電池箱，11:控制開關，12:電壓表，13:指示燈，14:遙控接收器，15:進氣口， 16:管道，17:恆溫控制室，18:熱電偶。
【具體實施方式】
[0010]下面結合附圖對【具體實施方式】加以說明。
[0011]如圖1所示，一種直流勵磁式類金剛石膜塗層設備，包括塗層室1、底座7、電池箱
10、進氣口 15、管道16、恆溫控制室17。塗層室I下方設有一底座7，底座7上安裝有一電池箱10，電池箱10頂部設有外接線柱9。所述塗層室I底部裝有一絕緣底板4，所述絕緣底板4上分布有內接線柱6，所述內接線柱6上端與直流勵磁線圈5相連，所述內接線柱6下端通過聯接線8與外接線柱9相連。工作時，控制開關打開，直流勵磁線圈通電產生磁場，驅使離子加速沉積到工件表面，不僅效率高、速度快，而且表面厚度更厚、質量更好。
[0012]電池箱10上設有控制開關11、電壓表12、指示燈13、遙控接收器14。電壓表12用來顯示充電電壓，指示燈13用來顯示是否有電。電池箱10採用充電式蓄電池為電源，具有充滿提醒及過充電保護功能，安全可靠。本實用新型通過電池箱10的遙控接收器14接收信號，啟動直流勵磁線圈，操作方便。塗層室I上設有可活動開閉的門3，打開門3可以將拿放工件或進行檢修。
[0013]塗層室I的一側設有進氣口 15，進氣口 15通過管道16連接到恆溫控制室17，恆溫控制室17內部設有加熱電阻，上部設有熱電偶18。用來產生離子的氣體是從進氣口 15進入塗層室I的，氣體在進入前，先在恆溫控制室17內用電阻進行加熱，並通過熱電偶18測溫控溫，從而保證進入塗層室I的氣體保持在最佳溫度範圍內，這樣有利於提高塗層的效率和質量。
[0014]應當指出，對於本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發明技術方案的前提下，還可以做出若干改進和修飾，這些改進和修飾也應視為本發明的保護範圍，本實施例中未明確的各組成部分均可用現有技術加以實現。
【權利要求】
1.直流勵磁式類金剛石膜塗層設備，其特徵在於:包括塗層室、底座、電池箱、進氣口、管道、恆溫控制室，所述塗層室下方設有一底座，所述底座上安裝有一電池箱，所述電池箱頂部設有外接線柱；所述塗層室的一側設有進氣口，所述進氣口通過管道連接到恆溫控制室，所述的恆溫控制室上部設有熱電偶；所述塗層室底部裝有一絕緣底板，所述絕緣底板上分布有內接線柱，所述內接線柱上端與直流勵磁線圈相連，所述內接線柱下端通過聯接線與外接線柱相連；所述塗層室上裝有門。
2.根據權利要求1所述的直流勵磁式類金剛石膜塗層設備，其特徵在於:所述的電池箱上設有控制開關、電壓表、指示燈、遙控接收器。
【文檔編號】C23C16/27GK203700514SQ201420072460
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2014年2月20日 優先權日:2014年2月20日
【發明者】陳遠達 申請人:湖南中航超強金剛石膜高科技有限公司