自動限位裝置的製作方法
2023-09-11 02:12:20 2
專利名稱：自動限位裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種自動限位裝置。
背景技術：
在很多生產工藝中會涉及到產品、部件的定位問題，例如等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)法沉積非金屬薄膜。玻璃在工藝腔內沉積薄膜，正常情況下，玻璃邊緣與鍍膜區邊界的距離是相等的(約2mm 5mm)，如果玻璃進入工藝腔時位置偏離，會出現鍍膜區邊界與玻璃邊緣的距離不等，導致後續工序的不良。現有技術大多採用在腔室外面安裝機械傳動裝置，如氣動卡子。這些機械傳動裝置的原理都是主動對玻璃施加力的作用，讓玻璃位置得到校正。其優點是動作快、時間短； 缺點是經常出現氣缸漏氣、機械故障等現象，導致動作不一致，氣缸需要經常更換，成本校
尚ο
實用新型內容為了克服上述的缺陷，本實用新型提供一種穩定性更好的自動限位裝置。為達到上述目的，本實用新型是通過以下措施實現的自動限位裝置包括一個或複數個限位塊；所述限位塊設有承重部，所述承重部一側邊緣連接緩衝部，相對側邊緣連接校正部；緩衝部的斜面與承重部的平面之間成鈍角，校正部的斜面與承重部的平面之間成鈍角；所述限位塊上設有固定部。特別是，所述緩衝部為緩衝斜面或緩衝彈簧片。特別是，所述校正部為校正斜面或校正彈簧片。特別是，在所述校正部上設有豎面，所述豎面上邊緣連接校正部，所述豎面下邊緣連接承重部。特別是，還包括一個或複數個支柱，所述支柱位於被限位物體所在區域內。特別是，所述支柱包括柱狀套筒，所述套筒內設置一個或複數個滾珠，位於所述套筒內上端的滾珠的上端部分凸出於所述套筒上端面開口。本實用新型自動限位裝置的限位塊設有依次連接的校正部、承重部和緩衝部，利用校正部的推力和緩衝部的過渡作用可以將放置位置有偏差的被限位物體調整至正確位置。豎面的設置有利於被限位物體的更準確定位。支柱的使用有利於被限位物體的穩定放置。在被限位物體的邊緣設置多個限位塊且在被限位物體的下方對稱設置支柱可以令本實用新型自動限位裝置的限位作用更好。本實用新型自動限位裝置結構合理，使用方便，限位效果好，可長期穩定使用。
圖1為本實用新型第一優選實施例使用狀態示意圖。圖2為圖1所示限位塊側視圖。[0015]圖3為本實用新型第二優選實施例使用狀態示意圖。圖4為圖3所示限位塊結構示意圖。圖5為圖4所示限位塊側視圖。圖6為本實用新型第三優選實施例使用狀態示意圖。圖7為圖6所示立柱主視圖。圖8為圖6所示實施例立體示意圖。圖9為圖8所示實施例俯視圖。
具體實施方式
下面結合說明書附圖和實施例對本實用新型做詳細描述。實施例一如圖1所示，本實用新型自動限位裝置包括一個或複數個限位塊2，所使用限位塊2的數量根據具體的使用條件來確定。當被限位物體1需要在一個方向上限位時，可使用兩個沿所需限位方向相對放置的限位塊2;如果此時被限位物體1在某一端已經被其他物體限位，則沿所需限位方向只使用一個限位塊2即可。當被限位物體1需要在多個方向上限位時，可沿所需限位方向設置多組兩兩相對放置的限位塊2 ；如果被限位物體1在某一端或幾端已經被其他物體限位，則沿所需限位方向再按需要使用若干限位塊2即可。如圖2所示，限位塊的承重部為水平臺階22，校正部為校正彈簧片21，緩衝部為緩衝斜面23。使用時被限位物體的邊緣放置在水平臺階22上。水平臺階22的一側邊緣連接緩衝斜面23，緩衝斜面23與水平臺階22之間夾角成鈍角且兩者之間平滑相接，使被限位物體可以平滑地沿著緩衝斜面23移動。限位塊2上設有固定部對，使限位塊可以穩定地設置在指定地點。在水平臺階22上與連接緩衝斜面23的邊緣相對側邊緣連接校正彈簧片21的一端，校正彈簧片21的另一端通過調節螺絲25固定在限位塊2上，調節螺絲25可根據需要調節校正彈簧片21使其呈一定弧度的彎曲。校正彈簧片21的彎曲和倔強係數比較小的特點使其能夠在所需限位方向上給被限位物體一個合適的力。當被限位物體1被放置在本實用新型自動限位裝置上的位置有偏差時，校正彈簧片21可施加水平彈力將被限位物體1向對面方向推；被限位物體1的相對側邊緣此時處在緩衝斜面23上，在彈力的作用下被限位物體1沿緩衝斜面23向上滑移，最終達到該側的水平臺階22上，該側校正彈簧片21可以保證被限位物體1不會因為慣性而偏離指定位置。實施例二 如圖3 圖5所示，作為結構的優化，在實施例一限位塊2的校正部上設置豎面沈，豎面沈的下邊緣連接承重部。限位塊的承重部為水平臺階22，校正部為校正彈簧片21，緩衝部為緩衝斜面23。 校正彈簧片21上設置豎面沈，豎面沈上邊緣連接校正彈簧片21，豎面沈的下邊緣連接水平臺階22。該限位塊的使用方法與實施例一限位塊的使用方法基本相同，被限位物體1的邊緣放置在水平臺階22上。水平臺階22的一側邊緣連接緩衝斜面23，緩衝斜面23與水平臺階22之間夾角成鈍角且兩者之間平滑相接，使被限位物體1可以平滑地沿著緩衝斜面23 移動。當被限位物體1放置位置有偏差時，被限位物體1在校正彈簧片21的彈力作用下移動，沿著對面的緩衝斜面23移動到該側的水平臺階22上，受到豎面沈的阻擋而停止運動。校正彈簧片21與豎面沈平滑連接，這樣可保證被限位物體1在受到校正彈簧片21水平彈力後平穩地落在水平臺階22上。豎面沈的高度根據具體情況而定，既要起到對被限位物體1的限位作用，又不能因為落差大而對被限位物體1造成損傷。增加豎面26的一個優點是使被限位物體1定位更加準確，解決了長期使用後校正彈簧片21的限位精確度下降的問題。限位塊2上設有固定部M，使限位塊可以穩定地設置在指定地點，使被限位物體1 的位置更加準確。實施例三如圖6所示，本實用新型自動限位裝置除了限位塊2還包括一個或複數個支柱3，使用支柱3可以在被限位物體1面積比較大時對其起到更好的支撐作用。也可以避免放置位置過於偏時被限位物體1直接掉落出本實用新型自動限位裝置的範圍。如圖7所示，支柱的優選結構包括柱狀套筒32和設置在套筒32內的一個或複數個滾珠31。套筒32的上端設有開口 33，位於套筒32內上端的滾珠31的上端部分凸出於套筒32上端面開口 33。當被限位物體1在校正彈簧片和緩衝斜面的共同作用下調整位置時，滾珠31可在套筒32內平滑地滾動，使被限位物體1的位置調節更加平緩。限位塊和支柱的使用數量可根據具體的工藝而定，例如在等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)法沉積非金屬薄膜工藝中，如圖8和圖9所示，自動限位裝置包括設置在底座 4上的4個限位塊2，限位塊2兩兩相對設置，兩組限位塊的限位方向相互垂直，使作為被限位物體1的玻璃板定位準確。4個限位塊2圍成的範圍內設置有6個支柱3，支柱3相對中心位置對稱設置。支柱3支撐玻璃板使其更加穩定。以上，僅為本實用新型的較佳實施例，但本實用新型的保護範圍並不局限於此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術範圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護範圍之內。因此，本實用新型的保護範圍應該以權利要求所界定的保護範圍為準。
權利要求1.一種自動限位裝置，其特徵在於包括一個或複數個限位塊；所述限位塊設有承重部，所述承重部一側邊緣連接緩衝部，相對側邊緣連接校正部；緩衝部的斜面與承重部的平面之間成鈍角，校正部的斜面與承重部的平面之間成鈍角；所述限位塊上設有固定部。
2.根據權利要求1所述的自動限位裝置，其特徵在於所述緩衝部為緩衝斜面或緩衝彈簧片。
3.根據權利要求1所述的自動限位裝置，其特徵在於所述校正部為校正斜面或校正彈簧片。
4.根據權利要求1所述的自動限位裝置，其特徵在於在所述校正部上設有豎面，所述豎面上邊緣連接校正部，所述豎面下邊緣連接承重部。
5.根據權利要求1所述的自動限位裝置，其特徵在於還包括一個或複數個支柱，所述支柱位於被限位物體所在區域內。
6.根據權利要求5所述的自動限位裝置，其特徵在於所述支柱包括柱狀套筒，所述套筒內設置一個或複數個滾珠，位於所述套筒內上端的滾珠的上端部分凸出於所述套筒上端面開口。
專利摘要本實用新型公開一種自動限位裝置，為解決現有裝置穩定性差的問題而設計。本實用新型自動限位裝置包括限位塊，限位塊設有承重部、豎面、緩衝部、校正部和固定部。還包括端頭設有凸出滾珠的支柱。本實用新型自動限位裝置的限位塊利用校正部的推力和緩衝部的過渡作用可以將放置位置有偏差的被限位物體調整至正確位置。支柱的使用有利於被限位物體的穩定放置。在被限位物體的邊緣設置多個限位塊且在被限位物體的下方對稱設置支柱可以令本實用新型自動限位裝置的限位作用更好。本實用新型自動限位裝置結構合理，使用方便，限位效果好，可長期穩定使用。
文檔編號C23C16/458GK202072763SQ201120161978
公開日2011年12月14日 申請日期2011年5月19日 優先權日2011年5月19日
發明者王祖強, 金永珉 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 成都京東方光電科技有限公司