軟磁性材料、軟磁性材料的製造方法、壓粉鐵心以及壓粉鐵心的製造方法

2023-09-16 18:09:00 3

專利名稱：：軟磁性材料、軟磁性材料的製造方法、壓粉鐵心以及壓粉鐵心的製造方法
技術領域：
：本發明總體上涉及軟磁性材料、軟磁性材料的製造方法、壓粉鐵心以及壓粉鐵心的製造方法，具體而言，本發明涉及軟磁性材料、軟磁性材料的製造方法、包含覆蓋有絕緣膜的金屬磁性顆粒的壓粉鐵心以及該壓粉鐵心的製造方法。
背景技術：
：近年來，人們己經嘗試提供電工電子部件(例如具有更高密度和更小尺寸的電機鐵心和變壓器鐵心)，來滿足採用較低的電功率以實現更精確的控制的要求，這使得用於製造這些電工電子部件的軟磁性材料(特別是在中高頻率下提供改善的磁性的軟磁性材料)得到發展。與所述的軟磁性材料相關的是，例如，日本專利申請公開No.2002-246219批露了在高溫下在使用過程中可以保持磁性的壓粉鐵心，以及該鐵心的製造方法(專利文獻l)。根據專利文獻l所批露的方法，首先將覆蓋有磷酸膜的霧化鐵粉與預定量的聚苯硫醚(PPS樹脂)混合，然後進行壓製成形。將所得成形體在32(TC的空氣中加熱1小時，然後再在24(TC下加熱1小時。然後冷卻，從而製得壓粉鐵心。專利文獻1:日本專利公開No.2002-246219。
發明內容本發明所要解決的問題如上所述製得的壓粉鐵心在其內部可能包含大量的畸變(位錯、缺陷)，這些畸變將抑制磁疇壁的移動(磁通量的變化)，從而導致壓粉鐵心的透磁率降低。專利文獻1中披露的壓粉鐵心以成形體的形式經歷兩次熱處理，但仍不能適當地消除內部畸變。因此，所得的可隨著頻率和PPS樹脂的含量的不同而不同的壓粉鐵心的有效透磁率一直保持為小於或等於400的較低的值。人們還考慮了在更高的溫度下對成形體進行熱處理，以便將壓粉鐵心內的畸變降低至可接收的水平。然而，包覆霧化鐵粉的磷酸化合物的耐熱性較低，因此其在高溫下在熱處理的過程中劣化。這使得由磷酸包敷的霧化鐵粉的顆粒間的渦流損耗增大，從而可能降低壓粉鐵心的透磁率。鑑於此，本發明的目的是通過提供具有所需磁性的軟磁性材料、該軟磁性材料的製造方法、壓粉鐵心以及壓粉鐵心的製造方法來解決上述問題。解決所述問題的手段根據本發明的一個方面的軟磁性材料包含多個複合磁性顆粒。該多個複合磁性顆粒中的每一個均具有包含鐵的金屬磁性顆粒；下層膜，該下層膜包圍所述金屬磁性顆粒的表面並包含非鐵金屬；以及上層絕緣膜，該上層絕緣膜包圍所述的下層膜的表面並包含無機化合物。所述的無機化合物包含氧和碳中的至少任意一種元素。所述非鐵金屬與氧和碳中的至少一種元素的親和性高於鐵與氧和碳中的所述那至少一種元素的親和性。在具有這種結構的軟磁性材料中，在對軟磁性材料進行熱處理的過程中，設置在金屬磁性顆粒和上層絕緣膜之間的下層膜能夠抑制上層膜中的無機化合物所包含的氧或碳擴散到金屬磁性顆粒中，這是由於下層膜包含非鐵金屬，而該非鐵金屬與氧或碳的親和性高於金屬磁性顆粒中的鐵與氧或碳的親和性，這樣促進了氧和碳與非鐵金屬的反應，並將氧和碳捕獲在下層膜中，由此抑制氧和碳浸入到金屬磁性顆粒中(吸氣效應)。這使金屬磁性顆粒中雜質濃度的增加達到最小，並進而抑制金屬磁性顆粒的磁性發生劣化。防止氧和碳擴散到金屬磁性顆粒中還使上層膜的無機化合物中的氧含量和碳含量的降低達到最低，從而抑制了上層膜的分解或降解(上層膜的分解或降解可能導致上層膜的絕緣性降低)。根據本發明的另一個方面的軟磁性材料包含多個複合磁性顆粒。該多個複合磁性顆粒中的每一個均具有包含鐵的金屬磁性顆粒；下層膜，該下層膜包圍所述金屬磁性顆粒的表面並包含非鐵金屬；以及上層絕緣膜，該上層絕緣膜包圍所述下層膜的表面並包含無機化合物。所述的無機化合物包含氧和碳中的至少任意一種元素。就所述無機化合物包含的氧和碳中的至少任意一種元素而言，該元素在所述非鐵金屬中的擴散係數較其在鐵中的擴散係數小。在具有這種結構的軟磁性材料中，在對軟磁性材料進行熱處理的過程中，設置在上層絕緣膜和金屬磁性顆粒之間的下層膜能夠降低上層膜中的無機化合物所包含的氧或碳擴散到金屬磁性顆粒中的程度，這是由於下層膜包含非鐵金屬，而氧或碳在該非鐵金屬中的擴散係數小於氧或碳在金屬磁性顆粒中所含的鐵中的擴散係數，從而使得上層膜的氧和碳向金屬磁性顆粒中擴散的速度在下層膜中被降低，這樣抑制了氧和碳浸入到金屬磁性顆粒中(屏障效應)，由此使金屬磁性顆粒中雜質濃度的增加達到最小，並進而抑制了金屬磁性顆粒的磁性發生劣化。抑制氧和碳擴散到金屬磁性顆粒中還使上層膜中的無機化合物中氧含量和碳含量的降低達到最小，從而抑制了上層膜的分解或降解(上層膜的分解或降解可能導致上層膜的絕緣性降低)。因此，這些發明允許在高溫下對軟磁性材料進行熱處理，而不會引起金屬磁性顆粒和上層絕緣膜的劣化。優選的是，非鐵金屬包括至少一種選自鋁(A1)、鉻(Cr)、矽(Si)、鈦(Ti)、釩(V)和鎳(Ni)中的元素。在具有這種結構的軟磁性材料中，這些材料與鐵相比，或者其與氧或碳具有更大的親和性，或者氧或碳在這些材料中的擴散係數更小。因此，上述優點可通過下層膜的吸氣效應和屏障效應中的至少一種達到。另外，所述材料與氧或碳之間發生反應可能導致下層膜的電阻增加，在這種情況下，下層膜可以與上層膜協同起到絕緣體的作用。另外，當所述材料與金屬磁性顆粒中所包含的鐵形成固態溶液時，這些材料不會損害金屬磁性顆粒的軟磁性，從而抑制軟磁性材料的磁性發生劣化。優選的是，下層膜的平均厚度為不小於50nm且不大於lpm。在具有這種結構的軟磁性材料中，使下層膜的平均厚度為不小於50nm確保了下層膜的吸氣效應或屏障效應。此外，由於下層膜的平均厚度不大於lpm，使得使用本發明的軟磁性材料製造的成形體不含有彼此間的距離太大的金屬磁性顆粒。這抑制了金屬磁性顆粒之間反磁性的發生(由於金屬磁性顆粒的磁極所引起的能量損耗)，從而使由反磁性引起的磁滯損耗的增加達到最小。另外，可以使軟磁性材料中非磁性層的體積比達到最小，從而使飽和磁通密度的降低達到最小。優選的是，上層膜的平均厚度為不小於10nm且不大於lpm。在具有這種結構的軟磁性材料中，使上層膜的平均厚度為不小於10nm使得膜中的隧道電流達到最小，從而使由隧道電流引起的渦流損耗的增加達到最小。另外，由於上層膜的平均厚度不大於lpm，使得使用本發明的軟磁性材料製造的成形體不含彼此間的距離太大的金屬磁性顆粒。這抑制了金屬磁性顆粒之間反磁性的發生，並使因反磁性而引起的磁滯損耗的增加達到最小。而且，可以使軟磁性材料中的非磁性層的體積比達到最小，從而使飽和磁通密度的降低達到最小。另外，優選的是，無機化合物由包含選自鋁、鋯、鈦、矽、鎂、鐵和磷中的至少一種元素的化合物構成。根據具有這種結構的軟磁性材料，由於包含氧和碳中的任意一種元素的這些材料具有優異的絕緣性，因此可以進一步有效地抑制在金屬磁性顆粒間流動的渦流電流。另外，優選的是，無機化合物為含磷化合物和由金屬醇鹽形成的無機化合物中的至少任一種，所述金屬醇鹽包括選自鋁、鋯、鈦、矽、鎂和鐵中的至少一種元素。通過使用有機溶劑由金屬醇鹽形成上層膜的這樣的軟磁性材料，上層膜可以由微小且精細的顆粒形成。因此，可以改善軟磁性材料的流動性，並且覆蓋有該上層膜的金屬磁性顆粒不易受到加熱的影響。另外，上述軟磁性材料的壓縮密度變化率小於5%。通過由金屬醇鹽形成上層膜的這樣的軟磁性材料，可以改善軟磁性材料的流動性。因此，即使在低壓下進行成形操作，也可以獲得足夠大的壓縮密度。另外，上述軟磁性材料在加熱前和加熱後的體積電阻率值的變化率最多為20%。通過由金屬醇鹽形成上層膜的這樣的軟磁性材料，覆蓋有上層膜的金屬磁性顆粒不易受到加熱的影響。因此，可以防止軟磁性材料在熱處理後的體積電阻率值顯著低於熱處理前的體積電阻率值。根據本發明的軟磁性材料的製造方法是指製造上述軟磁性材料的方法。製造所述軟磁性材料的方法包括下層膜形成步驟，在金屬磁性顆粒的表面上形成下層膜；以及在下層膜形成步驟之後進行的上層膜形成步驟，將金屬醇鹽溶液加入到通過將金屬磁性顆粒分散到有機溶劑中而獲得的懸浮液中，將所得懸浮液風乾，然後將所得粉末在至少6(TC到最高12(TC的溫度下乾燥。根據製造具有這種結構的軟磁性材料的方法，可以製造在成形過程中具有優異的流動性、並且包含不易受到加熱影響的金屬磁性顆粒的軟磁性材料。此處，通過將乾燥溫度設定為至少6(TC，就可以使形成有上層膜的複合磁性顆粒被充分乾燥。因此，在使用根據本發明的軟磁性材料來製造成形體的過程中，可以確保軟磁性材料的壓縮性，並且可以獲得具有高密度的成形體。另外，通過將乾燥溫度設定為12CrC或更低，可以防止金屬磁性顆粒的表面生鏽。因此，可以防止軟磁性材料的磁性發生劣化。另外，優選的是，上層膜形成步驟還包括將磷酸溶液加入到其中已經加有金屬醇鹽溶液的懸浮液中的步驟。根據這種軟磁性材料的製造方法，可以進一步有效地改善壓縮性、流動性以及在高溫燒制後的電阻值的變化率。根據本發明的壓粉鐵心是使用上述任意一種軟磁性材料製造的。在具有這種結構的壓粉鐵心中，在高溫下進行熱處理可以令人滿意地減少壓粉鐵心中的畸變，從而提供由於磁滯損耗的減少而得到改善的磁性。在這種情況下，儘管在高溫下進行熱處理，但是由於渦流損耗被降低而使得受到下層膜保護的上層絕緣膜仍可以提供改善的磁性。優選的是，壓粉鐵心還包含有機物，該有機物被置於多個複合磁性顆粒之間從而將多個複合磁性顆粒結合在一起，並且所述有機物包括選自聚乙烯樹脂、有機矽樹脂、聚醯胺樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、環氧樹脂、酚醛樹脂、丙烯酸樹脂和聚四氟乙烯中的至少一種。在具有這種結構的軟磁性材料中，這些有機物將多個複合磁性顆粒牢固地結合在一起，並且在軟磁性材料的壓製成形的過程中起到潤滑劑的作用，從而防止複合磁性顆粒彼此摩擦，否則這種摩擦將損壞上層膜。因此可以提高壓粉鐵心的強度並且可以減少渦流損耗。另外，由於金屬磁性顆粒由下層膜覆蓋，因此可以抑制這些有機物中所含有的氧或碳擴散到金屬磁性顆粒中。根據本發明的壓粉鐵心的製造方法是指製造上述壓粉鐵心的方法。所述壓粉鐵心的製造方法包括如下步驟通過對所述多個複合磁性顆粒進行壓製成形從而形成成形體；以及將所述成形體在不低於50(TC的溫度下進行熱處理。在具有這種結構的壓粉鐵心的製造方法中，對成形體進行熱處理的溫度不低於50(TC可以將壓粉鐵心內的畸變降低至令人滿意的程度。另外，儘管成形體被暴露於這種高溫下，但是下層膜可以發揮防止金屬磁性顆粒和上層絕緣膜劣化的作用。本發明的效果如上所述，本發明可提供具有所需磁性的軟磁性材料、該軟磁性材料的製造方法、壓粉鐵心以及壓粉鐵心的製造方法。附圖簡要說明圖1是使用本發明實施方案的軟磁性材料製造的壓粉鐵心的示意性剖視圖。圖2是圖1中的虛線II所限定的區域的放大示意圖，其中下層膜由這樣的非鐵金屬形成，該非鐵金屬與氧或碳的親和性大於鐵與氧或碳的親和性。圖3是圖1中的虛線II所限定的區域的放大示意圖，其中下層膜由這樣的非鐵金屬形成，氧或碳在該非鐵金屬中的擴散係數小於其在鐵中的擴散係數。圖4是示出與各種金屬形成固態溶液的鐵的結晶磁各向異性與固態溶液中金屬含量的關係的圖。附圖標記說明10金屬磁性顆粒，20下層膜，30上層膜，40複合磁性顆粒，50有機物實施本發明的最佳方式現在參照附圖對本發明的實施方案進行說明。圖1是使用本發明的實施方案的軟磁性材料製造的壓粉鐵心的示意性剖視圖。參見圖l，軟磁性材料包含多個複合磁性顆粒40，多個複合磁性顆粒40中的每一個均包含金屬磁性顆粒10、包圍金屬磁性顆粒10的表面的下層膜20和包圍下層膜20的表面的上層膜30。有機物50置於複合磁性顆粒40之間，並由(例如)聚乙烯樹脂、有機矽樹脂、聚醯胺樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、環氧樹脂、酚醛樹脂、丙烯酸樹脂和聚四氟乙烯(Teflon)形成。壓粉鐵心是由複合磁性顆粒40通過其上所具有的凹凸嚙合連接在一起或者通過有機物50使複合磁性顆粒40結合在一起而形成的。應當注意的是，有機物50並不是本發明所必須使用的，並且複合磁性顆粒40可以僅通過複合磁性顆粒40上所具有的凹凸相嚙合而結合在一起。金屬磁性顆粒10包含鐵(Fe)，並使用多種製造方法(例如霧化鐵粉法、還原鐵粉法和羰基鐵粉法)由下列物質製成(例如)鐵(Fe)、鐵(Fe)-矽(Si)系合金、鐵(Fe)-氮(N)系合金、鐵(Fe)-鎳(Ni)系合金、鐵(Fe)-碳(C)系合金、鐵(Fe)-硼(B)系合金、鐵(Fe)-鈷(Co)系合金、鐵(Fe)-磷(P)系合金、鐵(Fe)-鉻(Cr)系合金、鐵(Fe)-鎳(Ni)-鈷(Co)系合金、鐵(Fe)-鋁(Al)-矽(Si)系合金，或鐵酸鹽，等。金屬磁性顆粒10可以僅由鐵或鐵系合金製成。優選的是，金屬磁性顆粒10的平均粒徑不低於5pm且不大於300pm。平均粒徑不低於5pm的金屬磁性顆粒10降低了金屬磁性顆粒IO被氧化的可能性，從而使壓粉鐵心的磁性得到改善。平均粒徑不大於300pm的金屬磁性顆粒IO可以避免在壓製成形的過程中粉末的壓縮性降低。因此，可以通過壓製成形而提供密度增加的成形體。本文使用的平均粒徑指在採用掃描法測量的粒徑直方圖中，顆粒從最小粒徑開始累積的質量達到顆粒總質量的50%時所對應的粒徑，即50%粒徑D。下層膜20包含非鐵金屬，例如鋁、鉻、矽、鈦、釩或鎳。表1示出了形成下層膜20的非鐵金屬與碳和氧的親和性、以及鐵與碳和氧的親和性。表1列出了由這些金屬與碳或氧之間發生反應而產生的最初生成的化合物、以及在所述反應過程中所產生的熱，其中所產生的熱的絕對值越大，表明這些金屬與碳或氧的親和性越大。表1tableseeoriginaldocumentpage14由表1可見，鋁、鉻、矽、鈦和釩與碳和氧的親和性均大於鐵與碳和氧的親和性。儘管不能生成鎳的碳化物，但是鎳與氧的親和性和鐵與氧的親和性處於相同的級別水平。表2示出了氧和碳在形成下層膜20的非鐵金屬中的擴散係數、以及在鐵中的擴散係數。表2中的擴散頻率係數(diffusionfrequencycoefficient)Do和擴散活化能Q是在約50CTC至900。C的溫度下測定的，擴散係數D和擴散距離L是在60(TC的溫度下測定的。表2tableseeoriginaldocumentpage16Do:擴散頻率項Q:擴散活化能D(擴散係數):Doxexp(-Q/RT):R氣休常數二8.315[J/摩爾/K]，T溫度[K]L:擴散距離(擴散時間為l小時，擴散源和發生擴散的部分之間的界面假定為球形)200680028263.7轉溢齒被10/34:K由表2可見，碳在鉻、鎳、鈦和釩中的擴散係數小於碳在鐵中的擴散係數。還可以看出，氧在鎳、矽、鈦和釩中的擴散係數小於氧在鐵中的擴散係數。因此，下層膜20由這樣的非鐵金屬形成，與鐵相比該非鐵金屬與碳或氧具有較大的親和性，或者碳或氧在該非鐵金屬中的擴散係數較在鐵中的小，或者與鐵相比該非鐵金屬對碳或氧具有較大的親和性並且碳或氧在該非鐵金屬中的擴散係數較在鐵中的小。優選的是，下層膜20的平均厚度不低於50nm且不超過lpm。本文使用的平均厚度是通過以下方法推測的估計厚度，所述方法為通過組成分析(透射電子顯微鏡-能量色散型X射線光譜法(TEM-EDX))得到膜的組成，通過電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)法得到各元素的重量，然後再在TEM照片上直接觀察膜以確認所推測的估計厚度的數量級。上層膜30具有電絕緣性，其是由含磷化合物和金屬醇鹽形成的無機化合物中的至少任一種形成，所述金屬醇鹽包括選自鋁、鋯、鈦、矽、鎂和鐵中的至少一種元素。該無機化合物或含磷化合物包含氧和碳中的至少任意一種元素。如果上層膜30由金屬醇鹽形成，則構成金屬醇，的有機化合物被作為醇除去，留下了金屬氧化物。然而，取決於化合物生成時的條件，碳可能部分保留在金屬氧化物中。通過由金屬醇鹽形成上層膜30，如同上層膜30由水溶液形成的情況一樣，不可能產生諸如鈉鹽或鈣鹽之類的鹽、因此也就不能產生具有更高的導電性的上層膜30。因此，在本實施方案中，可以獲得抑制上層膜30的絕緣性降低的效果。將由金屬醇鹽形成的無機化合物的塗敷量換算成各金屬元素的量，則各元素的量優選被設定為至少0.001質量％到最多100質量％。如果塗敷量小於0.001質量％，則無法獲得本發明的效果。由於通過將添加量設定在至少0.001質量％到最多100質量％的範圍內就可充分地獲得本發明的效果，因此沒有必要添加超過100質量％的量。考慮到要獲得的軟磁性材料的壓縮性和流動性，至少0.002質量％到最多75質量％的量是更優選的，至少0.003質量％到最多50質量％的量是進一步優選的。將含磷化合物的塗敷量換算成磷的量，則磷的量優選被設定為至少0.001質量％到最多100質量％範圍內的值。如果塗敷量小於0.001質量％，則無法獲得本發明的效果。由於通過將添加量設定在至少0.001質量％到最多100質量％的範圍內就可充分地獲得本發明的效果，因此沒有必要添加超過100質量％的量。考慮到要獲得的軟磁性材料的壓縮性和流動性以及當金屬磁性顆粒10被用於壓粉鐵心時的充填率，至少0.002質量％到最多75質量％的量是優選的，至少0.003質量％到最多50質量％的量是進一步優選的。關於本實施方案的軟磁性材料的壓縮性，通過使用將在下文中進行說明的評價方法而測定的壓縮密度變化率優選為小於5%。如果壓縮密度變化率為5%或更高，則在製造壓粉鐵心的過程中需要較高的壓力，這是不優選的。軟磁性材料的壓縮密度更優選為最多4%，進一步優選為最多3%。本實施方案的軟磁性材料的體積電阻率值優選為至少1.0mQ'cm，更優選為至少2.0mQxm。另外，加熱前和在50(TC的溫度下加熱1小時之後的體積電阻率值的變化率優選為最多20%,更優選為最多15%，進一步優選為最多10%。如果加熱前後的體積電阻率值的變化率超過20%，則通過使用軟磁性材料而獲得的壓粉鐵心的比電阻值在退火過程中往往會降低，這是不優選的。優選的是，本實施方案中的軟磁性材料具有流動性指數為至少70的流動性。如果流動性指數低於70，則在製造壓粉鐵心的過程中，對模具的充填性不夠，並且構成壓粉鐵心的金屬磁性顆粒10的充填率降低。更優選的是，流動性指數為至少75到最多95。上層膜30的平均厚度優選為至少10nm到最多lpm。此處的平均厚度也是通過使用與上述方法相同的方法測定的。上層膜30在金屬磁性顆粒10之間起到絕緣體的作用。通過使用上層膜30包覆金屬磁性顆粒10，可以使壓粉鐵心的比電阻值更大。這使得金屬磁性顆粒IO之間的渦流最小，進而降低了由渦流損耗而引起的壓粉鐵心的鐵耗。本發明實施方案中的軟磁性材料包含多個複合磁性顆粒40。每含含有鐵的金屬磁性顆粒10;下層膜20，該下層膜20包圍金屬磁性顆粒IO的表面，並且包含非鐵金屬；以及上層絕緣膜30，該上層絕緣膜包圍下層膜20的表面，並且包含無機化合物。該無機化合物包含氧和碳中的至少任意一種元素。該非鐵金屬與氧和碳中的至少一種元素的親和性大於鐵與該氧和碳中的所述那至少一種元素的親和性。所述氧和碳中至少一種元素在非鐵金屬中的擴散係數小於該元素在鐵中的擴散係數。現在將說明製造圖l所示的壓粉鐵心的方法。首先，在金屬磁性顆粒10的表面上形成下層膜20。形成下層膜20的方法的例子包括真空沉積法、鍍敷法、溶膠-凝膠法或粘結法(Bondeprocess)。此後，將金屬醇鹽溶液加入到通過將其上形成有下層膜20的金屬磁性顆粒10分散到水溶性有機溶劑中而獲得的懸浮液中。在一些情況下，還加入磷酸水溶液。將已經加有所述溶液的懸浮液風乾，然後在至少6(TC到最高12(TC的溫度下進行乾燥。在本實施方案中，作為初始材料的金屬磁性顆粒10的壓縮密度變化率為至少5%，該值是使用下文所述的評價方法測定的。在本實施方案中，作為初始材料的金屬磁性顆粒10的體積電阻率值通常優選為至少0.1m^cm，更優選為至少0.5mQxm。另外，在加熱前和在50(TC的溫度下加熱1小時之後的體積電阻率值的變化率通常為至少25%。在本實施方案中，作為初始材料的金屬磁性顆粒IO通常具有流動性指數為至少50的流動性，優選具有流動性指數為至少50到最多80的流動性。對其中分散有金屬磁性顆粒10(其上形成有下層膜20)的有機溶劑沒有限定，條件是其為常用的有機溶劑即可，但是，優選使用水溶性有機溶劑。具體地說，可以適當地使用下列物質作為有機溶劑醇系溶劑，例如乙醇、丙醇、丁醇等；酮系溶劑，例如丙酮、甲乙酮等；乙二醇醚系溶劑，例如乙二醇-甲醚、乙二醇-乙醚、乙二醇-丙醚、乙二醇-丁醚等；氧化乙烯，例如二乙二醇、三乙二醇、聚乙二醇、二丙醇二醇、三丙醇二醇、聚丙二醇等；1,2-環氧丙烷加成聚合亞垸基二醇，例如乙二醇、丙二醇、1,2,6-己三醇等；甘油；2-吡咯烷酮；等。更優選的是使用醇系溶劑(例如乙醇、丙醇、丁醇等)或酮系溶劑(例如丙酮、甲乙酮等)。鋁、鋯、鈦、矽、鎂、鐵等可被用作構成金屬醇鹽的金屬元素。另外，醇鹽的種類包括甲醇鹽、乙醇鹽、丙醇鹽、異丙醇鹽、氧化異丙醇鹽、丁醇鹽等。考慮到處理的均勻性和處理的效果，優選使用四乙氧基矽垸、三異丙醇鋁、四異丙醇鋯、四異丙醇鈦等。另外，為了更加均勻地處理，優選使用預先分散或溶解於上述有機溶劑中的金屬醇鹽。此外，關於金屬醇鹽的水解，為了將更細的無機化合物附著到下層膜20(其在金屬磁性顆粒10的表面上形成)的表面上，或者使用更細的無機化合物塗敷下層膜20(其在金屬磁性顆粒10的表面上形成)的表面，不需要特別地添加水分。優選的是，使用有機溶劑中的水分以及金屬磁性顆粒10和下層膜20中的水分進行水解。儘管金屬醇鹽的添加量隨著金屬磁性顆粒的比表面積的不同而不同，但是將金屬醇鹽的添加量換算成各元素的量，則各元素的量通常被設定為，相對於每100質量份的金屬磁性顆粒10為至少0.001質量份到100質量份。如果添加量低於0.001質量份，則無法獲得本發明的效果。由於通過將添加量設定在至少0.001質量份到最多100質量份的範圍內可充分地獲得本發明的效果，因此添加超過100質量份的量是沒有用的。考慮到要獲得的軟磁性材料的壓縮性和流動性，至少0.002質量份到最多75質量份的量是更優選的，至少0.003質量份到最多50質量份的量是進一步優選的。可以用磷酸溶液或磷酸鹽溶液代替金屬醇鹽加入懸浮液中，但優選的是，還將磷酸溶液或磷酸鹽溶液加入已經加有金屬醇鹽溶液的懸浮液中。儘管磷酸或磷酸鹽的添加量隨著金屬磁性顆粒的比表面積的不同而不同，但是將磷酸或磷酸鹽的添加量換算成磷的量，則磷的添加量通常被設定為，相對於每100質量份的金屬磁性顆粒10為至少0.001質量份到100質量份。如果添加量低於0.001質量份，則無法獲得本發明的效果。由於通過將添加量設定在至少0.001質量份到最多100質量份的範圍內可充分地獲得本發明的效果，因此添加超過100質量份的量是沒有用的。考慮到要獲得的軟磁性材料的壓縮性和流動性、以及當用於壓粉鐵心時金屬磁性顆粒10的充填率，至少0.002質量份到最多75質量份的量是優選的，至少0.003質量份到最多50質量份的量是進一步優選的。，用於將形成有下層膜20的金屬磁性顆粒10與金屬醇鹽溶液和/或磷酸(或磷酸鹽溶液)混合的設備的例子包括高速攪拌型混合器，更具體的是Henschel混合器、快速混合器、球刀、動力混合器、混合式混合器(hybridmixer)、錐形混合器等。如果將磷酸或磷酸鹽以水溶液的形式加入，為了防止水解突然進行，優選的是一點一點地加入。將所得粉末在氣流中、在室溫條件下乾燥至少3小時到最多24小時，此後，在至少60'C到最高12(TC的溫度下乾燥至少1小時到最多24小時。通過上述步驟製造出這樣的複合磁性顆粒40，其中金屬磁性顆粒10的表面上依次包覆有下層膜20和上層膜30。此後，將複合磁性顆粒40和有機物50放置於模具中，並在(例如)700MPa到1500MPa的壓力下進行壓製成形。然後，壓制複合磁性顆粒40，由此獲得成形體。壓製成形可以在大氣中進行，但是優選的是在惰性氣體氣氛或減壓氣氛中進行。由此，可以抑制複合磁性顆粒40被大氣中的氧氣氧化。此處，有機物50位於相鄰的複合磁性顆粒40之間，並防止設置在每個複合磁性顆粒40上的上層膜30彼此摩擦。因此，上層膜30在壓製成形的過程中不會被損壞。然後，為了除去成形體內的畸變或位錯，將通過壓製成形操作形成的成形體在不低於50(TC且不超過90(TC的溫度下進行熱處理。在熱處理的過程中，在金屬磁性顆粒IO和上層膜30之間形成的下層膜20起到抑制上層膜30或有機物50中所包含的氧和碳擴散到金屬磁性顆粒10中的作用。關於這一點，將就下層膜20進行單獨說明，其中所述下層膜20由這樣的材料形成，所述材料與鐵相比，其包含與氧或碳具有更大親和性的非鐵金屬，或者包含氧或碳在其中擴散係數較在鐵中的擴散係數小的非鐵金屬。圖2是圖1中的虛線II所限定的區域的放大示意圖，其中下層膜由這樣的非鐵金屬形成，該非鐵金屬與氧或碳的親和性大於鐵與氧或碳的親和性。參見圖2，該附圖假定下層膜20由鋁形成，上層膜30由磷酸化合物形成。在這種情況下，上層膜30和有機物50中包含的氧、以及有機物50中包含的碳在對成形體進行熱處理的過程中擴散到下層膜20中，並向著金屬磁性顆粒10擴散。但是，由於下層膜20是由鋁(其與氧和碳的親和性大於鐵與氧和碳的親和性)製成的，因此下層膜20促進鋁與氧和碳反應，從而不斷生成反應產物(即，入1203和A14C3)，這些反應產物抑制氧和碳浸入到金屬磁性顆粒10中。另外，氧化鋁、氧化鉻和二氧化矽具有比其金屬本身增大的電阻，從而使得除了上層膜30以外，下層膜20可以在熱處理後在金屬磁性顆粒10之間也起到絕緣體的作用。即使當一些非鐵金屬以氧化物的形式存在時，當氧的量不超過化學計量組成的量時也還可以獲得吸氣效應。因此，通過生成氧化物，將下層膜布置成具有其組成範圍滿足氧的量小於化學計量組成的量的非鐵金屬氧化物可以獲得增大的電阻。所述氧化物的例子包括無定形材料，例如無定形非鐵金屬(Al,Cr,Si)-氧(O)、無定形非鐵金屬(Al,Cr,Si)-磷(P)-氧(O)和無定形非鐵金屬(A1,Cr，Si)-硼(B)-氧(O)。圖3是圖1中的虛線II所限定的區域的放大示意圖，其中下層膜由這樣的非鐵金屬形成，氧或碳在該非鐵金屬中的擴散係數小於其在鐵中的擴散係數。參見圖3，該附圖假定下層膜20和上層膜30分別由鎳和磷酸化合物製成。在這種情況下，下層膜20由鎳形成，氧或碳在鎳中的擴散係數小於氧或碳在鐵中的擴散係數，這降低了氧和碳在下層膜20中的擴散速度，從而防止了氧和碳浸入到金屬磁性顆粒10中。儘管為了方便起見已經分別參照圖2和3描述了下層膜20的功能，但是下層膜20可由這樣的非鐵金屬形成，該非鐵金屬與鐵相比，其與碳或氧具有較大的親和性，並且碳或氧在該非鐵金屬中的擴散係數較在鐵中的擴散係數小，由此，下層膜20表現出參照圖2和3所描述的兩種功能，這進一步確保了防止氧和碳浸入到金屬磁性顆粒10中。形成下層膜20的非鐵金屬(例如鋁、鉻、矽、鈦、釩和鎳)可以與金屬磁性顆粒10內的鐵發生反應，而不損害金屬磁性顆粒10的軟磁性。圖4是示出與各種金屬形成固態溶液的鐵的結晶磁各向異性與固態溶液中金屬含量的關係的圖。參見圖4，隨著鋁或其它金屬的含量的增加，結晶磁各向異性降低。這表明形成下層膜20的非鐵金屬可以與鐵發生反應，從而形成合金態的金屬磁性顆粒10，而不會損害金屬磁性顆粒10的軟磁性。在熱處理後，對成形體進行適當的處理(例如擠出或切削)從而提供如圖l所示的壓粉鐵心成品。在所得的壓粉鐵心中的金屬磁性顆粒IO的體積佔有率(體積％)至少為90%,優選為91%,更優選為至少92%。壓粉鐵心的比電阻值為至少2.0m^cm，優選為至少3.0mQ.cm，更優選為至少4.0mQ.cm。另外，壓粉鐵心在熱處理前和熱處理後的比電阻值的變化率優選為最多20%，更優選為最多15%，進一步優選為最多10%。雖然在不低於50(TC的高溫下進行熱處理，但是具有這種結構的軟磁性材料和使用這種軟磁性材料製造的壓粉鐵心仍可以減少氧和碳擴散到金屬磁性顆粒10中。因此，上層膜30中所包含的氧和碳的濃度沒有顯著下降，從而保持了上層膜30的絕緣性。按照這種方式，上層膜30確保了金屬磁性顆粒IO之間的絕緣性，進而降低了壓粉鐵心的渦流損耗。同時，在高溫下進行熱處理可以令人滿意地減少壓粉鐵心內的畸變。此外，由於氧和碳向金屬磁性顆粒10中的擴散達到最少，所以沒有增加金屬磁性顆粒10中雜質的濃度。因此，可以將壓粉鐵心的磁滯損耗降低至令人滿意的水平。因此，可以獲得這樣的壓粉鐵心，該壓粉鐵心在較寬的頻率範圍內具有較低的鐵耗。另外，上層膜30是由金屬醇鹽並使用有機溶劑形成的，這樣可以在複合磁性顆粒40的表面上形成非常細微的突起。因此，由於在壓製成形的過程中複合磁性顆粒40的流動性得到改善，所以可以獲得具有高充填率的成形體。即，即使在壓製成形的過程中壓力較低，也可以獲得密度足夠高的成形體。另外，使用有機溶劑由金屬醇鹽形成的上層膜30由細微的顆粒構成。因此，包覆有上層膜30的金屬磁性顆粒10不易受到加熱影響。因此，儘管將軟磁性材料暴露於高溫，但是仍可以獲得體積電阻率值的降低率較小的軟磁性材料。通過使用這種軟磁性材料製造成形體，即使熱處理的溫度較高，仍可以將熱處理後的成形體的比電阻值基本保持為與熱處理前的成形體的比電阻值一樣高。例子在下面提供的實施例中評價本發明的軟磁性材料。(例1)首先將購自Hoeganaes株式會社的霧化純鐵粉(商品名為"ABC100.30"，純度為99.8%或更高)製成金屬磁性顆粒10。然後，採用真空沉積法、鍍敷法、溶膠-凝膠法或粘結法在金屬磁性顆粒IO上形成平均厚度為100nm的下層膜20，再採用溶膠-凝膠法或粘結法形成平均厚度為100nm的上層膜30，從而得到粉末，即複合磁性顆粒40。將鋁、鉻、鎳、矽和無定形鋁-磷-氧用於下層膜20，將代表無機化合物的Si玻璃(S-0化合物)用於上層膜30。為了比較，還製備出僅有上層膜30而沒有下層膜20的粉末。另外，將其上形成有鋁膜(作為上述下層膜20)的金屬磁性顆粒10加入到丙酮中，通過攪拌使它們彼此相遇，從而得到丙酮槳料。將其中分散有異丙醇鋁的丙酮溶液加入到所述漿料中，並攪拌和混合所得溶液。此後，將磷酸水溶液加入到由此得到的混合溶液中，並進一步攪拌和混合所得溶液。將所得混合物溶液在氣流中風乾，此後使用乾燥機在8(TC的溫度下進行乾燥。通過上述步驟，製得複合磁性顆粒40的粉末，其中平均厚度為100nm且包含Al和P的無機化合物被形成為上層膜30，該上層膜30由形成自金屬醇鹽的無機化合物構成。另外，為了比較，還製備了沒有下層膜20僅有由無機化合物(其包含A1和P)作為上層膜30的粉末。然後，將有機物50(即，聚苯硫醚(PPS)樹脂)以0.1質量％的比例加入到所述粉末中，並將所得的混合粉末在表面壓力為1275MPa(=13噸/cm2)下壓製成形，從而形成成形體。然後將成形體在氮氣氣氛中在30(TC到90(TC的不同的溫度下熱處理1小時。由這些步驟可以製造若干具有不同種類的下層膜和上層膜的壓粉鐵心材料。然後將線圈均勻地纏繞在所得到的壓粉鐵心材料上(初次纏繞300圈，二次纏繞20圈)，並且評價壓粉鐵心材料的磁性。所述評價使用得自RikenDenshi株式會社的BH示蹤器(ACBH-100K)，並採用10kG(千高斯)的勵磁通量密度和1000Hz的測量頻率。表3和4示出了測量得到的每種壓粉鐵心材料的磁滯損耗係數Kh、渦流損耗係數Ke和鐵耗W1/1Q。表3示出將Si玻璃用於上層膜30的情況下的結果，表4示出將包含Al和P的無機化合物用於上層膜30的情況下的結果。由磁滯損耗和渦流損耗的總和得到鐵耗值W，並且鐵耗值W可以通過基於磁滯損耗係數Kh、渦流損耗係數Ke和頻率f的以下等式確定。W=KhXf+KeXf2矯頑力Hc越小(軟磁性越高)，磁滯損耗係數Kh越小。顆粒之間的絕緣性越大並且壓粉鐵心中的總電阻越大，渦流損耗係數Ke越小。即，矯頑力越小並且電阻越高，磁滯損耗係數Kh和渦流損耗係數Ke越小，這表示磁滯損耗和渦流損耗越小，鐵耗越小。通常，壓粉鐵心的熱處理溫度越高，畸變減少的量越大，從而導致矯頑力Hc和磁滯損耗係數Kh降低。但是，在高溫下進行熱處理可能會使絕緣膜劣化，從而導致顆粒之間的絕緣性變差，在這種情況下一些磁性顆粒起到一個具有較大尺寸(相對於表皮的厚度)的顆粒的作用。在這種情況下，由於表皮效應而明顯產生表面電流，並且磁滯損耗和渦流損耗都顯著增加。當磁滯損耗係數Kh和渦流損耗係數Ke是在所述條件下使用上述等式由鐵耗推導得出時，磁滯損耗係數Kh和渦流損耗係數Ke都明顯增大，在本實施方案中這種情況相應於在高於下表所示的上限溫度的溫度下進行熱處理的情況。tableseeoriginaldocumentpage27表4tableseeoriginaldocumentpage28單位Kh[mWs/kg]，Ke[mWs2/kg]，W,賠oo。[W/kg]參見表3(其中Si玻璃被用於上層膜30)，不具有下層膜20的壓粉鐵心材料在大於或等於40(TC的熱處理溫度下表現為渦流損耗係數增大，而將鋁、鉻和鎳用作下層膜20的壓粉鐵心材料的上限溫度為60(TC，在該溫度下，渦流損耗係數開始增大，將矽用作下層膜20的壓粉鐵心材料的上限溫度為50(TC。將無定形鋁-磷-氧用作下層膜20的壓粉鐵心材料的上限溫度為500°C。按照這種方式，在50(TC或更高的溫度下進行熱處理是可行的，結果，各下層膜20在其上限溫度下產生的鐵耗值最低。對於各種膜而言，這種鐵耗值小於未設置下層膜20的材料的最小鐵耗，即175W/kg。使用包含Al和P的無機化合物作為上層膜30也獲得了與上面類似的結果，所得結果列於表4中。另外，在與上述條件類似的條件下通過將鋁、鉻、鎳和矽用於下層膜20，製得其中下層膜20的平均厚度為500nm和1000nm的壓粉鐵心材料。還評價了這些壓粉鐵心材料的磁性。表5和6示出了各種壓粉鐵心材料的磁滯損耗係數Kh、渦流損耗係數Ke和鐵耗W贈ooo。表5所示的結果表示當將下層膜20的平均厚度設定為500nm時的值，表6中所示的結果表示當將下層膜20的平均厚度設定為1000nm時的表5tableseeoriginaldocumentpage30表6tableseeoriginaldocumentpage31單位KhmWs/kg],Ke|m\Vs2/kgj，Wnw則oW/kg]參照表5，對於各種具有下層膜20的壓粉鐵心材料而言，渦流損耗係數開始增大時的溫度上限為600°C。參照表6，對於將鋁和絡用作下層膜20的壓粉鐵心材料而言，其溫度上限為70(TC，對於將鎳用作下層膜20的壓粉鐵心材料而言，其溫度上限為800°C，對於將矽用作下層膜20的壓粉鐵心材料而言，其溫度上限為600°C。通過增加下層膜20的平均厚度，可以將鐵耗WIQ/1(H)。降低至110W/kg到120W/kg。(例2)首先，此處將說明粉末的體積電阻率值、在對粉末進行加熱前、後的體積電阻率值的變化率、粉末的流動性、粉末的壓縮密度的變化率、壓粉鐵心中金屬磁性顆粒的體積含量以及壓粉鐵心的比電阻值。在測定粉末的體積電阻率值時，首先稱取0.5g的粉末。使用KBr壓片機(Shimadzu株式會社)在13.72MPa的壓力下進行壓製成形。由此，將粉末製得柱狀試樣。然後將試樣在溫度為25°C、相對溼度為60%的環境下暴露12小時或更長的時間。此後，將試樣置於不鏽鋼電極之間。通過使用電阻測定裝置(4329A型，由YokogawaHokushinElectric株式會社製造)，施加15V的電壓，並測定電阻值R(mQ)。此後，測定(柱狀)試樣的厚度to(cm)和上表面的面積A(cm2)並將所測得值代入以下表達式中，從而測得體積電阻率值(mQ《m)。體積電阻率值(mQ'cm)=Rx(A/t0)在測定粉末於加熱前、後的體積電阻率值的變化率(％)時，首先將上述製得的用於測定體積電阻率值的柱狀試樣在5(TC下加熱1小時。此後，如上述步驟所述，測定體積電阻率值，並將加熱前、後的體積電阻率值代入以下表達式中，從而測得體積電阻率值的變化率。加熱前、後的體積電阻率值的變化率(％)={體積電阻率值(加熱前)-體積電阻率值(加熱後)V體積電阻率值(加熱前)x100粉末的流動性由流動性指數表示。流動性指數是通過以下方法獲得的值通過使用粉末測試儀(商品名，由HosokawaMicron株式會社製造)測定各粉體特性值休止角(度)、壓縮度(％)、抹(spatula)角(度)和凝集度；通過用基於同一基準的數值代替各測定值，得出各指數；並計算各指數之和。流動性指數接近於100表示流動性較好。在測定粉末的壓縮密度的變化率時，首先稱取0.3g的粉末並置於小為13mm的圓筒形模具中。然後，使用KBr壓片機(Shimadzu株式會社)在98MPa和490MPa的壓力下對材料粉末進行壓製成形。基於所得粉末層的厚度，測定每個壓力下的壓縮密度CD,(g/cm2)和CD5(g/cm3)，並將所測得的值帶入以下表達式中，從而測得壓縮密度的變化率(％)。壓縮密度的變化率(％)={(CD5-CD0/CD5)x100在測定壓粉鐵心中所包含的金屬磁性顆粒10的體積佔有率的過程中，首先基於壓製成形中使用的樣品粉末的絕對比重和樣品粉末的重量，測定壓粉鐵心中所包含的金屬磁性顆粒10的體積。然後，將用於壓粉鐵心的粉末混合物(將在下文中說明)在490MPa的壓力下壓製成形為柱狀((23mmx5mm)，並測定壓製成形後柱的體積。然後，基於壓粉鐵心中所包含的金屬磁性顆粒10的體積、以及壓製成形後柱的體積，計算壓粉鐵心中所包含的金屬磁性顆粒10的體積佔有率。在測定壓粉鐵心的比電阻值時，使用將在下文中進行說明的方法來製造壓粉鐵心。如同上述測定粉末的體積電阻率值的步驟一樣，使用電阻測定裝置(4329A型，由YokogawaHokushinElectric株式會社製造)來測定熱處理前、後的比電阻值。另外，通過使用熱處理前的比電阻值R。(macm)和熱處理後的比電阻值R,(mQ.cm)，並將其帶入以下表達式來測定熱處理前、後的比電阻值的變化率(％)。比電阻值的變化率(%)={(R0-R!)/R。》x100(1)軟磁性材料的製造製備500g鐵粉和森達斯特鋁矽鐵合金作為金屬磁性顆粒10。測定這些粉末的平均粒徑、壓縮密度的變化率、流動性、體積電阻率值以及加熱前、後的體積電阻率值，表7示出了所得數值。表7tableseeoriginaldocumentpage34此後，採用鍍敷法在被製備成為金屬磁性顆粒10的鐵粉上，形成平均厚度為100nm的鋁膜作為下層膜20。將形成有下層膜20的金屬磁性顆粒粉末加入500ml丙酮中，使用攪拌器使得它們彼此相遇，由此獲得含有金屬磁性顆粒粉末的丙酮漿料。將分散有10.0g三丁氧基鋁的200ml丙酮溶液加入所得眾料中，並將由此得到的溶液攪拌且混合60分鐘。此後，通過花費10分鐘的時間將6.0g磷酸水溶液(磷酸含量為85質量％)加入上述混合物溶液中，並將所得溶液攪拌且混合20分鐘。將所得混合物溶液在氣流中風乾3小時，然後使用乾燥機在80'C的溫度下乾燥60分鐘。通過上述步驟，製得被稱為樣品1的複合磁性顆粒40的粉末，其中包含Al和P的無機化合物形成該粉末的上層膜30。同樣，對被製備為金屬磁性顆粒10的森達斯特鋁矽鐵合金進行表面處理，從而製得樣品2的複合磁性顆粒40的粉末。為了比較，製造作為對照樣品1和2的複合磁性顆粒40的粉末，該複合磁性顆粒40的粉末在表面處理中使用了矽溶膠和氧化鋁溶膠來形成上層膜30。表8示出了所得粉末的金屬磁性顆粒IO和下層膜20的種類、以及用於形成上層膜30的表面處理的條件等。表8tableseeoriginaldocumentpage35說明書第30/34頁另外，測定所得的複合磁性顆粒40的粉末的壓縮密度的變化率、流動性、體積電阻率值和加熱前、後的體積電阻率值，表9示出了所得數值。應該注意上層膜30中各元素的塗敷量是採用X射線螢光分析測定的。tableseeoriginaldocumentpage37由表9可見，樣品1和2(其中上層膜30由金屬醇鹽形成)的流動性優於對照樣品1和2的的流動性。因此，壓縮密度的變化率降低至小於5%的值，並且加熱前、後的體積電阻率值可被抑制到不大於20%的水平。(2)壓粉鐵心的製造將100質量份的由上述步驟獲得的複合磁性顆粒40的粉末構成的軟磁性材料與0.6質量份的環氧樹脂混合。使用塗有硬脂酸鋅的模具在4.9x108Pa的壓力下將所得混合物粉末壓製成形為環狀(10mmx(23mmx5mm)。將所得成形體在20CTC的溫度下的空氣中加熱30分鐘，然後冷卻。通過上述步驟，分別由樣品1、樣品2、對照樣品1和對照樣品2的粉末製造出被稱為樣品A、樣品B、對照樣品A和對照樣品B的壓粉鐵心。另外，按照上述步驟將被製成為金屬磁性顆粒10的鐵粉和森達斯特鋁矽鐵合金壓製成形，從而製得被稱為對照樣品C和對照樣品D的壓粉鐵心。測定所得的各壓粉鐵心在加熱前、後的比電阻值和比電阻值的變化率、以及壓粉鐵心中金屬磁性顆粒10的體積佔有率，表10示出了這些值以及壓製成形的條件。表10tableseeoriginaldocumentpage39由表10可見，與對照樣品A至D相比，樣品A和B(其中上層膜30由金屬醇鹽形成)可以進一步抑制在加熱前、後比電阻值的下降。另外，可以提高金屬磁性顆粒10的體積佔有率，並可以獲得具有優異的磁性的壓粉鐵心。上面披露的實施方案和實施例是示意性的，而不應將其視為限制性的，本發明的實質和範圍不是由以上的例子所限定的，而是由所附的權利要求書限定，並且本發明旨在包括在權利要求範圍內的所有修改和改變。工業實用性本發明適用於製造由壓製成形的軟磁性粉末製成的(例如)電機鐵心、電磁閥、反應器或其它電磁部件。權利要求1.一種軟磁性材料，其包含多個複合磁性顆粒(40)；所述多個複合磁性顆粒(40)中的每一個均具有包含鐵的金屬磁性顆粒(10)；下層膜(20)，該下層膜(20)包圍所述金屬磁性顆粒(10)的表面並包含非鐵金屬；以及上層絕緣膜(30)，該上層絕緣膜(30)包圍所述下層膜(20)的表面並包含無機化合物，所述無機化合物包含氧和碳中的至少任意一種元素，以及就所述無機化合物所包含的氧和碳中的至少任一種元素而言，所述非鐵金屬與該元素的親和性較鐵與該元素的親和性大。2.根據權利要求1所述的軟磁性材料，其中所述非鐵金屬包括選自鋁、鉻、矽、鈦、釩和鎳中的至少一種元素。3.根據權利要求l所述的軟磁性材料，其中所述下層膜(20)的平均厚度為不小於50nm且不大於lpm。4.根據權利要求1所述的軟磁性材料，其中所述上層膜(30)的平均厚度為不小於10nm且不大於lpm。5.根據權利要求1所述的軟磁性材料，其中所述無機化合物由含有選自鋁、鋯、鈦、矽、鎂、鐵和磷中的至少一種元素的化合物構成。6.根據權利要求1所述的軟磁性材料，其中所述無機化合物為含磷化合物和由金屬醇鹽形成的無機化合物中的至少任意一種化合物，其中所述金屬醇鹽含有選自鋁、鋯、鈦、矽、鎂和鐵中的至少一種元素。7.根據權利要求6所述的軟磁性材料，其壓縮密度的變化率小於5%。8.根據權利要求6所述的軟磁性材料，其在加熱前後的體積電阻率值的變化率最多為20%。9.一種製造根據權利要求6所述的軟磁性材料的方法，該方法包括下層膜形成步驟，在所述金屬磁性顆粒(10)的表面上形成所述的下層膜(20);以及在所述的下層膜形成步驟之後進行的上層膜形成步驟，該步驟包括將金屬醇鹽溶液加入通過將所述金屬磁性顆粒(10)分散到有機溶劑中獲得的懸浮液中；將所得懸浮液風千；以及將所得粉末在至少為6(TC到最高為12(TC的溫度下乾燥。10.根據權利要求9所述的軟磁性材料的製造方法，其中所述上層膜形成步驟還包括將磷酸溶液加入已經加有所述金屬醇鹽溶液的所述懸浮液中的步驟。11.一種壓粉鐵心，其是使用根據權利要求1所述的軟磁性材料製造的。12.根據權利要求11所述的壓粉鐵心，其還包含有機物(50)，該有機物(50)置於所述多個複合磁性顆粒(40)之間，從而將所述多個複合磁性顆粒(40)結合在一起，並且所述有機物(50)包括選自聚乙烯樹脂、有機矽樹脂、聚醯胺樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、環氧樹脂、酚醛樹脂、丙烯酸樹脂和聚四氟乙烯中的至少一種。13.—種製造根據權利要求11所述的壓粉鐵心的方法，該方法包括如下步驟通過將所述的多個複合磁性顆粒(40)壓製成形，從而形成成形體；以及將所述成形體在不低於50(TC的溫度下進行熱處理。14.一種軟磁性材料，其包含多個複合磁性顆粒(40);所述多個複合磁性顆粒(40)中的每一個均具有包含鐵的金屬磁性顆粒(10);下層膜(20)，該下層膜(20)包圍所述金屬磁性顆粒(10)的表面並包含非鐵金屬；以及上層絕緣膜(30)，該上層絕緣膜(30)包圍所述下層膜(20)的表面並包含無機化合物，所述無機化合物包含氧和碳中的至少任意一種元素，以及就所述無機化合物所包含的氧和碳中的至少任一種元素而言，該元素在非鐵金屬中的擴散係數較其在鐵中的擴散係數小。15.根據權利要求14所述的軟磁性材料，其中所述非鐵金屬包括選自鋁、鉻、矽、鈦、釩和鎳中的至少一種元素。16.根據權利要求14所述的軟磁性材料，其中所述下層膜(20)的平均厚度為不小於50nm且不大於lpm。17.根據權利要求14所述的軟磁性材料，其中所述上層膜(30)的平均厚度為不小於10nm且不大於lpm。18.根據權利要求14所述的軟磁性材料，其中所述無機化合物由含有選自鋁、鋯、鈦、矽、鎂、鐵和磷中的至少一種元素的化合物構成。19.根據權利要求14所述的軟磁性材料，其中所述無機化合物為含磷化合物和由金屬醇鹽形成的無機化合物中的至少任意一種化合物，其中所述金屬醇鹽含有選自鋁、鋯、鈦、矽、鎂和鐵中的至少一種元素。20.根據權利要求19所述的軟磁性材料，其壓縮密度的變化率小於5%。21.根據權利要求19所述的軟磁性材料，其在加熱前後的體積電阻率值的變化率最多為20%。22.—種製造根據權利要求19所述的軟磁性材料的方法，該方法包括下層膜形成步驟，在所述金屬磁性顆粒(10)的表面上形成所述的下層膜(20);以及在所述的下層膜形成步驟之後進行的上層膜形成步驟，該步驟包括將金屬醇鹽溶液加入通過將所述金屬磁性顆粒(10)分散到有機溶劑中獲得的懸浮液中；將所得懸浮液風乾；以及將所得粉末在至少為6(TC到最高為12(TC的溫度下乾燥。23.根據權利要求22所述的軟磁性材料的製造方法，其中所述上層膜形成步驟還包括將磷酸溶液加入己經加有所述金屬醇鹽溶液的所述懸浮液中的步驟。24.—種壓粉鐵心，其是使用根據權利要求14所述的軟磁性材料製造的。25.根據權利要求24所述的壓粉鐵心，其還包含有機物(50)，該有機物(50)置於所述多個複合磁性顆粒(40)之間，從而將所述多個複合磁性顆粒(40)結合在一起，並且所述有機物(50)包括選自聚乙烯樹脂、有機矽樹脂、聚醯胺樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、環氧樹脂、酚醛樹脂、丙烯酸樹脂和聚四氟乙烯中的至少一種。26.—種製造根據權利要求24所述的壓粉鐵心的方法，該方法包括如下步驟通過將所述的多個複合磁性顆粒(40)壓製成形，從而形成成形體；以及將所述成形體在不低於50(TC的溫度下進行熱處理。全文摘要本發明涉及軟磁性材料，其包含多個複合磁性顆粒(40)。該多個複合磁性顆粒(40)中的每一個均具有包含鐵的金屬磁性顆粒(10)；下層膜(20)，該下層膜(20)包圍所述金屬磁性顆粒(10)的表面並包含非鐵金屬；以及上層絕緣膜(30)，該上層絕緣膜(30)包圍所述下層膜(20)的表面並包含無機化合物。所述無機化合物至少包含氧和碳中的任意一種元素。所述非鐵金屬與氧和碳中的至少一種元素的親和性大於鐵與氧和碳中的所述那至少一種元素的親和性。氧和碳中的至少一種元素在所述非鐵金屬中的擴散係數小於其在鐵中的擴散係數。因此，本發明提供了具有所需磁性的軟磁性材料、軟磁性材料的製造方法、壓粉鐵心以及壓粉鐵心的製造方法。文檔編號H01F1/33GK101233586SQ20068002826公開日2008年7月30日申請日期2006年7月20日優先權日2005年8月3日發明者豐田晴久,五十嵐直人,前田徹,廣瀨和弘,林一之,森井弘子,石谷誠治申請人:住友電氣工業株式會社;戶田工業株式會社