加熱幹膠片及在幹膠片上烘烤光致抗蝕劑膜的方法和設備的製作方法
2023-09-21 08:36:25 2
專利名稱：加熱幹膠片及在幹膠片上烘烤光致抗蝕劑膜的方法和設備的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種加熱幹膠片的方法、在幹膠片上烘烤光致抗蝕劑膜的方法、加熱幹膠片的設備和在幹膠片上烘烤光致抗蝕劑膜的設備。具體地說，本發明涉及一種在光刻法中均勻加熱幹膠片以形成光致抗蝕劑圖形的方法、在幹膠片上均勻烘烤光致抗蝕劑膜以形成光致抗蝕劑圖形的方法、實施該加熱方法的設備和實施該烘烤方法的設備。
製造半導體裝置一般包括光刻法，其中幹膠片被液體光致抗蝕劑(PR)塗敷，形成PR膜。PR膜被由光源產生的並通過遮蔽物或分劃板的光曝光形成圖形。然後將圖形顯影，通過這些步驟將幹膠片加熱至預定溫度幾次。
由此實施該光刻法的設備需要PR塗敷機、曝光裝置、顯影劑和烘烤單元。該技術的目前趨勢是使用該系統，其中PR塗敷機、顯影劑和烘烤單元組合在一起，由此移動裝置間的幹膠片所需的距離和時間被減少到最小。換句話說，該組合系統能夠高效率地實施常規的光刻法。
PR塗敷機一般是實施自旋塗布方法的類型，其中幹膠片以預定的速度旋轉，將光致抗蝕劑溶液噴在旋轉的幹膠片上。結果，通過離心力，光致抗蝕劑均勻地分散在幹膠片上。
一般認為在製造半導體裝置過程中的幹膠片的加熱包括4個步驟。第一個步驟是在預定溫度下加熱幹膠片以從幹膠片的表面蒸發有機材料或雜質的預烘烤步驟。第二步是在用光致抗蝕劑塗敷幹膠片後，立刻加熱幹膠片以便乾燥光致抗蝕劑，和將光致抗蝕劑膜牢固附在幹膠片表面上的軟烘烤步驟。第三步是加熱已經曝光的光致抗蝕劑的曝光後烘烤(PEB)步驟(後述)。第四步是在光致抗蝕劑膜顯影后立刻加熱幹膠片，以便將得到的光致抗蝕劑圖形牢固附在幹膠片表面上的硬烘烤步驟。
當曝光裝置包括紫外線(UV)和深紫外線(DUV)光源時，根據基質如幹膠片的反射率和折射率和用光照射的光致抗蝕劑膜的光吸收率，光衍射和產生幹涉。反過來，幹涉現象造成光致抗蝕劑的圖形的輪廓反常和圖形的臨界尺寸不均勻。進行PEB步驟以補償這些問題。在PEB步驟中，在預定的溫度下加熱曝光的光致抗蝕劑膜，重新排列由於熱擴散光學分解的樹脂，由此清潔曝光圖形的輪廓截面。當曝光源是DUV光時，化學加強的抗蝕劑用作光致抗蝕劑。通過熱處理曝光的化學加強的抗蝕劑部分變為溶於顯影溶液中的酸。另外，由於鏈反應，發生化學加強的抗蝕劑的改變，這樣在PEB中的用在整個幹膠片上的熱平衡，對光致抗蝕劑圖形的臨界尺寸的均勻性有很大影響。
因此，均勻加熱整個幹膠片表面在增加產率方面是很重要的。如在
圖1中所示的常規烘烤單元的加熱裝置包括下層板2，其中裝有電熱源即加熱器21。加熱器21正好位於支撐有幹膠片100的上層板1的下表面的下面。參照圖2和3，在下層板2的上表面中形成螺旋狀的槽22，加熱器21位於槽22中。在該結構中，通過加熱器21產生的熱從下層板2轉移至上層板1以加熱上層板1的幹膠片100。另外，通過使用裝在下層板2上的溫度傳感器(未顯示)檢測上層板1的溫度，反饋控制加熱器21的功率，以使溫度保持在預定的範圍內。在常規的加熱裝置中，通過上層板和下層板1和2的板體分別進行加熱。結果，如下所討論的，在上層板1的表面產生非均勻的熱分布。
圖4是說明在通過常規加熱裝置加熱的幹膠片表面溫度的溫度分布圖表，其中相鄰的等溫線間的溫度差是0．02℃。如圖4所示，溫度分布不規則和反常地扭曲，最冷和最熱區域間的溫度差約1．76℃。在該圖中，越過幹膠片中心的粗等溫線A表示的溫度是145．31℃，等溫線B表示的溫度是146．28℃，等溫線C表示的溫度是144．32℃。從該溫度分布可以看出，幹膠片的表面溫度逐漸在粗等溫線A的一側增加，在幹膠片的外圍部分達到146．28℃，逐漸在粗等溫線A的另一側下降，在幹膠片的另一外圍部分達到144．32℃。該不規則的溫度分布和寬的溫度差對如上所述的產率有很大的影響。因此，無論如何必須改善通過加熱幹膠片產生的溫度分布。
圖5是表示當用常規的加熱設備加熱幹膠片時幹膠片的溫度區域的變化的溫度-時間圖，圖6表示測量幹膠片表面溫度的位置。這些位置包括幹膠片表面的中心和與幹膠片表面中心同心的在2個圓周上的各個點。
參照通過讀取上述各點處的溫度獲得的溫度變化，如圖5所示，溫度在任何給定的時間處的測量值非常不同。而且，在預定時間過後，溫度急劇下降(圖中的D區)。這樣大的溫度差不但給予幹膠片而且給予幹膠片上的光致抗蝕劑膜嚴重的熱衝擊。該熱衝擊對光致抗蝕劑膜的物理化學特性有負面影響。
因此，上述常規的加熱設備妨礙了光刻法在幹膠片上成功形成具有正常輪廓和均勻臨界尺寸的光致抗蝕劑。這個問題特別嚴重，因為圖形設計規則越來越細(例如0．25μm，0．18μm和0．15μm)以響應提高集成電路水平的需要。因此，常規的加熱設備對提高產率是個阻礙。
如前所述，本發明的第一個目的是提供均勻加熱物體如幹膠片的方法和設備。
本發明的另一個目的是提供均勻加熱幹膠片的方法和設備，以便避免將對幹膠片和在幹膠片上形成的光致抗蝕劑膜施加的熱衝擊或將其減小到最小。
本發明的再一個目的是提供均勻烘烤在幹膠片上的光致抗蝕劑膜的方法和設備，以便避免或至少將施加的熱衝擊減小到最小，以減少由此招致的臨界尺寸的差別。
根據本發明的一個方面，在均勻加熱物體的方法中，給第一個固體熱轉移介質供熱。熱從第一個固體熱轉移介質傳輸到流體熱轉移介質，該介質被劃分為多個互相連接的蒸發腔，每個腔含有液體。熱量造成在多個相應的蒸發腔內液體蒸發成為多個蒸汽部分，多個蒸汽部分被平行導向上方的物體。蒸汽部分接觸第二個固體熱轉移介質，以加熱第二個固體熱轉移介質，由此將熱傳輸至第二個固體熱轉移介質。第二個固體熱轉移介質和物體熱接觸，以把熱從第二個固體熱轉移介質傳輸至物體。
根據本發明的另一個方面，在烘烤乾膠片上光致抗蝕劑膜的方法中，將光致抗蝕劑溶液塗敷在幹膠片上以形成光致抗蝕劑膜。光致抗蝕劑膜被曝光後，幹膠片被轉移到熱板上。在熱板上，給第一個固體熱轉移介質供熱。熱從第一個固體熱轉移介質傳輸至流體熱轉移介質，該介質被劃分為多個互相連接的蒸發腔，每個腔含有液體。熱造成在多個相應的蒸發腔內液體蒸發成為多個蒸汽部分，多個蒸汽部分被平行導向上方的物體。蒸汽部分接觸第二個固體熱轉移介質，以加熱第二個固體熱轉移介質，由此將熱傳輸至第二個固體熱轉移介質。第二個固體熱轉移介質和物體熱接觸，以把熱從第二個固體熱轉移介質傳輸至物體。
根據本發明的另一方面，可以使用加熱幹膠片的上述方法來形成光致抗蝕劑圖形。在幹膠片上塗敷光致抗蝕劑溶液以形成光致抗蝕劑膜後，光致抗蝕劑膜被曝光，如通過深紫外線曝光。曝光的光致抗蝕劑膜被顯影，以形成第一個具有第一尺寸的第一開口的光致抗蝕劑圖形。在預定的溫度下通過上述加熱方法加熱幹膠片，以便回流第一個光致抗蝕劑圖形，形成具有尺寸比第一尺寸小的第二尺寸的第二開口的第二個光致抗蝕劑圖形。
根據本發明的再一個方面，加熱物體的設備包括第一固體熱轉移介質，和熱結合至第一固體熱轉移介質的流體熱轉移介質，該流體熱轉移介質被劃分成多個互相連接的蒸發腔。設備還包括熱結合至流體熱轉移介質的第二固體熱轉移介質，用於和物體熱接觸。多個蒸發腔在第一和第二固體熱轉移介質間以相同的平面延伸。
根據本發明的再另一方面，幹膠片加熱設備包括加熱元件、熱結合至加熱元件的底部的固體熱轉移介質、熱結合至下面固體熱介質的上表面的第一固體熱轉移介質和第二固體熱轉移介質，第二介質具有放置幹膠片的表面，並且熱結合至與所述放置幹膠片的表面相對的所述的第一固體熱轉移介質。設備進一步包括流體熱轉移介質，其由多個放在所述第一和第二固體熱轉移介質間的互相連接的蒸發腔限定。
參照附圖詳細描述發明的實施方案，本發明的上述目的和其它優點將變得更顯而易見，其中圖1是常規烘烤單元的加熱幹膠片設備的截面示意圖；圖2是常規幹膠片加熱設備的熱源的平面圖；圖3是常規幹膠片加熱設備的熱源部分的放大圖；圖4是用常規幹膠片加熱設備加熱的幹膠片的表面溫度分布圖；圖5是表示當用常規幹膠片加熱設備加熱幹膠片時，幹膠片的溫度區域相對時間變化的曲線圖；圖6表示測量通過常規幹膠片加熱設備加熱的幹膠片的表面溫度，以產生圖5所示的溫度分布圖的位置點；圖7是本發明的幹膠片加熱設備的第一實施方案的側視圖；圖8是本發明的幹膠片加熱設備的熱源的截面示意圖；圖9是熱源部分的放大圖；圖10是本發明的幹膠片加熱設備的第二實施方案的側視圖；圖11A是在本發明的幹膠片加熱設備的第二實施方案中採用的網格的透視圖；圖11B是適合用於本發明幹膠片加熱設備的第二實施方案中另一形式的網格透視圖；圖12是本發明的幹膠片加熱設備的第三實施方案的側視圖；圖13是本發明的幹膠片加熱設備的第四實施方案的側視圖；圖14是本發明的幹膠片加熱設備的第五實施方案的截面示意圖；圖15是在本發明的幹膠片加熱設備的第五實施方案中採用的固體加熱介質的底視圖；圖16是本發明的幹膠片加熱設備的第六實施方案的截面示意圖；圖17是本發明的幹膠片加熱設備的第七實施方案的截面示意圖；圖18是在本發明的幹膠片加熱設備的第七實施方案中採用的冠狀體的截面示意圖；圖19是通過本發明的幹膠片加熱設備加熱的幹膠片的表面溫度分布圖；圖20是通過本發明的幹膠片加熱設備的另一幹膠片的表面溫度分布圖；圖21表示當通過本發明的幹膠片加熱設備加熱幹膠片時，在幹膠片的溫度區域相對時間變化的曲線圖；圖22是表示本發明的加熱幹膠片設備的第八實施方案的透視圖；圖23是沿著如圖22所示的E-E′的幹膠片加熱設備的剖視圖；圖24是圖23的F部分的放大圖；圖25是主要熱轉移體的一個實施方案的內部劃分壁的設計平面剖視示意圖；圖26是主要熱轉移體的另一個實施方案的內部劃分壁的設計平面剖視示意圖；圖27是底部固體熱轉移介質的底部透視圖；圖28是熱單元(heat block)連在其下面的常規熱轉移介質的剖視圖，包括說明溫度分布的等溫線圖；圖29是根據本發明的一個實施方案，熱單元(heat block)連在其下面的熱轉移介質的剖視圖，包括說明溫度分布的等溫線圖；圖30是根據本發明的另一個實施方案，熱單元(heat block)連在其下面的熱轉移介質的剖視圖，包括說明溫度分布的等溫線圖；圖31是說明如圖28-30所示的主要熱轉移體的最高表面溫度的曲線圖；圖32A-32D是說明根據本發明的一個實施方案，利用本發明的加熱設備，形成光致抗蝕劑圖形的方法的剖視圖；圖33是表示用如圖25所示的主要熱轉移加熱的幹膠片表面溫度分布的等溫線圖；圖34是表示用如圖26所示的主要熱轉移加熱的幹膠片表面溫度分布的等溫線圖；圖35是在使曝光的光致抗蝕劑膜顯影后獲得的第一開口的臨界尺寸(CD)分布圖，利用如圖22和26所示的主要熱轉移介質，該光致抗蝕劑膜已經被後烘烤(post-baked)；圖36是通過如圖1和2所示的主要熱轉移介質獲得的第二開口的臨界尺寸分布圖；和圖37是通過如圖22和26所示的主要熱轉移介質獲得的第二開口的臨界尺寸分布圖。
下面詳細描述本發明的優選實施方案。
首先參照圖7，根據本發明的第一實施方案的幹膠片加熱設備包括直接和其接觸的支撐幹膠片100的固體熱轉移介質10，熱源20和放在固體介質10和熱源20間的流體熱轉移介質30。通過用熱源20加熱介質和讓介質冷卻，流體介質30的狀態在蒸汽狀態和液體狀態間可以改變。這裡，固體熱轉移介質10和熱源20中的箭頭說明熱移動的方向，流體熱轉移介質30中的箭頭說明流體介質的移動方向。和固體熱轉移介質10相鄰的流體熱轉移介質30的部分處於蒸汽狀態，和熱源20相鄰的流體熱轉移介質30的部分處於液體狀態。流體熱轉移介質30從熱源20吸收熱，並朝固體熱轉移介質10方向移動同時蒸發。當流體熱轉移介質30的蒸汽接觸固體熱轉移介質10時，它將熱傳輸至固體熱轉移介質10。熱的轉移冷卻蒸汽，造成蒸汽冷凝，由此得到的液體向熱源20移動。通過流體熱轉移介質30從熱源20吸收熱和將熱轉移至固體介質10是連續循環的，在此期間流體熱轉移介質30的相變連續發生。流體熱轉移介質的相變取決於流體介質的臨界溫度和壓力。
熱轉移的循環發生在本發明的封閉空間，與發生在常規加熱設備中的熱轉移循環相比非常快。本發明的流體介質快速均勻地將熱轉移至固體熱轉移介質10的表面，在此，熱均勻地轉移至在固體介質10上支撐的幹膠片100。因此，幹膠片100的表面被熱快速和均勻地被加熱，熱量均勻地分布在整個固體熱轉移介質10上。
如圖8和9所示，熱源20包括含有電加熱線圈的加熱器203，含有加熱器203的上和下加熱單元201和202。更具體地說，加熱器203包含形成在上加熱器單元201的下表面或形成在下加熱器單元202的上表面形成的槽204內。
根據本發明的第二個實施方案，如圖10所示，包含流體熱轉移介質30在內的空間可被劃分為多個區域。
現在參照圖10，多個隔板301設在固體熱轉移介質10和熱源20之間。因此，流體熱轉移介質30存在於被多個隔板301劃分的區域內，相變發生在由多個隔板301劃界的獨立的空間中。
隔板301可構成具有矩形或蜂巢狀單元的網格302，如圖11A和11B所示。優選網格302單元的截面這樣設計，以便對流體熱轉移介質30來說單元相當於毛細管。
參照圖12，根據本發明的第三個實施方案，在網格302的單元內提供具有分散區的耐火多孔體303，與熱源20接觸。因此流體熱轉移介質30填充多孔體303的腔。包含在耐火多孔體303腔內的流體熱轉移介質30被快速加熱和蒸發。另外，腔作為毛細管，促進流體熱轉移介質30的移動性。
或者，如圖13所示，本發明第四個實施方案的耐火多孔體303是放在固體熱轉移介質10和熱源20間的單一物體。在此情況下，耐火多孔體303緊密地附著在熱源20和固體熱轉移介質10兩者的內表面，或附著在熱源20的內表面或固體熱轉移介質的內表面。
圖14和15表示本發明的加熱設備的第五個實施方案。在該實施方案中，固體熱轉移介質10附著於熱源20，在固體熱轉移介質10和熱源20間的界面形成含流體熱轉移介質30的槽101。
特別地，槽101在固體熱轉移介質10的底表面形成，但在某些情況下在熱源20的表面形成。槽101在固體熱轉移介質10和熱源20間的界面形成封閉的環，流體熱轉移介質30可通過該環循環。槽101的末端101a在固體熱轉移介質10或熱源20的側面打開，以使流體熱轉移介質30可以放入槽101內。塞子10a封閉槽101的打開端101a。
在該結構中，當流體熱轉移介質30沿著槽101循環時，由於上述的熱吸收和熱傳輸，流體熱轉移介質30的相發生改變。流體熱轉移介質30的環離開固體熱轉移介質10和熱源20直接互相接觸的部分。因此，熱也通過固體熱傳輸介質10和熱源20的接觸部分從熱源20傳輸至固體熱轉移介質10。
但是，通過流體介質30在槽101內循環的熱轉移速率，比通過固體介質10和熱源20的接觸部分的直接熱轉移的流速快。
同時，槽101可具有除了單一封閉的環以外的形狀。即在固體熱轉移介質10的下表面或熱源20的表面中形成多個槽101。多個槽101以固定的間隔穿過固體熱轉移介質10和熱源20間的界面布置。各個獨立的槽形成不連續的封閉空間，在其中流體熱轉移介質30發生相變。
圖16表示本發明的第六個實施方案，其中槽101形成多個上述獨立的空間。現參照圖16，多個槽101在熱源20的上表面形成。使槽101相互分離的壁104具有三角形的形狀。每個三角形壁104的頂點和固體熱轉移介質10的下表面接觸。壁104和固體熱轉移介質10間的最小接觸將從前者到後者的熱轉移減小到最小。
圖17表示本發明的第七個實施方案，其中冠狀(管狀)體102在槽101中延伸。流體熱轉移介質包含在冠狀體102中。在該結構中，槽101在固體熱轉移介質10和熱源20間的界面處的封閉環內延伸。
參照圖18，冠狀體102包括和流體熱轉移介質30接觸的鰭狀物103，以便促進流體熱轉移介質30的相變。鰭狀物103沿著冠狀體102以流體轉移介質30的移動方向軸向延伸。作為鰭狀物103的替代物，預定厚度的多孔層可在冠狀體102的內壁形成。
根據如上所述的本發明，流體熱轉移介質必須是其相發生變化的，相變發生在半導體生產過程中如光刻法中，預定的加熱幹膠片的溫度範圍內的蒸汽和液體間。當考慮將幹膠片加熱至預定溫度為200℃至300℃之間時，流體熱轉移介質可以是但不限於水、乙醇、甲醇、丙酮、氨水或氟利昂。
特別地，用於本發明的各個實施方案中的液體的選擇很大程度上取決於物體要加熱到的溫度範圍。儘管本發明不受此限制，下表顯示出在指出的溫度範圍內的所採用的各個液體的實例。
同樣，固體熱轉移介質材料的選擇在很大程度上取決於所採用的液體。儘管本發明不限於此，下表顯示出對所指出流體的建議的和不建議的材料的實例。
表面溫度分布Ⅰ圖19和20是表示由本發明實施方案的加熱設備加熱的幹膠片表面溫度分布的等溫線圖。從這些圖中可以看出，等溫線是環形的，幹膠片的中心具有最高的溫度，溫度以均勻的方式從中心開始並朝幹膠片的外圍移動而下降。也可以清楚地看出圖20所示等溫線分布優於圖19所示的分布。
在圖19的等溫線圖中，最高溫度和最低溫度的差是0．73℃，粗等溫線指示出的溫度是155．63℃，幹膠片中心的溫度是156．00℃，幹膠片外圍的最低溫度是155．26℃。在圖20的等溫線圖中，最高溫度和最低溫度的差是0．72℃，粗等溫線指示出的溫度是155．63℃，幹膠片中心的溫度是156．96℃，幹膠片外圍的最低溫度是155．32℃。
從圖19和20可以看出，幹膠片的溫度在幹膠片的表面上具有均勻的分布，特別地，最高和最低溫度間的偏差0．73℃和0．72℃是不能從常規幹膠片加熱設備中獲得的優良結果。
圖21是表示當通過本發明的一個實施方案的加熱設備加熱幹膠片時，從多個測量點得到的溫度-時間變化曲線圖。如圖21所示，加熱開始後，溫度急劇升高，熱振動即相對一段時間溫度的變化是平緩的。特別地，當使用常規加熱設備而產生的溫度突然下降在實施本發明的實施方案時不會發生。這種在幹膠片上很小的溫度變化和小的熱振動，顯示出施加在幹膠片和在幹膠片上形成的光致抗蝕劑膜上的熱震動非常微弱。
根據上述的本發明的實施方案，具有非常小的溫度偏差的幹膠片的穩定加熱，顯著降低了在幹膠片上和在幹膠片上形成的光致抗蝕劑膜上的熱震動的強度，特別地，可以用正常的和均勻的溫度分布來加熱幹膠片。因此，本發明能夠成功地形成較細的圖形，即使當臨界尺寸的設計要求是0．25μm、0．18μm或0．15μm也是一樣，隨著集成電路水平的提高，產量也顯著增加。
圖22是表示本發明幹膠片加熱設備的第八個實施方案的透視圖。
參照圖22，起幹膠片加熱設備作用的熱板500包括主要熱轉移體510和底部固體熱轉移介質520，使每個構形成為相同大小的但比要加熱的幹膠片大的環狀板。底部固體熱轉移介質520放在主要熱轉移體510的下表面。
在主要熱轉移體510的上表面部分，形成圓的和淺的溝512來接收要加熱的幹膠片。另外，在上表面部分的外圍區域提供多個幹膠片的導向器513。當把幹膠片放在溝512上時，幹膠片導向器513引導幹膠片。溝512減少了幹膠片上空氣的引入，因此降低了不需要的空氣的影響。
圖23是沿如圖22所示的E-E』的熱板500的剖視圖。圖24是圖23的F部分的放大圖。
參照圖23，主要熱轉移體510包括第一固體熱轉移介質514和第二固體熱轉移介質516。最好整體形成介質514和516，並使其成形為尺寸比幹膠片大的圓形板。在主要熱轉移體510的底部提供第一固體熱轉移介質514，在主要熱轉移體510的上部提供第二固體熱轉移介質516。如上所述，在第二固體熱轉移介質516的上部形成接收幹膠片的溝512。
從這些圖形可以看出，在第一固體熱轉移介質514和第二固體熱轉移介質516的外圓周形成環形的外側壁518。也就是說，通過外側壁518整體形成第一固體熱轉移介質514和第二固體熱轉移介質516。另外，形成流體熱轉移介質的腔515被確定在第一和第二固體熱轉移介質514和516之間。
腔515位於溝512的下面，其外部區域一般也具有環形構型。當腔515的直徑2r小於主要熱轉移體510(或第一和第二固體熱轉移介質514和516)的直徑2R0約0．9倍時，在烘烤乾膠片上塗敷的光致抗蝕劑膜時發生不需要的熱轉移。當腔515的直徑2r超過主要熱轉移體510的直徑2R00．98倍時，具有腔515的主要熱轉移體510的製造將變得困難。因此，腔515的直徑2r優選是主要熱轉移體510的直徑2R0的約0．9-0．98倍，更優選是約0．94-0．98倍。特別地，當加熱8英寸幹膠片的主要熱轉移體510的直徑2R0是240mm時，腔515的直徑2r約225-235mm，更具體地是約230mm。
在腔515中，提供多個內部隔離壁530將腔515分成多個互相連接的小的蒸發腔515a、515b、515c等，由此多個蒸汽部分被從第一固體熱轉移介質514平行導向第二固體熱轉移介質516。
如圖24所示，將液體540放在腔515內。形成腔515的每個蒸發腔515a、515b、515c等在其上部有彎曲的截面形狀。在從第一固體熱轉移介質514吸收熱時，液體540蒸發。蒸發的液體即蒸汽542朝著第二固體熱轉移介質516被平行導入蒸發腔515a、515b、515c等。在每個腔的頂部，蒸汽542和第二固體熱轉移介質516接觸，以部分冷凝成為液體狀，同時將蒸汽542的潛熱轉移至第二固體熱轉移介質516。冷凝的液體544沿著在內隔離壁530的內表面(彎曲的頂和側壁)形成的路徑返回至第一固體熱轉移介質514。
從第一固體熱轉移介質514至第二固體熱轉移介質516的熱轉移連續進行，同時液體540蒸發和蒸汽542冷凝，由此熱從第一固體熱轉移介質514均勻地轉移至第二固體熱轉移介質516。
如上所述，通過多個內隔離壁530，腔515被分成多個較小的蒸發腔515a、515b、515c等，將蒸汽542平行導向第二固體熱轉移介質516。
當液體540所佔的體積小於腔515的體積約15％時，蒸汽的產生將變得不充分。另一方面，當液體540所佔的體積超過腔515的體積約25％時，由於從液體540到第二固體熱轉移介質516的距離短，產生的蒸汽的混合不充分，由此造成非均勻熱轉移。因此，液體540所佔的體積優選是腔515體積的約15-25％，但更優選是20％。
作為液體介質，在本發明的實施方案中優選使用全氟碳型惰性溶劑。全氟碳型惰性溶劑的實例包括FC-72、FC-40、FC-43、FC-70(由3MKorea Co．Ltd生產的商標名)等。其中，優選的溶劑具有比預定溫度加100℃之和更高的臨界溫度(在大氣壓下)。例如，FC-40溶劑的沸點是155℃，臨界點是270℃。
主要轉移體500的厚度約10-12mm，優選11mm。當主要轉移體500的厚度是11mm時，由內隔離壁530限定的蒸發腔515a、515b、515c等的寬度W是5-7mm，優選是6mm，高度H是5-6mm，優選是5．5mm。
由於蒸發腔515a、515b、515c等的存在，第一固體熱轉移介質514的厚度在2-4mm範圍內變化，第二固體熱轉移介質516的厚度在1-2mm範圍內變化，優選的是在溝512處為1．5mm。另外，內隔離壁530的厚度Wp在約2-3mm範圍內變化。
在該實施方案中，第一和第二固體熱轉移介質514和516的厚度沒有上述限制，只要主要熱轉移體510能夠製造就行。隔離的空間515的高度H優選的是主要熱轉移體510厚度T的0．4-0．6倍。
圖25是主要熱轉移體510的實施方案的剖示示意圖，特別顯示了內隔離壁530的布置。
參照圖25，腔515的水平面是由如外側壁518限定的圓形。另外，在腔515中提供多個內隔離壁530，以便快速和呈螺旋形地(或環形地)將腔515分成多個蒸發腔515a、515b、515c等。
特別地，內隔離壁530首先在腔515內以螺旋構型形成。然後，徑向分割內隔離壁530，以便從中心至主要熱轉移體510的圓周形成5個徑向混合路徑。因此，如圖25所示，每個螺旋形被分成5個徑向扇面，每個的角度θ1約72度。
參考數505指的是用來將主要熱轉移體510和底部固體熱轉移介質520結合在一起的螺旋孔。
圖26是主要熱轉移體510的另一個實施方案的剖視示意圖，特別顯示了內隔離壁530的另一個布置圖。
參照圖26，內隔離壁530以同心環的形式設置，並且在腔515內比圖25所示的實施方案設置得更密集。即，在該實施方案中，蒸發腔515a、515b、515c等的每個環被分成24個徑向扇面，每個的角度θ2約15度。
更具體地說，腔515以環形方向被分成多個同心環形狀的蒸發腔515ca、515cb、515cc等。而且，每個環形蒸發腔515ca、515cb、515cc以徑向方向被進一步分成多個弧形蒸發腔515ca1、515ca2、…515cb1、515cb2、...515cc1、515cc2…等。
圖27是底部固體熱轉移介質520的透視底視圖。如圖所示，在底部固體熱轉移介質的下表面形成螺旋槽522。在該螺旋槽522中，裝有加熱器524如加熱圈。加熱器524和電源(未顯示出)連接。當電流加到加熱器524上時，產生熱量，首先加熱底部熱轉移介質520。
在主要熱轉移體510的圓周區域，由於和空氣接觸，產生大量的熱損失。因此，在本發明優選的實施方案中，在底部固體熱轉移介質520的底表面的外圓周區域的間距Po(其中半徑r大於約0．75Ro，Ro是主要熱轉移體510的半徑)比在中心部位的間距Pc短。該構型補償了在圓周區域的熱損失。根據本發明人的實驗，優選的是在外圓周區域的間距Po是中心部位的間距Pc的0．1-0．5倍。
下面詳細說明幹膠片的加熱原理。
首先，給裝在位於底部固體熱轉移介質520底表面處的螺旋槽522中的加熱器524提供電流，由此產生熱。熱轉移至與第一固體熱轉移介質514接觸的底部固體熱轉移介質520。
接著熱從底部固體熱轉移介質510轉移到第一固體熱轉移介質514。
在第一固體熱轉移介質514上，腔515含有液體540，並裝有外側壁518和多個內隔離壁530。
從第一固體熱轉移介質514，通過從側壁518和內隔離壁530的傳導，熱被轉移至第二固體介質516。但是，當與通過包含在腔515中的液體540進行的熱轉移相比，該熱傳導非常小。
即，第一固體熱轉移介質514的大部分熱量用於加熱液體540，由此液體540蒸發成為蒸汽。蒸汽以向上的方向被平行導向第二固體熱轉移介質516，由此將熱轉移至第二固體熱轉移介質516，該介質具有接收幹膠片的溝512。
參照圖25和26，形成內隔離壁530以便具有弧形。內隔離壁530在徑向和環形(或螺旋)方向將腔515分成多個蒸發腔515a、515b、515c等。因此，當蒸汽向上移動時，蒸發腔515a、515b、515c等中的蒸汽和從相鄰的蒸發腔中的蒸汽部分混合，因此有利於均勻的溫度分布，並且均勻地將熱量轉移至第二固體熱轉移介質516。
另外，每個蒸發腔515a、515b、515c等具有截面彎曲(或環狀)的上表面。當每個被內隔離壁530導向的蒸汽部分達到蒸發腔515a、515b、515c等的上表面，並與第二固體熱轉移介質516接觸時，蒸汽部分冷凝成液體，以對第二固體熱轉移介質516產生潛熱，由此加熱第二固體熱轉移介質516。然後，冷凝液體544返回到第一固體熱轉移介質514並從第一固體熱轉移介質514吸收熱量。
與此同時，沒有冷凝但簡單冷卻的蒸汽也朝向第一固體熱轉移介質514循環。然後，返回的蒸汽和第一固體熱轉移介質514接觸以再吸收熱量，並向上導向第二固體熱轉移介質516。即，通過對流也進行熱轉移。
如圖25和26所示，從中心至圓周以徑向方式和以環形方向形成蒸汽混合路徑。因為從主要熱轉移體510的中心向外至圓周可以發生徑向的蒸汽直接混合，所以主要熱轉移體510的中心部分的蒸汽和主要熱轉移體510的圓周部分的蒸汽溫度差顯著減小。
如上所述，第二固體熱轉移介質516通過蒸發腔從第一固體熱轉移介質514接收熱量。因此加熱的固體熱轉移介質516和位於溝512的幹膠片接觸。如此，熱從均勻加熱的固體熱轉移介質516轉移至幹膠片，將幹膠片均勻加熱至所需溫度。
圖28至30是在其下連有熱單元的熱轉移介質的剖視圖，特別是說明溫度分布的等溫線圖。
圖28說明如圖1和2所示的常規熱轉移介質。如圖28所示，觀察到的最高溫度是152．447℃，最低溫度是151．566℃。
圖29說明本發明的一個實施方案，其中在溝下面形成腔，在具有規則間距的槽中提供加熱圈。如該圖所示，觀察到的最高溫度是152．769℃，最低溫度是151．259℃。
圖30說明本發明的另一個實施方案，其中形成的腔的直徑約等於主要熱轉移體的直徑的0．96倍，並且在槽中提供加熱圈，其中在圓周區域的間距比在中心區域的間距小。如該圖所示，觀察到的最高溫度是152．765℃，最低溫度是151．492℃。
從這些圖中可以看出，圖30的熱板的溫度分布是最均勻的，其次是圖29的熱板，最後是圖28的熱板。
圖31是說明圖28-30的主要熱轉移體的最高表面溫度分布的曲線圖。在圖31中，從圖28的主要熱轉移體獲得由三角形相互連接的線。從圖29的主要熱轉移體獲得由圓圈相互連接的線。從圖30的主要熱轉移體獲得由矩形相互連接的線。
從圖31中可以看出，在本發明中可以獲得主要熱轉移體的最高表面的更均勻的溫度分布。另外，通過增加腔和減少圓周區域的加熱元件的間距，最高表面的溫度分布可進一步改善。光致抗蝕劑圖形的形成圖32A-32D是說明根據本發明的一個實施方案、利用上述加熱設備形成光致抗蝕劑圖形方法的剖視圖。
參照圖32A，用自旋塗布機將含酚醛樹脂的正型光致抗蝕劑組合物塗敷在矽幹膠片610上，形成光致抗蝕劑膜612。然後，利用90-120℃的常規熱板軟烘烤光致抗蝕劑膜612達60秒。光致抗蝕劑膜612的厚度是0．8-0．9μm。
參照圖32B，利用步進器和光遮蔽物(未示出)，使光致抗蝕劑膜612選擇性地經受深紫外線614的曝光。之後，利用本發明加熱方法和包括如圖22和26所示的主要熱轉移體510的熱板，後烘烤曝光了的光致抗蝕劑膜612。在140℃-150℃的溫度下進行後烘烤30-90秒。
參照圖32C，用顯影劑使曝光的光致抗蝕劑膜612顯影1分鐘，用水洗滌約30秒，然後乾燥以除去光致抗蝕劑膜的曝光部分。形成具有第一尺寸的開口部分616的第一光致抗蝕劑圖形612a，以曝光矽幹膠片610部分。
參照圖32D，在約140-160℃的溫度下加熱第一光致抗蝕劑圖形612a約1-3分鐘。在此時，也可使用本發明的加熱方法和包括如圖22和26所示的主要熱轉移體510的熱板。然後，回流第一光致抗蝕劑膜612a，形成尺寸比第一光致抗蝕劑圖形612a的第一開口尺寸小的、具有第二尺寸的第二開口部分616a的最終的光致抗蝕劑圖形612b(由虛線顯示)。幹膠片表面溫度的測量圖33是表示通過使用圖25所示的主要熱轉移體加熱的幹膠片表面溫度分布的等溫線圖。在圖33中，在一個等溫線和與其相鄰的等溫線間的溫度差是0．04℃。在該圖中，幹膠片的中心部分的最高溫度是155．02℃，幹膠片圓周區域的最低溫度是153．91℃。溫度範圍(最高溫度和最低溫度間的溫度差)是0．97℃。由粗等溫線表示的平均溫度是154．65℃，表面溫度的標準偏差是0．31℃。
圖34是表示通過使用圖26所示的主要熱轉移體加熱的幹膠片表面溫度分布的等溫線圖。在圖34中，在一個等溫線和與其相鄰的等溫線間的溫度差是0．03℃。在該圖中，幹膠片的中心部分的最高溫度是137．97℃，幹膠片圓周區域的最低溫度是137．42℃。溫度範圍(最高溫度和最低溫度間的溫度差)是0．55℃。由粗等溫線表示的平均溫度是137．68℃，表面溫度的標準偏差是0．15℃。
從圖33和34的對比可以看出，當腔515被如圖26所示的內隔離壁以徑向方向非常緻密地分割時，可獲得更均勻的溫度分布。多個實驗的結果，已明確蒸發腔515a、515b、515c等被徑向分成18-36個具有10-20度角的徑向扇面，更優選的是15度角，溫度範圍小於0．6℃，因此獲得更均勻的溫度分布。後曝光烘烤光致抗蝕劑圖形後臨界尺寸的測量再參照圖32A，將光致抗蝕劑溶液塗敷在幹膠片610上，形成光致抗蝕劑層612，由此獲得的光致抗蝕劑層612在110℃的溫度下預烘烤約60秒。
然後如圖32B所示，光致抗蝕劑層612被深紫外線614曝光。此時，使用具有圖形以形成135nm(預定尺寸)接觸孔的遮蔽物。曝光的光致抗蝕劑層612進行後烘烤。此時，使用包括如圖22和26所示的主要熱轉移體510的熱板。為了製造主要熱轉移體510，通過使用鋁合金製造第一和第二固體熱轉移介質514和516，外側壁518和內隔離壁530。作為液體540，選擇沸點和臨界溫度分別約155℃和270℃的FC-40(從3M Korea LTD購買的商標名)。形成主要熱轉移體510後，腔515抽真空至107Torr，然後用液體540填充腔515約20％的體積。然後密封腔515。
之後，如圖32C所示，曝光的光致抗蝕劑層612進行顯影，形成具有第一開口部分616的第一光致抗蝕劑圖形612a。
圖35是使用如圖22和26所示的主要熱轉移介質將已後烘烤的曝光的光致抗蝕劑膜進行顯影后，獲得的第一開口的臨界尺寸(CD)分布圖。
當使用本發明的熱板時，最大和最小CD分別是140nm和129nm。另外，平均CD是135nm，尺寸範圍僅11nm。當可接受的尺寸範圍設定在120-150nm時，所有測量的接觸孔都具有在可接受的尺寸範圍內的尺寸。回流光致抗蝕劑圖形後，光致抗蝕劑圖形的臨界尺寸的測量仍再參照圖32A，將光致抗蝕劑溶液塗敷在幹膠片610上，以形成光致抗蝕劑層612，由此得到的光致抗蝕劑層612在110℃的溫度下預烘烤約60秒。
然後，如圖32B所示，光致抗蝕劑層612被深紫外線614曝光。此時，使用具有圖形以形成185nm接觸孔的遮蔽物。曝光的光致抗蝕劑層612進行後烘烤。此時，使用包括如圖22和26所示的主要熱轉移體的熱板。該熱板和上述在曝光後烘烤光致抗蝕劑圖形後用於CD測量的熱板一樣。
使曝光的光致抗蝕劑層612顯影，形成具有如圖32C所示的第一開口部分616的第一光致抗蝕劑圖形612a。然後，第一光致抗蝕劑圖形612a在150℃的溫度下加熱2分鐘。此時，使用相同的熱板。結果，如圖32D所示，獲得具有尺寸比第一開口部分616小的第二開口部分616a的第二光致抗蝕劑圖形612b。
為了比較，使用傳統的熱板在後烘烤和回流步驟中進行相同的操作。即用圖1和2的熱板代替本發明的熱板。
測量整個幹膠片上的每一個圖的第二開口的臨界尺寸(大小)。
圖36是通過使用如圖1和2所示的常規主要熱轉移介質獲得的第二開口的臨界尺寸(CD)分布圖。圖37是通過使用如圖22和26所示的本發明的主要熱轉移介質獲得的臨界尺寸(CD)分布圖。
從圖36可以注意到，當使用常規熱板時，最大和最小CD分別是201nm和159nm。另外，平均CD是177nm，尺寸範圍是42nm。
當使用本發明的熱板時，最大和最小CD分別是205nm和182nm。另外，平均CD是194nm，尺寸範圍是23nm，如圖37所示。
從以上可以看出，臨界尺寸範圍從42nm改善至23nm。
如上所述，當通過本發明的加熱方法加熱幹膠片時，幹膠片可被均勻加熱，溫度偏差小於1℃，或小於0．6℃。
因此，施加於幹膠片和塗敷在幹膠片上的光致抗蝕劑膜上的熱震動可顯著降低。結果，在本發明的加熱方法和設備用於後曝光烘烤步驟的情況下，在幹膠片上形成具有均勻尺寸的光致抗蝕劑圖形。另外，本發明的加熱方法和設備可有利地用於光致抗蝕劑圖形的回流，以便形成較細的光致抗蝕劑圖形。
本發明的加熱方法和設備可用於均勻加熱最好具有板形的物體的其它領域。當然，在需要均勻加熱幹膠片的半導體領域中，本發明的加熱方法和設備可有利地使用。
參照本發明的具體實施方案已經詳細地顯示和描述了本發明，但本領域技術人員應該明白在不背離由所附的權利要求書限定的本發明的精神和範圍的條件下，可對本發明在形式和細節上作各種改變。
權利要求
1．一種均勻加熱物體的方法，包括給第一固體熱轉移介質供熱；將熱量從第一固體熱轉移介質傳輸至流體熱轉移介質，該介質被劃分成多個互相連接的蒸發腔，每個腔含有液體，其中熱量在各個相應蒸發腔使液體蒸發為多個蒸汽部分，多個蒸汽部分向上被平行導向物體；將蒸汽部分和第二固體熱轉移介質接觸，以加熱第二固體熱轉移介質，由此將熱傳輸至第二固體熱轉移介質；和將第二固體熱轉移介質和物體熱接觸，以將熱從第二固體熱轉移介質傳輸至物體。
2．如權利要求1所述的加熱物體的方法，其中進一步包括產生熱量；將熱傳輸至底部固體熱轉移介質，以加熱底部固體熱轉移介質；和將底部熱轉移介質和第一固體熱轉移介質熱接觸，以將熱傳輸至第一固體熱轉移介質。
3．如權利要求1所述的加熱物體的方法，其中每個蒸發腔的上部部分具有彎曲的截面構型，多個蒸汽部分在相應的蒸發腔的上部部分和第二固體熱轉移介質接觸。
4．如權利要求3所述的加熱物體的方法，其中多個蒸汽部分部分冷凝，以產生傳輸至第二固體熱轉移介質的潛熱。
5．如權利要求1所述的加熱物體的方法，其中進一步包括冷凝多個蒸汽部分，以重新形成液體，其中液體反覆地蒸發成為蒸汽部分，蒸汽部分反覆地冷凝成為液體，以便在每個流體熱轉移介質的蒸發腔內循環。
6．如權利要求1所述的加熱物體的方法，其中每個蒸汽部分和包含在相鄰的流體熱轉移介質的蒸發腔內的蒸汽部分混合，同時被導向物體。
7．如權利要求6所述的加熱物體的方法，其中流體熱轉移介質具有環形外圓周，其中每個蒸汽部分與包含在徑向或圓形相鄰的蒸發腔中的蒸汽部分混合。
8．如權利要求1所述的加熱物體的方法，其中流體熱轉移介質具有環形外圓周，其中多個蒸發腔被劃分成多個分割成多個徑向扇面的同心的或螺旋的圓。
9．如權利要求8所述的加熱物體的方法，其中每個徑向扇面的扇面角度是約10-20度。
10．如權利要求1所述的加熱物體的方法，其中物體是塗敷在幹膠片上的光致抗蝕劑膜。
11．如權利要求1所述的加熱物體的方法，其中液體是惰性全氟碳型溶劑，該溶劑在大氣壓下具有比物體的預定溫度加100℃之和高的臨界溫度。
12．一種在幹膠片上烘烤光致抗蝕劑膜的方法，包括在幹膠片上塗敷光致抗蝕劑溶液以形成光致抗蝕劑膜；使光致抗蝕劑膜曝光；給第一固體熱轉移介質供熱；將熱量從第一固體熱轉移介質傳輸至流體熱轉移介質，該介質被劃分成多個互相連接的蒸發腔，每個腔含有液體，其中熱量在各個相應蒸發腔使液體蒸發為多個蒸汽部分，多個蒸汽部分向上被平行導向幹膠片；將蒸汽部分和第二固體熱轉移介質接觸，以加熱第二固體熱轉移介質，由此將熱傳輸至第二固體熱轉移介質；和將第二固體熱轉移介質和幹膠片熱接觸，以將熱從第二固體熱轉移介質傳輸至幹膠片，由此在幹膠片上烘烤光致抗蝕劑膜。
13．如權利要求12所述的在幹膠片上烘烤光致抗蝕劑膜的方法，其中光是深紫外線光。
14．如權利要求12所述的在幹膠片上烘烤光致抗蝕劑膜的方法，其中光致抗蝕劑膜在約140-150℃的溫度下烘烤0．5-1．5分鐘。
15．一種形成光致抗蝕劑圖形的方法，包括在幹膠片上塗敷光致抗蝕劑溶液以形成光致抗蝕劑膜，使光致抗蝕劑膜曝光，顯影曝光的光致抗蝕劑膜以形成第一光致抗蝕劑圖形，該圖形具有第一尺寸的第一開口，回流第一光致抗蝕劑圖形以形成第二光致抗蝕劑圖形，該圖形具有比第一尺寸小的第二尺寸的第二開口，其中所述的第一光致抗蝕劑圖形的回流包括給第一固體熱轉移介質供熱；將熱量從第一固體熱轉移介質傳輸至流體熱轉移介質，該介質被劃分成多個互相連接的蒸發腔，每個腔含有液體，其中熱量在各個相應蒸發腔使液體蒸發為多個蒸汽部分，多個蒸汽部分向上被平行導向幹膠片；將蒸汽部分和第二固體熱轉移介質接觸，以加熱第二固體熱轉移介質，由此將熱傳輸至第二固體熱轉移介質；和將第二固體熱轉移介質和幹膠片熱接觸，以將熱從第二固體熱轉移介質傳輸至幹膠片，由此第一光致抗蝕劑圖形被加熱以回流。
16．加熱物體的設備，所述設備包括第一固體熱轉移介質；熱結合到第一固體熱轉移介質上的流體熱轉移介質，該介質被劃分成多個互相連接的蒸發腔；熱結合到流體熱轉移介質上的第二固體熱轉移介質，用來和物體熱接觸；其中多個蒸發腔在第一和第二固體熱轉移介質之間以相同平面延伸。
17．如權利要求16所述的加熱物體的設備，其中進一步包括密封在流體熱轉移介質的多個蒸發腔內的液體。
18．如權利要求16所述的加熱物體的設備，其中進一步包括加熱元件，和在加熱元件和第一固體熱轉移介質之間熱結合的底部固體熱轉移介質。
19．如權利要求18所述的加熱物體的設備，其中加熱元件至少部分包含在底部固體熱轉移介質的下表面形成的槽中。
20．如權利要求19所述的加熱物體的設備，其中槽具有螺旋構型，其中在外圓周區域的螺旋構型的間距比在下表面部分的中心區域的間距短。
21．如權利要求16所述的加熱物體的設備，其中所述的第二固體熱轉移介質和所述的第一固體熱轉移介質整體形成。
22．如權利要求16所述的加熱物體的設備，其中第一和第二固體熱轉移介質以及流體熱轉移介質都具有環形和平面構型。
23．如權利要求22所述的加熱物體的設備，其中流體熱轉移介質的直徑等於第一和第二固體熱轉移介質的直徑的約0．9-0．98倍。
24．如權利要求22所述的加熱物體的設備，其中流體熱轉移介質具有環形外圓周，其中多個蒸發腔被劃分成多個分割成多個徑向扇面的同心的或螺旋的圓。
25．如權利要求17所述的加熱物體的設備，其中液體在流體熱轉移介質中佔據的體積是流體熱轉移介質體積的約15-25％。
26．如權利要求16所述的加熱物體的設備，其中流體熱轉移介質的厚度是第一和第二固體熱轉移介質以及流體熱轉移介質的總厚度的約40-60％。
27．如權利要求17所述的加熱物體的設備，其中所述流體是惰性全氟碳型溶劑，該溶劑在大氣壓下具有比物體的預定溫度加100℃之和高的臨界溫度。
28．加熱幹膠片的設備，所述設備包括加熱元件；和加熱元件熱結合的底部固體熱轉移介質；和底部固體熱轉移介質的上表面熱結合的第一固體熱轉移介質；第二固體熱轉移介質，該介質具有幹膠片安裝表面並與所述第一固體熱轉移介質熱結合，所述第一固體熱轉移介質和所述幹膠片安裝表面相對；由安放在所述第一和第二固體熱轉移介質之間的多個相互連接的蒸發腔限定的流體熱轉移介質。
29．如權利要求28所述的加熱幹膠片的設備，其中多個蒸發腔劃分成多個被徑向分割成多個徑向扇面的同心的或螺旋的圓。
30．如權利要求29所述的加熱幹膠片的設備，其中進一步包括密封在多個蒸發腔內的液體。
31．如權利要求29所述的加熱幹膠片的設備，其中第一和第二固體熱轉移介質是圓形的，並且直徑比幹膠片安裝表面的直徑大。
32．如權利要求31所述的加熱幹膠片的設備，其中第一和第二固體熱轉移介質整體形成。
33．如權利要求28所述的加熱幹膠片的設備，其中加熱元件位於底部固體熱轉移介質的下表面中形成的螺旋槽中。
34．如權利要求28所述的加熱幹膠片的設備，其中每個蒸發腔的上部部分具有彎曲的截面構型。
全文摘要
為加熱物體供熱給第一固體熱轉移介質。熱量從第一固體熱轉移介質傳輸至流體熱轉移介質,該介質劃分成多個相互連接的蒸發腔,每個腔含有液體。熱量使液體在相應的蒸發腔中蒸發成多個蒸汽部分,多個蒸汽部分向上平行導向物體。蒸汽部分和第二固體熱轉移介質接觸,以加熱第二固體熱轉移介質,由此將熱量傳輸至第二固體熱轉移介質。第二固體熱轉移介質和物體熱接觸,將熱量從第二固體熱轉移介質傳輸至物體。
文檔編號H05B3/68GK1282005SQ0012413
公開日2001年1月31日 申請日期2000年7月26日 優先權日1999年7月26日
發明者樸贊勳 申請人:三星電子株式會社