一種生產信息服務系統以及方法
2023-09-21 08:21:45 1
專利名稱：一種生產信息服務系統以及方法
技術領域：
本發明涉及信息服務領域，特別涉及一種生產信息服務系統以及方法。
技術背景在製作一半導體器件時，從最初的晶圓開始，需要經過清洗、拋光、氧化、 氣相沉積和離子注入等多道工序，故在整個製造過程中，需用到清洗設備、拋 光設備、氧化設備和氣相沉積設備等多臺設備，設備在運行過程中，其參數只 有在生產現場才能觀察到，而不在生產現場的人員要得知現場的生產信息只有 通過打電話問現場人員或親自到製作現場去觀察，如此將影響生產信息的及時 獲得，以致於不在現場的決策人員或計劃人員無法根據製造現場的實際狀況而 作出及時的決策，另外進入生產現場獲取生產信息，'也會對生產的順利進行產 生不利影響。如此將會影響生產效率，並浪費人力。如此，如何提供一種生產信息服務系統以使不在生產現場的人員也可及時 得知生產現場的狀況，已成為業界亟待解決的技術問題。發明內容本發明的目的在於提供一種生產信息^Il務系統以及方法，通過所述系統以 及方法可極大的方便用戶獲得生產信息。本發明的目的是這樣實現的 一種生產信息服務系統，用於依據用戶的需 求為其發送生產現場的生產信息，該生產現場至少:沒置有一具有用於發送信息 的發送模塊的生產設備，該生產信息服務系統包括至少一客戶端、 一伺服器和 一與該客戶端、伺服器和該生產設備相連的網絡系統，該客戶端用於供用戶設 定生產信息服務標準並將所設定的服務標準經由網絡系統發送至伺服器，該生 產設備通過發送模塊經由網絡系統發送生產信息至該伺服器，該伺服器依據所 設定的服務標準處理生產設備發送至伺服器的生產信息，並將該處理後的生產信息經由網絡系統發送至客戶端。在上述的生產信息服務系統中，該客戶端包括一設定模塊以及一客戶端收 發模塊，其中，該設定模塊用於供用戶依需求設定生產信息服務標準，該客戶息。- \ 、'.、'、 。' 。。'、"、、在上述的生產信息服務系統中，該伺服器包括一伺服器收發模塊和一處理 模塊，其中，該伺服器收發模塊用於收發信息，該處理模塊用於將伺服器收發 模塊所接收到生產信息依據客戶端所設定的標準運行一生產信息處理程序以得 到用戶所需的生產信息。 '本發明還提供一種用於上述生產信息服務系統的生產信息服務方法，該方法包括以下步驟(l)用戶在客戶端設定生產信息服務標準；(2)將所設定的 生產信息服務標準發送至伺服器；(3)生產設備將生產信息發送至伺服器；(4) 伺服器依據所設定的服務標準將生產信息進行一處理程序以得出用戶所需的生 產信息；(5)將用戶所需的生產信息發送至客戶端。與現有技術中只有詢問現場人員或去生產現場才能獲知生產現場的生產信 息相比，本發明的生產信息服務系統以及方法中，用戶可在客戶端依需求設置 生產信息服務標準，伺服器依照用戶設定的服務標準對生產設備發送到伺服器 的生產信息進行處理以得出用戶所需的生產信息，襲後將該處理後的生產信息 發送至客戶端，如此用戶即可根據需要快速便利的獲得生產信息。
本發明的生產信息服務系統以及方法由以下的實施例及附圖給出。 圖1為本發明的生產信息服務系統的實施例的組成結構示意圖； 圖2為本發明的生產信息服務系統的實施例的方框圖； 圖3為本發明的生產信息服務方法的流程圖。
具體實施方式
以下將對本發明的生產信息服務系統以及方法作進一步的詳細描述。 參見圖1和圖2,本發明的生產信息服務系統1用於依據用戶的需求為其發送生產現場的生產信息，所述生產現場設置有三臺生產設備20、 21、 22，所述 生產信息服務系統1包括三個客戶端10、 11和12、伺服器13和網絡系統14， 其中，所述生產設備20、 21、 22分別具有發送模塊i00、 210和220，所述生產 設備20、 21.和22分別通過發送模塊200、 210和220將其生產信息發送至服務 器13。在本發明其他實施例中，生產設備由生產現場的實際狀況決定，客戶端的 數量由需獲得生產信息服務的人員的數量決定，且生產設備和客戶端的數量均 可依據實際狀況進行增減。以下將對本發明的生產信息服務系統1的上述構件進行詳述。所述客戶端10、 11和12用於供用戶設定生產信息服務標準並將所設定的 服務標準經由網絡系統14發送至伺服器13，所迷客戶端IO、 11和12分別包括 設定模塊IOO、 IIO和120和客戶端收發模塊101、 lil和121，其中，所述設定 模塊IOO、 110和120用於供用戶依需求設定生產信息服務標準，所述客戶端收 發模塊101、 111和121用於將所設定的標準發送至伺服器13和接收伺服器13 所發送的生產信息。所述伺服器13依據所設定的服務標準處理生產設備20、 21和22發送至服 務器13的生產信息，並將所述處理後的生產信息經由網絡系統14發送至客戶 端10、 11和12。所述伺服器13包括伺服器收發模塊130和處理模塊131,其 中，所述伺服器收發模塊130用於收發信息，所述處理模塊131用於將伺服器 收發模塊130所接收到生產信息依據客戶端所設定的標準運行一生產信息處理 程序以得到用戶所需的信息。 '為進一步說明本發明的原理和功效，以下以所述生產設備20、 21和22分 別為離子注入設備、刻蝕機和氧化爐為例、以用戶所需知道信息為離子注入設 備、刻蝕機和氧化爐的產量和異常頻率為例進行說明，離子注入設備、刻蝕機 和氧化爐實時的將其生產信息包括產量、生產參數和設備異常記錄經由網絡系 統14發送至伺服器13，用戶在客戶端IO處通過設定模塊IOO設定信息服務標 準(即離子注入設備、刻蝕機和氧化爐的產量和異常頻率)，然後客戶端收發 模塊101將用戶所設定的服務標準經由網絡系統14發送至伺服器13,伺服器 n的伺服器收發模塊130接收所述服務標準，處理舉塊131依據所述服務標準對伺服器收發模塊130所接收到的離子注入設備、刻蝕機和氧化爐的生產信息 進行處理並得出用戶所需信息(即離子注入設備、刻蝕機和氧化爐的產量和異 常頻率)，之後通過伺服器收發模塊130將用戶所需的信息經由網絡系統14傳 送到客戶端10。參見圖3,本發明的生產信息服務方法首先進行步驟S30,用戶在客戶端依需求設定生產信息服務標準。接著繼續步驟S31,將所設定的生產信息服務標準發送至伺服器。接著繼續步驟S32，生產設備將生產信息發送至伺服器。接著繼續步驟S33,伺服器依據所設定的服務標準將生產信息進行一處理程序以得出用戶所需的生產信息。接著繼續步驟S34,將用戶所需的生產信息發送至客戶端。綜上所述，在本發明中，用戶可在客戶端依需求-i殳置生產信息服務標準，伺服器依照用戶設定的服務標準對生產設備發送到伺服器的生產信息進行處理並得出用戶所需的生產信息，最後將所述處理後的生產信息發送至客戶端，如此用戶即可根據需要快速便利的獲得生產信息。
權利要求
1、一種生產信息服務系統，用於依據用戶的需求為其發送生產現場的生產信息，該生產現場至少設置有一具有用於發送信息的發送模塊的生產設備，其特徵在於，該生產信息服務系統包括至少一客戶端、一伺服器和一與該客戶端、伺服器和該生產設備相連的網絡系統，該客戶端用於供用戶設定生產信息服務標準並將所設定的服務標準經由網絡系統發送至伺服器，該生產設備通過發送模塊且經由網絡系統發送生產信息至該伺服器，該伺服器依據所設定的服務標準處理生產設備發送至伺服器的生產信息，並將該處理後的生產信息經由網絡系統發送至客戶端。
2、 如權利要求1所述的生產信息服務系統，其特徵在於，該客戶端包括一 設定模塊以及一客戶端收發模塊，其中，該設定模塊用於供用戶依需求設定生 產信息服務標準，該客戶端收發模塊用於將所設定的服務標準發送至伺服器以 及接收伺服器所發送的生產信息。
3、 如權利要求1所述的生產信息服務系統，其特徵在於，該伺服器包括一 伺服器收發模塊和一處理模塊，其中，該伺服器收發模塊用於收發信息，該處 理模塊用於將伺服器收發模塊所接收到生產信息依據客戶端所設定的服務標準 運行一生產信息處理程序以得到用戶所需的生產信息。
4、 一種用於如權利要求1所述的生產信息服務系統的生產信息服務方法， 其特徵在於，該方法包括以下步驟(l)用戶在客戶端依需求設定生產信息服務 標準；(2 )將所設定的生產信息服務標準發送至服'務器；(3 )生產設備將生 產信息發送至伺服器；(4 )伺服器依據所設定的服務標準將生產信息進行一處 理程序以得出用戶所需的生產信息；(5 )將用戶所需的生產信息發送至客戶端。
全文摘要
本發明提供了一種生產信息服務系統以及方法。現有技術中只有詢問現場人員或去生產現場才能獲知生產現場的生產信息。本發明的生產信息服務系統以及方法，用於依據用戶的需求為其發送生產現場的生產信息，該生產現場至少設置有一具有用於發送信息的發送模塊的生產設備，該服務系統包括客戶端、伺服器和與客戶端、伺服器和生產設備相連的網絡系統，該客戶端用於供用戶設定生產信息服務標準並將所設定的服務標準經由網絡系統發送至伺服器，該生產設備發送生產信息至該伺服器，該伺服器依據所設定的服務標準處理生產設備發送至伺服器的生產信息，並將處理後的生產信息經由網絡系統發送至客戶端。採用本發明的生產信息服務系統以及方法可大大方便用戶。
文檔編號H04L12/54GK101330430SQ20071004241
公開日2008年12月24日 申請日期2007年6月22日 優先權日2007年6月22日
發明者蔡容斌, 鍾瑾瑾, 顧嘯嵐 申請人:中芯國際集成電路製造(上海)有限公司