一種集成電路錫化生產工藝中降低COD排放量的方法與流程
2023-09-21 19:57:02 2
一種集成電路錫化生產工藝中降低cod排放量的方法
技術領域
1.本發明屬於集成電路廢水處理技術領域，具體是涉及一種集成電路錫化生產工藝中降低cod排放量的方法。
背景技術：
2.引線框架環氧封裝後會有溢膠殘留在引線腳和散熱片上，需要在後續的純錫電鍍之前去除乾淨。除溢膠方法目前主要是化學溶液浸泡法、電解法和機械法。機械法因採用的噴射介質會損傷基材現在已很少採用。電解法因電解電壓或電流過高會損傷晶片造成分層，並且對某些嚴重的溢膠也無法去除而受到很大局限。化學溶液浸泡法通過化學作用使溢膠溶解或軟化鬆動，再結合後續的高壓水刀噴淋，可以乾淨徹底的除去溢膠，該法可以適用幾乎各種型號封裝後的引線框架，是目前該行業除溢膠的主流方法。
3.目前，化學溶液浸泡法中，常採用除溢膠溶液去除溢膠，一般為：將多個引線框架依次堆疊並裝載於清洗架中，將裝載有引線框架的清洗架浸泡於浸泡機的母槽中進行除溢膠處理，母槽內盛裝有除溢膠溶液，浸泡後，依次浸泡於浸泡機的多個清洗槽進行水清洗，以去除附著在引線框架表面、及相鄰兩個引線框架堆疊間隙內的除溢膠溶液。
4.由於除溢膠溶液(如syd-711溶液)中含有大量的cod，一般為100萬mg/l，導致引線框架水清洗後形成的廢水中cod含量較高，一般為1500mg/l，遠超於cod排放量的標準(一般為200mg/l)。若要降低廢水中cod的含量，則需要增加引線框架水清洗的次數，這樣會增加清洗水的使用量，增加廢水的排放量，造成水資源浪費，增加企業成本。
技術實現要素：
5.本發明主要是解決上述現有技術所存在的技術問題，提供一種集成電路錫化生產工藝中降低cod排放量的方法。
6.本發明的上述技術問題主要是通過下述技術方案得以解決的：一種集成電路錫化生產工藝中降低cod排放量的方法，包括如下步驟：
7.步驟s1，將浸泡於母槽內的引線框架取出，並豎直設置位於母槽的上方進行滴液，使附著在引線框架上的除溢膠溶液滴回至母槽內；
8.步驟s2，滴液後，將引線框架浸泡於盛裝有純水的純水槽內，使附著在引線框架上的除溢膠溶液溶於純水中；
9.步驟s3，純水浸泡後，將引線框架從純水槽內取出，依次浸泡於盛裝有清洗水的多個清洗槽內進行水洗；
10.步驟s4，在純水槽內，當除溢膠溶液溶於純水後形成的工作液的濃度達到飽和時，將其回收補加至母槽除溢膠溶液內，並通過加熱將純水揮發。
11.作為優選，多個所述引線框架依次豎直設置並裝載於清洗架中。
12.作為優選，在步驟s3中，清洗槽設置有4個，引線框架水清洗後形成廢水。
13.作為優選，在步驟s4中，加熱溫度為110
±
5℃。
14.作為優選，在步驟2中，所述純水槽的底部安裝有安裝臺，所述安裝臺的下表面安裝有驅動電機，所述驅動電機的輸出端穿過安裝臺後連接有偏心輪，偏心輪的兩側在所述安裝臺上對稱設有滑動塊，所述偏心輪可分別抵接接觸兩側的滑動塊的一側，並驅動滑動塊朝滑動塊的另一側移動，所述滑動塊的另一側安裝有導向杆，所述導向杆的端部安裝有移動塊，所述導向杆上套設有導向套和第一彈簧，且第一彈簧位於滑動塊和導向套之間，所述移動塊的內側安裝有支撐杆，所述支撐杆的端部穿過純水槽槽壁後連接有推板；所述純水槽的頂部安裝有支撐臺，所述支撐臺通過鉸接座鉸接有吊臂，所述支撐臺上設有固定塊，所述固定塊通過第二彈簧連接吊臂的一端，所述吊臂的一端鉸接有連杆，所述連杆的端部鉸接其中一個所述移動塊的頂端，所述吊臂的另一端設有吊鉤。
15.作為優選，所述吊臂上設有卷揚機，所述卷揚機上的鋼絲繩與吊鉤相連。
16.作為優選，所述吊臂的另一端套設有調節套，所述調節套上安裝有滑輪，所述鋼絲繩穿過滑輪後連接吊鉤。
17.本發明具有的有益效果：本發明通過在引線框架浸泡除溢膠溶液後增加純水溶解工序，使附著在引線框架上的除溢膠溶液溶解於純水中，降低後續清洗水水洗時除溢膠溶液的濃度，從而降低cod排放量，同時，除溢膠溶液溶於純水後形成的工作液的濃度達到飽和時，可補加至母槽中使用，並通過加熱將純水揮發，留下溶於純水的除溢膠溶液。
附圖說明
18.圖1是本發明純水槽的一種結構示意圖；
19.圖2是本發明安裝臺的一種結構示意圖；
20.圖3是本發明清洗架的一種結構示意圖。
21.圖中：1、純水槽；2、安裝臺；3、驅動電機；4、偏心輪；5、滑動塊；6、導向杆；7、移動塊；8、第一彈簧；9、導向套；10、支撐杆；11、推板；12、支撐臺；13、鉸接座；14、吊臂；15、連杆；16、吊鉤；17、卷揚機；18、調節套；19、螺栓；20、滑輪；21、清洗架；22、頂板；23、底板；24、左側板；25、右側板；26、固定杆；27、引線框架；28、插槽；29、第二彈簧；30、固定塊。
具體實施方式
22.下面通過實施例，並結合附圖，對本發明的技術方案作進一步具體的說明。
23.實施例：一種集成電路錫化生產工藝中降低cod排放量的方法，包括如下步驟：
24.步驟s1，將引線框架27浸泡於盛裝有除溢膠溶液的母槽內，除溢膠溶液為syd-711溶液，浸泡後，將引線框架27從母槽內取出，並豎直設置位於母槽的上方進行滴液，滴液時間為90s，使附著在引線框架27上的除溢膠溶液滴回至母槽內；
25.步驟s2，滴液後，將引線框架27浸泡於盛裝有純水的純水槽1內，使附著在引線框架27上的除溢膠溶液溶於純水中，純水為溶劑，除溢膠溶液為溶質；
26.步驟s3，純水浸泡後，將引線框架27從純水槽1內取出，然後依次浸泡於盛裝有清洗水的多個清洗槽內進行水洗，清洗水可採用自來水；
27.步驟s4，在純水槽1內，當除溢膠溶液溶於純水後形成的工作液的濃度達到飽和時，將其回收補加至母槽除溢膠溶液內，並通過加熱將純水揮發。
28.在步驟s1中，多個引線框架27依次豎直設置並裝載於清洗架21中，浸泡時，將裝載
有引線框架27的清洗架21浸泡於母槽內。滴液時，通過將引線框架27豎直設置，以便於附著在引線框架27上的除溢膠溶液因重力作用向下滴液，滴回至母槽內。
29.滴液時間可根據引線框架27上除溢膠溶液的附著情況、及引線框架27的裝載量進行調整設置，以便於附著在引線框架27表面的除溢膠溶液儘可能滴回母槽內，一方面可以將除溢膠溶液滴回利用，另一方面通過減少附著在引線框架27上的除溢膠溶液量來減少單次溶於純水中的除溢膠溶液量，提高純水的使用率，從而減少清洗水中除溢膠溶液濃度。
30.在步驟s4中，當除溢膠溶液溶於純水後形成的工作液的濃度達到飽和時，可採用分批次補加至母槽中，控制每批次的補加量，避免補加過多導致稀釋除溢膠溶液，影響引線框架27除溢膠效果。
31.在引線框架27除溢膠的過程中，母槽內設置有加熱器，加熱溫度為110
±
5℃，一方面通過加熱提高引線框架27除溢膠效果，另一方面通過加熱使補加的工作液中的溶劑純水揮發，留下工作液中的溶質，即溶於純水的除溢膠溶液，該溶質與母槽內的除溢膠溶液混合後，用於除溢膠。由於純水中不含有任何雜質，因此當純水揮發後，只留下溶質(即除溢膠溶液)，且對該溶質的使用無任何影響，可與母槽內的除溢膠溶液混合使用。
32.在步驟2中，通過浸泡將引線框架27上的除溢膠溶液溶解於純水中，為提高溶解效率及溶解效果，對純水槽1結構進行優化，具體為：
33.如圖1、圖2所示，所述純水槽1的底部安裝有安裝臺2，所述安裝臺2的下表面安裝有驅動電機3，所述驅動電機3的輸出端貫穿安裝臺2，並延伸至安裝臺2的上方，且驅動電機3的輸出端連接有偏心輪4，偏心輪4的兩側在所述安裝臺2上對稱設有滑動塊5，滑動塊5設有兩個，所述滑動塊5滑動連接安裝臺2，滑動塊5可採用導軌，或滑槽和滑塊的滑動配合與安裝臺2滑動連接，所述偏心輪4可分別抵接接觸兩側的滑動塊5的一側，並驅動滑動塊5朝滑動塊5的另一側移動，所述滑動塊5的另一端安裝有導向杆6，所述導向杆6的端部延伸至安裝臺2外並安裝有移動塊7，所述導向杆6上套設有導向套9和第一彈簧8，所述導向套9固定連接安裝臺2，所述第一彈簧8位於滑動塊5和導向套9之間，所述第一彈簧8的一端抵接接觸滑動塊5的另一側，所述第一彈簧8的另一端抵接接觸導向套9的內側，所述移動塊7的內側安裝有支撐杆10，所述支撐杆10的端部穿過純水槽1的槽壁並延伸至純水槽1內，且支撐杆10的端部連接有推板11。
34.所述純水槽1的頂部安裝有支撐臺12，所述支撐臺12的上表面安裝有鉸接座13，所述鉸接座13鉸接有吊臂14，所述支撐臺12的上表面安裝有固定塊30，所述固定塊30上安裝有第二彈簧29，所述第二彈簧29的端部連接吊臂14的一端，所述吊臂14的一端鉸接有連杆15，所述連杆15的端部鉸接其中一個所述移動塊7的頂端，所述吊臂14上設有卷揚機17，所述卷揚機17上的鋼絲繩連接吊臂14另一端下方的吊鉤16，吊鉤16用於懸掛清洗架21。
35.使用時，驅動電機3驅動偏心輪4轉動，偏心輪4可分別與兩側的滑動塊5抵接接觸，並驅動兩側的滑動塊5朝其另一側移動，具體為：
36.當偏心輪4與左側的滑動塊5的一端接觸時，能夠推動左側的滑動塊5朝左側移動，左側的滑動塊5通過導向杆6推動左側的移動塊7朝左移動，第一彈簧8被壓縮，左側的移動塊7通過支撐杆10驅動左側的推板11朝左移動，左側的推板11推動純水槽1內的純水向左流動；
37.當偏心輪4與左側的滑動塊5的一端不接觸時，左側的滑動塊5在第一彈簧8的彈力
作用下朝右側移動，左側的滑動塊5通過導向杆6推動左側的移動塊7朝右移動，左側的移動塊7通過支撐杆10驅動左側的推板11朝右移動，左側的推板11推動純水槽1內的純水向右流動；
38.當偏心輪4轉至右側的滑動塊5，並與右側的滑動塊5的一端接觸時，能夠推動右側的滑動塊5朝右側移動，右側的滑動塊5通過導向杆6推動右側的移動塊7朝右移動，第一彈簧8被壓縮，右側的移動塊7通過支撐杆10驅動右側的推板11朝右移動，右側的推板11推動純水槽1內的純水向右流動；於此同時，右側的移動塊7通過連杆15將吊臂14的一端下移，使吊臂14水平，從而使裝載有引線框架27的清洗架21上移；
39.當偏心輪4與右側的滑動塊5的一端不接觸時，右側的滑動塊5在第一彈簧8的彈力作用下朝左側移動，右側的滑動塊5通過導向杆6推動右側的移動塊7朝左移動，右側的移動塊7通過支撐杆10驅動右側的推板11朝左移動，右側的推板11推動純水槽1內的純水向左流動；於此同時，右側的移動塊7通過連杆15將吊臂14的一端抬升，使吊臂14的另一端下移，從而使裝載有引線框架27的清洗架21下移。
40.驅動電機3驅動偏心輪4轉動，偏心輪4分別驅動兩側的滑動塊5左右往復移動，兩側的滑塊塊通過其相對應的導向杆6、移動塊7和支撐杆10驅動推板11左右往復移動，純水在推板11的推動下左右往複流動，進而實現來回衝刷清洗架21內的引線框架27，加快附著在引線框架27上的除溢膠溶液溶解於純水中；同時，右側的移動塊7通過連杆15使吊臂14的一端往復抬升與下移，使懸掛在吊臂14另一側的清洗架21往復上下移動，從而使引線框架27與往複流動的純水相擾動，利用擾動對引線框架27上的一些間隙區域進行衝刷，使其附著的除溢膠溶液溶解於純水中；通過左右和上下衝刷引線框架27，使附著在引線框架27上的除溢膠溶液大量溶解於純水中，提高除溢膠溶液的溶解效果、及溶解效率。
41.作為優選，吊臂14的另一端套設有調節套18，調節套18上安裝有滑輪20，卷揚機17上的鋼絲繩穿過滑輪20後連接吊鉤16。調節套18上螺紋連接有螺栓19，並通過螺栓19抵接接觸吊臂14表面的方式固定在吊臂14上。通過改變調節套18在吊臂14上的位置，可調節吊臂14的平衡，使吊臂14水平。
42.作為優選，如圖3所示，清洗架21的頂板22、底板23、左側板24和右側板25均布有多個通孔(未圖示)，清洗架21的前側和後側敞開，且左側板24和右側板25之間通過固定杆26相連。當清洗架21浸泡在純水槽1純水中時，清洗架21的前側和後側分別朝向兩側的推板11，以便於純水衝刷每個引線框架27表面。清洗架21的底板23上設有插槽28，通過設置插槽28，一方面可使引線框架27豎直設置；另一方面可增加相鄰兩個引線框架27之間的間距，以便於純水流過引線框架27的表面，增加純水與引線框架27表面的接觸面積，避免引線框架27相堆疊其間隙內的除溢膠溶液殘留的情況。
43.通過在引線框架27浸泡除溢膠溶液後增加純水溶解工序，使附著在引線框架27上的除溢膠溶液大量溶解於純水中，從而使大量的cod溶於純水，降低後續清洗水水洗時除溢膠溶液的濃度，減少清洗水水洗次數，降低清洗水的使用量，且水洗後形成的廢水中，除溢膠溶液濃度低，cod含量低，降低了cod的排放量，使其符合排放標準。
44.在本實施例中，通過增加純水溶解工序，使引線框架水洗4次即可滿足cod排放量標準，具體數據參見表一；相應的，清洗槽設置為4個，依次對引線框架進行浸泡水洗。
45.表一廢水中cod含量比對
[0046][0047]
由上述可知，通過在引線框架浸泡除溢膠溶液後增加純水溶解工序，大大降低了廢水中cod含量，降低了cod的排放量。
[0048]
最後，應當指出，以上實施例僅是本發明較有代表性的例子。顯然，本發明不限於上述實施例，還可以有許多變形。凡是依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均應認為屬於本發明的保護範圍。