晶體生長爐的翻板閥部件的製作方法

2023-09-19 15:55:20 4

專利名稱：晶體生長爐的翻板閥部件的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體行業的全自動晶體生長爐部件，採用這種部件可實現 翻板閥的自動翻轉。
背景技術：
目前，公知的晶體生長爐的翻板閥多採用手動或氣動方式帶動閥芯翻轉，手動翻 轉只能滿足半自動晶體生長爐的使用要求，全自動晶體生長爐要求翻板閥能自動翻轉，而 採用氣動形式的自動翻板閥涉及到的零件比較多，結構複雜，成本高，並且行程不容易調 節。發明內容為了克服現有翻板閥部件技術中存在的缺點，本實用新型提供一種晶體生長爐的 翻板閥部件，該部件不僅能夠實現翻板閥的自動翻轉，還能夠調節行程，同時帶有手動翻轉 功能。該部件加工成本低，結構簡單，使用可靠。本實用新型採用的技術方案是步進電機的輸出軸通過連軸器與蝸輪減速器輸入軸相連，蝸輪減速器的輸出軸連 接一個小齒輪，小齒輪與下方的大齒輪嚙合，大齒輪的軸和翻板閥閥芯相連，這樣步進電機 經過蝸輪減速器帶動一個小齒輪轉動，小齒輪帶動大齒輪轉動，大齒輪帶動閥芯翻轉，通過 電機的轉動可實現翻板閥的自動翻轉。在蝸輪減速器的另一個輸入端安裝一個手輪，通過 轉動手輪可實現閥芯的手動翻轉。在大齒輪上安裝行程塊，大齒輪兩側的小支架上安裝有 接近開關和螺釘，大齒輪轉動一定角度後，其上所帶的行程塊就會接觸到接近開關，導致電 機停轉，起到限位的作用。固定在小支架上的螺釘可以防止行程塊過猛的撞擊接近開關。 接近開關和螺釘伸出小支架的長度可以調整，相當於閥芯翻轉的兩個極限位置可以根據每 個翻板閥的不同形狀進行調整。本實用新型的有益效果是翻板閥兼有電動翻轉和手動翻轉兩種功能，在實現電 動翻轉時還帶有限位功能，並且整個部件加工成本低，結構簡單，使用可靠。
圖1是本實用新型的主視圖。圖2是本實用新型的俯視圖。圖3是本實用新型的左視圖。圖中1.步進電機，2.聯軸器，3.蝸輪減速器，4小齒輪，5.大齒輪，6.軸，7.行程 塊，8.螺栓，9.接近開關，10小支架，11.手柄(輪)。
具體實施方式
在圖1中，當步進電機1轉動時，步進電機1的輸出軸通過連軸器2帶動蝸輪減速器3的輸入軸轉動，進而帶動與蝸輪減速器3的輸出軸連接的小齒輪4轉動，小齒輪4與下 方的大齒輪5嚙合，使得大齒輪5所在的軸6發生轉動，軸6與翻板閥閥芯相連，帶動閥芯 進行自動翻轉。在蝸輪減速器3的另一個輸入端安裝一個手輪11，用手搖動手輪11時，同 樣可以通過渦輪減速器3上的小齒輪4帶動其下方的大齒輪5所在的軸6發生轉動，實現 閥芯的手動翻轉。在大齒輪5上安裝行程塊7，在大齒輪5左右兩側的小支架10上安裝接 近開關，當大齒輪5轉動一定角度後，其上所帶的行程塊7就會接觸到小支架10上的接近 開關9，導致電機1停轉，翻板閥停止翻轉，這對翻板閥的翻轉起到限位的作用。在小支架 10上安裝螺釘8，螺釘8的長度比接近開關9的長度稍短，螺釘8保證了行程塊7在撞到接 近開關9使電機1停轉時不會過猛的撞擊接近開關9，保護了接近開關。
權利要求1.一種晶體生長爐的翻板閥部件，其特徵是採用步進電機經過蝸輪減速器帶動一個 小齒輪轉動，小齒輪帶動大齒輪轉動，大齒輪帶動閥芯翻轉。
2.根據權利要求1所述的一種晶體生長爐的翻板閥部件，其特徵是大齒輪上有一個 行程塊，大齒輪兩側的小支架上安裝有接近開關和螺釘。
3.根據權利要求2所述的一種晶體生長爐的翻板閥部件，其特徵是接近開關和螺釘伸 出小支架的長度可以調整。
4.根據權利要求1所述的一種晶體生長爐的翻板閥部件，其特徵是在渦輪減速器的一 個輸入端安裝一個手輪。
專利摘要一種晶體生長爐的翻板閥部件，它採用步進電機經過蝸輪減速器帶動一個小齒輪轉動，小齒輪在帶動大齒輪轉動，從而使得閥芯翻轉。大齒輪上帶有一個行程塊，大齒輪轉動時，當行程塊接近左右兩端的接近開關時就會停止，起到限制轉動行程的作用。用手搖動渦輪減速器輸入端的手輪，同樣可以實現小齒輪帶動大齒輪轉動，進而實現閥芯的手動翻轉。本實用新型加工成本低，結構簡單，操作靈活，使用可靠。
文檔編號F16K31/53GK201836501SQ20102054128
公開日2011年5月18日 申請日期2010年9月26日 優先權日2010年9月26日
發明者史銳 申請人:北京京儀世紀電子股份有限公司