一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板的製作方法

2023-09-20 06:06:40 1

專利名稱：一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及單晶爐技術領域，更具體地說，涉及一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板。
背景技術：
單晶爐是採用直拉法生產單晶矽的主要設備，其主要生產過程是將原料多晶矽塊放入到單晶爐中，然後使用單晶爐的加熱器對其進行加熱，使多晶矽塊熔化為多晶矽溶液，然後在籽晶的引導下冷凝生成單晶矽固體。在上述多晶矽塊熔化成溶液的過程中，存在於多晶矽塊中的雜質會揮發到熱場中，同時在熔化的過程中也會由於高溫而產生矽蒸汽，而熱場中的雜質會對後續的單晶矽生長造成一定的影響，所以一般會將揮發出的雜質排出單晶爐，矽蒸汽也會隨著氣流一同排出，當單晶爐使用下排氣的方式排除雜質時，含有雜質和矽蒸汽的氣流流經單晶爐的導流筒下部、溶液液面和加熱器，並最終從排氣口排出單晶爐。在單晶爐的內部熱場中，受到加熱器形狀和大小的限制，熱場中各點的溫度不盡相同，即熱場中存在溫度差。在豎直方向上，內部熱場中加熱器01中心部分溫度最高，遠離加熱器01的上端部和下端部的溫度隨著距離的增大逐漸降低，而加熱器01的電極連接腳02則正處於加熱器01下端部的低溫區，且採用下排氣方式排出的矽蒸汽會流經此處，所以在電極連接腳02的正上方覆蓋有矩形石墨蓋板03，以對電極連接腳02進行保溫和防護，如圖1所示。此矩形的石墨蓋板03在其兩個短邊和一個長邊的邊緣處均設置有垂直其平面凸出的擋邊，使其一側形成凹槽，如圖2所示，石墨蓋板03在安裝到電極連接腳的上方時，擋邊位於石墨蓋板03的下方，與電極連接腳02靠近設置，但不與電極連接腳02貼合。在實際的生產過程中，矽蒸汽在流經電極連接腳02處時，會因為溫度的降低而產生一定程度的冷凝，進而形成固體附著在電極連接腳02上，一旦矽蒸汽冷凝而形成的固體過多，其會將用於連接電極連接腳02和石墨電極的石墨螺絲04與電極連接腳02粘接為一體，不方便加熱器01的拆卸，嚴重時需將石墨螺絲04鋸斷才能將加熱器01取出，造成了不必要的損失，進而增加了生產成本。綜上所述，如何提供一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，以減少石墨螺絲和電極連接腳發生粘接的現象出現，進而降低損壞石墨螺絲的機率以節約生產成本，是目前本領域技術人員亟待解決的問題。

實用新型內容有鑑於此，本實用新型提供了一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其減少了石墨螺絲和電極連接腳發生粘接的現象出現，進而降低損壞石墨螺絲的機率以節約生產成本。為了達到上述目的，本實用新型提供如下技術方案:一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，包括本體，其還包括:設置在所述本體表面的保溫層；[0010]覆蓋在所述保溫層上，且與所述本體連接以與所述本體配合將所述保溫層夾緊的連接體。優選的，上述單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，所述連接體設置在所述本體形成的凹槽的內側。優選的，上述單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，所述連接體設置在所述本體形成的凹槽的外側。優選的，上述單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，所述連接體與所述本體為一體式設計，且構成容納所述保溫層的封閉內腔。優選的，上述單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，所述本體和連接體靠近單晶爐的加熱器設置的兩個角為圓角。優選的，上述單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，所述本體和所述連接體均為
石墨體。優選的，上述單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，所述保溫層為軟氈層。本實用新型提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，在本體的表面上設置了保溫層，並且還設置有覆蓋該保溫層的連接體，使得蓋板在原有本體的基礎上增設了保溫層和連接體，與原有僅具備本體的蓋板相比，不僅提高了蓋板的保溫效果，使得矽蒸汽在電極連接腳處冷凝形成的固體減少，而且多層結構也提高了蓋板對電極連接腳的防護性，減少了冷凝固體附著到電極連接腳上的機率，進而減少甚至避免了石墨螺絲和電極連接腳發生粘接的現象，減少了需要鋸斷石墨螺絲的情況，降低了生產成本。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現有技術提供的石墨蓋板與加熱器、電極連接腳配合的示意圖；圖2為現有技術提供的石墨蓋板的結構示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板的主視圖(以連接體設置在本體的凹槽內側為例);圖4為連接體設置在本體凹槽內側的配合示意圖；圖5為連接體設置在本體凹槽外側的配合示意圖；圖6為本實用新型實施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板與加熱器、電極連接腳配合的結構示意圖。以上圖1-圖6中:加熱器01、電極連接腳02、石墨蓋板03、石墨螺絲04 ；本體1、保溫層2、連接體3。
具體實施方式
為了進一步理解本實用新型，下面結合實施例對本實用新型優選實施方式進行描述，但是應當理解，這些描述只是為了進一步說明本實用新型的特徵和優點，而不是對本實用新型權利要求的限制。本實用新型提供了一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其減少了石墨螺絲和電極連接腳發生粘接的現象出現，進而降低損壞石墨螺絲的機率以節約生產成本。下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。如圖3所示，本實用新型實施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，包括本體I，其還包括:設置在本體I表面的保溫層2 ；覆蓋在保溫層2上，且與本體I連接以與本體I配合將保溫層2夾緊的連接體3。其中，圖3僅僅是將連接體3設置在本體I凹槽內側的實施方式，圖中虛線為連接體3，連接體3還可以如圖5所示的方式設置在本體I凹槽的外側。本實施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，在本體I的表面上設置了保溫層2，並且還設置有覆蓋該保溫層2的連接體3，使得蓋板在原有本體I的基礎上增設了保溫層2和連接體3，與原有僅具備本體I的蓋板相比，不僅提高了蓋板的保溫效果，使得矽蒸汽在電極連接腳處冷凝形成的固體減少，而且多層結構也提高了蓋板對電極連接腳的防護性，減少了冷凝固體附著到電極連接腳上的機率，進而減少甚至避免了石墨螺絲和電極連接腳發生粘接的現象，減少了需要鋸斷石墨螺絲的情況，降低了生產成本。為了進一步優化上述技術方案，本實施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板中，連接體3設置在本體I形成的凹槽的內側，如圖4所示，其中虛線部分為連接體3。本實施例所要實現的技術目的就是要更好的避免矽蒸汽冷凝成的固體將石墨螺絲和電極連接腳粘接在一起而造成加熱器無法拆卸，所以增強其保溫性能就是一個很好的選擇，因此設置了保溫層2，並設置了用於與本體I配合固定保溫層2的連接體3。而將保溫層2設置在本體I由擋邊形成的凹槽的內側，是為了避免增大本實施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板的體積而造成其他的不良影響，例如因體積增大與加熱器過於靠近而與加熱器之間發生「打火」現象。因為保溫層2設置在了凹槽的內側，所以在此基礎上將覆蓋保溫層2的連接體3也設置在了凹槽的內側，這樣即可以實現技術目的，同時也不會增大蓋板的體積而造成不良的影響，為優選方案。與圖4的設置方式相對應的，將連接體3設置在本體I的凹槽的外側同樣能夠實現保溫的技術目的，如圖5所示，其中虛線部分為連接體3。如圖4和圖5所示，連接體3與本體I為一體式設計，且構成容納保溫層2的封閉內腔。將連接體3與本體I設置為一體式結構，保溫層2可以方便的從連接體3與本體I之間直接插入或抽出，使得保溫層2的更換更加的方便和快捷，此外，密封式的內腔還能夠防止外側的氣流通過連接體3和本體I之間的空間而吹到電極連接腳處，其防護性更高。進一步的，如圖6所示，本體I和連接體3靠近單晶爐的加熱器設置的兩個角為圓角。將靠近加熱器設置的兩個角設置為圓角，可以增大本實施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板與加熱器之間的設置距離，減少甚至避免蓋板與加熱器之間發生「打火」的機率，使得單晶爐的生產過程能夠更加順利的完成，當然，為了增大蓋板與加熱器之間的設置距離，還可以直接將蓋板靠近加熱器的兩個直角切除，使其形成兩個倒角，同樣能夠增大與加熱器的距離。此外，本實施例提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板的其他兩個角也可以設置成圓角或倒角以節省材料。具體的，為了儘可能的減少因部件的改進對生產環境的影響，在本實施例中，連接體3的材料選擇與本體I材料一致的石墨材料，保溫層2選擇與加熱器外側保溫材料相同的軟氈作為保溫層2。對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或範圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制於本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的範圍。
權利要求1.一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，包括本體(I)，其特徵在於，還包括: 設置在所述本體(I)表面的保溫層(2)； 覆蓋在所述保溫層(2 )上，且與所述本體(I)連接以與所述本體(I)配合將所述保溫層(2)夾緊的連接體(3)。
2.根據權利要求1所述的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其特徵在於，所述連接體(3 )設置在所述本體(I)形成的凹槽的內側。
3.根據權利要求1所述的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其特徵在於，所述連接體(3)設置在所述本體(I)形成的凹槽的外側。
4.根據權利要求1所述的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其特徵在於，所述連接體(3)與所述本體(I)為一體式設計，且構成容納所述保溫層(2)的封閉內腔。
5.根據權利要求1所述的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其特徵在於，所述本體(I)和連接體(3 )靠近單晶爐的加熱器設置的兩個角為圓角。
6.根據權利要求1所述的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其特徵在於，所述本體(I)和所述連接體(3)均為石墨體。
7.根據權利要求1所述的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，其特徵在於，所述保溫層(2)為軟氈層。
專利摘要本實用新型提供了一種單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板，包括本體，其還包括設置在所述本體表面的保溫層；覆蓋在所述保溫層上，且與所述本體連接以與所述本體配合將所述保溫層夾緊的連接體。本實用新型提供的單晶爐用加熱器的電極連接腳蓋板與原有僅具備本體的蓋板相比，不僅提高了蓋板的保溫效果，使得矽蒸汽在電極連接腳處冷凝形成的固體減少，而且多層結構也提高了蓋板對電極連接腳的防護性，減少了冷凝固體附著到電極連接腳上的機率，進而減少甚至避免了石墨螺絲和電極連接腳發生粘接的現象，減少了需要鋸斷石墨螺絲的情況，降低了生產成本。
文檔編號C30B15/18GK202925147SQ20122062359
公開日2013年5月8日 申請日期2012年11月22日 優先權日2012年11月22日
發明者劉淑娜 申請人:英利能源(中國)有限公司