一種砂輪主軸傾角調整結構的製作方法

2023-09-18 07:35:55 2

專利名稱：一種砂輪主軸傾角調整結構的製作方法
技術領域：
本發明涉及半導體晶片加工設備技術領域，具體為一種砂輪主軸傾角調整結構。
(二)
背景技術：
現有的砂輪主軸傾角調整結構採用三點式調整方法，即分別調整三點高度後定砂輪主軸與水平面的夾角，調整時由於要分別調整三點的高度,調整比較複雜,且由於現有的調整結構是支杆結構，穩定性相對低，其調整的解析度低，又由於該調整結構一般位於主軸座底部，手動調整不方便。
(三)

發明內容
針對上述問題，本發明提供了一種砂輪主軸傾角調整結構，其調整簡單、方便，穩定性高，且調整的解析度高。 其技術方案是這樣的其包括砂輪主軸、砂輪、主軸座、三個支腳,所述砂輪緊固於所述砂輪主軸下端面，所述砂輪主軸通過均布於其砂輪主軸法蘭圓周的所述三個支腳連接所述主軸座，其特徵在於所述三個支腳中其中一個為可調支腳、其餘兩個為固定支腳，所述可調支腳的雙頭螺杆的兩頭分別連接緊固於所述砂輪主軸法蘭、主軸座上的連接件，所述雙頭螺杆兩頭的螺距不相等； 其進一步特徵在於所述可調支腳具體包括調節部分、預緊部分,所述預緊部分對稱排布於所述調節部分對於所述主軸座的圓周向兩側； 所述調節部分具體包括所述緊固於所述砂輪主軸法蘭上的連接件、所述緊固於所述主軸座上的連接件、所述雙頭螺杆，所述預緊部分具體包括預緊螺釘、預緊彈簧；
所述緊固於所述砂輪主軸法蘭上的連接件具體為方螺母座,所述緊固於所述主軸座上的連接件具體為圓螺母座； 所述方螺母座壓裝於所述砂輪主軸法蘭上端面，螺釘緊固連接所述方螺母座、所述砂輪主軸法蘭，所述圓螺母座套裝於所述主軸座的安裝孔內，所述圓螺母座上部套裝有連接螺母,所述連接螺母支承於所述主軸座上端面，螺釘緊固連接所述連接螺母、所述主軸座上端面； 所述雙頭螺杆的上端部加工有內六角凹槽，所述雙頭螺杆的下部螺紋端與所述方螺母座螺紋連接，所述雙頭螺杆的上部螺紋端與所述圓螺母座螺紋連接；[■] 所述雙頭螺杆中部凸起處具體為所述方螺母座、所述圓螺母座的軸向限位結構；
所述預緊螺釘依次連接所述砂輪主軸法蘭、所述主軸座，所述預緊螺釘的螺釘端
緊固連接所述砂輪主軸法蘭,所述預緊螺釘的頭部與主軸座上端面之間的空隙處套裝有預
緊彈簧； 兩個所述預緊螺釘對稱排布於所述雙頭螺杆相對於所述主軸座的圓周向兩側；
所述固定支腳具體包括球頭、球頭座、連接螺釘、碟形彈簧，所述砂輪主軸法蘭、主軸座上均開有固定支腳的安裝孔，所述球頭座的非調節端與所述砂輪主軸法蘭的上端面的安裝孔嵌套連接，所述球頭的球形端配合安裝於所述球頭座的調節腔內，所述球頭的非球形端與所述主軸座下端面的安裝孔嵌套連接，所述連接螺釘依次連接所述主軸座、球頭、球頭座、砂輪主軸法蘭,所述連接螺釘的螺釘端緊固連接所述砂輪主軸法蘭，連接螺釘頭部與主軸座上端面之間的空隙處套裝有碟形彈簧,所述球頭、球頭座位於所述連接螺釘的軸向位置固定。 採用本發明的上述結構後，通過外部工具扳動雙頭螺杆，所述雙頭螺杆帶動所述緊固於所述砂輪主軸法蘭上的連接件上下調整，進而帶動所述砂輪主軸上下調整，達到調
整砂輪主軸傾角的目的，傳動雙頭差動螺杆轉動一周的調整量為所述雙頭螺杆兩頭寬螺距和窄螺距的螺距之差，由於實際調整量一般為0 500um,調整量非常小，所述兩個固定支腳處的彈性變形量足以使所述砂輪主軸平面和水平面產生一定的傾角。綜....匕所述，由於本發明的結構只需調整一個可調支腳，其調整簡單、方便，且其穩定性好,調整的解析度高。
(四)


圖1是本發明的主視圖結構示意 圖2是本發明的可調支腳結構放大剖視圖；[酬 圖3是本發明的固定支腳結構放大剖視(五)
具體實施例方式
見圖1、圖2、圖3，其包括砂輪主軸1 、砂輪2、主軸座3、三個支腳，砂輪2緊固於砂輪主軸1下端面，砂輪主軸1通過均布於其砂輪主軸法蘭4圓周的三個支腳連接主軸座3，三個支腳中其中--個為可調支腳5、其餘兩個為固定支腳6，可調支腳5的雙頭螺杆7的兩頭分別連接緊固於砂輪主軸法蘭4、主軸座3上的連接件，雙頭螺杆7兩頭的螺距不相等；可調支腳5具體包括調節部分、預緊部分,預緊部分對稱排布於調節部分的相對於主軸座3的圓周向兩側；調節部分具體包括緊固於砂輪主軸法蘭4上的連接件、緊固於主軸座3上的連接件、雙頭螺杆7，預緊部分具體包括預緊螺釘8、預緊彈簧9 ;緊固於砂輪主軸法蘭4上的連接件具體為方螺母座IO，緊固於主軸座3 ....匕的連接件具體為圓螺母座11 ;方螺母座10壓裝於砂輪主軸法蘭4上端面,螺釘12緊固連接方螺母座10、砂輪主軸法蘭4,圓螺母座11套裝於主軸座3的安裝孔內，圓螺母座11上部套裝有連接螺母2，連接螺母20支承於主軸座3上端面，螺釘13緊固連接連接螺母20、主軸座3上端面；雙頭螺杆7的上端部加工有內六角凹槽18，雙頭螺杆7的F部螺紋端與方螺母座10螺紋連接，雙頭螺杆7的上部螺紋端與圓螺母座11螺紋連接；雙頭螺杆7中部凸起處具體為方螺母座、圓螺母座的軸向限位結構；預緊螺釘8依次連接砂輪主軸法蘭4、主軸座3，預緊螺釘8的螺釘端緊固連接砂輪主軸法蘭4，預緊螺釘8的頭部與主軸座3上端面之間的空隙處套裝有預緊彈簧9 ;兩個預緊螺釘8對稱排布於雙頭螺杆7相對於主軸座3的圓周向兩側；固定支腳6具體包括球頭14、球頭座15、連接螺釘16、碟形彈簧17，砂輪主軸法蘭4、主軸座3上均開有固定支腳6的安裝孔，球頭座15的非調節端與砂輪主軸法蘭4的上端面的安裝孔嵌套連接，球頭14的球形端配合安裝於球頭座15的調節腔內，球頭14的非球形端與主軸座3下端面的安裝孔嵌套連接，球頭14的球形端上端面與主軸座3 F端面的間隙裝有緊固件19，連接螺釘16依次連接主軸座3、球頭14、球頭座15、砂輪主軸法蘭4,連接螺釘16的螺釘端緊同連接砂輪主
4軸法蘭4，連接螺釘16頭部與主軸座3上端面之間的空隙處套裝有碟形彈簧17，球頭14、球頭座15位於連接螺釘16的軸向位置固定。 其工作原理如下用扳手插入傳動雙頭螺杆7的上端的內六角凹槽14內，旋轉帶動雙頭螺杆7轉動,雙頭螺杆7通過螺紋連接帶動方螺母座l上升或下降，帶動砂輪主軸1上升或下降，即雙頭螺杆7旋轉--周，方螺母座10上升或下降一個差動螺距(寬螺距與窄螺距之差)，固定支腳6的球頭14、球頭座15根據上升或下降的距離進行調整，進而完成調整砂輪主軸1的傾角。舉其中一個應用案例為例說明調整的調整量雙頭螺杆7上端寬螺距為1. 5mm，傳動雙頭差動螺杆10下端窄螺距為1. 25iran,若扳手轉動雙頭螺杆7順時鐘或逆時針旋轉10° ，則砂輪主軸1下降或上升(1. 5-1. 25) X (10° Z36(T ) = 0. 0069mm，即為6.9u m，則輕易實現了微米級的角度調整。
權利要求
一種砂輪主軸傾角調整結構，其包括砂輪主軸、砂輪、主軸座、三個支腳，所述砂輪緊固於所述砂輪主軸下端面，所述砂輪主軸通過均布於其砂輪主軸法蘭圓周的所述三個支腳連接所述主軸座，其特徵在於所述三個支腳中其中一個為可調支腳、其餘兩個為固定支腳，所述可調支腳的雙頭螺杆的兩頭分別連接緊固於所述砂輪主軸法蘭、主軸座上的連接件，所述雙頭螺杆兩頭的螺距不相等。
2. 根據權利要求1所述 -種砂輪主軸傾角調整結構，其特徵在於所述可調支腳具體包括調節部分、預緊部分，所述預緊部分對稱排布於所述調節部分對於所述主軸座的圓周向兩側。
3. 根據權利要求2所述一種砂輪主軸傾角調整結構，其特徵在於所述調節部分具體包括所述緊固於所述砂輪主軸法蘭上的連接件、所述緊固於所述主軸座上的連接件、所述雙頭螺杆，所述預緊部分具體包括預緊螺釘、預緊彈簧。
4. 根據權利要求3所述一種砂輪主軸傾角調整結構,其特徵在於所述緊固於所述砂輪主軸法蘭上的連接件具體為方螺母座,所述緊固於所述主軸座上的連接件具體為圓螺母座。
5. 根據權利要求4所述一種砂輪主軸傾角調整結構，其特徵在於所述方螺母座壓裝於所述砂輪主軸法蘭上端面，螺釘緊固連接所述方螺母座、所述砂輪主軸法蘭,所述圓螺母座套裝於所述主軸座的安裝孔內，所述圓螺母座上部套裝有連接螺母,所述連接螺母支承於所述主軸座上端面，螺釘緊固連接所述連接螺母、所述主軸座上端面。
6. 根據權利要求5所述一種砂輪主軸傾角調整結構，其特徵在於所述雙頭螺杆的上端部加工有內六角凹槽,所述雙頭螺杆的下部螺紋端與所述方螺母座螺紋連接，所述雙頭螺杆的上部螺紋端與所述圓螺母座螺紋連接。
7. 根據權利要求6所述 -種砂輪主軸傾角調整結構，其特徵在於所述雙頭螺杆中部凸起處具體為所述方螺母座、所述圓螺母座的軸向限位結構。
8. 根據權利要求7所述一種砂輪主軸傾角調整結構,其特徵在於所述預緊螺釘依次連接所述砂輪主軸法蘭、所述主軸座，所述預緊螺釘的螺釘端緊固連接所述砂輪主軸法蘭,所述預緊螺釘的頭部與主軸座上端面之間的空隙處套裝有預緊彈簧。
9. 根據權利要求8所述一種砂輪主軸傾角調整結構，其特徵在於兩個所述預緊螺釘對稱排布於所述雙頭螺杆相對於所述主軸座的圓周向兩側。
10. 根據權利要求9所述一種砂輪主軸傾角調整結構,其特徵在於所述固定支腳具體包括球頭、球頭座、連接螺釘、碟形彈簧，所述砂輪主軸法蘭、主軸座上均開有固定支腳的安裝孔，所述球頭座的非調節端與所述砂輪主軸法蘭的上端面的安裝孔嵌套連接，所述球頭的球形端配合安裝於所述球頭座的調節腔內，所述球頭的非球形端與所述主軸座下端面的安裝孔嵌套連接，所述連接螺釘依次連接所述主軸座、球頭、球頭座、砂輪主軸法蘭,所述連接螺釘的螺釘端緊固連接所述砂輪主軸法蘭,連接螺釘頭部與主軸座上端面之間的空隙處套裝有碟形彈簧，所述球頭、球頭座位於所述連接螺釘的軸向位置固定。
全文摘要
本發明為一種砂輪主軸傾角調整結構。其調整簡單、方便，穩定性高，且調整的解析度高。其包括砂輪主軸、砂輪、主軸座、三個支腳，所述砂輪緊固於所述砂輪主軸下端面，所述砂輪主軸通過均布於其砂輪主軸法蘭圓周的所述三個支腳連接所述主軸座，其特徵在於所述三個支腳中其中一個為可調支腳、其餘兩個為固定支腳，所述可調支腳的雙頭螺杆的兩頭分別連接緊固於所述砂輪主軸法蘭、主軸座上的連接件，所述雙頭螺杆兩頭的螺距不相等。
文檔編號H01L21/304GK101774155SQ200910217228
公開日2010年7月14日 申請日期2009年12月31日 優先權日2009年12月31日
發明者康仁科, 朱祥龍, 郭東明 申請人:無錫工具機股份有限公司