基板緩衝暫存設備的製作方法

2023-09-18 08:39:30 1

專利名稱：基板緩衝暫存設備的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及液晶顯示器領域，尤其涉及一種基板緩衝暫存設備。
背景技術：
液晶面板是液晶顯示器中主要的顯示功能器件，液晶面板結構一般為由彩膜基板和陣列基板對盒而成，中間充有液晶，其顯示原理是利用液晶分子具有的介電各向異性及導電各向異性，在上下兩層基板上分別形成對應電極，從而在兩基板間產生電場，外加電場使液晶分子的排列狀態轉換，使液晶薄膜產生各種光電效應。現在，薄膜電晶體液晶顯示器(ThinFilm Transistor-Liquid Crystal Display, 簡稱TFT-IXD)在液晶市場中佔有主導地位，它通過薄膜電晶體(TFT)作為控制開關，控制施加到象素電極上的電壓的不同而產生不同的圖像。光刻工藝(Photoetching)是液晶面板製造工藝中很重要的一步，該工藝包括塗膠、曝光和顯影。在該工序中，曝光之後，需要對基板進行顯影，去除曝光後的光刻(PR)膠， 以形成光刻膠圖案，目前使用的顯影液為四甲基氫氧化銨(TMAH)，TMAH的濃度在2. 43% 左右，對基板表面的光刻膠以及光刻膠下的TFT膜層具有腐蝕性。顯影單元由入口模塊 (ENTRANCE)、顯影一模塊(DEVI)、顯影二模塊(DEV2)、顯影三模塊(DEV3)、循環水洗模塊 (SUBRINSE)、純淨水洗模塊(DIW)、空氣刀模塊(A^ KNIFE)和出口模塊(EXIT)組成；其中， 顯影一模塊(DEVI)、顯影二模塊(DEV2)、顯影三模塊(DEV;3)可以統稱為顯影模塊(DEV)。 正常工作時，同時有三塊基板在顯影單元的不同模塊進行工藝過程。顯影單元之後的工藝設備為烤箱單元，其作用是對顯影完後的基板進行加熱和冷卻，以去除殘留水分。烤箱單元主要由機械手，加熱盤，冷卻盤組成，結構較複雜。如果烤箱單元發生故障，烤箱單元的可編程邏輯控制器(Programmable Logic Controller，簡稱 PLC)會反饋信息給顯影單元，不再接收顯影完的基板。發明人發現採用現有技術至少存在以下問題若烤箱單元發生故障，停止工作，那麼顯影單元的出口模塊的基板將不能再向烤箱單元傳送，會導致顯影單元其他模塊裡面的基板也不能繼續再向前傳動，只能在顯影單元停留，若停留時間過長，顯影液不僅會腐蝕掉沒有曝光的光刻膠，還會腐蝕光刻膠下面的TFT膜層，導致整塊基板報廢。

實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題在於提供一種基板緩衝暫存設備，能夠在顯影單元之後工藝的烤箱單元故障時，暫時容置由顯影單元傳送到烤箱單元的基板，避免基板在顯影單元長時間停留而被顯影液腐蝕，從而有效減少了基板的報廢。為解決上述技術問題，本實用新型基板緩衝暫存設備採用如下技術方案一種基板緩衝暫存設備，包括位於顯影單元的出口模塊下方，用於承載基板的緩衝架；與所述緩衝架相固接，用於控制所述緩衝架的升降的升降裝置。[0012]所述緩衝架包括長方形底框；至少四個立柱，分別位於所述底框四角上；設置在所述立柱上的承接件。每個立柱上承接件的數量相等，為至少一個；一個立柱上的一個承接件與其它立柱上的一個承接件構成承接一塊基板的一個承接層，同一承接層的承接件位於同一水平所述承接件上具有防護凸起。所述防護凸起的材質為柔性且防靜電的材料。所述升降裝置包括與所述緩衝架相固接的並裝有導軌的升降杆；控制所述升降杆沿所述導軌升降的電機。所述電機與可編程控制器電連接。在本實施例的技術方案中，將基板緩衝暫存設備置於顯影單元的出口模塊下方， 在顯影單元的下一單元，即烤箱單元故障時，升起基板緩衝暫存設備，將處於顯影單元的出口模塊位置的基板抬起，暫存該基板，使得位於顯影單元的顯影模塊的基板可以進一步傳送到出口模塊處，待烤箱單元故障解除後，降下基板緩衝暫存設備，將暫存的基板重新放回到顯影單元的出口模塊位置，以便進一步傳送到烤箱單元，進行加熱和冷卻，避免了由於烤箱單元故障造成的基板在顯影單元的顯影模塊停留時間過長，從而進一步避免了由於顯影液腐蝕導致的基板報廢，有效減少了基板的報廢數量。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型實施例顯影單元中的出口模塊的結構示意圖；圖2為本實用新型實施例基板緩衝暫存設備的結構示意圖；圖3為本實用新型實施例基板緩衝暫存設備與出口模塊配合工作示意圖一；圖4為本實用新型實施例基板緩衝暫存設備與出口模塊配合工作示意圖二。附圖標記說明1-基板；21-出口模塊； 4-基板緩衝暫存設備；41-緩衝架； 42-升降裝置； 411-底框；412-立柱； 413-承接件； 414-防護凸起。
具體實施方式
本實用新型實施例提供一種基板緩衝暫存設備，能夠在顯影單元之後工藝的烤箱單元故障時，暫時容置由顯影單元傳送到烤箱單元的基板，避免基板在顯影單元長時間停留而被顯影液腐蝕，從而有效減少了基板的報廢。[0034]
以下結合附圖對本實用新型實施例基板緩衝暫存設備進行詳細描述。在正常工作時，至少同時有三塊基板在顯影單元的不同模塊陸續進行工藝過程。 圖1為顯影單元的出口模塊的示意圖，如圖1所示，經過顯影製備後的基板1在顯影單元的出口模塊21向下一單元，即烤箱單元傳送。若此時烤箱單元發生故障，出口模塊21必須停止向烤箱單元傳送基板，此時，已經經過顯影製備後而未到出口模塊21的基板無法進一步向出口模塊21傳送，只能留置在出口模塊21前的其它模塊，若停留時間過長，顯影液不僅會腐蝕掉沒有曝光的光刻膠，還會腐蝕光刻膠下面的TFT膜層，導致整塊基板報廢。本實用新型實施例針對上述問題提供了一種基板緩衝暫存設備，如圖2所示，該設備包括位於顯影單元的出口模塊下方，用於承載基板的緩衝架41 ；與所述緩衝架41相固接，用於控制所述緩衝架41的升降的升降裝置42。基板緩衝暫存設備4的材質為金屬， 可以直接安裝在地面，並能夠上下升降。在本實施例的技術方案中，將基板緩衝暫存設備置於顯影單元的出口模塊下方， 在顯影單元的下一單元，即烤箱單元故障時，升起基板緩衝暫存設備，將處於顯影單元的出口模塊位置的基板抬起，暫存該基板，使得位於顯影單元的顯影模塊的基板可以進一步傳送到顯影單元的出口模塊處，待烤箱單元故障解除後，降下基板緩衝暫存設備，將暫存的基板重新放回到顯影單元的出口模塊位置，以便進一步傳送到烤箱單元，進行加熱和冷卻，避免了由於烤箱單元故障造成的基板在顯影單元停留時間過長，從而進一步避免了由於顯影液腐蝕導致的基板報廢，有效減少了基板的報廢數量。進一步地，所述緩衝架41包括長方形底框411 ；至少四個立柱412，分別位於所述底框411四角上；設置在所述立柱412上的承接件413。需要說明的是，本實施例提供的底框411四角上設置立柱412的情況僅為舉例，使得在基板的四角有支點，從而將基板1承接在緩衝架41上，在實際設計中，立柱412的位置和數量可以根據實際需要設置，例如，可以在兩個立柱412之間再設置至少一個立柱412，增設的立柱412上也具有承接件413，可以輔助承接基板，使得承接更加穩定。進一步地，每個立柱412上承接件413的數量相等，為至少一個；一個立柱412上的一個承接件413與其它立柱412上的一個承接件413構成承接一塊基板的一個承接層， 同一承接層的承接件413位於同一水平面。每個立柱412上的一個承接件413件與其它立柱412上位於同一水平面的承接件413構成同一層承接層，每個立柱412上具有多個承接件413，從而該緩衝架41具有多個承接基板的承接層，每個立柱412上承接件413的數量， 即承接層的層數根據具體需要緩衝暫存的基板數量確定，本實施例中不加以限制。進一步地，為了防止基板劃傷，所述承接件413上具有防護凸起414。所述防護凸起414的材質可以為具有彈性，柔性且能夠防止靜電的材料，本實例中優選為尼龍或橡膠。具體地，緩衝架41，位於降下狀態時，整個緩衝架位於顯影單元的出口模塊21的正下方，當緩衝架41上升時，立柱412穿過出口模塊21的框架，使得一層或幾層承接層的承接件413高出出口模塊21承接基板1的平面，從而將出口模塊21上的基板1頂起，此時， 基板1緩衝暫存在基板緩衝暫存設備上進一步地，所述升降裝置42包括與所述緩衝架41相固接的並裝有導軌的升降杆；控制所述升降杆沿所述導軌升降的電機(圖中未示出)。進一步地，所述電機與可編程控制器電連接。電機與可編程控制器的功能可以由伺服電機系統實現，則該系統包括電機、PLC伺服模塊、伺服控制器及相關接線。以下以基板緩衝暫存設備需要緩衝暫存三塊基板為例，說明本實施例的技術方案。當烤箱單元發生異常並停止工作時，烤箱單元的控制PLC與顯影單元的控制PLC 通訊，把烤箱單元停止工作的信息反饋到顯影單元的PLC，顯影單元的PLC控制出口模塊的基板不再繼續向烤箱單元傳送，並且控制顯影單元入口模塊不再接收準備進入顯影單元的基板；同時，顯影單元的PLC控制基板緩衝暫存設備動作，依次將顯影單元裡面的三塊基板接收到基板緩衝暫存設備中暫存，以免基板被顯影液腐蝕。需要說明的是，本發明所涉及的PLC控制不同設備單元動作，均是由PLC控制電機動作，電機帶動各個單元進行動作。具體過程如下首先，如圖3所示，基板1到達顯影單元的出口模塊21後，顯影單元的PLC控制出口模塊21的傳送停止，不再向前下一單元傳送基板1，此時顯影單元的PLC會與烤箱單元的 PLC進行通訊，判斷烤箱單元狀態，若烤箱單元正常，顯影單元的PLC控制出口模塊21向前傳動，基板1會傳送入到烤箱單元；若烤箱單元異常，不能接收基板1，烤箱單元的PLC傳送信息給顯影單元的PLC，顯影單元的PLC執行緩衝程序首先，PLC控制基板緩衝暫存設備4 升起，第一層承接層的承接件穿出出口模塊21的框架，高於出口模塊21承載基板的平面， 從而將第一塊基板抬起並置於第一層承接層上，此時，出口單元的出口模塊21準備接收第二塊基板。接下來，如圖4所示，第一塊基板1被基板緩衝暫存設備4抬起後，顯影單元的PLC 控制第二塊基板傳入出口模塊21，第二塊基板完全進入出口模塊21後，PLC控制基板緩衝暫存設備4繼續升起到第二層承接層的承接件也穿出出口模塊21的框架，高於出口模塊21 承載基板的平面，從而將第二塊基板也抬起並置於第二層承接層上，此時，出口單元的出口模塊21接受第三塊基板。至此，顯影單元的基板全部進入到基板緩衝暫存設備4和出口模塊21 ( 一塊在出口模塊21處放置，另兩塊在基板緩衝暫存設備4內暫存)。烤箱單元故障解除後，烤箱單元的PLC發送設備恢復的信息到顯影單元的PLC， PLC控制出口模塊動作，將第三塊基板傳送到烤箱單元，然後控制基板緩衝暫存設備下降， 將第二塊基板放置到出口模塊21上，並控制出口模塊21將第二塊基板傳走，同理，將第一基板傳走。至此，第三塊基板、第二塊基板、第一塊基板依次傳送出出口模塊21，然後顯影恢復正常，開始接收後面準備進入顯影單元的基板。在本實施例的技術方案中，將基板緩衝暫存設備置於顯影單元的出口模塊下方， 在顯影單元的下一單元，即烤箱單元發生故障時，升起基板緩衝暫存設備，將處於顯影單元出口模塊位置的基板抬起，暫存基板，使得位於顯影單元的顯影模塊的基板可以進一步傳送到顯影單元的出口模塊處，進而由基板緩衝暫存設備將基板從出口模塊處抬起(最後一塊基板無需被抬起，只需傳送至出口模塊處即可)，待烤箱單元故障解除後，降下基板緩衝暫存設備，將暫存的基板重新放回到顯影單元出口模塊位置，以便進一步傳送到烤箱單元， 進行加熱和冷卻，該基板緩衝暫存設備結構簡單，對現有設備只需進行較小改進即可實現， 避免了由於烤箱單元故障造成的基板在顯影單元的顯影模塊停留時間過長，從而進一步避免了由於顯影液腐蝕導致的基板報廢，有效減少了基板的報廢數量。
6[0052] 以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式
，但本實用新型的保護範圍並不局限於此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術範圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護範圍之內。因此，本實用新型的保護範圍應以所述權利要求的保護範圍為準。
權利要求1.一種基板緩衝暫存設備，其特徵在於，包括 位於顯影單元的出口模塊下方，用於承載基板的緩衝架；與所述緩衝架相固接，用於控制所述緩衝架的升降的升降裝置。
2.根據權利要求1所述的基板緩衝暫存設備，其特徵在於，所述緩衝架包括 長方形底框；至少四個立柱，分別位於所述底框四角上； 設置在所述立柱上的承接件。
3.根據權利要求2所述的基板緩衝暫存設備，其特徵在於，每個立柱上承接件的數量相等，為至少一個；一個立柱上的一個承接件與其它立柱上的一個承接件構成承接一塊基板的一個承接層，同一承接層的承接件位於同一水平面。
4.根據權利要求3所述的基板緩衝暫存設備，其特徵在於， 所述承接件上具有防護凸起。
5.根據權利要求4所述的基板緩衝暫存設備，其特徵在於， 所述防護凸起的材質為柔性且防靜電的材料。
6.根據權利要求2所述的基板緩衝暫存設備，其特徵在於， 所述升降裝置包括與所述緩衝架相固接的並裝有導軌的升降杆； 控制所述升降杆沿所述導軌升降的電機。
7.根據權利要求6所述的基板緩衝暫存設備，其特徵在於， 所述電機與可編程控制器電連接。
專利摘要本實用新型實施例公開了一種基板緩衝暫存設備，涉及液晶顯示器領域，能夠在顯影單元之後乾燥工藝的烤箱單元故障時，暫時容置由顯影單元傳送到烤箱單元的基板，避免基板在顯影單元的顯影模塊長時間停留而被顯影液腐蝕，從而有效減少了基板的報廢。基板緩衝暫存設備包括位於顯影單元的出口模塊下方，用於承載基板的緩衝架；與所述緩衝架相固接，用於控制所述緩衝架的升降的升降裝置。本實用新型應用於基板製造的顯影設備。
文檔編號H01L21/00GK201946576SQ201020681660
公開日2011年8月24日 申請日期2010年12月24日 優先權日2010年12月24日
發明者王全軍 申請人:北京京東方光電科技有限公司