內聯疊層非晶矽光電池的製作方法
2023-09-17 22:25:50 2
專利名稱:內聯疊層非晶矽光電池的製作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種內聯疊層非晶矽光電池,屬於光電池的技術領域。
現有的內聯弱光型非晶矽光電池,其有源工作層為非晶矽單結P-I-N型結構,對陽光或螢光吸收並不充分,能量轉換效率低,光電池的串聯內阻較大,只能適用於弱光的條件,而且在強光條件下,光致退化效應較為嚴重。
現有的內聯強光型非晶矽光電池,不管其有源工作層為單結或多結的疊層非晶矽二極體結構,其背電極均採用鋁膜。由於製造工藝不夠完善,使光電池的性能不穩定,而且外觀一致性差。
本實用新型的目的是要提供一種內聯疊層非晶矽光電池,它可以克服上述的缺點,其導電極採用導電漿料製成,使導電性能穩定,外觀一致性良好;非晶矽層採用雙結非晶矽P1-I1-N1/P2-I2-N2型疊層結構,能量轉換效率高,輸出電壓也提高,可以在強光條件下使用,光致退化效應小,而且光電池成本低,易於製造。
本實用新型的目的是這樣實現的一種內聯疊層非晶矽光電池,其特徵在於在玻璃基底(1)的表面濺射沉積透明導電膜(2),再覆蓋一層雙結疊層型非晶矽薄膜(3),背電極(4)覆蓋於非晶矽薄膜(3)上。透明電極(2)之間有隔離溝道A,非晶矽薄膜(3)之間有隔離溝道(C),透明電極(2)溝道A與非晶矽層(3)的溝道(C)之間的平移距離為B。背電極(4)之間的溝道為(E),與非晶矽薄膜層(3)溝道C相距為D,由此形成透明電極(2),非晶矽層(3)和背電極(4)三層的三條相互錯位的串聯結構。背電極(4)左邊的窄條形,形成電池引出的正電極,而右邊一塊背電極構成引出的負電極。
非晶矽薄膜層(3)是雙結疊層P1-I1-N1/P2-I2-N2的結構,其中P1P2為非晶矽碳層a-SiCxH,I1層為未摻雜寬帶隙非晶矽層a-SiH,N1N2為N型a-SiH,I2層為未摻雜窄帶隙非晶矽鍺層a-SiGexH(x=0-0.5。
背電極(4)由導電漿料,如導電碳膏、銀漿、銅漿製成。
非晶矽薄膜層(3)的溝道寬度不大於0.4mm。
圖1 非晶矽光電池剖視圖;圖2 非晶矽光電池俯視圖;圖3 一節電池的剖視圖;圖4 透明電極示意圖;圖5 光電池的非晶矽層示意圖;圖6 背電極示意圖。
茲結合附圖對內聯疊層型非晶矽光電池的結構詳細敘述由圖1、2,玻璃基底(1)是由厚度為1.1mm的超薄玻璃製成,其幾何尺寸為數平方釐米麵積,例如為12×30mm2,在該玻璃基底(1)的表面濺射沉積一層ITO透明導電膜的透明電極(2),其厚度為20-60nm,使用蝕刻工藝方法,才將這層透明導電膜製成透明電極(2),它可保證各單元電極之間電氣絕緣,然後利用輝光放電法沉積PIN/PIN雙結疊層型非晶矽薄膜(3),總厚度約為0.5μm,再使用雷射在非晶矽薄膜(3)上刻出直線透明溝道(圖1),寬度為0.15mm,導電漿料的背電極(4)是用絲印方法加在非晶矽薄膜(3)上,使背電極(4)覆蓋於非晶矽薄膜(5)的溝道(E)上,保證單元背電極間電氣絕緣,由此組成一內聯疊層非晶矽光電池。最後在基片上印上保護漆、字符,引出電極就得到成品。
圖1和圖2是表示四節電池互相串聯的結構,前一節電池的背電極(4)與後一節電池的透明電極(2)連接,其中透明電極(2)的隔離溝道A與非晶矽隔離溝道(C)之間的平移間隔為B,非晶矽(3)的隔離溝道(C)與背電極(4)的隔離溝道E之間的平移間隔為D。
由圖3,每一節光電池都是透明電極(2)非晶矽(3)P1-I1-N1/P2-I2-N2雙結疊層結構和背電極(4)構成,其中P1P2層是a-SiCxH,x≈0.50,厚度約為10-15nm,I1層為未摻雜寬帶隙非晶矽a-SiH層,厚度為80-150nm,I2層未摻雜窄帶隙非晶矽鍺a-siGexH層,厚度為200-350nm;X=0-0.50,N1和N2都是n型非晶矽a-SiH層,厚度約為20-30mm,為了實現上下P-I-N結之間的遂道連結,N1和P2層的摻雜濃度高達1%-5%。
由圖4,透明電極(2)是採用ITO或二氧化錫透明導電膜製成,圖4為由4個單元電池組成的非晶矽光電池透明電極(2)的圖形,它由4個長方形透明導電膜組成,相鄰透明電極之間由寬度為A的溝道隔開,保證可靠的電氣絕緣。
由圖5,非晶矽層(3)均勻覆蓋在玻璃基片(1)和透明電極(2)上面,並且在與透明電極(2)的隔離溝道(A)相距為B的位置上形成寬度小於0.4mm的直線溝道(C),也就是在同一方向形成與透明電極隔離溝道錯位的直線溝道C,並且裸露出透明的導電膜(2),圖5表示由4個單元組成的非晶矽光電池非晶矽膜(3)。
由圖6,背電極(4)由導電漿料製成,例如導電碳膏、銀漿、銅漿等導電漿料,每個單元背電極均為長方形,其隔離溝道(E)與非晶矽溝道(C)平行,其間距為D(圖1)。
圖6表示由4個單元組成的非晶矽光電池的背電極(4),它共有5個背電極塊,左邊第1個窄條形覆蓋住透明電極(2)與非晶矽隔離溝道E,形成光電池引出的正電極,第2、3、4個背電極均為較大的長方形,同樣也覆蓋住透明電極(2)與非晶矽(3)的溝道E,而第5塊背電極(4)形成在第5塊非晶矽膜(3)上,個透明電極(2)圖形上,構成光電池引出的負電極。
用這種方法製成光電池,其透明電極(2)非晶矽(3)和背電極(4)形成三條溝道A、C、E相互錯位串聯結構,由此組成了圖1所表示的光電池。
另一個實施例,玻璃基底(1)厚度仍為1.1mm,但尺寸為25×30mm2,其餘透明電極(2)非晶矽膜(3)背電極(4)均無變化,也可製成適用的光電池。
與現有技術相比,內聯層非晶矽光電池具有下列優點1、非晶矽層採用P1-I1-N1/P2-I2-N2雙結疊層結構,轉換效率高,輸出電壓高,近似於單結光電池電壓的2倍。
2、既適合於弱光,也適合於強光環境下使用,光致退化效應小。
3、背電極用導電漿料製作,電性能穩定,外觀一致性良好。
4、製造簡易,原料和設備投資費較小,使成本降低。
5、本光電池可由m個單元電池組成,m是大於1的正數。
權利要求1.一種內聯疊層非晶矽光電池,其特徵在於在玻璃基底(1)的表面濺射沉積透明導電膜(2),再覆蓋一層雙結疊層型非晶矽薄膜(3),背電極(4)覆蓋於非晶矽薄膜(3)上,透明電極(2)之間有隔離溝道A,非晶矽薄膜(3)之間有隔離溝道(C),透明電極(2)溝道A與非晶矽層(3)溝道(C)之間的平移距離為B,背電極(4)之間的溝道為(E),與非晶矽薄膜層(3)溝道C相距為D,由此形成透明電極(2),非晶矽層(3)和背電極(4)三層的三條相互錯位的串聯結構,背電極(4)左邊的窄條形,形成電池引出的正電極,而右邊一塊背電極構成引出的負電極。
2.根據權利要求1所述的光電池,其特徵在於非晶矽薄膜層(3)是雙結疊層P1-I1-N1/P2-I2-N2的結構,其中P1P2為非晶矽碳層a-SiCxH,I1層為未摻雜寬帶隙非晶矽層a-SiH,N1N2為N型a-SiH,I2層為未摻雜窄帶隙非晶矽鍺層a-SiGexH(x=0-0.5)。
3.根據權利要求1所述的光電池,其特徵在於背電極(4)由導電漿料,如導電碳膏、銀漿、銅漿製成。
4.根據權利要求1所述的光電池,其特徵在於非晶矽薄膜層(3)的溝道寬度不大於0.4mm。
專利摘要一種內聯疊層非晶矽光電池,由玻璃基底、透明電極、非晶矽層和導電漿料背電極構成,如圖1所示。非晶矽層具有P
文檔編號H01L31/04GK2390280SQ99244708
公開日2000年8月2日 申請日期1999年9月14日 優先權日1999年9月14日
發明者廖顯伯, 何承義, 邵明, 賈嶺 申請人:珠海道元科技發展有限公司