改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構的製作方法

2023-12-09 20:51:26 2

改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構，在相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置之間設置有去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件。本實用新型在不影響正常工藝的同時，降低掩膜主電極中的方阻，從而改善輕擴區方阻的均勻性，最終提高了太陽能電池的轉換效率。
【專利說明】改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構，屬於太陽能製造領域。
【背景技術】
[0002]目前，太陽能電池作為新興的清潔可再生能源，因具有將太能能直接轉換成電能，其中轉換效率是重點研究方向。選擇性發射極結構是晶體矽太陽能電池生產工藝中實現高效率的方法之一。選擇發射極結構有兩個特點:一是在電極柵線下面是重摻雜，降低金屬與矽之間的歐姆接觸，降低了 Rs，提高FF及電池轉換效率，二是在非柵線區域是輕摻雜，解決了死層帶來的表面複合，提高了開路電壓，短路電流及電池轉換效率。
[0003]由於選擇發射極工藝有明顯的優勢，行業已經研究出很多工藝來形成選擇發射極結構。例如，中國發明專利200910037425.9選擇發射極的工藝是:通過兩次擴散形成重摻和輕摻區，方阻的均勻性通過擴散的時間，磷源，溫度等來控制。本專利中提到的選擇發射極工藝流程是:擴散進行重摻雜，之後在重摻雜表面噴上絲網印刷的圖形相同的掩膜，此掩膜有一定的要求，不能被酸腐蝕，但會易被鹼腐蝕。這樣選擇發射極輕擴區方阻均勻性就由掩膜，酸的濃度，溫度，時間等影響。由於酸在腐蝕矽時會產生NOx氣體，此NOx氣體對藥液的反應有催化作用，需要達到藥液的活性處於飽和狀態時，才可以穩定控制方阻。但現有製程和工藝，在輕擴形成的槽體是由HF&HN03的混合液進行腐蝕，槽體內滾輪完全水平，保證片子在行走時，藥液均勻在矽片表面腐蝕，藥液是通過三組噴淋，噴淋的距離已經固定，第一組與第二組距離最大，此段距離是決定方阻均勻性的關鍵，且噴淋是由藥液的重力決定流速的大小。在矽片156片源在噴完掩膜時，掩膜有28.9um的高度，掩膜主電極的方向為行進方向垂直，這樣片子在進入第一組噴淋後時，腐蝕時間較長，腐蝕過程中在電極之間產生NOx氣體的藥液，在進入第二組噴淋時無法被新藥及時全部更新，此藥液的活性很強，導致掩膜主電極之間的腐蝕過多，方阻偏大，最終導致整片片子的輕擴區方阻均勻性差。

【發明內容】

[0004]本實用新型所要解決的技術問題是克服現有技術的缺陷，提供一種改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構，它在不影響正常工藝的同時，降低掩膜主電極中的方阻，從而改善輕擴區方阻的均勻性，最終提高了太陽能電池的轉換效率。
[0005]為了解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是:一種改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構，在相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置之間設置有去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件。
[0006]進一步，所述的腐蝕藥液噴淋裝置具有三組，並且成並列狀布置，在兩個相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置之間所形成的區間內，其中至少一個區間設置有所述的組件。
[0007]進一步，所述的組件為風刀組件或由彈性材料製成的滾輪組件。
[0008]進一步，所述的滾輪組件為竹節狀或長條狀。[0009]更進一步，所述的滾輪組件由海綿製成。
[0010]採用了上述技術方案後，在現有生產的工藝的基礎上，不更改原有的工藝流程，只需稍微對輕擴槽進行改造，在相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置之間增加去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件，電池片在進入下一次的腐蝕藥液噴淋裝置之前，採用這種組件將上一次的腐蝕藥液噴淋裝置噴淋後殘留在電池片上的腐蝕藥液，在電池片的行進過程中給去除，這樣在進入下一次的的腐蝕藥液噴淋裝置時就能得到全新的腐蝕藥液，從而避免了由於腐蝕時間較長導致的掩膜主電極之間的腐蝕過多，方阻偏大的現象，通過改善輕擴區方阻均勻性，增加了與絲網印刷電極和燒結匹配窗口，最終提高了矽太陽能電池的轉換效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構的第一種結構的結構示意圖；
[0012]圖2為本實用新型的改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構的第二種結構的結構示意圖；
[0013]圖3為本實用新型的改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構的第三種結構的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0014]為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例並結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0015]實施例一
[0016]如圖1所示，一種改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構，腐蝕藥液噴淋裝置I具有三組，並且成並列狀布置，在第一個腐蝕藥液噴淋裝置I和第二個腐蝕藥液噴淋裝置I之間設置有去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件，該組件為由彈性材料製成的滾輪組件3，並且滾輪組件3為竹節狀。該滾輪組件3不破壞掩膜，避免有高度的掩膜被此結構擠壓變形。
[0017]實施例二
[0018]如圖2所示，一種改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構，腐蝕藥液噴淋裝置I具有三組，並且成並列狀布置，在第一個腐蝕藥液噴淋裝置I和第二個腐蝕藥液噴淋裝置I之間設置有去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件，組件為由彈性材料製成的滾輪組件3，滾輪組件3為長條狀，並且滾輪組件3由海綿製成。該滾輪組件3不破壞掩膜，避免有高度的掩膜被此結構擠壓變形。
[0019]實施例三
[0020]如圖3所示，一種改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構，腐蝕藥液噴淋裝置I具有三組，並且成並列狀布置，在第一個腐蝕藥液噴淋裝置I和第二個腐蝕藥液噴淋裝置I之間設置有去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件，組件為風刀組件2，風刀組件2的風刀方向:一是不能影響第二個腐蝕藥液噴淋裝置I的腐蝕藥液的流速，二是風量需要可以將殘留的腐蝕藥液全部從電池片上吹落。
[0021]實施例四[0022]在實施例一的方案的基礎上，在第二個腐蝕藥液噴淋裝置I和第三個腐蝕藥液噴淋裝置I之間也設置有由彈性材料製成的滾輪組件3，該滾輪組件3為竹節狀或長條狀，並且滾輪組件3由海綿製成。
[0023]實施例五
[0024]在實施例三的方案的基礎上，在第二個腐蝕藥液噴淋裝置I和第三個腐蝕藥液噴淋裝置I之間設置有風刀組件2。
[0025]實施例六
[0026]在實施例一或實施例二的基礎上，在第二個腐蝕藥液噴淋裝置I和第三個腐蝕藥液噴淋裝置I之間設置有風刀組件2。
[0027]本實用新型的工作原理如下:
[0028]在現有生產的工藝的基礎上，不更改原有的工藝流程，只需稍微對輕擴槽進行改造，在相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置I之間增加去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件，電池片在進入下一次的腐蝕藥液噴淋裝置I之前，採用這種組件將上一次的腐蝕藥液噴淋裝置I噴淋後殘留在電池片上的腐蝕藥液，在電池片的行進過程中給去除，這樣在進入下一次的的腐蝕藥液噴淋裝置I時就能得到全新的腐蝕藥液，從而避免了由於腐蝕時間較長導致的掩膜主電極之間的腐蝕過多，方阻偏大的現象，通過改善輕擴區方阻均勻性，增加了與絲網印刷電極和燒結匹配窗口，最終提高了矽太陽能電池的轉換效率。
[0029]以上所述的具體實施例，對本實用新型解決的技術問題、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，並不用於限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構，其特徵在於:在相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置(I)之間設置有去除殘留在電池片上的腐蝕藥液的組件。
2.根據權利要求1所述的改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構，其特徵在於:所述的腐蝕藥液噴淋裝置(I)具有三組，並且成並列狀布置，在兩個相鄰的腐蝕藥液噴淋裝置(I)之間所形成的區間內，其中至少一個區間設置有所述的組件。
3.根據權利要求1或2所述的改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構，其特徵在於:所述的組件為風刀組件(2 )或由彈性材料製成的滾輪組件(3 )。
4.根據權利要求3所述的改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構，其特徵在於:所述的滾輪組件(3)為竹節狀或長條狀。
5.根據權利要求3所述的改善選擇發射極輕擴區方阻均勻性結構，其特徵在於:所述的滾輪組件(3)由海綿製成。
【文檔編號】H01L31/18GK203812897SQ201420191998
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2014年4月21日 優先權日:2014年4月21日
【發明者】李豔 申請人:常州天合光能有限公司