彈性表面波裝置及其製造方法和用該裝置的電子部件的製作方法
2023-11-01 02:45:42
專利名稱：彈性表面波裝置及其製造方法和用該裝置的電子部件的製作方法
技術領域：
本發明涉及用在通訊設備上的彈性表面波裝置及其製造方法和用該裝置的電子部件。
背景技術：
現有技術的彈性表面波的製造過程如下在其表面上塗布抗蝕劑，曝光、顯影后，通過蝕刻所希望交指型變換器(IDTInter Digital Transducer)電極、柵反射器(Grating Reflector)電極(以下稱反射器電極)，然後形成包圍它們周圍的切割線和連接它們的細線等所希望的電極圖形。切斷切割線後，就製成單片的彈性表面波裝置。
在該方法中通過切割壓電基片變成單片的彈性表面裝置因IDT電極與反射器電極等在電上分離，而在彈性表面波裝置上加熱和變形時，由於壓電基板具有熱電效應而產生電荷，當各電極間的電荷量變得不均勻時，就由於在對置的IDT電極之間和反射電極等之間或者IDT電極與反射器的電極之間放電而損壞電極或使彈性表面波裝置的特性老化。
作為解決這個問題的手段特開平11-29828號公報中公開了有關這個方法。即，通過在切割線的內側配置包圍IDT電極和反射器電極周圍的金屬薄膜的短路線使產生的電荷電均勻化，防止因放電引起的破損和電特性老化。另外，所謂切割線是把在具有壓電性的基片上形成的多個彈性表面波裝置切開成單個的邊界線，通常通過光刻、蝕刻與IDT電極等同樣的材料形成。
然而在切割線的內側設置包圍IDT電極和反射器電極的周圍的金屬薄膜的短路細線並配設使這金屬薄膜的短路線與IDT電極連接的多條細線的構成中，在溫度變動急劇變化下發生的電量大的場合，電極間的距離狹小的場合、已連接的電極間分離的場合、使金屬薄膜的短路細線與IDT電極連接的線細的場合和已連接的線的蛇狀線或線的一部分比其它部分細的等場合下，因線間的阻抗變高而不能使發生的電荷均勻化，因此存在在電極間發生放電，使電極破損或放電特性老化的這個問題。
發明內容
本發明就是解決上述問題的，其目的是提供一種彈性表面波裝置及其製造方法和用該彈性表面波的電子部件，所述的彈性表面波裝置在其製作彈性時，使在壓電性基片的熱處理等工序中發生的電荷在彈性表面波裝置的整個表面上變均勻，即使分離成單片的彈性表面波裝置後，也能防止伴隨由基片的熱電性發生的電位差放電引起電極破損或電特性老化。
為了解決該課題，本發明的彈性表面波裝置包括具有壓電性的基片、在該基片上設置構成IDT的梳形電極，接近由該IDT發生的表面波的傳送方向配置的反射器電極、和在上述梳形電極和反射器電極的周圍設置隨著地點不同而振幅不同的框狀短路輔助電極的構成。
另外，本發明的彈性表面波裝置的製造方法包括在具有壓電性的基片上被覆金屬膜的工序、設置通過腐蝕該金屬膜構成IDT的梳形電極、接近由IDT發生的表面波的傳送方向形成的反射器電極、至少在上述梳形電極和反射器電極的周圍設置隨著地點不同而振幅不同的框狀短路輔助電極多組的工序、和切斷鄰近的短路輔助電極的間隙的工序。
本發明的電子部件的特徵在於，包括具有在盒底部的引出電極和與該引出電極導通的端子的主基板、用於通過覆蓋該主基板使主基板的內部密封的蓋體、配置在該主基板的底部上的彈性表面波裝置，和使該彈性表面波裝置的輸入輸出端子與主基板的引出電極電連接的連接構件，並使用具有上述構成的彈性波裝置。
圖1A和圖1B分別是表示本發明第一實施方式中的彈性表面波裝置電極圖形的構成的平面圖和在具有壓電性的基片上形成多個彈性表面波裝置電極圖形構成的平面圖。
圖2是表示用該彈性表面波裝置的電子部件的剖面圖。
圖3是表示本發明第二實施方式中的彈性表面波裝置電極圖形構成的平面圖。
圖4是表示本發明第三實施方式中的彈性表面波裝置的電極圖形構成的平面圖。
圖5A、圖5B是分別表示本發明第四實施方式中的彈性表面波裝置電極圖形構成的平面圖和在具有壓電性的基片上形成多個彈性表面波裝置電極圖形構成的平面圖。
圖6是表示本發明第五實施方式中的彈性表面波裝置電極圖形構成的平面圖。
圖7是表示本發明第六實施方式中的彈性表面波裝置電極圖形構成的平面圖。
圖8是表示本發明第七實施方式中的彈性表面波裝置電極圖形構成的平面圖。
圖9是表示本發明第八實施方式中的彈性表面波裝置電極圖形構成的平面圖。
具體實施例方式
下面參照
本發明的具體實施方式
(實施例1)圖1A是表示本發明實施例1中的彈性表面波裝置的電極圖形構成的平面圖，圖1B是表示在基片上形成多個在圖1A中所示的彈性表面波裝置的構成的部分平面圖。圖2是將彈性表面波裝置密封在由主基板和蓋體組成的殼體中的電子部件的剖面圖。
本發明的彈性表面波裝置10具有下述的構成在具有壓電性的基片1上使構成IDT的梳形電極2和設置在由該梳形電極2激勵的彈性表面傳送方向附近的反射電極3成一對具有規定距離配置、並設置向從這些梳形電極2輸入輸出引出電極4a、5a、輸入輸出端子電極4b、5b和連接梳形電極2之間的帶狀連接電極18，還包括在這些電極周圍形成寬度隨著地點不同的短路用輔助電極6的構成。在該短路輔助電極6的外周部上有通過切割留下局部的間隙8，該間隙8部分是基板的表面露出的部分。並且在該短路輔助用電極6和輸入輸出電極4b、5b的規定部分上形成凸部7，通過該凸部7與主基板9的引出電極13連接。
如圖2所示，主基板9是盒狀，在其底部設置引出電極13，該引出電極13與外部的端子電極14導通在通過形成在彈性表面波裝置10的規定部分上的凸部7與引出電極13電連接時同時也進行機械的固定。在蓋體15設置Au-Sn等焊接材料的焊接構件16，通過該焊接構件16與基板9焊接使內部密閉構成電子部件。
圖1、圖2是示意表示本實施方式的構成圖，但不是表示各自的尺寸的相對關係，對以下示出的彈性表面波裝置的圖也是如此。
通過具有壓電性的物質因熱電性和壓電性等而產生電位，由熱電性和壓電性等引起的電荷量隨著地點不同而產生差異時，而引起電位差，在該電位差超過某一值以上時就放電，往往引起裝置破壞或電特性的老化。為了防止發生這個現象，而應使由熱電性和壓電性引起的電壓降低，或即使產生電位差，也應儘可能快地變成同電位，這些都是有效的對策。
本發明通過選取彈性表面波裝置10中電位的平衡使產生的電位差儘可能的變小的方法，業已發現，採用在彈性表面波裝置10的電極圖形中儘可能寬地設置低阻抗區域的方案是有效的。
也就是說本發明的彈性表面波裝置10的電極圖形是在具有壓電性的基片上配置構成IDT的梳形電極2，在接近由該梳形電極2產生的表面波傳送方向在梳形電極2的兩側配置反射電極3，並用梳形短路電極6包圍梳形電極2和反射器電極3的周圍。在此，短路輔助電極6連接在安裝有彈性表面波裝置10的主基板9的引出電極13上，該引出電極13與端子電極14導通，並且作為接地電極。而該短路輔助電極6如從圖2可以清楚看出那樣，在彈性表面波裝置10的電極形成面上形成大致均勻的框狀，作為整體形成不偏靠一方的形狀。
另外連接在梳形電極2上的帶狀輸入輸出引出電極4a、5a對置地設置，並且使它們的面積大致相等，連接在輸入輸出引出電極4a、5a上的輸入輸出端子電極4b、5b也對置地設置，並且也使它們的面積也大致相等，反射電極3與短路輔助電極6在構成在電的開路狀態下的電極。
這樣，在彈性表面波裝置10上，因為使帶狀輸入輸出引出電極4a、5a和輸入輸出端子電極4b、5b的面積大致相等，並且使輔助電極6大變形大致均等不偏靠一方的形狀，而使即使因基板的熱電性產生電荷，也不會變成局部大的電荷量存儲的區域，從而可以使各電極圖形間的電位差大幅度地變小。即使反射電極3和梳形電極2與短路輔助電極6是在電開路狀態，因使在反射器3與梳形電極2上發生的電荷變均勻，而在它們之間不會產生電位差，從而可以防止彈性表面波裝置10的電極損壞和防止產生電特性老化。並且因為使熱電性產生的電位變均勻而使電極圖形間的電位差變小，所以可有效地使短路輔助電極6通過在設計的可能範圍內使電極的寬度變寬而儘可能使阻抗變小，和儘可能地鄰近梳形電極2和反射器電極3等。因此框狀的短路輔助電極6的寬度必需根據地點的不同儘可能最大的寬度的設計，因此如圖所示那樣，隨著地點的不同，其最大寬度也會不同。
這樣，由於用儘可能寬的短路輔助電極6包圍梳形電極2和反射電極3的周圍而使阻抗變小，從而使由基板1的熱電性引起的電荷的積累產生的電位差迅速均勻化，該電位差的均勻化包含在彈性表面波裝置10中的短路輔助電極6的共同連接的電極區域越大，效果越大，因此短路輔助電極6最好用儘可能寬線構成而不用細線構成。
另外在本實施例中，使短路輔助電極6與設置在主基板9上的端子電極14中的接地電極連接，在基板1上發生的電荷從短路輔助電極6經端子電極14流到外部，從而使因熱電性引起的電荷對彈性表面波裝置10的影響大幅度降低。
因彈性表面波裝置10被加熱後產生的熱電性電荷是從具有熱電性的壓電體的基板1中產生的，因此在通常的製造狀態下，彈性表面波裝置10全體被均勻加熱，所以電荷發生從彈性表面波裝置全體上產生。然而在彈性表面波裝置10中，有多個各自獨立的電極圖形，一般具有最寬的區域的是輸入輸出電端子電極4b、5b，因此該部分容易產生最大電位。因此環繞梳形電極2和反射電極3以輸入輸出電極4b、5b為基準對稱，並且如設置儘可能寬的框狀短路輔助電極6，可以使在基板1上發生的電荷全部均勻化，而使電位差變小，從而能抑制放電。
作為防止因電荷的積累的放電發生引起的表面波裝置的損傷的方法，還有例如在相鄰的電極之間預先設置電極間隙窄的部分，一旦電荷積累到一定程度時在不使彈性表面波裝置損傷的範圍內使局部放電的方法。然而在該方法是因為使彈性表面波裝置使用中放電後發生噪聲，所以不是優選的。因此，為了不使彈性表面波裝置因電荷積累的放電而損傷，而使框狀短路輔助電極儘可能寬地鄰近梳形電極2和反射器電極3設置是有效的。
另外，通過使輸入輸出引出電極4a、5b和輸入輸出端子電極4b、5b對置設置使它們的面積大致相等，並且使框狀的短路輔助電極6作為全體大致均勻的配置，因能消除電荷量不均勻積累的區域而能使電位差更均勻。
另外，梳形電極2和反射器電極3在本實施方式中製作一對，但本發明不限於此，即使多級構成的彈性表面波裝置也能得到同樣的效果。
下面說明本發明的彈性表面波裝置10的製造方法。
通過例如濺射形成由層疊在具有壓電性的基片1上構成的金屬薄膜，作為基板，可以用例如LiTaO3或LiNbO3的單晶基片，作為金屬膜，可以用在下層上形成鈦(Ti)膜，在其上面形成鋁-鈧-銅(Al-Sc-Cu)組成的金屬膜，再在其上層上形成Ti膜，藉此組成三層構成的膜後，再在該三層構成膜上通過蒸鍍形成鋁(Al)膜。接著在上金屬薄膜上塗布抗光蝕劑，通過光刻工藝和蝕刻工藝將金屬薄膜加工成所希望電極圖形。然後如果再用光刻工藝和蝕刻工藝只蝕刻除梳形電極2的最上層的Al膜，則在輸入輸出電極4a、5b、輸入輸出端子電極4b、5b和短路輔助電極6上剩下用蒸鍍方式形成的柔軟金屬的Al膜，另外，該Al膜的除去如使用溼法蝕刻，則利用Al與Ti的蝕刻的選擇比可以容易進行。在圖1B中示出了這樣形成的狀態。
接著如果利用切斷裝置切斷相鄰的彈性表面波裝置10的各個短路輔助電極6的間隙8，可以得到規定形狀的彈性表面波裝置10。在本實施方式中，用切斷該切割線的方式代替設置現有技術的切割線，以便切斷短路輔助電極6的間隙8的中心，因此切割線沒有必要，而既可使彈性表面波裝置10的設計簡化，並又可使彈性表面波裝置進一步小型化。
另外，作為金屬薄膜不限於上述材料的構成，也可以層疊由Al、Ti、Cu、Cr、Ni或它們的合金組成的膜。或者可以用由Al膜，在其上的Al-Cu合金膜，再在其上的Ti膜的組成的三層構成膜等各種材料和構成，如果是一層以上，則不管哪層，層疊的順序不受上述的限定，通過製成這樣層疊構成的電極膜，可以使耐電功率性增加，即使發生放電荷也能儘量不容易受到損傷。
作為用蒸鍍方式在至少除了這樣構成的金屬膜的梳形電極2上後的電極膜上形成柔軟的材料膜例如Al膜的方法，在電極膜的表面層是Ti膜的場合，同樣可以用溼蝕刻選擇地蝕刻除去，在電極膜的表面是Al的場合，可以在梳形電極2上預先形成抗蝕刻劑後用蒸鍍方式容易製成。
下面參照圖2說明把這樣獲得的彈性表面波裝置10安裝在主基板9上製成電子部件的工序。使設置在盒狀主基板9的底部上的引出電極13與彈性表面波裝置10上的凸起7位置對準後在電連接的同時也機械地固定彈性表面波裝置10。作為該凸起連接可以採用通過用導電性樹脂的連接、用焊錫凸起的焊錫接合再用金(Au)形成引出電極的表面和凸起7後用超聲波進行Au-AU接合的方式或通過在引出電極的表面上形成錫膜再用金形成凸起7進行Au-Sn共晶接合方式等各種接合方式。另外作為凸起7也可以用電鍍形成，也可以用引線焊接形成。
將彈性表面波裝置10連接在主基板9上後，便獲得使形成由Au-Sn組成的焊錫材料等的焊接構件16的蓋體15與主基板9接觸進行加熱焊接固定密封的構成的電子部件。
由於這樣的焊接方式使引出電極接合的凸起7的接觸面積變大，而具有接合的可靠性高的優點。然而，另一方面也存在下述的情況由凸起接合時的加熱產生熱變形時，因電極膜發生剝離反而使接合的可靠性降低。按照本發明，只要通過蒸鍍方式在電極膜的最上層上形成的膜，就可以緩和在凸起焊接時發生的變形，業已發現能防止電極極膜的剝離。另外，因為通過蒸鍍膜形成，所以還具有在切斷時和洗淨時等工序中不容易引起電極膜的電化學腐蝕的效果。
據推測其理由是在利用蒸鍍方式的成膜中，容易形成具有與底層材料相同取向的薄膜，結果使金屬粒子間的結合強度增加。因此只要用蒸鍍方式至少形成與凸起接觸的電極膜的最上層的膜就可以在即使發生接合引起的變形也不會發生電極膜的剝離，並且還能抑制電化學腐蝕。
作為用蒸鍍方式形成的金屬薄膜由柔軟材料組成的材料一方與凸起的結合性能良好。作為柔軟材料可以用鋁、在添加由Cu、Sc、Cr、Ni、Ti等組成的材料中的至少一種的Al-Cu合金或Au等。除了與凸起接觸的電極膜的最上層用蒸鍍方式形成外，其它的層也可用蒸鍍方式形成，效果相同。
另外，不言而喻，形成凸起的位置不限於圖1A中所示的位置。另外帶狀的輸入輸出引出電極4a、5a其寬度沒有必要相同，其面積可以大致相同。
因為這樣得到的彈性表面波裝置10的輸入輸出引出電極4a、5a和輸入輸出端子電極4b、5b在電上互相獨立，所以可以在如圖1中所述那樣的基片上形成有規定電極圖形的狀態下，分別將探極貼在各個彈性表面波裝置10的輸入輸出端子電極4b、5b上測定電特性。因此可以在將彈性表面波裝置10切斷成單個片之前進行特性分類，在切斷後只用合格品組裝電子部件。
按照上述的本發明，由於用隨著地點不同而寬度不同的框狀的短路輔助電極6圍繞梳形電極2和反射器電極3的周圍並用蒸鍍方式形成至少與突起接觸的電極膜的最上層的膜，所以可以使具有壓電性的基片1的熱電性產生的電位差變小。並且能防止電極膜的接合部的剝離等，還能抑制電化學腐蝕。並且因為只要用層疊構成的電極膜就能提高耐電功率的性能，所以即使因積累的電荷引起發電也不容易損傷電極膜，從而使耐放電性能更加提高。
另外，在安裝彈性表面波裝置10後的電子部件的製造中，不僅可以用上述的凸起焊接法，也可以用例如通過引線焊接連接的方法。
(實施例2)下面參照圖3說明本發明的實施例2的彈性表面波裝置。在圖3中凡與圖1A相同的要素附加相同符號。
配置一對具有3個梳形電極201、202、203和在它們兩端部上的反射器電極3的構成，在中央的梳形電極202上如圖示那樣設置輸入輸出電極4a、5a、輸入輸出電極4b、5b、接地引出電極21a和接地端子電極21b。以包圍它們的方式形成框狀的短路輔助電極6、相對該短路輔助電極6，兩側的反射器電極3和兩側的梳形電極201、203分別通過第一連接電極17和第二連接電極20電連接。在該短路輔助電極6的外周部有通過切割局部殘留的間隙8，該間隙8部分露出基片1的表面，兩側的梳形電極201、203的另一端通過帶狀連接電極18相互連接，在輸入輸出電極4b、5b和短路輔助電極6的規定位置上設置凸起7，這樣就構成彈性表面波裝置100。因為用於把該彈性表面波裝置1製成圖2所示那樣的電子部件的製造方法與第一實施例相同，所以其說明省略。
由於製成這樣的構成，因為反射器電極3和兩側的梳形電極201、203通過帶狀的第一連接電極1和第二連接電極與短路輔助電極6連接，所以使彈性表面波裝置100的寬的區域共同連接而變成同電位，結果即使彈性表面波裝置100因溫度變動由基板1的熱電性產生電位，也能雖含開路狀態的電極圖形但卻使電位差變得非常小。
另外，雖然使梳形電極201、203和反射器電極3與短路輔助電極6電連接的效果隨著電極的圖形設計的不同而不同，但只要是要求為使電位均勻而變成低阻抗，該電極的寬度和電極的根數就不受限制，但顯然是，用寬度最好儘可能的寬且根數也多的一方是更有效的。
在本實施例中，因為使含梳形電極201、203和反射器電極3的電極共同連接，所以即使在各部分上產生不同的電位，也能變成同電位，從而能簡單地製造沒有因放電等引起電極破壞和特性老化的優良的彈性表面波裝置100。
(實施例3)下面參照圖4說明本發明實施例3的彈性表面波裝置。在圖4中凡是與圖1A相同的要素附加相同的符號。
在本實施例中，用蛇形線構成反射器電極19，使該反射器電極19的兩端部分別與梳形電極如圖所示那樣電連接。也就是說，本實施例除了製成使由蛇形線構成的反射器電極19與梳形電極2電連接的連接構成外，是與實施例相同。而且用圖2中表示有該表面波裝置110的主基板9和蓋體15製造電子部件的方法與實施例相同。
在圖4中，由蛇形線構成的反射器電極19與梳形電極2連接，所使用的信號由直流和低頻電流變成導通狀態。因此在彈性表面波裝置110工作的高頻帶域中，蛇形線使阻抗變高，基本上與開路狀態相同。另外，因為使由蛇形線構成的反射器電極19與梳形電極2電連接，所以能使由具有壓電性的基片1的熱電性而引起的電荷在更寬的電極區域上均勻化，使電位差變小。
也就是說，因為使由蛇形線構成的反射器電極19與梳形電極2電連接，所以在作為使用條件的高頻區域上梳形電極2和反射電極19基本上變成開路狀態，不會發生作為彈性表面波裝置110的工作上的不合適之處。另外，對於由熱電性引起的電位而言，因梳形電極2與反射電極19變成電導通狀態，而能使電位差變小。
另外，連接在梳形電極2上的帶狀的輸入輸出引出電極4a、5a相對地設置，並且它們的面積和大致相等，除以之外連接在輸入輸出引出電極4a、5a上的輸入輸出端子電極4b、5b也相對地設置，並且它們的面積也大致相等，通過這樣的構成，即使由熱電性引起的電位在各電極圖形上發生，也幾乎不能產生電位差，從而能簡單地製造沒有因放電等引起電極圖形損傷和特性老化的優良的彈性表面波裝置110。
(實施例4)下面參照圖5A和圖5B說明本發明實施例4的彈性表面波裝置。圖5A是表示電極圖形構成的平面圖，圖5B是表示在具有壓電性的基片上形成多個的構成的平面圖，在圖5A和圖5B中，凡與圖1A和圖1B相同的要素，附加相同符號。本實施例的彈性表面波裝置120隻是在實施例1的彈性表面波裝置10的外周部上用同一電極材料形成切割線線80這點不同。也就是說，通常切割線線80在沿切割線切斷基板時就完全不存在了，但在本發明中即使進行切割後也在外周部確實殘留某一寬度。
按照本實施例，因為在基片1上設置與彈性表面波裝置120一起以框狀電短路的切割線80，所以即使在直到進行切割的基片狀態因大的溫度變動產生而引起熱電性大的電位差，也能使各電極圖形間的電位差均勻化。並且通過切割分割成單個片，也因在彈性表面波裝置120的外周部上存在框內的切割線80的一部分，而使電位差進一步變小效果加大。並且還使通過利用切割裝置在切割線80上切割伴隨切斷位置的對準作業容易。
另外，梳形電極2和反射器電極3等即使是多組設置的彈性表面波裝置也能得到同樣的效果。
本實施例的彈性表面波裝置120的製造方法，除在切割中切斷切割線80上這點不同外，可與實施例1的彈性表面波裝置10的製造方法相同地製作。
(實施例5)下面參照圖6說明本發明實施例5的彈性表面波裝置6。在圖6中凡與圖3相同的要素附加相同的符號。本實施例彈性表面波裝置130除在實施例3的彈性表面波裝置100的外周部上用同一材料形成切割線80這一點外，形成和構成及其製造方法與實施例2相同。在本實施例中，使切割線的寬度在切割後也能確實作為在外周部上那樣的寬度殘留。
用於使梳形電極201、203與短路輔助電極6電連接的第二連接電極20的圖形在該圖形的中途設置阻抗高的區域不是優選的，所以希望例如沿著到達短路輔助電極6方向使其圖形的寬度逐漸變細地形成。並且最好使該第二連接電極20的寬度比切割線80形成的寬。
這樣設置切割線80，因為在切斷後也能在外周部上形成為切割線80殘留成的框狀，所以即使相對在基片1狀態的作業工序中的溫度變動也是穩定的，並且可以簡單地製造不會因相對作為單片安裝到主基板上時的溫度變動由放電引起的破壞和特性老化的優良的彈性表面波裝置和用該裝置的電子部件。
(實施例6)
下面參照圖7說明本發明實施例6的彈性表面波裝置。圖7是本發明實施例6的彈性表面波裝置140的電極圖形構成的平面圖。在圖7中凡與圖6相同的要素附加相同的符號。從圖中不難看出，本實施例的彈性表面波裝置140在實施例5的彈性表面波裝置130中設置使切割線80與短路輔助電極6電連接的第三連接電極22的構成，通過用該彈性表面波裝置140安裝在主基板上製成電子部件的方法和其構造與實施例1相同。另外在本實施例中，使切割線80的寬度在切割後也能確實作為在外周部上的那樣的寬度殘留。
這樣一來，因為通過使短路輔助電極6與衝壓線80通過第三連接電極22電連接，即使在具有壓電性的基板1上產生電荷，兩端的梳形電極201、203、反射器電極3、短路輔助電極6和切割線80也共同電連接，所以因這些電極在全體上電位變化相等而使防止由電位差引起的放電的效果更大。
另外，只要使切割線80、短路輔助電極6、兩端的梳形電極201、203和反射電極3電連接的電極圖形是低阻抗，則即使是線狀、帶狀也沒關係，其根數也不受限制。
(實施例7)下面參照圖8說明本發明實施例7的彈性表面波裝置。在圖8中，凡與圖6相同的要素附加相同的符號。從圖中不難看出，本實施例的彈性表面波裝置150僅使反射器電極3從短路輔助電極變為開路狀態與實施例6的彈性表面波裝置140不同，除此之外與彈性表面波裝置140構成和製造方法相同。
按照這樣的構成，因為即使在具有壓電性的基片1上產生電荷也使兩端的梳形電極201、203、短路輔助電極6和衝壓線80共同電連接，所以即使梳形電極202和反射器電極3處在電開路的狀態，也能實現使它們間的電位差變得很小且通過抑制放電發生而能用可靠性高的彈性表面波裝置和用該裝置的電子部件。
(實施例8)下面參照圖9說明本發明實施例8的彈性表面波裝置。圖9是表示本實施例彈性表面波裝置160的電極圖形的構成的平面圖，凡與圖4相同的要素附加相同的符號。從圖中不難發現，本實施例的彈性表面波裝置160在實施例3的彈性表面波裝置110的外周部上設置切割線80這點是不同的，除此之外的構成和製造方法與實施例3相同。在本實施例中，使切割線的寬度在切割後也能確實作為在外周部上那樣的寬度殘留。
與在實施例3的彈性表面波裝置110中說明的相同，按照本實施例的彈性表面波裝置160，由蛇形線構成的反射電極19與梳形電極2電連接。因此反射器電極19和梳形電極2的信號在直流和低頻帶域變成導通狀態，但在彈性表面波裝置工作的高頻帶域因蛇形線的阻抗變高而基本上變成開路狀態，所以對作為彈性表面波裝置160的電特性沒有影響。這是與實施例3的彈性表面波裝置110相同。
按照本實施例的彈性表面波裝置160，因為使由蛇形線構成的反射電極19與梳形電極2電連接，並設置與框狀短路輔助電極6同樣框狀的切割線80，所以能使由具有壓電性的基片1的熱電性產生的電荷分別被各自的電極圖形部均勻化，而使在各部分發生的電位差進一步變小。
另外，雖然在本實施例中，是使衝壓線80和短路輔助電極6處在電開路狀態，但本發明不限於此，也可以使短路用輔助電極6和衝壓線80通過一根或多根連接電極電連接。
另外，雖然在從實施例1到實施例8中，是就把梳形電極和反射器電極作為一組構成設置一個或兩個的場合說明的，但本發明不限於此，即使在更多級構成的場合也能獲得同樣的效果。
工業實用性按照以上所述的本發明，通過在梳形電極和反射器電極的周圍設置寬度隨地點不同而不同的框狀短路輔助電極能不僅使即便在製造彈性表面波裝置時的以基片為單位的處理工序而即使在通過切割進行單片化後隨溫度變動由基片的熱電性產生電位也能使電極圖形間的電位差變小。結果因能防止發生放電，而能簡單地製造沒有破壞和特性老化等的高可靠性的彈性表面波裝置和用該裝置的電子部件。
權利要求
1.一種彈性表面波裝置，其特徵在於，包括具有壓電性的基片、形成在上述基片上的梳形電極、靠近由上述梳形電極發的表面波傳送方向形成的反射器、和隨著上述梳形電極和上述反射器電極的周圍寬度隨著地點不同而不同的框狀短路輔助電極。
2.如權利要求1所述的彈性表面波裝置，其特徵在於在上述短路輔助電極的外周部上還設置切割線。
3.如權利要求1或2所述的彈性表面波裝置，其特徵在於上述短路輔助電極大致均等地配置。
4.如權利要求1、2或3所述的彈性表面波裝置，其特徵在於在上述框狀的短路輔助電極的內周部設置與梳形電極連接的輸入輸出引出電極和連接在上述輸入輸出引出電極上的輸入輸出端子電極。
5.如權利要求4所述的彈性表面波裝置，其特徵在於上述輸入輸出引出電極相對置地設置輸入引出電極和輸出引出電極，使輸入引出電極與輸出引出電極的面積大致相等。
6.如權利要求4所述的彈性表面波裝置，其特徵在於上述輸入輸出端子電極在使與輸入端子，與輸出端子相對置設置的同時並使輸入端子電極與輸出端子電極的面積大致相等。
7.如權利要求1、3、4、5或6所述的彈性表面波裝置，其特徵在於使上述反射器電極與短路輔助電極電連接。
8.如權利要求2、3、4、5或6所述的彈性表面波裝置，其特徵在於使上述反射器電極與短路輔助電極電連接。
9.如權利要求7所述的彈性表面波裝置，其特徵在於使上述反射電極與短路輔助電極通過一根以上的線狀或帶狀的第一連接電極電連接。
10.如權利要求8所述的彈性表面波裝置，其特徵在於使上述反射器電極與輔助短路電極通過一根以上的線狀或帶狀的第一連接電極電連接。
11.如權利要求10所述的彈性表面波裝置，其特徵在於上述第一連接電極的寬度至少比切割線的寬度大。
12.如權利要求1、2、3、4、5或6所述的彈性表面波裝置，其特徵在於使上述梳形電極的一部分與短路輔助電極電連接。
13.如權利要求12所述的彈性表面波裝置，其特徵在於上述梳形電極至少3對以上設置在規定的位置，上述多個梳形電極中的兩側的上述梳形電極互相連接並還與短路輔助電極電連接。
14.如權利要求12或13所述的彈性表面波裝置，其特徵在於使上述梳形電極與短路輔助電極通過1根以上的線狀或帶狀的第二連接電極電連接。
15.如權利要求2、3、4、5、6、10或11所述的彈性表面波裝置，其特徵在於使上述切割線與短路輔助電極電連接。
16.如權利要求15所述的彈性表面波裝置，其特徵在於使上述切割線與短路輔助電極通過1根以上的線狀或帶狀的第三連接電極電連接。
17.如權利要求16所述的彈性表面波裝置，其特徵在於使上述第三連接電極的寬度至少比切割線的寬度寬。
18.如權利要求1、2、3、4、5或6所述的彈性表面波裝置，其特徵在於使上述反射器電極與短路輔助電極變成電開路的狀態。
19.如權利要求1、2、3、4、5或6所述的彈性表面波裝置，其特徵在於上述反射器電極具有蛇形線的構造由上述反射器電極的兩端分別與梳形電極電連接的構成組成。
20.如權利要求1、2、3、4、5或6所述的彈性表面波裝置，其特徵在於使上述短路輔助電極為接地電極。
21.如權利要求4、5或6所述的彈性表面波裝置，其特徵在於從上述輸入輸出端子電極、輸入輸出引出電極、短路輔助電極中選擇的至少一個最上層的電極膜用蒸鍍方式形成。
22.如權利要求21所述的彈性表面波裝置，其特徵在於上述最上層的電極膜是柔軟的材質的材料。
23.如權利要求22所述的彈性表面波裝置，其特徵在於上述最上層的電極膜使用鋁或鋁合金組成的材料。
24.如權利要求4、5或6所述的彈性表面波裝置，其特徵在於至少上述梳形電極、反射器電極、輸入輸出端子電極、輸入輸出引出電極和短路輔助電極具有層疊一種或多種金屬的構成。
25.一種彈性表面波裝置的製造方法，其特徵在於，包括在具有壓電性的基片上被覆金屬膜的工序、圖形加工工序和切斷相鄰的上述短路輔助電極的間隙工序，所述圖形加工工序的圖形包圍通過蝕刻上述金屬膜構成指狀組合換能器的梳形電極、接近由上述指狀組合換能器激勵的表面波的傳送方向形成的反射器電極、和至少上述梳形電極和上述反射器電極，所述圖形加工工序形成多組寬度隨著地點而不同的框狀短路輔助電極。
26.如權利要求25所述的彈性表面波裝置的製造方法，其特徵在於在上述金屬薄膜的圖形加工工序中，還包括在短路輔助電極的外周部形成切割線的加工。
27.如權利要求25所述的彈性表面波裝置的製造方法，其特徵在於在上述金屬薄膜的圖形加工工序中還包括在框狀的短路輔助電極的內周部設置與梳形電極電連接的輸入輸出引出電極，與上述輸入輸出引出電極相連的輸入輸出端子電極的加工。
28.如權利要求26所述的彈性表面波裝置的製造方法，其特徵在於在上述金屬薄膜的圖形加工工序中，還包括在框狀的短路輔助電極的內周部上設置與梳形電極電連接的輸入輸出電極、與上述輸入輸出引出電極電連接的輸入輸出端子電極的加工。
29.如權利要求25或27所述的彈性表面波裝置的製造方法，其特徵在於在上述金屬薄膜的圖形加工工序中，還包括形成使短路輔助電極與反射器電極或短路輔助電極與梳形電極之間電連接的連接電極的加工。
30.如權利要求26或28所述的彈性表面波裝置的製造方法，其特徵在於在上述金屬薄膜的圖形加工工序中，還包括形成使短路輔助電極與反射器電極或短路輔助電極與梳形電極之間電連接的連接電極的連接電極的力工。
31.如權利要求26、28或30所述的彈性表面波裝置的製造方法，其特徵在於在上述金屬薄膜的圖形加工工序中，還包括形成使短路輔助電極與切割線電連接的連接電極的加工。
32.如權利要求27或28所述的彈性表面波裝置的製造方法，其特徵在於從上述輸入輸出引出電極、輸入輸出端子電極和短路輔助電極中選擇的至少一個用蒸鍍方式形成最上層的電極膜。
33.如權利要求32所述的彈性表面波裝置的製造方法，其特徵在於上述最上層的導電薄膜用柔軟的材料。
34.如權利要求33所述的彈性表面波裝置，其特徵在於的製造方法上述最上層的導體薄膜用鋁或鋁合金。
35.如權利要求25、26、27、28、29、30、31、32、33或34所述的彈性表面波裝置的製造方法，其特徵在於上述金屬薄膜通過層疊一種或多種金屬形成。
36.一種電子部件，其特徵在於具有在箱狀底部引出電極、與上述引出電極導通的端子電極的主基板、用於通過覆蓋上述基板密封上述底基板的內部的蓋體配置在上述主基板的箱狀的底部上的彈性表面波裝置、和使上述彈性表面波裝置的輸入輸出端子電極與上述基板的上述引出電極電連接的連接構件組成上述彈性表面波裝置是如權利要求1至24中任意一項所述的彈性表面波裝置。
37.如權利要求36所述的電子部件，其特徵在於上述連接構件是鋁或金組成的引線。
38.如權利要求36所述的電子部件，其特徵在於上述連接構件是形成在彈性表面波裝置上的凸出部。
全文摘要
通過設置具有壓電性的基片、在該基片上構成IDT的梳形電極、接近由該IDT產生的表面波的傳送方向配置的反射器電極、和在上述梳形電極和反射器電極的周圍寬度隨著地點而不同的短路輔助電極的構成，可以使在製造彈性表面波裝置時在壓電性基片的熱處理工序等發生的電荷在遍及彈性表面波裝置的整個電極表面變成均勻分布，即使在分離成單片彈性表面波裝置後也能防止在因基板的熱電性引起的電荷積累後產生放電而使電極破損或電特性老化。
文檔編號H03H9/25GK1461523SQ02801304
公開日2003年12月10日 申請日期2002年4月17日 優先權日2001年4月19日
發明者池田和生, 村瀨恭通, 西村和紀 申請人:松下電器產業株式會社