一種具有冷卻迴路的密封法蘭的製作方法
2023-10-05 19:30:49 1
本實用新型涉及法蘭技術領域，特別是涉及一種具有冷卻迴路的密封法蘭。
背景技術：
目前，一些設備通常採用密封法蘭配合配件來進行氣體或者液體的密封。例如，氫化物氣相外延(HVPE，Hydride Vapor Phase Epitaxy)設備，該設備為化合物生長工藝設備，主要用於在高溫環境下通過如H2、HCl等氫化物氣體，使襯底表面外延生長一層如GaAs、GaN等的厚膜或晶體。由於H2、HCl等氫化物氣體都是危險氣體，需要通過密封法蘭配合密封圈將這些危險氣體密封在HVPE設備的石英管中，一旦洩露，將造成嚴重後果。然而，HVPE設備由於長期處於高溫環境中，密封圈很容易被燒壞，若不能及時更換密封圈，就將導致危險氣體洩露。通常的做法就是對密封法蘭進行降溫冷卻，根據溫度傳導原理使與密封法蘭緊密接觸的密封圈的溫度降下來，從而延長密封圈的使用壽命。
如圖1所示為現有技術中的具有冷卻迴路的密封法蘭的側視圖，如圖2所示為現有技術中的具有冷卻迴路的密封法蘭的仰視圖，如圖3所示為圖2中A-A方向的剖視圖，如圖4所示為現有技術中的具有冷卻迴路的密封法蘭在進行冷卻時冷卻水的循環走向示意圖。由圖1～圖4可見，密封法蘭的結構主要包括底部1、側壁2、邊緣3、進水口4、出水口5以及擋板6，底部1的中心位置開設有一用於連接外部零部件的連接孔11，擋板6位於進水口4和出水口5之間，在對密封法蘭進行冷卻時，冷卻水(圖4中點虛線代表冷卻水的流經路線)從進水口4進入側壁2的一側，在擋板6的阻擋下流向側壁2的另一側，同時從底部1的一側流向另一側，冷卻水充滿底部1並逐漸向側壁2頂端聚積，在側壁2內的水位高於出水口5時，冷卻水從出水口5流出，從而實現密封法蘭的循環冷卻。
然而，上述結構的密封法蘭在進行冷卻時，很容易造成底部、側壁或邊緣形成冷卻死角，特別是遠離進水口和出水口的地方，冷卻效果將受到極大影響。例如，由於出水口5的位置處於側壁2的外表面上，水位超過出水口5就會流出，因此冷卻水只能冷卻到出水口5下方的部分側壁2，對於出水口5上方的部分側壁2以及邊緣3無法進行冷卻，從而導致冷卻死角的形成，大大影響了冷卻效果。再如，由於底部1的面積較大且無冷卻迴路，無法使冷卻水很好地進行循環冷卻，新進入的冷卻水可能從近進水口4處直接流向近出水口5處，而距離進水口4和出水口5較遠處的冷卻水已經升溫，卻和新進入的冷卻水之間交換較少，從而形成冷卻死角，冷卻效果較差。
因此，如何改進和設計密封法蘭內的冷卻迴路，消除冷卻死角，提高冷卻效果，是亟待解決的問題。
技術實現要素：
鑑於以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在於提供一種具有冷卻迴路的密封法蘭，用於解決現有技術中具有冷卻迴路的密封法蘭在進行冷卻時，很容易造成底部、側壁或邊緣形成冷卻死角，冷卻效果受到極大影響的問題。
為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種具有冷卻迴路的密封法蘭，其中，所述具有冷卻迴路的密封法蘭至少包括：底部，側壁，邊緣，隔層，進水口，出水口，第一擋板，第二擋板以及第三擋板；
所述底部的中心位置開設有一用於連接外部零部件的連接孔，所述底部、所述側壁和所述邊緣均為中空結構，且依次連通形成中空腔體；
所述隔層位於所述側壁內，將所述中空腔體分隔為相互獨立的上腔體和下腔體，且所述隔層上設有第一通道和第二通道，所述進水口和所述出水口位於所述側壁的外表面上，且所述進水口和所述出水口的位置高於所述隔層；其中，所述第一通道和所述第二通道與所述進水口和所述出水口相對位於所述密封法蘭的兩側；
所述第一擋板和所述第二擋板位於所述上腔體內，且分別連接所述隔層和所述側壁頂端，所述第一擋板的位置處於所述進水口和所述出水口之間，所述第二擋板的位置處於所述第一通道和所述第二通道之間；所述第三擋板位於所述下腔體內，且連接所述隔層和所述底部底端，所述第三擋板的位置處於所述第一通道和所述第二通道之間。
優選地，所述具有冷卻迴路的密封法蘭還包括：出水管，所述出水管設置在所述上腔體內，所述出水管的底端連接所述出水口，所述出水管的頂端高度高於所述邊緣的底端。
優選地，所述出水管的頂端具有一傾斜面，所述傾斜面的頂端高度達到所述側壁的頂端，所述出水管的傾斜面與其垂直管道之間的夾角大於等於60°。
優選地，所述邊緣頂端的厚度大於所述側壁頂端的厚度，所述出水管的傾斜面底端的高度高於所述邊緣頂端的下表面。
優選地，所述第一通道採用管道設計，所述第一通道的頂端高度高於所述邊緣的底端，所述第一通道的橫截面為圓形、腰形、方形或者不規則形狀。
優選地，所述第一通道的頂端高度高於所述邊緣頂端的下表面。
優選地，所述第一通道的頂端具有一傾斜面，所述傾斜面的頂端連接所述側壁的頂端，所述第一通道的傾斜面與其垂直管道之間的夾角大於等於60°。
優選地，所述邊緣頂端的厚度大於所述側壁頂端的厚度，所述第一通道的傾斜面底端的高度高於所述邊緣頂端的下表面。
優選地，所述第二通道採用通孔設計或者管道設計，所述第二通道的橫截面為圓形、腰形、方形或者不規則形狀。
優選地，所述隔層位於所述側壁內的位置高度等於或高於所述底部的高度，所述第三擋板的一部分位於所述側壁內，另一部分位於所述底部內，位於所述底部內的部分第三擋板的長度大於所述底部的1/4直徑長度且小於所述底部的直徑長度。
優選地，所述第一擋板和所述第二擋板對稱設置在所述上腔體內的兩側，位於所述下腔體內的所述第三擋板與位於所述上腔體內的所述第二擋板投影在所述底部的同一直徑上。
為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種具有冷卻迴路的密封法蘭，其中，所述具有冷卻迴路的密封法蘭至少包括：底部，側壁，邊緣，隔層，進水口，出水口，第一擋板，以及第二擋板；
所述底部的中心位置開設有一用於連接外部零部件的連接孔，所述底部、所述側壁和所述邊緣均為中空結構，且依次連通形成中空腔體；
所述隔層位於所述側壁內，將所述中空腔體分隔為相互獨立的上腔體和下腔體，且所述隔層上開設有第一通道，所述進水口和所述出水口位於所述側壁的外表面上，所述進水口的位置低於所述隔層，所述出水口的位置高於所述隔層；
所述第一擋板位於所述上腔體內，且連接所述隔層和所述側壁頂端，所述第二擋板位於所述下腔體內，且連接所述隔層和所述底部底端；其中，所述第一擋板和所述第二擋板位於所述密封法蘭的同一側，且所述進水口和所述出水口的位置均處於所述第一擋板和所述第二擋板的一側，所述第一通道的位置處於所述第一擋板和所述第二擋板的另一側。
優選地，所述具有冷卻迴路的密封法蘭還包括：出水管，所述出水管設置在所述上腔體內，所述出水管的底端連接所述出水口，所述出水管的頂端高度高於所述邊緣的底端。
優選地，所述出水管的頂端具有一傾斜面，所述傾斜面的頂端連接所述側壁的頂端，所述出水管的傾斜面與其垂直管道之間的夾角大於等於60°。
優選地，所述邊緣頂端的厚度大於所述側壁頂端的厚度，所述出水管的傾斜面底端的高度高於所述邊緣頂端的下表面。
優選地，所述第一通道採用管道設計，所述第一通道的頂端高度高於所述邊緣頂端的下表面，所述第一通道的橫截面為圓形、腰形、方形或者不規則形狀。
如上所述，本實用新型的具有冷卻迴路的密封法蘭，具有以下有益效果：本實用新型通過增設隔層、多個擋板以及出水管，形成新的冷卻迴路；在進行冷卻時，冷卻水可以循環流過密封法蘭內的每一處，不存在冷卻死角，大大改善了冷卻效果。
附圖說明
圖1顯示為本實用新型現有技術中的具有冷卻迴路的密封法蘭的側視圖。
圖2顯示為本實用新型現有技術中的具有冷卻迴路的密封法蘭的仰視圖。
圖3顯示為圖2中A-A方向的剖視圖。
圖4顯示為本實用新型現有技術中的具有冷卻迴路的密封法蘭在進行冷卻時冷卻水的循環走向示意圖。
圖5顯示為本實用新型第一實施方式的具有冷卻迴路的密封法蘭的仰視圖。
圖6顯示為圖5中A-A方向的剖視圖。
圖7顯示為圖5中B-B方向的剖視圖。
圖8顯示為圖5中C-C方向的剖視圖。
圖9顯示為本實用新型第一實施方式的具有冷卻迴路的密封法蘭在進行冷卻時冷卻水的循環走向示意圖。
圖10顯示為本實用新型第二實施方式的具有冷卻迴路的密封法蘭的仰視圖。
圖11顯示為圖10中A-A方向的剖視圖。
圖12顯示為圖10中B-B方向的剖視圖。
圖13顯示為圖10中C-C方向的剖視圖。
圖14顯示為圖10中D-D方向的剖視圖。
圖15顯示為本實用新型第二實施方式的具有冷卻迴路的密封法蘭在進行冷卻時冷卻水的循環走向示意圖。
元件標號說明
1 底部
11 連接孔
2 側壁
3 邊緣
4 進水口
5 出水口
6 擋板
61 第一擋板
62 第二擋板
63 第三擋板
7 隔層
71 第一通道
72 第二通道
8 出水管
具體實施方式
以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優點及功效。
請參閱圖5至圖15。須知，本說明書所附圖示所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，並非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關係的改變或大小的調整，在不影響本實用新型所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本實用新型所揭示的技術內容得能涵蓋的範圍內。同時，本說明書中所引用的如「上」、「下」、「左」、「右」、「中間」及「一」等的用語，亦僅為便於敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的範圍，其相對關係的改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本實用新型可實施的範疇。
如圖5～圖9所示，本實用新型第一實施方式涉及一種具有冷卻迴路的密封法蘭，其至少包括：底部1，側壁2，邊緣3，隔層7，進水口4，出水口5，第一擋板61，第二擋板62，以及第三擋板63。需要說明的是，由於本實施方式主要是針對密封法蘭內部冷卻迴路的改進和設計，其外部的結構和如圖1所示的現有技術中的密封法蘭相差不大，圖1也可以視作本實施方式的具有冷卻迴路的密封法蘭的側視圖。
請繼續參閱圖5～圖8，側壁2環繞在底部1的周圍，邊緣3環繞在側壁2的周圍，底部1的中心位置開設有一連接孔11，用於連接外部零部件；底部1、側壁2和邊緣3均為中空結構，且依次連通形成中空腔體。需要說明的是，連接孔11貫穿底部1的中心位置，且連接孔11可以是螺紋孔，也可以是與外部零部件相適配的其他形狀或結構的孔。
如圖5、圖7和圖8所示，隔層7位於側壁2內，將中空腔體分隔為相互獨立的上腔體和下腔體，且隔層7上開設有第一通道71和第二通道72，上腔體和下腔體之間可以通過第一通道71連通，也可以通過第二通道72連通，且第一通道71和第二通道72投影在底部1的不同半徑上。進水口4和出水口5位於側壁2的外表面上，且進水口4和出水口5的位置高於隔層7。其中，第一通道71和第二通道72與進水口4和出水口5相對位於密封法蘭的兩側，如圖5所示，第一通道71和第二通道72位於密封法蘭的左側，進水口4和出水口5位於密封法蘭的右側；換言之，第一通道71和進水管4同時位於第一檔板和第二擋板的一側，而第二通道72和出水口5同時位於第一檔板和第二檔板的另一側。另外，第一通道71和第二通道72的位置可以與進水口4和出水口5的位置相對於密封法蘭完全對稱，也可以不對稱。在本實施方式中，作為一個優選的方案，如圖5所示，第一通道71與出水口5對稱設置在密封法蘭的兩側，第二通道72與進水口4對稱設置在密封法蘭的兩側。
如圖5和圖6所示，第一擋板61和第二擋板62位於上腔體內，且分別連接隔層7的上表面和側壁2及邊緣3的頂端，第一擋板61和第二擋板62均可以完全阻擋水流通過。並且，第一擋板61的位置處於進水口4和出水口5之間，第二擋板62的位置處於第一通道71和第二通道72之間，第一擋板61和第二擋板62相對位於密封法蘭的兩側，第一擋板61的位置可以與第二擋板62的位置相對於密封法蘭完全對稱，也可以不對稱。在本實施方式中，如圖6所示，第一擋板61和第二擋板62對稱設置在密封法蘭上腔體內的兩側，也即兩者設置在垂直於底部1直徑的同一垂直面的兩側。
如圖5和圖6所示，第三擋板63位於下腔體內，且連接隔層7的下表面和底部1及側壁2的底端，第三擋板63的位置處於第一通道71和第二通道72之間。位於下腔體內的第三擋板63與位於上腔體內的第二擋板62的投影可以在底部1的同一直徑上，也可以在不同直徑上。在本實施方式中，位於下腔體內的第三擋板63與位於上腔體內的第二擋板62投影在底部1的同一直徑上，也即第三擋板63與第二擋板62設置在垂直於底部1直徑的同一垂直面的同一側。
另外，隔層7採用與密封法蘭相同的材質，通常採用不鏽鋼材質。隔層7位於側壁2內的位置高度等於或高於底部1的高度，即隔層7位於側壁2內的位置與底部1頂端的位置平齊，或者高於底部1頂端的位置。而部分第三擋板63位於側壁2內，連接隔層6的下表面和側壁2的底端，其他部分第三擋板63位於底部1內，連接在底部1的頂端和底端之間，並且位於底部1內的部分第三擋板63的長度大於底部1的1/4直徑長度且小於底部1的直徑長度，以保證後續冷卻水能從第三擋板63繞行，確保冷卻水流經整個底部1面積，無冷卻死角存在，具有良好的冷卻效果。如圖6所示，在本實施方式中，隔層7位於側壁2內的位置與底部1頂端的位置平齊，而位於底部1內的部分第三擋板63的長度延伸至連接孔11。此外，由於密封法蘭在高溫環境下，側壁2和底部1很容易發生形變，進而造成尺寸錯位甚至在焊縫周圍產生裂紋，使冷卻水滲入腔體內，對腔體內環境造成影響，隔層7的存在除了起到分隔中空腔體以形成冷卻迴路的作用，還起到支撐側壁2的作用，大大減小了側壁2發生形變的可能性。
如圖8所示，本實施方式的具有冷卻迴路的密封法蘭還包括：出水管8，出水管8設置在上腔體內，出水管8的底端連接出水口5，出水管8的頂端高度高於邊緣3的底端。在本實施方式中，出水管8在上腔體內可以垂直設置，也可以傾斜設置。作為一個優選的方案，出水管8的頂端具有一傾斜面，傾斜面的頂端高度達到側壁2頂端，出水管8的傾斜面與其垂直管道之間的夾角α大於等於60°且小於90°，優選α＝70°、80°或者85°。更優的，邊緣3頂端的厚度大於側壁2頂端的厚度，出水管8的傾斜面底端的高度高於邊緣3頂端的下表面，且出水管8的直徑小於側壁2的厚度，值得一提的是，由於出水管8的傾斜面底端的高度高於邊緣3頂端的下表面，能夠保證後續冷卻水進入到邊緣3的整個腔體中，確保邊緣3被冷卻到，無冷卻死角存在，進而保證了整個密封法蘭的溫度被進一步降低。
請繼續參閱圖8，在本實施方式中，第一通道71採用管道設計，即第一通道71是由管道構成的通道，第一通道71的頂端高度高於邊緣3的底端，第一通道71的橫截面為圓形、腰形、方形或者不規則形狀。作為一個優選的方案，第一通道71的頂端高度高於邊緣3頂端的下表面。此外，第一通道71的頂端還可以具有一傾斜面，傾斜面的頂端連接側壁2的頂端，第一通道71的傾斜面與其垂直管道之間的夾角大於等於60°，優選70°、80°或者85°。更優的，邊緣3頂端的厚度大於側壁2頂端的厚度，第一通道71的傾斜面底端的高度高於邊緣3頂端的下表面。
另外，如圖7所示，第二通道72採用通孔設計或者管道設計，在本實施方式中，第二通道72採用通孔設計，即第二通道72是開設在隔層7上的通孔；另外，第二通道72的橫截面為圓形、腰形、方形或者不規則形狀。
如圖9所示(圖9中點虛線代表冷卻水的流經路線)，在對密封法蘭進行冷卻時，冷卻水從進水口4進入上腔體的一側，在第一擋板61和第二擋板62的阻擋下逐漸聚積在上腔體的一側內；在上腔體的一側內的水位高於第一通道71的頂端時，冷卻水從第一通道71的頂端進入、底端流出，從而進入下腔體的一側，然後繞過第三擋板63後進入下腔體的另一側，並逐漸聚積在下腔體內；在下腔體內的水位超過下腔體的高度時，冷卻水從第二通道72流回到上腔體的另一側，在第一擋板61和第二擋板62的阻擋下逐漸聚積在上腔體的另一側內；在上腔體的另一側內的水位高於出水管8的傾斜面的底端時，冷卻水通過出水管8從出水口5流出，從而實現密封法蘭的循環冷卻。
值得一提的是，第一通道71和第二通道72的橫截面的形狀和大小根據實際所需的冷卻水流經速度進行設計。在本實施方式中，第一通道71和第二通道72所需的冷卻水流經速度均小於冷卻水從進水口4流入的速度，同時小於冷卻水從出水口5流出的速度；作為一個示例，第一通道71和第二通道72的橫截面均為圓形，直徑為5mm～20mm，優選為10mm或者15mm。
本實施方式的具有冷卻迴路的密封法蘭，通過隔層7將密封法蘭內部的中空腔體分隔為上、下兩個獨立的腔體，再在隔層7上設置兩個上下連通的通道，使上、下腔體連通，冷卻水通過兩個通道在上、下腔體之間循環流通，同時通過三個擋板為冷卻水導流，最終使冷卻水通過出水管流出。本實施方式通過上述結構形成了新的冷卻迴路，結構簡單；在進行冷卻時，冷卻水可以循環流過密封法蘭內的每一處，不存在冷卻死角，具有良好的冷卻效果。
如圖10～圖15所示，本實用新型第二實施方式涉及一種具有冷卻迴路的密封法蘭。本實施方式與本實用新型第一實施方式大致相同，區別之處主要在於：本實施方式僅使用第一擋板61和第二擋板62，隔層7上僅設置第一通道71，進水口4和出水口5在第一擋板61和第二擋板62的同一側，進水口4位於隔層7的下方。具體地說：
請繼續參閱圖10～圖15，本實施方式的具有冷卻迴路的密封法蘭至少包括：底部1，側壁2，邊緣3，隔層7，進水口4，出水口5，第一擋板61，以及第二擋板62。側壁2環繞在底部1的周圍，邊緣3環繞在側壁2的周圍，底部1的中心位置開設有一連接孔11，用於連接外部零部件；底部1、側壁2和邊緣3均為中空結構，且依次連通形成中空腔體。
如圖10、圖12、圖13和圖14所示，隔層7位於側壁2內，將中空腔體分隔為相互獨立的上腔體和下腔體，且隔層7上開設有第一通道71，上腔體和下腔體之間通過第一通道71連通。進水口4和出水口5位於側壁2的外表面上，進水口4的位置低於隔層7，出水口5的位置高於隔層7，進水口4和出水口5可以投影在底部1的不同半徑上，也可以投影在底部1的同一半徑上，即進水口4和出水口5可以設置在側壁2的不同垂直線上，也可以設置在側壁2的同一垂直線上。在本實施方式中，進水口4和出水口5投影在底部1的不同半徑上，即進水口4和出水口5設置在側壁2的不同垂直線上。
如圖10和圖11所示，第一擋板61位於上腔體內，且連接隔層7和側壁2頂端，第二擋板62位於下腔體內，且連接隔層7和底部1底端。其中，第一擋板61和第二擋板62位於密封法蘭的同一側，如圖10所示，第一擋板61和第二擋板62均位於密封法蘭的右側。且進水口4和出水口5的位置與第一通道71的位置分布處於第一擋板61和第二擋板62的兩側，即進水口4和出水口5的位置均處於第一擋板61和第二擋板62的一側，第一通道71的位置處於第一擋板61和第二擋板62的另一側。位於下腔體內的第二擋板62與位於上腔體內的第一擋板61可以投影在底部1的同一直徑上，也可以投影在底部1的不同直徑上。在本實施方式中，位於下腔體內的第二擋板62與位於上腔體內的第一擋板61投影在底部1的同一直徑上。
另外，隔層7採用與密封法蘭相同的材質，通常採用不鏽鋼材質，當然，也可以採用其他材質。隔層7位於側壁2內的位置高度等於或高於底部1的高度，即隔層7位於側壁2內的位置與底部1頂端的位置平齊，或者高於底部1頂端的位置。而部分第二擋板62位於側壁2內，連接隔層6的下表面和側壁2的底端，其他部分第二擋板62位於底部1內，連接在底部1的頂端和底端之間，以保證後續冷卻水能從第二擋板62繞行，確保冷卻水流經整個底部1面積，無冷卻死角存在，具有良好的冷卻效果。如圖11所示，在本實施方式中，隔層7位於側壁2內的位置與底部1頂端的位置平齊，而位於底部1內的部分第二擋板62的長度等於底部1的1/2直徑長度。此外，由於密封法蘭在高溫環境下，側壁2和底部1很容易發生形變，進而造成尺寸錯位甚至在焊縫周圍產生裂紋，使冷卻水滲入中空腔體內，對腔體內環境造成影響，隔層7的存在除了起到分隔中空腔體以形成冷卻迴路的作用，還起到支撐側壁2的作用，大大減小了側壁2發生形變的可能性。
如圖14所示，本實施方式的具有冷卻迴路的密封法蘭還包括：出水管8，出水管8設置在上腔體內，出水管8的底端連接出水口5，出水管8的頂端高度高於邊緣3的底端。在本實施方式中，出水管8在上腔體內可以垂直設置，也可以傾斜設置。作為一個優選的方案，出水管8的頂端具有一傾斜面，傾斜面的頂端高度達到側壁2頂端，出水管8的直徑小於側壁2的厚度，出水管8的傾斜面與其垂直管道之間的夾角α大於等於60°且小於90°，優選α＝70°、80°或者85°。更優的，邊緣3頂端的厚度大於側壁2頂端的厚度，出水管8的傾斜面底端的高度高於邊緣3頂端的下表面，且值得一提的是，由於出水管8的傾斜面底端的高度高於邊緣3頂端的下表面，且出水管8的直徑小於側壁2的厚度，能夠保證後續冷卻水進入到邊緣3的整個腔體中，確保邊緣3被冷卻到，無冷卻死角存在，進而保證了整個密封法蘭的溫度被進一步降低。
如圖13所示，在本實施方式中，第一通道71採用管道設計，即第一通道71是由管道構成的通道，第一通道71的頂端高度高於邊緣3的底端，第一通道71的橫截面為圓形、腰形、方形或者不規則形狀。作為一個優選的方案，第一通道71的頂端高度高於邊緣3頂端的下表面。此外，第一通道71的頂端還可以具有一傾斜面，傾斜面的頂端高度達到側壁2的頂端，第一通道71的傾斜面與其垂直管道之間的夾角大於等於60°，優選70°、80°或者85°。更優的，邊緣3頂端的厚度大於側壁2頂端的厚度，第一通道71的傾斜面底端的高度高於邊緣3頂端的下表面。
如圖15所示(圖15中點虛線代表冷卻水的流經路線)，在對密封法蘭進行冷卻時，冷卻水從進水口4進入下腔體的一側，繞過第二擋板62後進入下腔體的另一側，並逐漸聚積在下腔體內；在下腔體內的水位超過下腔體的高度時，冷卻水從第一通道71的底端進入、頂端流出，從而進入上腔體的一側在第一擋板61的阻擋下流向上腔體的另一側，並逐漸聚積在上腔體內；在上腔體內的水位高於出水管8的傾斜面的底端時，冷卻水通過出水管8從出水口5流出，從而實現密封法蘭的循環冷卻。
值得一提的是，第一通道71的橫截面的形狀和大小根據實際所需的冷卻水流經速度進行設計。在本實施方式中，第一通道71所需的冷卻水流經速度均小於冷卻水從進水口4流入的速度，同時小於冷卻水從出水口5流出的速度；作為一個示例，第一通道71的橫截面為圓形，直徑為5mm～20mm，優選為10mm或者15mm。
本實施方式的具有冷卻迴路的密封法蘭，通過隔層7將密封法蘭內部的中空腔體分隔為上、下兩個獨立的腔體，再在隔層7上設置一個上下連通的通道，使上、下腔體連通，冷卻水通過該通道在上、下腔體之間流通，同時通過兩個擋板為冷卻水導流，最終使冷卻水通過出水管流出。本實施方式通過上述結構形成了新的冷卻迴路；在進行冷卻時，冷卻水可以循環流過密封法蘭內的每一處，不存在冷卻死角，具有良好的冷卻效果。
綜上所述，本實用新型的具有冷卻迴路的密封法蘭，具有以下有益效果：本實用新型通過增設隔層、多個擋板以及出水管，形成新的冷卻迴路，結構簡單；在進行冷卻時，冷卻水可以循環流過密封法蘭內的每一處，不存在冷卻死角，大大改善了冷卻效果。所以，本實用新型有效克服了現有技術中的種種缺點而具高度產業利用價值。
上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用於限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及範疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術領域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。