半導體擴散用石英管清洗裝置製造方法
2023-10-06 21:35:59 1
半導體擴散用石英管清洗裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種半導體擴散用石英管清洗裝置，包括一槽體、一電機、多個傳動杆以及兩個支撐面板；所述電機設於所述槽體的一側，兩個支撐面板相對固定於所述槽體上，多個所述傳動杆均固定於兩個所述支撐面板上，所述電機上的傳動軸連接一傳動帶，所述傳動帶與多個所述傳動杆連接，並且帶動多個所述傳動杆轉動；所述槽體的邊緣設有多個噴淋口，所述槽體的底部設有多個氮氣鼓泡口、排酸出口以及排水出口。所述半導體擴散用石英管清洗裝置通過上述結構，使得其可以自動完成石英管的清洗作業，並且清洗效率較高，清洗較為徹底，同時也降低了勞動強度，保護了人身安全。
【專利說明】半導體擴散用石英管清洗裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種半導體擴散用石英管清洗裝置，用於晶片製造領域。
【背景技術】
[0002]半導體擴散操作中，會用到一端開口的石英管，這是因為擴散工藝在高溫，高純，高壓環境下進行，而石英不但高溫下物理化學性質穩定，膨脹係數隨溫度和壓力變化極小，且容易燒結製作。擴散工藝對系統的潔淨度要求極高，過程中會有雜質在石英管管壁沉積，日積月累會影響器件的性能，所以需要定期對石英管進行清洗。
[0003]當前清洗石英管主要人工進行。首先，將石英管拆卸下來，將強酸溶液(一般是重鉻酸鉀和濃硫酸溶液或者王水)倒入，腐蝕24個小時，再用去離子水衝洗乾淨；然後，將稀釋的氫氟酸溶液(一般1:10)倒入，腐蝕2個小時，再用去離子水反覆衝洗乾淨；最後，用無水乙醇脫水，放置在氮氣對流環境中烘乾。而強酸和氫氟酸溶液對人體傷害較大，勞動強度較高，石英管在衝洗過程中也易碎，因此整個清洗質量很難得以保證。
[0004]因此有必要設計一種半導體擴散用石英管清洗裝置，以克服上述問題。
實用新型內容
[0005]本實用新型的目的在於克服現有技術之缺陷，提供了一種清洗效率高，清洗徹底，並且可降低勞動強度，保護人身安全的半導體擴散用石英管清洗裝置。
[0006]本實用新型是這樣實現的:
[0007]本實用新型提供一種半導體擴散用石英管清洗裝置，包括一槽體、一電機、多個傳動杆以及兩個支撐面板；所述電機設於所述槽體的一側，兩個支撐面板相對固定於所述槽體上，多個所述傳動杆均固定於兩個所述支撐面板上，所述電機上的傳動軸連接一傳動帶，所述傳動帶與多個所述傳動杆連接，並且帶動多個所述傳動杆轉動；所述槽體的邊緣設有多個噴淋口，所述槽體的底部設有多個氮氣鼓泡口、排酸出口以及排水出口。
[0008]進一步地，所述槽體、所述傳動帶以及所述傳動杆均由聚丙烯材料製成。
[0009]進一步地，所述槽體的相對兩側分別設有3個所述噴淋口。
[0010]進一步地，多個氮氣鼓泡口均勻設置於所述槽體的底部。
[0011]進一步地，所述傳動杆的數量為4個，並均勻分為兩組，其中第一組的兩個傳動杆位於第二組的兩個傳動杆上方，且第一組的兩個傳動杆位於同一水平高度，第二組的兩個傳動杆位於同一水平高度。
[0012]進一步地，第一組的兩個傳動杆之間的間距大於第二組的兩個傳動杆之間的間距。
[0013]本實用新型具有以下有益效果:
[0014]所述半導體擴散用石英管清洗裝置通過上述結構，使得其可以自動完成石英管的清洗作業，並且清洗效率較高，清洗較為徹底，同時也降低了勞動強度，保護了人身安全。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖。
[0016]圖1為本實用新型實施例提供的半導體擴散用石英管清洗裝置的結構示意圖；
[0017]圖2為本實用新型實施例提供的傳動杆的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0018]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下所獲得的所有其它實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。
[0019]如圖1和圖2，本實用新型實施例提供一種半導體擴散用石英管清洗裝置，包括一槽體9、一電機1、多個傳動杆8以及兩個支撐面板6。
[0020]如圖1和圖2,所述電機I設於所述槽體9的一側,兩個支撐面板6相對固定於所述槽體9上，多個所述傳動杆8均固定於兩個所述支撐面板6上，所述電機I上的傳動軸連接一傳動帶2，所述傳動帶2與多個所述傳動杆8連接，並且帶動多個所述傳動杆8轉動，所述傳動杆8進一步帶動放置於其上的石英管轉動。在本較佳實施例中，所述傳動杆8的數量為4個，並均勻分為兩組，其中第一組的兩個傳動杆8位於第二組的兩個傳動杆8上方，且第一組的兩個傳動杆8位於同一水平高度，第二組的兩個傳動杆8位於同一水平高度；第一組的兩個傳動杆8之間的間距大於第二組的兩個傳動杆8之間的間距。其中，所述槽體
9、所述傳動帶2以及所述傳動杆8均由聚丙烯(PP)材料製成。
[0021]如圖1和圖2，所述槽體9的邊緣設有多個噴淋口 7，在本較佳實施例中，所述槽體9的相對兩側分別設有3個所述噴淋口 7，所述噴淋口 7用於噴射去離子水，所述噴淋口 7均對準放入所述槽體9的石英管。
[0022]如圖1和圖2，所述槽體9的底部設有多個氮氣鼓泡口 3、排酸出口 4以及排水出口 5。所述氮氣鼓泡口 3均連接至一氮氣鼓泡裝置(未圖示)，多個氮氣鼓泡口 3均勻設置於所述槽體9的底部，從而保證了氮氣分別較為均勻。
[0023]如圖1和圖2，所述半導體擴散用石英管清洗裝置進行清洗石英管的操作如下:
[0024]1、將拆卸下來的石英管放入所述槽體9中，然後加入強酸溶液(一般是重鉻酸鉀和濃硫酸溶液或者王水)，開啟所述電機1，所述傳動杆8帶動石英管在洗液中轉動，打開氮氣鼓泡裝置，維持兩個小時，打開所述排酸出口 4，排除強酸溶液；
[0025]2、打開所述噴淋口 7，同時開啟所述電機1，將石英管充分浸沒後，打開所述排水出口 5，重複三次，將石英管上的強酸溶液清洗乾淨；
[0026]3、將稀釋的氫氟酸溶液(一般1:10)倒入所述槽體9中，同時開啟所述電機1，打開氮氣鼓泡裝置，維持兩個小時，打開所述排酸出口 4，排除稀釋的氫氟酸溶液；
[0027]4、打開所述噴淋口 7，同時開啟所述電機1，將石英管充分浸沒後，打開所述排水出口 5，重複三次，將石英管上的氫氟酸溶液清洗乾淨；
[0028]5、將無水乙醇倒入所述槽體9中，浸沒石英管底部，開啟所述電機1，石英管轉動幾分鐘後，取出，將石英管放在氮氣對流裝置下面烘乾，即可完成其清洗工作。
[0029]綜上所述，所述半導體擴散用石英管清洗裝置通過上述結構，使得其可以自動完成石英管的清洗作業，並且清洗效率較高，清洗較為徹底，同時也降低了勞動強度，保護了人身安全。
[0030]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，並不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護範圍之內。
【權利要求】
1.一種半導體擴散用石英管清洗裝置，其特徵在於，包括一槽體、一電機、多個傳動杆以及兩個支撐面板； 所述電機設於所述槽體的一側，兩個支撐面板相對固定於所述槽體上，多個所述傳動杆均固定於兩個所述支撐面板上，所述電機上的傳動軸連接一傳動帶，所述傳動帶與多個所述傳動杆連接，並且帶動多個所述傳動杆轉動； 所述槽體的邊緣設有多個噴淋口，所述槽體的底部設有多個氮氣鼓泡口、排酸出口以及排水出口。
2.如權利要求1所述的半導體擴散用石英管清洗裝置，其特徵在於:所述槽體、所述傳動帶以及所述傳動杆均由聚丙烯材料製成。
3.如權利要求1所述的半導體擴散用石英管清洗裝置，其特徵在於:所述槽體的相對兩側分別設有3個所述噴淋口。
4.如權利要求1所述的半導體擴散用石英管清洗裝置，其特徵在於:多個氮氣鼓泡口均勻設置於所述槽體的底部。
5.如權利要求1所述的半導體擴散用石英管清洗裝置，其特徵在於:所述傳動杆的數量為4個，並均勻分為兩組，其中第一組的兩個傳動杆位於第二組的兩個傳動杆上方，且第一組的兩個傳動杆位於同一水平高度，第二組的兩個傳動杆位於同一水平高度。
6.如權利要求5所述的半導體擴散用石英管清洗裝置，其特徵在於:第一組的兩個傳動杆之間的間距大於第二組的兩個傳動杆之間的間距。
【文檔編號】B08B9/023GK203936083SQ201420336562
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2014年6月24日 優先權日:2014年6月24日
【發明者】胡豔, 嶽愛文, 劉科, 李晶 申請人:武漢電信器件有限公司