透明導電基板的製造方法、透明導電基板及靜電電容式觸摸面板的製作方法

2023-10-06 18:58:54

透明導電基板的製造方法、透明導電基板及靜電電容式觸摸面板的製作方法
【專利摘要】本發明提供一種無需通過真空工藝、溼法刻蝕法而通過簡便的方法製造圖案識別性高的靜電電容式觸摸面板用透明導電基板的方法，透明導電基板及靜電電容式觸摸面板。在透明膜的至少一方的主面，利用導電性糊劑形成電極用引繞電極圖案；在電極圖案形成部，以與電極用引繞電極圖案連接的方式，用含有金屬納米線或金屬納米顆粒的透明導電圖案形成用墨印刷電極圖案並乾燥；在光照射部(18)，對乾燥後的電極圖案照射脈衝光，將透明導電圖案形成用墨中所含有的金屬納米線或金屬納米顆粒燒結。
【專利說明】透明導電基板的製造方法、透明導電基板及靜電電容式觸 摸面板

【技術領域】
[0001] 本發明涉及透明導電基板的製造方法、透明導電基板和靜電電容式觸摸面板。更 詳細而言，涉及適用於靜電電容式觸摸面板的透明導電基板的製造方法、靜電電容式觸摸 面板用透明導電基板和靜電電容式觸摸面板。

【背景技術】
[0002] 近年，隨著便攜電話、可攜式終端機或個人計算機等各種電子設備的高功能化或 多樣化的推進，正在使用這樣的技術：在該電子設備的顯示面板的前面安裝透光性的觸摸 面板，通過一邊透過該觸摸面板識別背面側的顯示面板的顯示內容，一邊用手指或筆等對 觸摸面板的表面進行按壓操作，可以進行電子設備的各功能的切換操作。
[0003] 作為這樣的觸摸面板，例如，已知在透明的基板沿X方向形成預定形狀的透明電 極圖案並且沿Y方向形成同樣的透明電極圖案的靜電電容型觸摸面板。
[0004] 圖9和圖10是對現有的觸摸面板結構進行說明的圖，圖9是對靜電電容型觸摸面 板的電極構成進行說明的局部俯視圖，圖10是對靜電電容型觸摸面板的電極圖案部分進 行說明的局部放大圖。
[0005] 這樣的靜電電容型觸摸面板100,例如是配置在電子設備的顯示裝置的顯示面上 而使用的，使用在由透明材料製成的基板102形成有透明電極圖案的觸摸面板。例如，已知 這樣的觸摸面板：基板102由具有可透性的玻璃板等透明基板製成，在表面形成有由透明 材料形成的X電極104,另外沿著與該X電極104正交的方向形成有同樣由透明材料形成的 Y電極106。另外，在該靜電電容型觸摸面板100中，如圖9所示，X電極104與設置在基板 102的左右側的引繞電極108、110連接，Y電極106與形成在基板102的一方側、例如上部 側的引繞電極112側連接。這些X電極104和Y電極106分別由預定的電極圖案形成。在 該靜電電容型觸摸面板100中，X電極104例如如圖10中實線所示那樣形成，Y電極106被 形成為圖10中虛線所示的形狀。另外，一般公知的是：一方的X電極104和另一方的Y電 極106,在從表面側觀察時，X電極連接區域104a和Y電極連接區域106a交差，在從表面側 觀察時，相鄰的X電極104和Y電極106之間，設置有恆定的小間隔d。
[0006] 為了不給顯示器、汽車導航裝置等的視覺性把握帶來障礙，X、Y的電極圖案，分別 通過在上下兩個ΙΤ0膜之間隔著矽氧化膜而得的層疊膜形成，賦予了透光性（參見專利文 獻1)。
[0007] 在這樣的透明導電膜形成導電圖案時，在過去以來大量使用的ΙΤ0等金屬氧化物 系材料的透明導電膜的情況下，通常使用對以真空工藝在基板上成膜的透明導電膜進行溼 法刻蝕的方法（參見專利文獻2?4)。另外，近年來雖然提出了使用納米線的透明導電膜 的方案，但是在這種情況下，也同樣通過溼法刻蝕法來形成導電圖案（參見專利文獻5)。
[0008] 因此，期望在將含有銀納米顆粒的墨組合物印刷成網格狀，或通過諸如噴墨印刷、 絲網印刷、凹版印刷、柔版印刷那樣的印刷法將含有銀納米線的墨組合物直接形成圖案。然 而，為了進行印刷，需要粘合劑樹脂，為了確保透明性，需要減少銀納米顆粒、銀納米線的使 用量，所以所使用的粘合劑樹脂會將銀納米顆粒、銀納米線的表面覆蓋，特別是在銀納米線 的情況下存在導電性消失這樣的問題。另外，在不使用粘合劑樹脂的情況下，存在這樣的問 題：在印刷時無法確保圖案，或者即使在剛印刷後能夠勉強確保圖案，在對墨組合物中所含 有的溶劑進行乾燥時圖案也會發生崩塌。
[0009] 現有技術文獻
[0010] 專利文獻
[0011] 專利文獻1:日本特開2008 - 310550號公報
[0012] 專利文獻2:日本特開2000-67762號公報
[0013] 專利文獻3:日本特開2003-57673號公報
[0014] 專利文獻4:日本專利第3393470號公報
[0015] 專利文獻5:日本特表2009-505358號公報


【發明內容】

[0016] 發明要解決的課題
[0017] 本發明的一個目的在於，無需通過真空工藝、溼法刻蝕法，通過簡便的方法提供適 用於圖案識別性高的靜電電容式觸摸面板用的透明導電基板的製造方法、透明導電基板和 靜電電容式觸摸面板。
[0018] 解決課題的手段
[0019] 為了實現上述目的，本發明的一個實施方式是一種透明導電基板的製造方法，其 特徵在於，具有：在透明基板的至少一方的主面通過印刷用導電性糊劑形成電極用引繞電 極圖案的工序；電極圖案的電極印刷工序，用含有金屬納米線或金屬納米顆粒、和形狀保持 溶劑的透明導電圖案形成用墨，印刷與上述電極用引繞電極圖案連接；電極乾燥工序，將上 述電極圖案乾燥；以及電極燒結工序，對上述乾燥後的電極圖案照射脈衝光，使金屬納米線 或金屬納米顆粒燒結。
[0020] 其特徵在於，在上述透明基板的一方的主面形成第一電極用引繞電極圖案和第一 電極圖案，在上述透明基板的另一方的主面形成第二電極用引繞電極圖案和第二電極圖 案。
[0021] 另外，其特徵在於，還具有：準備第一透明基板的工序，所述第一透明基板是在上 述透明基板的一方的主面形成有第一電極用引繞電極圖案和第一電極圖案的基板；準備第 二透明基板的工序，所述第二透明基板是在上述透明基板的一方的主面形成有第二電極用 引繞電極圖案和第二電極圖案的基板；將上述第一透明基板和第二透明基板以各自的電極 圖案形成面相對的方式隔著第三透明基板而接合的工序。
[0022] 其特徵在於，上述形狀保持溶劑的分子量的範圍為100?500,25°C下的粘度為 1. 0X103 ?2. 0X106mPa · s。
[0023] 另外，其特徵在於，上述電極燒結工序為脈衝光照射與加熱的組合。
[0024] 另外，其特徵在於，在上述電極燒結工序之後，具有貼附保護用透明膜的保護膜貼 附工序，或印刷保護用透明外塗樹脂並使該樹脂固化的工序。
[0025] 另外，其特徵在於，前述透明基板為透明膜，上述各工序以卷對卷的方式實施。
[0026] 另外，本發明的另一實施方式是一種透明導電基板，其特徵在於，是通過前述製造 方法形成的。
[0027] 另外，其特徵在於，具有第一電極圖案、第二電極圖案和透明絕緣層，前述透明絕 緣層介於前述第一電極圖案和第二電極圖案之間，前述第一電極圖案和第二電極圖案是用 燒結金屬形成的。
[0028] 另外，其特徵在於，前述透明絕緣層為透明膜，前述第一電極圖案形成在前述透明 膜的第一主面，前述第二電極圖案形成在前述透明膜的第二主面。第一電極圖案和第二電 極圖案還分別由保護用透明膜或保護用透明外塗樹脂覆蓋。
[0029] 另外，其特徵在於，透明絕緣層為在兩主面具有透明粘結劑層的第三透明膜，前述 第一電極圖案形成在第一透明膜的一方的主面，前述第二電極圖案形成在第二透明膜的一 方的主面，以前述第一電極圖案和第二電極圖案相對的方式層疊於前述第三透明膜。
[0030] 另外，本發明的另一實施方式為靜電電容式觸摸面板，其特徵在於，在電子設備的 顯示面板的前面設有前述透明導電基板。
[0031] 發明效果
[0032] 根據本發明，能夠提供無需通過真空工藝、溼法刻蝕法，通過簡便的方法製造適用 於圖案識別性高的靜電電容式觸摸面板的透明導電基板的方法和透明導電基板。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0033] 圖1是示出實施方式所涉及的透明導電基板的製造工序的例子的圖。
[0034] 圖2是用於說明脈衝光的定義的圖。
[0035] 圖3是用於對使用了金屬納米顆粒的網格狀圖案進行說明的圖。
[0036] 圖4是示出通過圖1所示的製造工序製造的靜電電容式觸摸面板用透明導電基板 的構成例的圖。
[0037] 圖5是示出實施方式所涉及的靜電電容式觸摸面板用透明導電基板的製造工序 的另一例的圖。
[0038] 圖6是示出通過圖5所示的製造工序製造的靜電電容式觸摸面板用透明導電基板 的構成例的圖。
[0039] 圖7是實施例所使用的透明導電基板的圖案（X電極圖案）概略圖。
[0040] 圖8是實施例所使用的透明導電基板的圖案（Y電極圖案）概略圖。
[0041] 圖9是對現有的觸摸面板結構進行說明的圖。
[0042] 圖10是對現有的觸摸面板結構進行說明的圖。

【具體實施方式】
[0043] 下面根據附圖對用於實施本發明的方式（下文稱為實施方式）進行說明。另外， 本說明書中的透明導電基板中的"透明"是指可見光區域（400?800nm)的光線透過率為 65%以上。
[0044](第1實施方式）
[0045] 圖1示出了實施方式所涉及的靜電電容式觸摸面板用透明導電基板的製造工序 的例子。在圖1中，一邊從基板卷12將透明基板（透明膜基板）10拉出，一邊用X電極（相 當於第一電極）用引繞電極圖案形成部14在透明膜基板10的一方的主面形成X電極用引 繞電極圖案。該X電極用引繞電極圖案例如為圖9所示的圖案。X電極用引繞電極圖案形 成部14,使用公知的導電糊劑，通過絲網印刷、凹版印刷、柔版印刷那樣的印刷法來形成X 電極用引繞電極圖案，並使其乾燥。這裡，作為乾燥方法，可以舉出利用烘箱加熱、利用脈衝 光照射而加熱等。
[0046] 在形成了上述X電極用引繞電極圖案的一側的透明膜基板10的主面，用X電極圖 案形成部16形成X電極圖案。該X電極圖案以與上述X電極用引繞電極圖案連接的方式 形成。另外，為了使X電極用引繞電極圖案和X電極圖案的位置對齊，優選在X電極用引繞 電極圖案形成部14印刷合適的位置對齊標記。在X電極圖案形成部16,可以使用將金屬納 米線或金屬納米顆粒分散在含有以下的形狀保持材料的分散介質中而得的透明導電圖案 形成用墨來形成X電極圖案。上述形狀保持材料為含有分子量範圍為150?500的有機化 合物且25°C下粘度為1. OX 103?2. OX 106mPa · s的材料。這裡，在有機化合物在25°C下 為上述粘度範圍的液狀的情況下，可以僅由上述有機化合物構成形狀保持材料。另一方面， 在25°C下的粘度大於上述粘度範圍的情況下，或者在25°C下為固體的情況下，可以預先與 合適的溶劑（為能夠溶解有機化合物的溶劑，可以舉出後述的粘度調節溶劑等）混合（稀 釋、溶解）從而形成上述粘度範圍的液狀形狀保持材料。
[0047] 如果形狀保持材料的粘度低於上述範圍，則不能保持所印刷的圖案的形狀，如果 高於上述範圍，則在印刷時產生拉絲等不良影響。作為形狀保持材料25°C下的粘度，更優選 在 5. 0X104 ?1. 0X106mPa · s 的範圍。
[0048]另外，如果所使用的形狀保持材料中所含有的有機化合物的分子量大，則在燒結 時不能高效地將形狀保持材料除去，電阻不會降低。因此，作為分子量，期望在500以下，優 選在400以下，更優選在300以下。
[0049] X電極圖案形成部16,使用上述透明導電圖案形成用墨通過如絲網印刷、凹版印 刷、柔版印刷那樣的印刷法來形成X電極用引繞電極圖案，並使用烘箱等進行乾燥。
[0050] 對在X電極圖案形成部16所形成的X電極圖案，用光照射部18照射脈衝光，從而 將金屬納米線或金屬納米顆粒燒結。另外，也可以在以燒結為目的的脈衝光照射之前，通過 烘箱加熱、脈衝光照射對X電極圖案進行加熱，從而將溶劑乾燥。另外，也可以通過脈衝光 照射同時實施乾燥和燒結。脈衝光照射時的氣氛溫度並沒有特別限定，可以在室溫下實施， 也可以在加熱氣氛下實施。
[0051] 在本說明書中，"脈衝光"是指，光照射期間（照射時間）為短時間的光，在反覆進 行多次光照射的情況下，如圖2所示那樣，是指在第一光照射期間（on)和第二光照射期間 (on)之間具有不照射光的期間（照射間隔（off))的光照射。雖然在圖2中是以脈衝光的 光強度恆定的方式示出的，但是在1次光照射期間（on)內光強度也可以發生變化。上述脈 衝光是通過具有氙閃光燈等閃光燈的光源照射的。使用這樣的光源，對形成於上述透明膜 基板10的X電極圖案中的金屬納米線或金屬納米顆粒照射脈衝光。在反覆照射η次的情 況下，將圖2中的1循環（on+off)反覆進行η次。另外，在反覆照射的情況下，為了在進行 下次脈衝光照射時能夠將基材冷卻至室溫附近，優選從透明膜基板10側進行冷卻。
[0052] 另外，作為上述脈衝光，可以使用1pm?lm波長範圍的電磁波，優選10nm? 1000 μ m波長範圍的電磁波（從遠紫外至遠紅外），進一步優選100nm?2000nm波長範圍 的電磁波。作為這樣的電磁波的例子，可以舉出Y射線、X射線、紫外線、可見光、紅外線、 微波、與微波相比長波長側的電波等。另外，在考慮向熱能的轉換的情況下，在波長過短時， 對透明膜基板10、各電極圖案等的損傷大，故而不優選。另外，在波長過長時，由於不能高效 地吸收而發熱，故而不優選。因此，作為波長的範圍，在前述波長中特別優選從紫外到紅外 的範圍，更優選100?2000nm範圍的波長。
[0053] 脈衝光的1次照射時間（on)，雖然也基於光強度，但是優選20微秒?50毫秒的 範圍。如果小於20微秒，則金屬納米線或金屬納米顆粒的燒結沒有進展，導電膜的性能提 高的效果變低。另外，如果大於50毫秒，則存在因光劣化、熱劣化而對透明膜基板10產生 不良影響，另外金屬納米線或金屬納米顆粒容易吹散。更優選為40微秒?10毫秒。根據 上述理由，在本實施方式中，不使用連續光，而是使用脈衝光。對於脈衝光的照射，雖然即使 以單次實施也具有效果，但是也可以如上述那樣反覆實施。在反覆實施的情況下，照射間隔 (off)優選為20微秒?5秒、更優選為2000微秒?2秒的範圍。如果小於20微秒，則接近 於連續光，在一次照射後沒有放冷的期間就進行照射，所以存在基材被加熱而溫度升高從 而發生劣化的可能性。另外，如果大於5秒，則工藝時間變長，所以如果考慮到生產率則不 優選。
[0054] 對於形成了 X電極用引繞電極圖案和X電極圖案的透明膜基板10的表面，利用X 側保護膜貼附部20貼附從保護膜卷22拉出的保護用透明膜23。另外，也可以代替貼附保 護用透明膜23,通過印刷外塗（over coat)樹脂並將該樹脂固化來覆蓋X電極用引繞電極 圖案和X電極圖案。
[0055] 作為這裡所使用的外塗樹脂，可以使用在多官能丙烯酸酯、環氧基丙烯酸酯、氨基 甲酸酯丙烯酸酯等中添加了光聚合引發劑的液狀樹脂組合物。
[0056] 作為多官能丙烯酸酯，可以舉出，例如二季戊四醇、季戊四醇、二（三羥甲基丙 烷）、三羥甲基丙烷、乙二醇、丙二醇、1，4-丁二醇、1，6-己二醇、1，8-辛二醇二乙二醇、三乙 二醇、二丙二醇、1，6-己烷二甲醇等多元醇與（甲基）丙烯酸生成的酯類。
[0057] 環氧基丙烯酸酯為，例如通過在環氧樹脂的環氧乙烷環上加成（甲基）丙烯酸而 獲得的反應產物。作為這裡所使用的環氧樹脂，可以舉出，雙酚A環氧樹脂、雙酚F環氧樹 月旨、酚醛清漆型環氧樹脂等。
[0058] 氨基甲酸酯丙烯酸酯為，例如使用（甲基）丙烯酸羥基烷基酯與多異氰酸酯以及 根據需要使用多元醇作為原料進行反應而得的物質。作為（甲基）丙烯酸羥基烷基酯的具 體例，可以舉出（甲基）丙烯酸羥基甲酯、1，4-丁二醇單（甲基）丙烯酸酯、環己烷二甲醇 單（甲基）丙烯酸酯。作為多異氰酸酯的具體例，可以舉出，異佛爾酮二異氰酸酯、TDI (甲 苯二異氰酸酯）、MDI (亞甲基二苯基二異氰酸酯）、氫化MDI等。作為多元醇的具體例，可 以舉出，分子量500?1000左右的聚乙二醇、聚丙二醇、聚1，4- 丁二醇、聚酯多元醇、聚碳 酸酯二醇、兩端羥基化的聚丁二烯、兩端羥基化的聚異戊二烯等。另外，前述聚酯多元醇是 指，例如，如丁二酸、己二酸那樣的二羧酸與1，3_ 丁二醇、2-甲基-1,3-丙二醇、1,6-己二 醇、環己烷二甲醇等生成的聚酯。另外，聚碳酸酯二醇是指，碳酸與1，4-丁二醇、1，6-己二 醇、環己烷二甲醇等生成的酯。
[0059] 作為光聚合引發劑，可以使用自由基聚合引發劑、陽離子聚合引發劑。作為自由基 聚合引發劑，可以舉出，例如苯乙酮、2, 2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2, 2-二乙氧基苯乙酮、 4'_異丙基-2-羥基-2-甲基苯丙酮、2-羥基-2-甲基苯丙酮、4, 4'-二（二乙基氨基）二 苯甲酮、二苯甲酮、甲基（鄰苯甲醯基）苯甲酸酯、1-苯基-1，2-丙二酮-2-(鄰乙氧基羰 基）肟、1-苯基-1，2-丙二酮-2-(鄰苯甲醯基）肟、苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、 苯偶姻異丙基醚、苯偶姻異丁基醚、苯偶姻辛基醚、二苯甲醯、苯偶醯二甲基縮酮、苯偶醯二 乙基縮酮、雙乙醯等羰基化合物，甲基蒽醌、氯蒽醌、氯硫雜蒽酮、2-甲基硫雜蒽酮、2-異丙 基硫雜蒽酮等蒽醌或硫雜蒽酮衍生物，二苯基二硫醚、二硫代氨基甲酸酯等硫化合物。
[0060] 另外，作為陽離子光聚合引發劑，可以舉出路易斯酸的重氮鹽、路易斯酸的碘礙言 鹽、路易斯酸的鋶鹽、路易斯酸的鱗鹽等。作為具體例，可以舉出三苯基鋶六氟膦酸鹽、三 苯基鋶六氟銻酸鹽、二苯基碘，榻'六氟膦酸鹽、二苯基碘每t六氟銻酸鹽、N，N-二乙基氨基苯 基六氟膦酸重氮鹽、對甲氧基苯基氟膦酸重氮鹽等。
[0061] 通過利用絲網印刷、凹版印刷、柔版印刷等公知的印刷方法在X電極用引繞電極 圖案和X電極圖案印刷外塗樹脂後，使其固化，來形成保護層。對於固化，可以通過前述的 脈衝光照射以短時間進行固化。
[0062] 然後，將形成了上述X電極用引繞電極圖案和X電極圖案的透明膜基板10移動至 Y電極（相當於第二電極）用引繞電極圖案形成部24的位置，在與形成有X電極用引繞電 極圖案和X電極圖案的主面不同的主面，利用Y電極用引繞電極圖案形成部24形成Y電極 用引繞電極圖案。Y電極用引繞電極圖案例如為圖9所示的圖案。Y電極用引繞電極圖案 形成部24,使用公知的導電糊劑通過如絲網印刷、凹版印刷、柔版印刷那樣的印刷法來形成 Y電極用引繞電極圖案，並進行乾燥。
[0063] 在形成了上述Y電極用引繞電極圖案的一側的透明膜基板10的主面，利用Y電極 圖案形成部26形成Y電極圖案。該Y電極圖案是以與上述Y電極用引繞電極圖案連接的方 式形成的。另外，為了進行Y電極用引繞電極圖案與Y電極圖案的位置對齊，優選Y電極用 引繞電極圖案形成部24印刷合適的位置對齊標記。Y電極圖案形成部26也使用含有金屬 納米線或金屬納米顆粒、和形狀保持溶劑的透明導電圖案形成用墨來形成Y電極圖案。這 裡，形狀保持溶劑為具有上述分子量和粘度的溶劑。Y電極圖案形成部26,使用上述透明導 電圖案形成用墨通過如絲網印刷、凹版印刷、柔版印刷那樣的印刷法來形成Y電極用引繞 電極圖案，並進行乾燥。
[0064] 對於Y電極圖案形成部26所形成的Y電極圖案，利用光照射部28照射脈衝光，從 而將金屬納米線或金屬納米顆粒燒結。另外，也可以在脈衝光照射之前或同時通過合適的 方法對Y電極圖案進行加熱。
[0065] 對於形成有Y電極用引繞電極圖案和Y電極圖案的透明膜基板10的表面，利用Y 側保護膜貼附部30,貼附從保護膜卷32拉出的保護用透明膜33。另外，也可以代替貼附保 護用透明膜33,通過印刷外塗樹脂並將該樹脂固化，來覆蓋Y電極用引繞電極圖案和Y電極 圖案。在這裡能夠使用的外塗樹脂為與前述的能夠應用於X電極用引繞電極圖案和X電極 圖案的外塗樹脂等同的樹脂。
[0066] 通過以上方式操作而在兩面形成了 X和Y電極用引繞電極圖案、以及X和Y電極 圖案的透明膜基板10,被卷取於卷取輥34,從而一系列的卷對卷工序結束。
[0067] 另外，X電極用引繞電極圖案形成部14和X電極圖案形成部16的順序、以及Y電 極用引繞電極圖案形成部24和Y電極圖案形成部26的順序也可以顛倒。在這種情況下， 上述位置對齊標記分別在X電極圖案形成部16和Υ電極圖案形成部26中進行印刷。此 夕卜，在透明導電圖案形成用墨中使用金屬納米顆粒的情況下，與使用金屬納米線的情況相 t匕，能夠配合進墨組合物中的含量多，所以能夠獲得高導電性，因此也可以在形成電極圖案 以及形成電極用引繞電極圖案這兩方的工序中，採用使用了金屬納米顆粒的透明導電圖案 形成用墨，同時進行這兩個工序。另外，也可以將X側保護膜貼附部20配置在光照射部28 之後（例如Y側保護膜貼附部30之前）。
[0068] 另外，在圖1的例子中，透明膜基板10和保護用透明膜23、33,通過合適數量的方 向改變輥36而行進方向變更，但是這是用於說明的例示，並不限定於此。可以根據各構成 要素的排列情況，來適當確定透明膜基板10和保護用透明膜23、33的行進方向。
[0069] 作為上述形狀保持材料所含有的有機化合物，優選帶有羥基的化合物，例如單糖 類、多元醇，優選具有帶季烷基和/或橋環骨架的烷基、和羥基的化合物，例如可以舉出，雙 甘油、2, 2, 4-三甲基-1，3-戊二醇單異丁酸酯、2, 2, 4-三甲基-1，3-戊二醇二異丁酸酯、木 酮糖、核酮糖、冰片基環己醇、冰片基苯酚、異冰片基環己醇、異冰片基苯酚等。
[0070] 上述列舉的化合物中，特別優選具有異冰片基和羥基的化合物。這是因為通過具 有異冰片基的複雜立體結構以及羥基的氫鍵，賦予透明導電圖案形成用墨適度的粘著性。 另外，這是因為，具有異冰片基和羥基的化合物雖然揮發溫度並不太高，但是由於具有高粘 性，所以能夠實現透明導電圖案形成用墨的高粘度化。作為具有異冰片基和羥基的化合物， 可以舉出，異冰片基環己醇或異冰片基苯酚中的一方或其兩方。上述列舉的化合物，由於具 有適度的粘著性，所以賦予透明導電圖案形成用墨適度的粘著性。另外，作為墨溶劑，具有 適當的沸點，所以在印刷、乾燥完成後，通過適當的加熱、光燒結等，能夠減少殘渣。墨中的 形狀保持材料的含量相對於分散介質總質量，優選為10?90質量％，更優選為30?80質 量％。如果形狀保持材料的含量小於10質量％，則透明導電圖案形成用墨不能具有適度的 粘度，從而不能印刷。另外，如果形狀保持材料的含量超過90質量％，則透明導電圖案形成 用墨的粘度變得過高，印刷時的拉絲性變得嚴重，也存在不能印刷的情況。
[0071] 另外，作為形狀保持材料，雖然期望其自身為上述粘度範圍的粘稠液體，但是也可 以以滿足上述粘度範圍的方式混合其它粘度調節溶劑從而調製具有上述範圍的粘度的分 散介質，使金屬納米線或金屬納米顆粒作為導電成分而分散於分散介質中，形成透明導電 圖案形成用墨。
[0072] 作為粘度調節溶劑的例子，可以舉出水、醇、酮、酯、醚、烴系溶劑和芳香族系溶劑。 從使墨組合物中的各成分良好地分散的角度考慮，優選水、乙醇、異丙醇、1-甲氧基-2-丙 醇（PGME)、乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、二丙二醇、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單 丙醚、二丙酮醇、乙二醇單丁醚、丙二醇、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二丙二醇單丙 醚、二乙二醇單丁醚、三丙二醇、三乙二醇單乙醚、松油醇、二氫松油醇、二氫松油基單乙酸 酯、甲基乙基酮、環己酮、乳酸乙酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二醇單甲醚乙酸酯、二乙二 醇單丁醚乙酸酯、乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯、二丁基醚、辛烷、甲苯，特別 優選松油醇。這些溶劑可以單獨使用，也可以混合2種以上使用。
[0073] 金屬納米線和金屬納米顆粒是指，線直徑的粗細或顆粒的外徑具有納米級的尺寸 的金屬，金屬納米線為具有線狀（包括中空的管狀）形狀的導電性材料，金屬納米顆粒為具 有粒狀形狀的導電性材料。至於性狀，可以是柔軟的，也可以是剛性的。金屬納米線和金屬 納米顆粒的金屬，也可以在至少一部分中含有金屬氧化物。
[0074] 作為金屬的種類，可以舉出，選自金、銀、鉬、銅、鎳、鐵、鈷、鋅、釕、銘、鈕、鎘、鋨、銥 中的至少1種、以及將這些金屬組合的合金等。為了獲得具有低表面電阻且高全光線透過 率的塗膜，優選含有金、銀和銅中的至少1種。由於這些金屬導電性高，所以在獲得預定的 表面電阻時，能夠降低在面中所佔的金屬的密度，因此能夠實現高的全光線透過率。
[0075] 這些金屬當中，更優選含有金或銀中的至少1種。作為最合適的實施方式，可以舉 出銀的納米線。
[0076] 優選，透明導電圖案形成用墨中的金屬納米線直徑的粗細、長軸的長度和長徑比 具有恆定的分布。對於該分布，以由本實施方式的透明導電圖案形成用墨獲得的塗膜成為 全光線透過率高且表面電阻低的塗膜的方式進行選擇。具體而言，金屬納米線直徑的粗細 的平均值優選在lnm以上且500nm以下，更優選在5nm以上且200nm以下，進一步優選在 5nm以上且100nm以下，特別優選在10nm以上且100nm以下。另外，第1成分的長軸長度的 平均值優選在1 μ m以上且100 μ m以下，更優選在1 μ m以上且50 μ m以下，進一步優選在 2 μ m以上且50 μ m以下，特別優選在5 μ m以上且30 μ m以下。對於金屬納米線，在直徑粗 細的平均值和長軸長度的平均值滿足上述範圍的同時，長徑比的平均值優選在10以上，更 優選在100以上，進一步優選在200以上。這裡，長徑比是指，在將第1成分的直徑的平均 粗細近似為b、長軸的平均長度近似為a的情況下，通過a/b求得的值。a和b可以使用掃 描電子顯微鏡來測定。通過控制透明導電圖案形成用墨中上述金屬納米線的濃度，利用線 相互纏繞確保導電性，能夠形成透明導電圖案。
[0077] 對於含有金屬納米線的透明導電圖案形成用墨中金屬納米線的含量，從各成分良 好的分散性、以及由透明導電圖案形成用墨獲得的塗膜的良好的圖案形成性、高導電性和 良好的光學特性的角度考慮，相對於透明導電圖案形成用墨總質量，金屬納米線為〇. 01? 10質量％的量，更優選為〇. 05?2質量％的量。如果金屬納米線小於0. 01質量％，則為了 確保期望的導電性，需要非常厚地印刷透明導電圖案，除了印刷的難易度升高之外，在乾燥 時圖案變得難以維持。另外，如果超過10質量％，則為了確保期望的透明度，需要非常薄地 進行印刷，這種情況下印刷也變得困難。在使用金屬納米線的情況下，為了確保透明性，與 後述的使用金屬納米顆粒的情況相比，需要降低配合量。
[0078] 在使用金屬納米顆粒的情況下，優選使用球狀的顆粒。在使用金屬納米顆粒的情 況下，為了顯現導電性，需要使顆粒相互接觸，但在印刷成整面膜的情況下，不能成為透明 的。因此，在使用金屬納米顆粒的情況下，如圖3所示的那樣，將X電極104和其連接區域 104a印刷成網格（mesh)狀，從而確保透明性。另外，對於Y電極106和其連接區域106a也 是同樣的。
[0079] 這種情況下的網格的線寬優選在lOym以下，對於其線間的間隔，需要空出寬度 的至少3倍，優選空出寬度的10倍以上。為了印刷這樣的線寬低的網格，作為納米顆粒的 粒徑，為至少3μ m以下，優選為1 μ m以下，更優選為500nm以下。這裡，粒徑是指，通過利 用動態光散射法的粒度分布測定裝置，具體而言，通過日機裝株式會社生產的於7卜7 〃 夕粒度分布測定裝置UPA-150進行測定，通過球近似求粒徑而得的中值粒徑（D50)。
[0080] 在含有金屬納米顆粒的透明導電圖案形成用墨中，相對於金屬納米顆粒100質量 份，使用1?50質量份分散介質，更優選3?20質量份。與上述使用金屬納米線的情況相 t匕，金屬納米顆粒的配合量高，所以獲得更低電阻的膜，因此，即使像上述那樣以細網格狀 印刷電極圖案，也能夠獲得與整面地印刷含有金屬納米線的透明導電圖案形成用墨的情況 等同的特性。
[0081] 在使用金屬納米顆粒的情況下，在分散介質中也可以使用粘合劑樹脂來代替前述 的形狀保持材料。作為粘合劑樹脂，可以使用如聚乙烯基吡咯烷酮、聚乙烯基己內酯那樣的 聚-N-乙烯基化合物，如聚乙二醇、聚丙二醇、聚THF那樣的聚亞烷基二醇化合物，如聚氨 酯、纖維素化合物及其衍生物、環氧化合物、聚酯化合物、氯化聚烯烴、聚丙烯酸系化合物那 樣的熱塑性樹脂、熱固性樹脂。其中，如果考慮粘結劑效果，則優選聚乙烯基吡咯烷酮。 [0082] 在透明導電圖案形成用墨中，根據需要也可以含有還原劑等其它成分。在使用銅 等容易氧化的金屬或金屬氧化物的情況下，優選配合進還原劑。作為還原劑，可以使用如甲 醇、乙醇、異丙基醇、丁醇、環己醇、松油醇（T ?=才一>)那樣的醇化合物，乙二醇、丙 二醇、甘油等多元醇，如甲酸、乙酸、草酸、丁二酸那樣的羧酸，如丙酮、甲基乙基酮、苯甲醛、 辛醛那樣的羰基化合物，如乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸苯酯那樣的酯化合物，如己烷、辛烷、 環己烷、甲苯、萘、萘烷那樣的烴化合物。其中，如果考慮還原劑的效率，則優選乙二醇、丙二 醇、甘油等多元醇，如甲酸、乙酸、草酸那樣的羧酸。另外，對於歸入多元醇分類的聚乙二醇、 聚丙二醇，由於也作為粘合劑樹脂發揮作用，所以優選。
[0083] 另外，上述透明膜基板10可以是堅硬的，也可以是容易彎曲的。另外，雖然也可以 被著色，但是優選具有高的光線透過率和低霧度（haze)值。因此，作為透明膜基板10的材 料，可以舉出，例如無機玻璃、聚醯亞胺、聚碳酸酯、聚醚碸、丙烯醯基系、聚酯（聚對苯二甲 酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等）、聚烯烴、聚氯乙烯、脂環式烴等。更優選為如聚對苯 二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯那樣的聚酯膜，聚碳酸酯膜，如聚甲基丙烯酸甲酯那 樣的丙烯醯基繫膜，使用了脂環式原料的透明聚醯亞胺膜，無機玻璃。特別是如果考慮以卷 對卷方式實施，則優選使用聚酯膜。
[0084] 作為透明膜基板10的厚度，如果厚度過薄，則在塗敷工序時的強度、乾燥時的 尺寸穩定性方面產生問題，如果變得過厚，則變得難以進行卷對卷工序，所以為12 μ m? 500 μ m，更優選為25 μ m?188 μ m。為了改善表面的粘結性，當然可以在不損害透明性的範 圍內進行易粘結處理、電暈處理、等離子體處理。
[0085] 另外，作為保護用透明膜23、33,可以使用在上述透明膜基板10的材料塗敷了粘 結劑層的透明膜。
[0086] 圖4中示出了通過圖1所示的製造工序製造的靜電電容式觸摸面板用透明導電基 板的構成例。在圖4中，在透明膜基板10 (相當於透明絕緣層）的不同主面（在圖4的例中 為上下的主面），形成有X電極圖案38和Y電極圖案40。另外，對於X電極用引繞電極圖案 和Y電極用引繞電極圖案，省略了記載。另外，保護用透明膜23、33分別通過粘結劑層42、 44,貼附（粘結）並覆蓋於形成有上述X電極圖案38和Y電極圖案40的透明膜基板10的表 面。這裡所稱的保護用透明膜，例如可以應用パナ7 σ T々卜（註冊商標）PX50T01A15(パ 於7々（株式會社）生產的、在單面設置有15 μπι粘著層的PET膜（厚度50 μ--))。
[0087] (第2實施方式）
[0088] 圖5中示出了實施方式所涉及的靜電電容式觸摸面板用透明導電基板的製造工 序的另一例子，對於與圖1相同的要素標記了相同的附圖標記。在圖5的例子中，一邊從第 一基板卷12a拉出第一透明膜基板10a，一邊利用X電極（相當於第一電極）用引繞電極 圖案形成部14在第一透明膜基板10a的一方的主面形成X電極用引繞電極圖案，並進行幹 燥。
[0089] 在形成有上述X電極用引繞電極圖案的一側的第一透明膜基板10a的主面，X電 極圖案形成部16使用上述透明導電圖案形成用墨形成X電極圖案。該X電極圖案以與上 述X電極用引繞電極圖案連接的方式形成。另外，為了進行X電極用引繞電極圖案和X電 極圖案的位置對齊，優選X電極用引繞電極圖案形成部14印刷合適的位置對齊標記。
[0090] 對在X電極圖案形成部16中形成的X電極圖案，利用光照射部18照射上述脈衝 光，將金屬納米線或金屬納米顆粒燒結。另外，也可以在以燒結為目的的脈衝光照射之前， 使用脈衝光對X電極圖案進行加熱從而將溶劑乾燥。另外，也可以通過脈衝光照射同時實 施乾燥和燒結。脈衝光照射時的氣氛溫度並沒有特別限定，可以在室溫下實施，也可以在加 熱氣氛中實施。
[0091] 另外，一邊從第二基板卷12b拉出第2透明膜基板10b，一邊利用Y電極（相當於 第二電極）用引繞電極圖案形成部24在第二透明膜基板10b的一方的主面形成Y電極用 引繞電極圖案，並進行乾燥。
[0092] 在形成有上述Y電極用引繞電極圖案的一側的第二透明膜基板10b的主面，Y電極 圖案形成部26使用上述透明導電圖案形成用墨形成Y電極圖案。該Y電極圖案也以與上 述Y電極用引繞電極圖案連接的方式形成。另外，為了進行Y電極用引繞電極圖案和Y電 極圖案的位置對齊，優選Y電極用引繞電極圖案形成部24印刷合適的位置對齊標記。
[0093] 對在Y電極圖案形成部26中形成的Y電極圖案，利用光照射部28照射上述脈衝 光，將金屬納米線或金屬納米顆粒燒結。另外，也可以在以燒結為目的的脈衝光照射之前， 使用脈衝光對Y電極圖案進行加熱，從而乾燥溶劑。另外，也可以通過脈衝光照射同時實施 乾燥和燒結。
[0094] 對於形成有Y電極用引繞電極圖案和Y電極圖案的第二透明膜基板l〇b的表面， 利用Y側保護膜貼附部30貼附從保護膜卷46拉出的保護用透明膜48。
[0095] 另外，對於形成有X電極用引繞電極圖案和X電極圖案的第一透明膜基板l〇a的 表面，利用X側保護膜貼附部20貼附保護用透明膜48。在這種情況下，保護用透明膜48在 與貼附於第二透明膜基板l〇b的面相反側的面貼附於第一透明膜基板10a。其結果是，成為 如下構成：第一透明膜基板l〇a和第二透明膜基板10b夾著保護用透明膜48 (相當於第三 透明膜）以X電極圖案和Y電極圖案相對的方式配置（層疊）。
[0096] 通過以上方式夾著保護用透明膜48配置的第一透明膜基板10a和第二透明膜基 板l〇b，被卷取棍34卷取，一系列的卷對卷的工序結束。
[0097] 圖6中示出了通過圖5所示的製造工序製造的靜電電容式觸摸面板用透明導電基 板的其他構成例。在第一透明膜基板l〇a和第二透明膜基板10b的各自的單面，即在圖6 的例子中第一透明膜基板l〇a的下面和第二透明膜基板10b的上面，分別形成有X電極圖 案38和Y電極圖案40。另外，對於X電極用引繞電極圖案和Y電極用引繞電極圖案，省略 記載。另外，上述保護用透明膜48通過粘結劑層50、52貼附於上述形成有X電極圖案38 的第一透明膜基板l〇a的面和形成有Y電極圖案40的第二透明膜基板10b的面，形成由第 一透明膜基板l〇a和第二透明膜基板10b以X電極圖案38和Y電極圖案40相對的方式夾 著保護用透明膜48的構成。在本實施方式中，具有粘結劑層50、52的保護用透明膜48相 當於透明絕緣層。
[0098] 通過將作為上述第一和第二實施方式例示的透明導電基板設置於電子設備的顯 示面板的前面，可以獲得靜電電容式觸摸面板。
[0099] 實施例
[0100] 下面對本發明的實施例進行具體說明。另外，以下實施例是為了容易理解本發明， 本發明並不受這些實施例的制限。
[0101] 參考例
[0102] 1.銀納米線墨的調製
[0103] 〈銀納米線的製作〉
[0104] 將聚乙烯基吡咯烷酮Κ-90((株式會社）日本催化劑公司生產）（0.049g)、 AgN0 3(0 . 0 5 2g)和FeCl3(0. 04mg)溶解於乙二醇（12. 5ml)，在150°C下加熱反應1小時。通 過離心分離對獲得的析出物進行分離，乾燥析出物，獲得目的銀納米線。
[0105] 上述乙二醇、AgN03、FeCl3為和光純藥工業株式會社生產。
[0106] 〈透明導電圖案形成用墨的製作〉
[0107] 在上述150°C下加熱反應1小時而得的銀納米線的反應液中添加6倍容量的二丁 基醚並攪拌，然後靜置，使納米線沉降。在納米線的沉降之後，通過傾析法分離上層清液，從 而獲得含有約20質量％銀線的分散於二丁基醚中的銀納米線的懸濁液。
[0108] 對於該銀納米線的懸濁液，加入大致等容積的L-α -松油醇，使其良好地分散，然 後作為形狀保持材料以L- α -松油醇的2. 33倍容量加入亍> 乂 > MTPH(日本亍 > ?> 化學（株式會社）生產，異冰片基環己醇），使用（株式會社）* >々一公司生產的ARV-310 使其良好分散，得到透明導電圖案形成用墨。
[0109] 根據Tg-DTA分析，銀納米線的濃度為2質量％。Tg-DTA分析將使用力一 ?工 4 77株式會社生產的差動型超高溫熱天秤TG-DTA galaxy(S)加熱500°C後的殘渣作 為銀線的質量。
[0110] 〈透明導電基板的製作〉
[0111] 實施例1
[0112] 按照以下順序製作具有圖7、圖8所不的圖案的透明導電基板。另外，圖7的圖案 如下：25個菱形（將正方形傾斜45°C而得）在連接區域中沿圖的橫方向連接成行，在行的 兩端連接著將菱形去掉了一半而得的三角形，將這樣的行沿圖的上下方向排列45行，上下 的行不進行電連接。另外，圖8的圖案如下：45個菱形在連接區域沿圖的縱（上下）方向 連接成列，在列的一端（在圖8中為下端）連接著將菱形去掉了一半而得的三角形，將這樣 的列沿圖的橫方向排列25列，左右的列不進行電連接。
[0113] 首先，使用銀糊劑CA_T30(購自大研化學製造販賣（株式會社））在;L $ 7-（注 冊商標）U48 (東_ (株式會社）生產的雙軸拉伸聚酯膜，厚度125 μ m)表面印刷X電極的 引繞圖案，在120°C下乾燥。然後，使用參考例中調製的含有銀納米線的透明導電圖案形成 用墨印刷圖7所示的X電極圖案，在50°C下乾燥30分鐘，在80°C下乾燥30分鐘，然後使用 NovaCentrix 社生產的 PulseForge3300 以 600V-50 μ sec 照射 5 脈衝（照射間隔（off)為 30秒）。然後，貼附パナ7 σ T々卜（註冊商標）PX50T01A15(購自パナ7々（株式會社）， 在單面設置有15 μ m粘著層的PET膜（厚度50 μ m))作為保護用透明膜。
[0114] 接著，在前述;L $ 9-膜的背側，使用相同的墨，以同樣的條件和處理方法印刷Y 電極引繞圖案、圖8所示的Y電極圖案，並貼附保護用透明膜。另外，Y電極圖案以菱形與 上述X電極圖案不重疊的方式配置在X電極圖案的菱形之間。
[0115] 對於製作的透明導電基板，利用三和電氣計器生產的數字萬用表PC500a測定電 阻值，結果確認了：圖7所示的X電極圖案的X軸方向（圖7的左右方向）的電阻值在 4k Ω?6k Ω的範圍，圖8所示的Y電極圖案的Y軸方向（圖8的上下方向）為6?8k Ω， 電極間（在圖7中為上下的圖案之間，在圖8中為左右的圖案之間）的電阻為無限大（電 極間沒有短路）。另外，使用日本分光株式會社生產的紫外可見光近紅外分光光度計Jasco V-570,作為透明度的尺度測定的可見光區域（400?800nm)的光線透過率為82%。
[0116] 實施例2
[0117] 利用實施例1的方法，首先印刷X電極的引繞圖案，並將其乾燥，然後使用含有銀 納米線的透明導電圖案形成用墨進行X電極圖案的印刷，並使其乾燥、進行光照射。然後， 在其上印刷十條^ s力> (株式會社）生產的GA4100RL-A厚盛^ A作為保護用透明 外塗樹脂，使用NovaCentrix公司生產的PulseForge3300照射15〇ν-500μ sec的光，使其 固化。
[0118] 接著，在前述;L $ 9-膜的背側，使用相同的墨，以同樣的條件和處理方法印刷Y 電極引繞圖案、圖8所示的Y電極圖案，在其上印刷上述使用的保護用透明外塗樹脂，並使 其固化。另外，Y電極圖案以菱形與上述X電極圖案不重疊的方式配置在X電極圖案的菱 形之間。
[0119] 對於所製作的透明導電基板，使用三和電氣計器生產的數字萬用表PC500a測定 電阻值，結果確認了：圖7所示的X電極圖案的X軸方向（圖7的左右方向）的電阻值在 4k Ω?6k Ω的範圍，圖8所示的Y電極圖案的Y軸方向（圖8的上下方向）為6?8k Ω， 電極間（在圖7中為上下的圖案之間，在圖8中為左右的圖案之間）的電阻為無限大（電 極間沒有短路）。另外，使用日本分光株式會社生產的紫外可見光近紅外分光光度計Jasco V-570,作為透明度的尺度測定的可見光區域（400?800nm)的光線透過率為85%。
[0120] 如上所述，本發明的透明導電基板及其製造方法適用於靜電電容式觸摸面板，但 是對於通過印刷製造觸摸開關、RFID天線，透明配線、透明電極的各種技術也可以適用。
[0121] 附圖標記說明
[0122] 10透明膜基板，10a第1透明膜基板，10b第2透明膜基板，12基板卷，12a第1基 板卷，12b第2基板卷，14X電極用引繞電極圖案形成部，16X電極圖案形成部，18光照射部， 20X側保護膜貼附部，22、32、46保護膜卷，23、33、48保護用透明膜，24Y電極用引繞電極圖 案形成部，26Y電極圖案形成部，28光照射部，30Y側保護膜貼附部，34卷取輥，36方向改變 輥，38X電極圖案，40Y電極圖案，42、44、50、52粘結劑層，100靜電電容型觸摸面板，102基 板，104X電極，104a X電極連接區域，106Y電極，106a Y電極連接區域，108、110、112引繞電 極。
【權利要求】
1. 一種透明導電基板的製造方法，其特徵在於，具有： 在透明基板的至少一方的主面，通過印刷用導電性糊劑形成電極用引繞電極圖案的工 序； 電極印刷工序，用含有金屬納米線或金屬納米顆粒、和形狀保持溶劑的透明導電圖案 用墨，印刷與所述電極用引繞電極圖案連接的電極圖案； 電極乾燥工序，將所述電極圖案乾燥；以及 電極燒結工序，對所述乾燥後的電極圖案照射脈衝光，使金屬納米線或金屬納米顆粒 燒結。
2. 根據權利要求1所述的透明導電基板的製造方法，其特徵在於， 在所述透明基板的一方的主面形成第一電極用引繞電極圖案和第一電極圖案，在所述 透明基板的另一方的主面形成第二電極用引繞電極圖案和第二電極圖案。
3. 根據權利要求1所述的透明導電基板的製造方法，其特徵在於，還具有： 準備第一透明基板的工序，所述第一透明基板是在所述透明基板的一方的主面形成有 第一電極用引繞電極圖案和第一電極圖案的基板； 準備第二透明基板的工序，所述第二透明基板是在所述透明基板的一方的主面形成有 第二電極用引繞電極圖案和第二電極圖案的基板；以及 將所述第一透明基板和第二透明基板以各自的電極圖案形成面相對的方式隔著第三 透明基板而接合的工序。
4. 根據權利要求1?3中任一項所述的透明導電基板的製造方法，其特徵在於， 所述形狀保持溶劑的分子量的範圍為100?500,25 °C下的粘度為1. 0X103? 2. 0X 106mPa · s。
5. 根據權利要求1?4中任一項所述的透明導電基板的製造方法，其特徵在於， 所述電極燒結工序為脈衝光照射和加熱的組合。
6. 根據權利要求1?5中任一項所述的透明導電基板的製造方法，其特徵在於， 在所述電極燒結工序之後，具有貼附保護用透明膜的保護膜貼附工序、或印刷保護用 透明外塗樹脂並使該樹脂固化的工序。
7. 根據權利要求1?6中任一項所述的透明導電基板的製造方法，其特徵在於， 所述透明基板為透明膜，所述各工序以卷對卷的方式實施。
8. -種透明導電基板，其特徵在於，是通過權利要求1?7中任一項所述的透明導電基 板的製造方法形成的。
9. 一種透明導電基板，其特徵在於， 具有第一電極圖案、第二電極圖案和透明絕緣層，所述透明絕緣層介於所述第一電極 圖案和第二電極圖案之間，所述第一電極圖案和第二電極圖案是用燒結金屬形成的。
10. 根據權利要求9所述的透明導電基板，其特徵在於， 所述透明絕緣層為透明膜，所述第一電極圖案形成在所述透明膜的第一主面，所述第 二電極圖案形成在所述透明膜的第二主面，所述第一電極圖案和第二電極圖案還分別由保 護用透明膜或保護用透明外塗樹脂覆蓋。
11. 根據權利要求9所述的透明導電基板，其特徵在於， 所述透明絕緣層為在兩個主面具有透明的粘結劑層的第三透明膜，所述第一電極圖案 形成在第一透明膜的一方的主面，所述第二電極圖案形成在第二透明膜的一方的主面，以 所述第一電極圖案和第二電極圖案相對的方式層疊於所述第三透明膜。
12. -種靜電電容式觸摸面板，其特徵在於， 在電子設備的顯示面板的前面設有權利要求8?11中任一項所述的透明導電基板。
【文檔編號】H01B13/00GK104254823SQ201380021954
【公開日】2014年12月31日 申請日期:2013年4月26日 優先權日:2012年4月26日
【發明者】菅沼克昭, 內田博, 篠崎研二 申請人:國立大學法人大阪大學, 昭和電工株式會社