多雷射平面度測量儀器的製造方法
2023-10-04 11:32:24 2
多雷射平面度測量儀器的製造方法
【專利摘要】一種多雷射平面度測量儀器，設置有架體和雷射發射單元，架體設置有基座和測試平臺，基座位於測試平臺下方，雷射發射單元裝配於基座，測試平臺位於雷射發射單元上方，雷射發射單元自下方發射雷射對測試平臺上的測試樣品進行平面度檢測。還設置有位置調整機構，位置調整機構設置有驅動單元、滑動單元、移動座和絲杆。雷射發射單元由多個雷射發射器構成，每個雷射發射器距離所述測試平臺之間的間距均相等。雷射發射單元還設置有雷射間距調節單元，雷射間距調節單元設置有調節板和多個雷射裝配治具。該多雷射平面度測量儀器能夠方便檢測不同厚度的測試樣品，具有結構簡單、操作方便的特點。
【專利說明】多雷射平面度測量儀器
【技術領域】
[0001]本發明涉及雷射測量儀器【技術領域】，特別是涉及一種多雷射平面度測量儀器。
【背景技術】
[0002]平面度是反映平面的平整性的重要參數，通過平面度檢測可以獲得工件等表面的平整信息。進行表面平整度檢測通常是利用雷射三角原理。
[0003]進行物體表面平整度檢測，多以雷射平面度測量儀器進行物體表面的平整度檢測。現有技術中，雷射平面度檢測儀器通常包括一測試平面、位於測試平面上方的雷射發射器。雷射發射器與測試面之間的間距很短，因此，每次在檢測時都需要調節使雷射發射器抬起，將測試樣品放置於測試平面，然後調整雷射發射器與測試樣品測試面之間的間距。故，每次更換待測產品時需要把雷射發射器抬起來才能進行更換，既不方便也浪費時間，影響了測量效率；同時每次下降時對不同厚度的產品，所需要下降的高度也不一樣，不免會存在一定的安全隱患，容易出現下降高度過多容易壓到待測工件從而損壞雷射發射器等情況。
[0004]因此，針對現有技術不足，提供一種結構簡單、操作容易的多雷射平面度測量儀器以克服現有技術不足甚為必要。
【發明內容】
[0005]本發明的目的在於避免現有技術的不足之處而提供一種多雷射平面度測量儀器，該多雷射平面度測量儀器具有結構簡單、操作方便的特點。
[0006]本發明的上述目的通過如下技術手段實現。
一種多雷射平面度測量儀器，設置有架體和雷射發射單元，所述架體設置有基座和用於放置測試樣品的測試平臺，所述基座位於所述測試平臺下方，所述雷射發射單元裝配於所述基座，所述測試平臺位於所述雷射發射單元上方，雷射發射單元自下方發射雷射對測試平臺上的測試樣品進行平面度檢測。
[0007]上述多雷射平面度測量儀器還設置有位置調整機構，所述位置調整機構裝配於所述基座，
所述位置調整機構設置有驅動單元、滑動單元、移動座和絲杆；
所述活動座活動裝配於所述滑動單元，所述絲杆與所述移動座螺紋配合，所述驅動單元驅動所述絲杆轉動，所述雷射發射單元固定裝配於所述移動座。
[0008]上述滑動單元設置有滑軌和與所述滑軌匹配的滑槽，所述滑軌固定於所述基座，所述滑槽固定裝配於所述移動座。
[0009]上述驅動單元設置為馬達或者氣缸。
[0010]優選的，上述雷射發射單元由多個雷射發射器構成，每個雷射發射器距離所述測試平臺之間的間距均相等。
[0011]上述雷射反射單元設置有三個雷射發射器。
[0012]上述雷射發射單元還設置有雷射間距調節單元，所述雷射間距調節單元固定裝配於所述移動座，所述雷射發射器裝配於所述雷射間距調節單元。
[0013]上述雷射間距調節單元設置有調節板和多個雷射裝配治具，所述雷射發射器的數量與所述雷射裝配治具的數量相等，每個雷射發射器固定於對應的一個雷射裝配治具，所述調節板設置有矩形裝配框，所述雷射裝配治具活動裝配於所述矩形裝配框並通過固定裝置定位。
[0014]上述雷射裝配治具設置有固定部及裝配部，所述裝配部與所述固定部固定連接，所述雷射發射器固定於所述固定部，所述裝配部裝配於所述調節板。
[0015]優選的，上述多雷射平面度測量儀器的架體還設置有基準平面和多個相互之間平行的固定基準，所述固定基準一端與所述基座固定連接，所述固定基準另一端與所述基準平面固定連接，所述測試平臺設置於所述基準平面。
[0016]本發明的多雷射平面度測量儀器，設置有架體和雷射發射單元，所述架體設置有基座和用於放置測試樣品的測試平臺，所述基座位於所述測試平臺下方，所述雷射發射單元裝配於所述基座，所述測試平臺位於所述雷射發射單元上方，雷射發射單元自下方發射雷射對測試平臺上的測試樣品進行平面度檢測。該多雷射平面度測量儀器將通過將雷射發射單元放置於測試平臺下方，將雷射發射單元與測試平臺之間的間距預先設置為等於雷射發射器的工作間距，使得每次測試時雷射發射單元與測試平臺之間的距離都是雷射的工作間距，不需要像現有技術中那樣每次測試都必須抬起雷射發射器並在放好樣品後調整樣品測試表面與雷射發射器的距離，而是直接將測試樣品放於測試平臺即可進行測試，操作非常方便。此外，該多雷射平面度測量儀器還具有結構簡單的特點。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0017]利用附圖對本發明作進一步的說明，但附圖中的內容不構成對本發明的任何限制。
[0018]圖1是本發明一種多雷射平面度測量儀器實施例1的的結構示意圖；
圖2是本發明一種多雷射平面度測量儀器實施例2的結構示意圖；
圖3是圖2的省略部分殼體後的結構示意圖；
圖4是圖2的底座、雷射發射單元及位置調整機構部分的結構示意圖；
圖5是圖4的分解不意圖；
圖6是本發明一種多雷射平面度測量儀器實施例3的部分結構示意圖。
[0019]在圖1至圖6中，包括:
架體100、
基座110、
測試平臺120、
基準平面130、
固定基準140、
雷射發射單元200、
雷射發射器210、
調節板221、
雷射裝配治具222、 固定部223、裝配部224、
驅動單元310、
滑軌321、滑槽322、
移動座330、
絲杆340、
測試樣品400。
【具體實施方式】
[0020]結合以下實施例對本發明作進一步描述。
[0021]實施例1。
[0022]一種多雷射平面度測量儀器，如圖1所示，設置有架體100和雷射發射單元200，架體100設置有基座110和用於放置測試樣品400的測試平臺120，基座110位於測試平臺120下方，雷射發射單元200裝配於基座110，測試平臺120位於雷射發射單元200上方，雷射發射單元200自下方發射雷射對測試平臺120上的測試樣品400進行平面度檢測。測試平臺120與雷射發射單元200之間的間距只有符合雷射發射器210的工作距離時，才能進行平面度檢測，這是雷射進行平面度檢測的公知常識，在此不再贅述。
[0023]雷射發射單元200自下方發射雷射至測試平臺120上的測試樣品400，因此，只要控制好雷射發射單元200與測試平臺120之間的間距即可。調整雷射發射單元200與測試平臺120之間的距離等於雷射工作間距的方式有多種，如設置墊塊等。故，通過此結構能夠容易控制雷射發射單元200的工作間距，使用時不需要再進行調整。
[0024]該多雷射平面度測量儀器改變了傳統的雷射發射單元200位於測試平臺120上方的常規思維局限，打破常規而將雷射發射單元200置於測試平臺120下方，這樣，雷射發射單元200與測試平臺120之間的間距容易控制為雷射發射器210的工作間距，這樣每次測試時雷射發射單元200與測試平臺120之間的距離都是雷射的工作間距，不需要像現有技術中那樣每次測試都必須抬起雷射發射器210並在放好樣品後調整樣品測試表面與雷射發射器210的距離，而是直接將測試樣品400放於測試平臺120即可進行測試，操作非常方便。此外，該多雷射平面度測量儀器還具有結構簡單的特點。
[0025]綜上所述，本發明的多雷射平面度測量儀器具有操作方便、結構簡單的特點。
[0026]實施例2。
[0027]—種多雷射平面度測量儀器，其它結構與實施例1相同，不同之處在於還具有如下技術特徵:
如圖2至圖5所示，該多雷射平面度測量儀器還設置有位置調整機構，位置調整機構裝配於基座110。通過位置調整機構可以對雷射發射單元200的位置進行調整。
[0028]具體的，位置調整機構設置有驅動單元310、滑動單元、移動座330和絲杆340。活動座活動裝配於滑動單元，絲杆340與移動座330螺紋配合，驅動單元310驅動絲杆340轉動，雷射發射單元200固定裝配於移動座330。
[0029]驅動單元310設置為馬達。滑動單元設置有滑軌321和與滑軌321匹配的滑槽322，滑軌321固定於基座110，滑槽322固定裝配於移動座330。
[0030]在馬達的驅動下，馬達驅動絲杆340進行旋轉，絲杆340帶動移動座330沿著滑軌321進行滑動，移動座330帶動固定於其上的雷射發射單元200也進行與滑軌321平行的方向移動。將平行於滑軌的方向設定為X軸，則位置調整機構可以調整雷射發射單元200在X向的位置。將在底座平面內並與與X向軸垂直的方向設置為Y軸，將平行於底座與測試平面之間的距離的方向設置為Z軸。
[0031]需要說明的是，驅動單元310並不僅僅局限於本實施例中的馬達，也可以設置為驅動氣缸或者凸輪或者其他驅動結構。
[0032]需要說明的是，位置調整機構的形式不局限於本實施例中的結構，能實現此功能的結構形式就可以用於位置調整機構。
[0033]雷射發射單元200由三個雷射發射器210構成，每個雷射發射器210距離測試平臺120之間的間距均相等，即為雷射的工作距離。雷射發射器210在Z軸的距離通過雷射發射器210與測試平臺120之間的間距固定，因此該多雷射平面度測量儀器的雷射發射器210的Z軸不需要調整。
[0034]雷射發射單元200還設置有雷射間距調節單元，雷射間距調節單元固定裝配於移動座330，雷射發射器210裝配於雷射間距調節單元。通過雷射間距調節單元調整各個雷射發射器210在Y軸的具體位置。
[0035]雷射間距調節單元設置有調節板221和多個雷射裝配治具222，雷射發射器210的數量與雷射裝配治具222的數量相等，每個雷射發射器210固定於對應的一個雷射裝配治具222，調節板221設置有矩形裝配框，雷射裝配治具222活動裝配於矩形裝配框並通過固定裝置定位。雷射裝配治具222設置有固定部223及裝配部224，裝配部224與固定部223固定連接，雷射發射器210固定於固定部223，裝配部224裝配於調節板221。
[0036]將雷射裝配治具222的裝配部224裝配於調節板221，確定好雷射裝配治具222的具體位置後，通過固定裝置如螺釘等將裝配部224固定於矩形裝配框，此雷射裝配治具222的位置就確定了，由於對應的雷射發射器210固定於該雷射裝配治具222的固定部223，因此，當雷射裝配治具222的位置確定後與其對應的雷射發射器210的位置也就確定了。
[0037]由於進行平面度測量需要9個點的數據，通過三個雷射發射器210組合成雷射發射單元200可以一次性獲得多個點的數據，克服了現有技術中進行測試時需要不斷移動雷射發射器210在Y軸的位置進行數據測量的缺陷。
[0038]需要說明的是，雷射發射單元200的數量優選設置為多個，而不局限於本實施例中的三個，以三個較佳。
[0039]採用該多雷射平面度測量儀器進行平面度測量的具體過程如下:預先固定好雷射裝配治具222在矩形裝配框的位置，即開始測試時雷射發射器210在Y軸、Z軸的位置已經確定，檢測過程中不需要對這兩個方向調整。將所檢測的測試樣品400的表面朝下放於測試平臺120，通過位置調整機構驅動移動座330沿著與X軸平行的方向移動，從而調整雷射發射單元200在X軸的位置，在不同的X軸位置處，雷射發射單元200對測試樣品400進行檢測獲得需要的數據。當更換新的測試樣品進行檢測時，只需將新測試樣品放於測試平臺120即可進行檢測。而且無論先後兩次測試樣品的厚度是否相同，均不需要調整雷射發射器210與測試樣品之間的間距。
[0040]可見，該多雷射平面度測量儀器突破了現有技術中雷射工作距離的局限性，可以方便地更換待測產品且不需要對不同厚度的產品進行調整。通過多雷射發射器210組合的形式配合位置調整機構，可對不同規格的產品進行測量；多雷射發射器210組合的形式以及倒置安裝雷射發射器210的方式使得該儀器只需要單X軸運動即可實現對平面度的測量。不僅操作簡單、安全便捷，而且還具有結構簡單的特點。
[0041]實施例3。
[0042]一種多雷射平面度測量儀器，其它結構與實施例2相同，不同之處在於還具有如下技術特徵:
如圖6所示，該多雷射平面度測量儀器的架體100還設置有基準平面130和多個相互之間平行的固定基準140，固定基準140 —端與基座110固定連接，固定基準140另一端與基準平面130固定連接，測試平臺120設置於基準平面130。
[0043]通過固定基準140，可以穩固地保持基準平面130與底座之間的間距，從而確保測試平臺120與雷射發射器210之間的工作間距。
[0044]本實施例中，固定基準140設置為四個，實際中可以根據需要靈活調整。
[0045]最後應當說明的是，以上實施例僅用以說明本發明的技術方案而非對本發明保護範圍的限制，儘管參照較佳實施例對本發明作了詳細說明，本領域的普通技術人員應當理解，可以對本發明的技術方案進行修改或者等同替換，而不脫離本發明技術方案的實質和範圍。
【權利要求】
1.一種多雷射平面度測量儀器，其特徵在於:設置有架體和雷射發射單元，所述架體設置有基座和用於放置測試樣品的測試平臺，所述基座位於所述測試平臺下方，所述雷射發射單元裝配於所述基座，所述測試平臺位於所述雷射發射單元上方，雷射發射單元自下方發射雷射對測試平臺上的測試樣品進行平面度檢測。
2.根據權利要求1所述的多雷射平面度測量儀器，其特徵在於:設置有位置調整機構，所述位置調整機構裝配於所述基座， 所述位置調整機構設置有驅動單元、滑動單元、移動座和絲杆； 所述活動座活動裝配於所述滑動單元，所述絲杆與所述移動座螺紋配合，所述驅動單元驅動所述絲杆轉動，所述雷射發射單元固定裝配於所述移動座。
3.根據權利要求2所述的多雷射平面度測量儀器其特徵在於:所述滑動單元設置有滑軌和與所述滑軌匹配的滑槽，所述滑軌固定於所述基座，所述滑槽固定裝配於所述移動座。
4.根據權利要求3所述的多雷射平面度測量儀器，其特徵在於:所述驅動單元設置為馬達或者氣缸。
5.根據權利要求2或3或4所述的多雷射平面度測量儀器，其特徵在於:所述雷射發射單元由多個雷射發射器構成，每個雷射發射器距離所述測試平臺之間的間距均相等。
6.根據權利要求5所述的多雷射平面度測量儀器，其特徵在於:所述雷射反射單元設置有三個雷射發射器。
7.根據權利要求5所述的多雷射平面度測量儀器，其特徵在於:所述雷射發射單元還設置有雷射間距調節單元，所述雷射間距調節單元固定裝配於所述移動座，所述雷射發射器裝配於所述雷射間距調節單元。
8.根據權利要求7所述的多雷射平面度測量儀器，其特徵在於:所述雷射間距調節單元設置有調節板和多個雷射裝配治具，所述雷射發射器的數量與所述雷射裝配治具的數量相等，每個雷射發射器固定於對應的一個雷射裝配治具，所述調節板設置有矩形裝配框，所述雷射裝配治具活動裝配於所述矩形裝配框並通過固定裝置定位。
9.根據權利要求8所述的多雷射平面度測量儀器，其特徵在於:所述雷射裝配治具設置有固定部及裝配部，所述裝配部與所述固定部固定連接，所述雷射發射器固定於所述固定部，所述裝配部裝配於所述調節板。
10.根據權利要求1所述的多雷射平面度測量儀器，其特徵在於:所述架體還設置有基準平面和多個相互之間平行的固定基準，所述固定基準一端與所述基座固定連接，所述固定基準另一端與所述基準平面固定連接，所述測試平臺設置於所述基準平面。
【文檔編號】G01B11/30GK103983218SQ201410116025
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年3月26日 優先權日:2014年3月26日
【發明者】洪金龍, 仇增華 申請人:東莞市天勤儀器有限公司