襯底輸送裝置的製作方法

2023-10-09 02:08:09 1

專利名稱：襯底輸送裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及使玻璃襯底在輸送路徑上浮起而進行輸送的襯底輸送裝 置，該玻璃襯底(基板)是用於例如大型液晶顯示(下面，省略為LCD)和 等離子顯示面板(下面，省略為PDP)等平板顯示器(下面，省略為FPD) 等。
背景技術：
近年來，為了對應屏幕的大型化和減少成本的要求，FPD領域中FPD 製造工藝中所處理的玻璃襯底的大小有日益大型化的傾向。作為FPD製造 工藝中輸送大型玻璃襯底的方法，已知有採用使用了滾筒的滾動輸送機構。
例如在專利公開公報2000 —193604號和專利公開公報2000_9661號 中記載著輸送大型玻璃襯底的技術。前者通過使一對支撐滾筒機構僅接觸 被檢査襯底(相當於玻璃襯底)下面的左右兩側來進行支撐，且通過與玻 璃襯底的左右端對接的一對限制滾筒機構來限制左右方向的位置。另外， 由於玻璃襯底的中間部分因重力而向下方彎曲，所以為了限制該玻璃襯底 的彎曲，而向玻璃襯底的下面噴射壓力空氣。
後者通過滾動輸送部將玻璃襯底輸送到缺陷檢查部，定位玻璃襯底， 並通過夾持機構夾持玻璃襯底的端部來進行缺陷檢査。缺陷檢查時，為了 不接觸地支撐玻璃襯底，從空氣浮起臺上設置的排氣口中排出高壓空氣後， 將玻璃襯底的高度保持為一定。
但是，前者的玻璃襯底的輸送由於使用了一對支撐滾筒機構和一對限 制滾筒機構，故若高速輸送玻璃襯底，則在與滾筒接觸的玻璃襯底的滾動 面上產生了滾筒的摩擦痕跡。後者為了通過滾動輸送部來輸送玻璃襯底，與前者相同，若高速輸送 玻璃襯底，則在與滾筒接觸的玻璃襯底的滾動面上產生了滾筒的摩擦痕跡。

發明內容
因此，本發明的目的是提供一種在非接觸狀態下進行輸送，可進行不 刮傷玻璃襯底的高速輸送的襯底輸送裝置。
根據本發明的主要觀點，提供了一種襯底輸送裝置，輸送平板顯示器 製造工藝中所製造的襯底，其特徵在於，包括襯底浮起塊，形成有空氣 孔，該空氣孔吹出使上述襯底浮起的空氣；襯底輸送單元，配置成相對於 上述襯底浮起塊可沿上述襯底的輸送方向移動，吸附保持由上述襯底浮起 塊浮起了的上述襯底的背面並向上述襯底的輸送方向輸送。輸送機器人， 設置在上述襯底浮起塊的搬入側或搬出側，並且具有多個保持上述襯底的 手臂；以及槽，在上述襯底浮起塊的上述搬入側或搬出側，以規定的間隔 形成有多個，並且可插入上述手臂，上述輸送機器人使上述多個手臂插入 到上述多個槽，從而進行在上述襯底浮起塊上的上述襯底的交接。
根據本發明的襯底輸送裝置，上述襯底浮起塊還包括定位單元，該定 位單元將由上述輸送機器人搬入的上述襯底在浮起了的狀態下進行定位， 上述襯底輸送單元將由上述定位單元進行了定位的上述襯底在浮起了的狀 態下從上述襯底浮起塊的上述搬入側向上述搬出側輸送，設置在上述搬出 側的上述輸送機器人使上述手臂插入到設置在上述搬出側的多個槽內，並 接受由上述襯底輸送單元輸送來的上述襯底。
根據本發明的襯底輸送裝置，設置在上述搬出側的上述輸送機器人使 上述手臂在插入到設置在上述搬出側的多個上述槽內的狀態下上升而吸附 保持上述襯底，在解除了上述襯底輸送單元的吸附後，使上述手臂上升、 旋轉、前進而從上述襯底浮起塊取出上述襯底並容納到盒子內。
根據本發明的襯底輸送裝置，設置在上述搬出側的上述襯底在由上述 定位單元進行了定位的狀態下交接到上述輸送機器人的上述手臂。
根據本發明的襯底輸送裝置，上述輸送機器人使上述手臂插入到上述 槽，從而相對於上述襯底浮起塊直接裝載或取出上述襯底。


圖1是表示本發明涉及的襯底輸送裝置的第一實施例的平面結構圖； 圖2是同一裝置的側面結構圖3是同一裝置中，在襯底裝載臺1上浮起的玻璃襯底的示意圖； 圖4是同一裝置中的玻璃襯底的空氣輸送動作的示意圖； 圖5是同一裝置中的定位動作的示意圖； 圖6是同一裝置中的定位動作的示意圖； 圖7是同一裝置中的定位動作的示意圖8是同一裝置中的定位動作後的輸送玻璃襯底輸送的示意圖； 圖9是表示本發明涉及的襯底輸送裝置的第二實施例的結構圖； 圖10是同一裝置中的在浮起塊上形成的多個槽的示意圖。
具體實施例方式
下面，參照

本發明的第一實施例。
圖l是將襯底(基板)輸送裝置適用於大型LCD和PDP等的FPD工序 的成線檢査情況下的平面結構圖，圖2是同一裝置的側面 結構圖。
將搬入用的襯底裝載臺1設置在減振臺2上。該襯底裝載臺1裝載所 搬入的玻璃襯底3，其寬度(與輸送方向C垂直的方向)形成為比玻璃襯底 3的寬度稍短。在該襯底裝載臺1的上面設置兼用作空氣上吹和吸入的多個 空氣孔4。另外，這些空氣孔4也可大致有規則地設置在襯底裝載臺1的整 個面上。該襯底裝載臺1上，在相對於輸送方向C為平行方向且相隔預定 間隔地形成兩條槽5。另外，在襯底裝載臺1上設置玻璃襯底3搬入時升降 的多個抬升銷(U 7卜e 6。
在襯底裝載臺1的相對於輸送方向C垂直方向的入口側設置搬入用輸 送機器人7。該搬入用輸送機器人7通過圖中未示的多關節臂使兩個手臂8 旋轉、前進與後退，同時從盒子中取出未檢查的玻璃襯底3，並搬入到襯底 裝載臺1上。
在襯底裝載臺1的出口側，沿輸送方向C並列設置輸送架臺9。該輸 送架臺9形成為長度從玻璃襯底3的搬入側到搬出側。將該輸送架臺9裝載在減振臺10上。
從該輸送架臺9上的搬入側到搬出側，貫穿該搬入側與搬出側的全長 設置浮起塊11。該浮起塊11形成為其寬度(相對於輸送方向C的垂直方向) 比玻璃襯底3的寬度稍短。在該浮起塊11的上面設置兼用作空氣上吹和吸 入的多個空氣孔12。另外，也可在浮起塊11的整個面上大致均勻地設置這 些空氣孔12。在該浮起塊11上，與輸送方向C為平行方向且相隔預定的間 隔地形成兩條槽13。浮起塊11的表面高度與襯底裝載臺1的表面高度大致 相同。
在輸送架臺9的輸送方向C上的大致中間位置上設置對以一定速度進 行輸送的玻璃襯底3進行各種檢查的檢查部E。該檢查部E例如將顯微鏡、 線傳感器(， 七 >廿)或CCD攝像機等各種檢查用設備14搭載在門型 臂15上。例如，檢查用設備14通過所排列的多個線傳感器取得玻璃襯底3 的圖像數據。並且，通過圖像處理該圖像數據等來進行例如玻璃襯底3的 圖像檢査、缺陷檢查等。
在輸送架臺9的出口側，沿輸送方向C並列設置搬出用的襯底裝載臺 16。將該襯底裝載臺16設置在減振臺17上。該襯底裝載臺16為了搬出從 浮起塊11輸送來的玻璃襯底3而進行暫時裝載，其寬度(相對於輸送方向 C的垂直方向)形成為比玻璃襯底3的寬度稍短。在該襯底裝載臺16的上 面設置兼用作空氣上吹和吸入的多個空氣孔18。另外，也可在襯底裝載臺 16的整個面上大致有規則地設置這些空氣孔18。該襯底裝載臺16上相對 於輸送方向C為平行方向且相隔預定間隔地形成兩條槽19。另外，在襯底 裝載臺16上設置玻璃襯底3搬出時升降的多個抬升銷20。襯底裝載臺16 的表面高度與浮起塊11的表面高度大致相同。
在襯底裝載臺16的與輸送方向C為垂直方向的出口側上設置搬出用輸 送機器人21。該搬出用輸送機器人通過圖中未示的多關節臂使兩個手臂旋 轉、前進和後退，同時將檢査完的玻璃襯底3容納到盒子內。
在輸送架臺9和減振臺17上，沿輸送方向C彼此平行地設置多組夾著 浮起塊11和襯底裝載臺16的各一對滑塊23 28。 一對滑塊23、 24和27、 28設置在一對滑塊25、 26的更外側。另外，將這些滑塊23 28的高度位 置設置為相同。將一對滑塊23、 24設置在輸送架臺9入口側的定位(7，0乂卜) 部A上。在這些滑塊23、24上分別可移動地設置成為一對的各輸送端部29、 30。這些輸送端部29、 30具有分別可沿上下方向伸縮且自由旋轉地設置 的各臂29a、 30a;在這些臂29a、 30a的前端部設置的，分別吸附保持玻璃 襯底3背面的兩端部的各吸附襯墊29b、 30b;設置在各輸送端部29、 30 內，且使各臂29a、 30a沿與輸送方向C垂直的方向移動的各推桿(7'， > - ^ )。
將一對滑塊25、 26設置在定位部(校準部)A的出口側與輸送架臺9 的出口側之間。在這些滑塊25、 26上分別可移動地設置成為一對的各輸送 端部31、 32。這些輸送端部31、 32與各輸送端部29、 30相同，具有各臂 31a、 32a和各吸附襯墊31b、 32b。
將一對滑塊27、 28設置在輸送架臺9的出口側與襯底裝載臺16的出 口側之間。在這些滑塊27、 28上分別可移動地設置成為一對的各輸送端部 33、 34。這些輸送端部33、 34與各輸送端部29、 30相同，具有各臂33a、 34a和各吸附襯墊33b、 34b。
另外，由於一對滑塊23、 24和27、 28被設置在一對滑塊25、 26的更 外側，所以設定各臂29a、 30a、 33a、 34a的長度，使得各滑塊23、 24和 27、 28的各吸附襯墊29b、 30b、 33b、 34b的位置與各滑塊25、 26的各吸 附襯墊31b、 32b的位置相同。
另外，若為可沿XY方向微小移動用於保持玻璃襯底3的各臂29a、 30a、 31a、 32a、 33a、 34a的結構，則這些輸送端部29、 30、 31、 32、 33、 34 也可以是任意結構。
在浮起塊11上的定位部A上設置3個定位傳感器43 45。這些定位 傳感器43 45檢測玻璃襯底3的彼此正交的兩條邊(縱、橫)的各個邊緣， 並輸出表示其邊緣位置的檢測信號。這些定位傳感器43 45是分別按線狀 排列多個檢測元件的線傳感器。
定位傳感器43在浮起塊11寬度方向的中間位置，沿與輸送方向C相 同方向地設置線檢測方向。該定位傳感器43在定位部A中檢測浮起停止的 玻璃襯底3在輸送方向C的前側邊緣。
在浮起塊11的側面相隔預定間隔設置各定位傳感器44、 45。沿使線檢測方向相對於輸送方向C為垂直的方向來設置這些定位傳感器44、 45。 這些定位傳感器44、 45在定位部A中檢測浮起停止的玻璃襯底3在與輸送 方向C相同方向上的邊緣。
另一方面，壓縮空氣供給部46通過管道與搬入用的襯底裝載臺1、浮 起塊11、搬出用的襯底裝載臺16的各空隙部連通，並分別有選擇地供給壓 縮空氣而從各空氣孔4、 12、 18上吹壓縮空氣，並在搬入用的襯底裝載臺1、 浮起塊11或搬出用的襯底裝載臺16上使玻璃襯底3浮起。另外，壓縮空 氣供給部46從各空氣孔4、 12、 18上吹具有除電效果的空氣、例如由等離 子或負離子離子化後的空氣。
真空吸附部47通過管道與搬入用的襯底裝載臺1、浮起塊11、搬出用 的襯底裝載臺16的各空隙部連通，並分別有選擇地抽成真空，而經各空氣 孔4、 12、 18使玻璃襯底3吸附保持在搬入用的襯底裝載臺1和搬出用的 襯底裝載臺16上。
另外，真空吸附部47通過配管分別連通各吸附襯墊29b、 30b、 31b、 32b、 33b、 34b，通過將這些吸附襯墊29b、 30b、 31b、 32b、 33b、 34b抽 成真空，而吸附保持玻璃襯底3。
移動控制部48分別在各滑塊23、 24、 25、 26、 27、 28上移動控制各 輸送端部29、 30、 31、 32、 33、 34。
姿態識別部49輸入從三個定位傳感器43 45分別輸出的各檢測信號， 根據由這些檢測信號所示的玻璃襯底3三個位置上的邊緣位置信息，識別 玻璃襯底3的姿態。
姿態控制部50為了將由姿態識別部49所識別的玻璃襯底3的姿態定 位到基準位置，而沿輸送方向C、相對於輸送方向C垂直的方向移動控制一 對輸送端部31、 32。
接著，說明如上所述構成的裝置的動作。
各輸送端部29、 30移動到各滑塊23、 24上的搬入側，而停止待機。 搬入用輸送機器人7旋轉、前進和後退手臂8，而從盒子中取出未檢 査的玻璃襯底3，並輸送到襯底裝載臺1的上方。並且，襯底裝載臺1的各 抬升銷6升高。搬入用輸送機器人7使手臂8下降而將玻璃襯底3裝載在 各抬升銷6上。通過各抬升銷6下降，將玻璃襯底3裝載在襯底裝載臺1上。由於玻璃襯底3的寬度比襯底裝載臺1的寬度長，所以從襯底裝載臺1 突出玻璃襯底3的兩端部分。
接著，各輸送端部29、 30使各臂29a、 30a升高，使各吸附襯墊29b、 30b吸附從襯底裝載臺1突出的玻璃襯底3的背面。這些吸附襯墊29b、 30b 的吸附位置是玻璃襯底3中的沒有形成電路圖案("°夕一 ^)的背面端部， 例如，是向輸送方向C成為玻璃襯底3前側的背面的兩端部。這時，各吸 附襯墊29b、 30b在吸附於玻璃襯底3的背面的狀態下升高為僅比襯底裝載 臺1的表面高度高的位置上。
並且，壓縮空氣供給部46通過配管向襯底裝載臺1的空隙部供給壓縮 空氣，而從空氣孔4中上吹壓縮空氣。這時，壓縮空氣因使用具有除電效 果的離子化後的空氣，而可中和玻璃襯底的靜電，阻止玻璃襯底3上的帶 電。
通過壓縮空氣的上吹，在襯底裝載臺1和玻璃襯底3之間形成空氣層， 如圖3所示，玻璃襯底3從襯底裝載臺1的表面浮起。這時，從各空氣孔4 上吹出的空氣在襯底裝載臺1和玻璃襯底3之間通過各槽5從空氣層流出。 因此，由於空氣流通，而不滯留在襯底裝載臺1和玻璃襯底3之間，所以 玻璃襯底3保持水平度地在襯底裝載臺1上浮起。
接著，移動控制部48如圖4所示，分別以同一速度使具有吸附於玻璃 襯底3背面的各吸附襯墊29b、 30b的各輸送端部29、 30 (臂29a、 30a) 同步，而在各滑塊23、 24上沿輸送方向C移動。
由此，玻璃襯底3在浮起並與襯底裝載臺1上面和浮起塊11上面為完 全非接觸的狀態下，通過各輸送端部29、 30牽引，而沿輸送方向C高速輸 送。通過該高速輸送，玻璃襯底3到達浮起塊11上的定位部A。
到達定位部A時，玻璃襯底3如圖5所示，有相對輸送方向C傾斜的 情況。定位部A中的定位傳感器43檢測在定位部A中浮起停止的玻璃襯底 3在輸送方向C的前側一邊的邊緣，而輸出其檢測信號。
另外，各定位傳感器44、 45檢測在定位部A中浮起停止的玻璃襯底3 在與輸送方向C為相同方向的另一邊的邊緣而輸出其檢測信號。
姿態識別部49輸入從三個定位傳感器43 45分別輸出的各檢測信號， 根據由這些檢測信號所示的玻璃襯底3的在三個位置上的邊緣位置信息，來識別玻璃襯底3的姿態。這時，玻璃襯底3相對輸送方向C，前端側的右
端部比左端部向前側突出，相對輸送方向c向左側傾斜。
接著，姿態控制部50從由姿態識別部49得到的玻璃襯底3的姿態識 別結果中，首先，如圖5所示，使一個輸送端部30相對輸送方向C向反方 向(後側)微小移動。由此，玻璃襯底3以吸附襯墊29a為中心軸沿箭頭F 方向旋轉，而相對輸送方向C平行地進行配置。
再次，姿態識別部49輸入從三個定位傳感器43 45分別輸出的各檢 測信號來識別玻璃襯底3的姿態。該識別的結果，玻璃襯底3如圖6所示， 左端部靠近滑塊23側。
姿態控制部50如圖6所示，驅動一個輸送端部29的推桿，而沿箭頭 H方向(相對於輸送方向C垂直的方向)伸長臂29a，並且，與其同步，驅 動另一輸送端部30的推桿而沿箭頭H方向縮短臂30a，並沿箭頭H方向移 動玻璃襯底3從而使玻璃襯底3的中心位置與輸送路徑的中心位置匹配。
之後，姿態控制部50使各輸送端部29、 30同步地向前側移動，使得 玻璃襯底3的前端部與定位傳感器43的中心一致。這時，各輸送端部29、 30例如如圖7所示，沿箭頭N方向微小移動。
結果，如圖7所示，定位玻璃襯底3，使得基準位置、即相對於輸送 方向C平行、且玻璃襯底3的中心與輸送路徑的中心位置大致一致。另外， 基準位置是在三個定位傳感器43 45中玻璃襯底3的各邊緣位置以傳感器 中心分別檢測的地方。
玻璃襯底3的定位終止時，移動控制部48如圖4所示，沿與輸送方向 C相反的方向分別以同一速度使各輸送端部31、 32同步，並在各滑塊25、 26上移動。
這些輸送端部31、 32到達玻璃襯底3的下方時，在各滑塊25、 26上 的襯底傳遞基準位置上停止，使各臂31a、 32a升高，而使各吸附襯墊31b、 32b吸附玻璃襯底3的背面。這些吸附襯墊31b、 32b的吸附位置是向玻璃 襯底3中的輸送方向C成為前側的背面兩端部。
這些吸附襯墊31b、 32b吸附玻璃襯底3時，解除各輸送端部29、 30 的各吸附襯墊29a、 30b的吸附後，各臂29a、 30a下降。
由此，玻璃襯底3的吸附保持從各輸送端部29、 30傳遞到各輸送端部31、 32。各輸送端部29、 30在各滑塊23、 24上沿與輸送方向C相反的方 向(後側)移動，而停止在搬入用的襯底裝載臺1的襯底傳遞基準位置上 後，進行待機。若玻璃襯底3的傳遞終止時，各輸送端部31、 32如圖8所 示，以同一速度同步，並沿輸送方向C在各滑塊25、 26上移動。由此，在 浮起塊11上浮起的玻璃襯底3通過各輸送端部31、 32牽引，沿輸送方向C 高速輸送，而到達檢查部E。
檢查部E中，壓縮空氣供給部46停止向浮起塊11的各空氣孔4的壓 縮空氣的供給。
接著，進行從壓縮空氣供給部46向真空吸附部47的切換。該真空吸 附部47通過配管對浮起塊11的各空氣孔12抽真空，而使玻璃襯底3吸附 保持在浮起塊ll上。另外，這時，解除吸附保持玻璃襯底3的背面的各吸 附襯墊31b、 32b的吸附後，各臂31a、 31b下降。
檢查部E中，例如，使用具有線傳感器的檢査用設備14通過由玻璃襯 底3的各種檢査取得的圖像數據進行玻璃襯底3的圖案檢查、缺陷檢查等。 這時，通過使裝載了檢查用設備14的門型臂15相對輸送方向C沿前後方 向移動，而由檢査用設備14對玻璃襯底3的整個面進行各種檢査。
檢查部E的檢查終止時，各輸送端部31、 32使各臂31a、 32a升高， 而使各吸附襯墊31b、 32b向玻璃襯底3的向輸送方向C吸附成為前側的背 面的兩個端部。
並且，真空吸附部47停止對浮起塊11的各空氣孔12的抽真空。並且， 進行從真空吸附部47向壓縮空氣供給部46的切換。該壓縮空氣供給部46 向浮起塊11的各空氣孔12供給壓縮空氣，並從這些空氣孔12上吹離子化 後的壓縮空氣，而使玻璃襯底3浮起。
另外，也可在浮起塊11上浮起玻璃襯底3的狀態下，沿輸送方向分別 以一定速度使各輸送端部31、 32同步，而在各滑塊23、 24上移動，同時 進行檢査部E的檢査。
之後，與上述相同，在浮起塊11上的玻璃襯底3通過壓縮空氣的上吹 而完全浮起的狀態下，各輸送端部31、 32在各滑塊25、 26上移動，而沿 輸送方向C高速輸送玻璃襯底3。
玻璃襯底3到達浮起塊11的出口側時，玻璃襯底3的吸附保持從各輸送端部31、 32傳遞到各輸送端部33、 34，並且壓縮空氣供給部向襯底裝載 臺16的各空氣孔8供給壓縮空氣。與上述從各輸送端部29、 30向各輸送 端部31、 32的傳遞同樣，進行從這些輸送端部31、 32向各輸送端部33、 34的玻璃襯底3的傳遞。
玻璃襯底3的傳遞終止時，各輸送端部33、 34在各滑塊27、 28上移 動而沿輸送方向C輸送玻璃襯底3。並且，玻璃襯底3到達搬出用的襯底裝 載臺16的上方時，各輸送端部33、 34停止在襯底傳遞基準位置上。
襯底裝載臺16中各抬升銷20升高。壓縮空氣供給部46停止向襯底裝 載臺16的各空氣孔18的壓縮空氣的供給，並且，各吸附襯墊33b、 34b解 除對玻璃襯底3的背面的吸附，而使各臂33a、 34a下降。由此，將玻璃襯 底3被裝載在各抬升銷20上。搬出用輸送機器人21使手臂22旋轉、前進 和後退，而從各抬升銷20上取出檢查完的玻璃襯底3後容納在盒子內。
之後，依次重複進行多個玻璃襯底3向襯底裝載臺1的搬入、空氣輸 送、定位、檢查、從襯底裝載臺16的搬出。
這樣，上述第一實施例中，在從各襯底裝載臺l、 16和浮起塊11上形 成的多個空氣孔4、 18、 12上吹空氣而使玻璃襯底3浮起的狀態下，吸附 保持玻璃襯底3在輸送方向C的前端部兩端而進行牽引，同時進行輸送。 由此，可在浮起大型玻璃襯底3的狀態下，不刮傷玻璃襯底3，而進行高速 輸送。
由於將多個空氣孔4、 18、 12有規則地設置在各襯底裝載臺1、 16和 浮起塊ll的空氣輸送面上，且設置了各槽5、 13、 19，所以從多個空氣孔 4、 18、 12上吹出的空氣流過各槽5、 13、 19，故玻璃襯底3和各襯底裝載 臺1、 16和浮起塊11之間不滯留空氣，而通過各槽5、 13、 19流過。由此， 大型的玻璃襯底3可進行中央部分沒有隆起等的彎曲、保持很高的水平度 地輸送。
各槽5、 13、 19在與輸送方向C相同的方向上形成，所以空氣的上吹 壓力分布與輸送方向C一樣。由此，玻璃襯底3在輸送時，不沿上下方向 振動，可在穩定狀態下進行輸送。
玻璃襯底3的輸送分別吸附保持向玻璃襯底3的輸送方向C的前側的 背面兩端側，而進行強制牽引，同時進行高速輸送。由此，玻璃襯底3可以在浮起狀態下進行不為蛇行等相對輸送方向C振動地穩定輸送。另外，
由於吸附保持玻璃襯底3的背面兩端側，所以不接觸玻璃襯底3上形成的
電路圖案的部分，不會影響電路圖案。
這樣，由於可非接觸地高速輸送大型玻璃襯底3，所以在FPD製造等 這樣的半導體製造領域中，可以滿足不使產品品質劣化、而提高產品生產 率的要求。
由於從各空氣孔4、 18、 12上吹離子化後的壓縮空氣，而高速輸送玻 璃襯底3，所以可以中和靜電，阻止帶電到玻璃襯底3上。
由於定位部A中，在玻璃襯底3浮起的狀態下，通過三個定位傳感器 43 45、姿態識別部49和姿態控制部50進行定位，所以可在浮起玻璃襯 底3的非接觸狀態下，不刮傷大型的玻璃襯底3，而進行可靠的定位。
另外，該定位中，通過沿兩維方向微小移動輸送玻璃襯底3的各輸送 端部29、 30，使這些輸送端部29、 30除了玻璃襯底3的輸送功能之外，可 兼用作定位，並可接著玻璃襯底3的輸送連續進行定位，可以縮短定位所 需的時間。
定位中，由於通過三個定位傳感器43 45識別玻璃襯底3的姿態，所 以可以高精度地檢測玻璃襯底3的姿態。
進一步，由於三個定位傳感器43 45嵌入浮起塊11中，所以各定位 傳感器43 45的基準位置不會有偏差，通常可以根據三點的邊緣位置信息 高精度地定位各玻璃襯底3。
另外，上述第一實施例例如可設置多個檢査部E，可適用於設置了各 種處理工藝的工序。
接著，說明本發明的第二實施例。另外，對與圖l相同的部分添加同 一符號而省略其詳細說明。
圖9是襯底輸送裝置的結構圖。該襯底輸送裝置設置了各輸送機器人 7、 21，使得搬入用和搬出用的各輸送機器人7、 21的各手臂8、 22的前進 和後退方向成為與輸送方向C相同的方向，且可沿輸送方向C移動吸附保 持在輸送架臺9上的玻璃襯底3的保持器(* A , ) 60。
另外，除去搬入用和搬出用的各襯底裝載臺l和16具有的各抬升銷6、 20。由此，各輸送機器人7、 21通過將各個手臂8、 22伸入各襯底裝載臺1和16的各槽5、 19內，而直接在襯底裝載臺1上裝載玻璃襯底3，或直接 從襯底裝載臺16中取出玻璃襯底3。
在搬送架臺9上，相對輸送方向C彼此平行地鋪設兩條軌道61。在這 些軌道61上可移動地設置移動用浮起塊(下面，稱為保持器)60。
在保持器60的表面上在整個面上設置兼作空氣的上吹和吸入的多個 空氣孔62。與襯底裝載臺1同樣，該保持器60形成為寬度比玻璃襯底3 的寬度稍短，且保持器表面的高度形成為與襯底裝載臺1的表面高度大致 相同。
輸送架臺9上，沿輸送方向C彼此平行地設置夾著保持器60的一對滑 塊63、 64。在搬入側的襯底裝載臺1和搬出側的輸送機器人21之間設置這 些滑塊63、 64。在這些滑塊63、 64上分別可移動地設置成為一對的定位側 的各輸送端部29、 30與檢査側的各輸送端部31、 32。
定位側的各輸送端部29、 30在各滑塊63、 64上的搬入側的輸送機器 人7側的左側端部和定位部A的右側端部Aa之間往復移動。檢查側的各輸 送端部31、 32在各滑塊63、 64上的定位部A的右側端部Aa和搬出用的襯 底裝載臺16的右側端部之間往復移動。與上述第一實施例相同地進行從定 位側的各輸送端部29、 30向檢查側的各輸送端部31、 32的玻璃襯底3傳 遞。
接著，說明如上所述構成的裝置的動作。
由輸送機器人7從盒子中搬入的玻璃襯底3在襯底裝載臺1上浮起， 並與向輸送方向C的移動同步地通過各輸送端部29、 30進行牽引，而輸送 到在定位部A上待機的保持器60的上方。另外，各輸送端部29、 30的吸 附位置為玻璃襯底3的向輸送方向C成為前側的背面的兩端。
定位部A中，玻璃襯底3與上述第一實施例相同，在保持器60上通過 各輸送端部29、 30的微小運動進行定位。玻璃襯底3的定位終止時，從壓 縮空氣供給部46切換到真空吸附部47，而將玻璃襯底3吸附保持在保持器 60上。
這吋，各輸送端部29、 30解除對玻璃襯底3的吸附保持，而返回到各 滑塊63、 64上的搬入側輸送機器人7側的左側端部(襯底傳遞基準位置)。 接著，保持器60在吸附保持了玻璃襯底3的狀態下，沿輸送方向C移動。保持器11到達檢查部E時，與上述相同，在檢査部E中，進行玻璃 襯底3的各種檢査。
對玻璃襯底3的檢查終止時，使在襯底傳遞基準位置上待機的各輸送 端部31、 32的各臂31a、 32a升高，並通過各吸附襯墊31b、 32b吸附保持 玻璃襯底3的背面。這些輸送端部31、 32的吸附位置為玻璃襯底3的向輸 送方向C前側的背面的兩端。之後，從壓縮空氣供給部46向襯底裝載臺16 供給壓縮空氣，而使玻璃襯底3從保持器60上浮起。該狀態下，玻璃襯底 3通過各輸送端部31、 32牽引，而高度輸送到襯底裝載臺16上。
搬出用輸送機器人21插入槽19內，並升高一些，來吸附保持玻璃襯 底3的背面。這時，從玻璃襯底3的背面解除各輸送端部31、 32的吸附襯 墊31b、 32b的吸附。搬出用輸送機器人21使手臂22升高，並且，使手臂 22旋轉、前進和後退，而從襯底裝載臺16上取出檢查完的玻璃襯底3，容 納到盒子內。
這樣，根據上述第二實施例，可以達到與上述第一實施形態相同的效 果。另外，由於沒有搬入用和搬出用的各襯底裝載臺1和16中具有的各抬 升銷6、 20，所以可將時間縮短掉各抬升銷6、 20的動作時間。
另外，本發明並不限於上述各實施形態，在實施階段可在不脫離其要 旨的範圍內有各種變形。
使玻璃襯底3浮起的方式並不限於向玻璃襯底3的背面噴射空氣，也 可通過靜電方式浮起。在通過靜電方式浮起的情況下，可以進行對玻璃襯 底3的除電。
輸送浮起的玻璃襯底3的方式並不限於例如在一對滑塊23、 24上移動 一對各輸送端部29、 30，也可在各槽13內可移動地設置具有各吸附襯墊的 各輸送端部，並通過這些輸送端部吸附保持玻璃襯底3前端部的背面來進 行輸送。
輸送玻璃襯底3時的吸附保持位置並不限於輸送方向C中的玻璃襯底 3的前端部兩側，也可由玻璃襯底3的前端部兩端和後端部兩端來吸附^ 持，或由玻璃襯底3的相對兩邊的各中央部或沿兩邊的多個部位進行吸「 保持。若由該玻璃襯底3的四個角、相對兩邊的中央部或沿兩邊的多4 置吸附保持玻璃襯底3，則不僅可向搬送方向C輸送，還可向與^I送方相反的方向輸送。另外，若玻璃襯底3的吸附保持位置是沒有形成電路圖
案的部分，則也可以是玻璃襯底3的表面或背表面。
向襯底裝載臺1裝載玻璃襯底3或從襯底裝載臺16取出玻璃襯底3 也可使用除各輸送機器人7、 21之外的某種機構，也可以是從其他線輸送 空氣等的襯底浮起輸送單元。
上述實施形態中，雖然說明了大型LCD和PDP等的平板等製造工藝的 成線檢査中的玻璃襯底3的輸送，但是並不限於此，也可適用於使半導體 晶片等各種襯底和板狀的物體浮起來進行高速輸送的情況。另外，使玻璃 襯底3浮起進行高速輸送的方式並不限於從襯底裝載臺1向保持器60上的 輸送，還可適用於設置了多個可移動的保持器60情況下的各保持器間的輸 送。
定位部A中所用的各定位傳感器43 45使用線傳感器，但是並不限於 此，也可使用兩維CCD攝像機識別玻璃襯底3的邊緣位置。
為了在各襯底裝載臺1、 16和浮起塊11上沒有玻璃襯底3中央部的彎 曲，而保持水平度，分別設置了作為空氣的排氣通道(逃W道)的兩個槽5、 13、 19，但是如圖10所示，這些槽5、 13、 19也可相對輸送方向C平行地 設置多個。由於這些槽5、 13、 19為從各空氣孔4、 12、 18上吹出的空氣 排氣通道，所以可使槽的兩端在空氣中開放，或在槽內設置貫通背面的圓 形或條紋狀的空氣逃逸孔，使其可良好排出空氣。
另外，這些槽5、 13、 19的形狀也可以是四邊形、U字形、V字形、圓 弧狀的凹狀。另外，這些槽5、 13、 19的寬度也可以是在各襯底裝載臺1、 16和浮起塊11與玻璃襯底3之間形成空氣層而可浮起玻璃襯底3的寬度大 小。
這些槽5、 13、 19的寬度形成為相對輸送方向C相同，施加給輸送方 向C的玻璃襯底3的空氣壓力部分也可均勻。
另外，為了使玻璃襯底3的兩端沒有向下的彎曲，也可在各襯底裝載 臺1、 16和浮起塊11的兩端設置多個空氣噴出孔，分別向玻璃襯底3的兩 端部噴射空氣。
上述第二實施例中，雖然各滑塊63、 64延伸到搬出用的搬送機器人 21側，但是，也可延伸到搬入用的輸送機器人7側。產業上的可利用性
本發明用於大型LCD和PDP等的FPD等工序中的成線檢査中的玻璃襯底的
輸送，使各種襯底和板狀的物體浮起進行高速輸送等。
權利要求
1、一種襯底輸送裝置，輸送平板顯示器製造工藝中所製造的襯底，其特徵在於，包括襯底浮起塊，形成有空氣孔，該空氣孔吹出使上述襯底浮起的空氣；襯底輸送單元，配置成相對於上述襯底浮起塊可沿上述襯底的輸送方向移動，吸附保持由上述襯底浮起塊浮起了的上述襯底的背面並向上述襯底的輸送方向輸送。輸送機器人，設置在上述襯底浮起塊的搬入側或搬出側，並且具有多個保持上述襯底的手臂；以及槽，在上述襯底浮起塊的上述搬入側或搬出側，以規定的間隔形成有多個，並且可插入上述手臂，上述輸送機器人使上述多個手臂插入到上述多個槽，從而進行在上述襯底浮起塊上的上述襯底的交接。
2、 如權利要求1所述的襯底輸送裝置，其特徵在於， 上述襯底浮起塊還包括定位單元，該定位單元將由上述輸送機器人搬入的上述襯底在浮起了的狀態下進行定位，上述襯底輸送單元將由上述定位單元進行了定位的上述襯底在浮起了 的狀態下從上述襯底浮起塊的上述搬入側向上述搬出側輸送，設置在上述搬出側的上述輸送機器人使上述手臂插入到設置在上述搬 出側的多個槽內，並接受由上述襯底輸送單元輸送來的上述襯底。
3、 如權利要求1或2所述的襯底輸送裝置，其特徵在於，設置在上述搬出側的上述輸送機器人使上述手臂在插入到設置在上述 搬出側的多個上述槽內的狀態下上升而吸附保持上述襯底，在解除了上述 襯底輸送單元的吸附後，使上述手臂上升、旋轉、前進而從上述襯底浮起 塊取出上述襯底並容納到盒子內。
4、 如權利要求3所述的襯底輸送裝置，其特徵在於， 設置在上述搬出側的上述襯底在由上述定位單元進行了定位的狀態下交接到上述輸送機器人的上述手臂。
5、 如權利要求1至4中任一項所述的襯底輸送裝置，其特徵在於，上述輸送機器人使上述手臂插入到上述槽，從而相對於上述襯底浮起 塊直接裝載或取出上述襯底。
全文摘要
本發明提供一種襯底輸送裝置，其是從各襯底裝載臺(1、16)和浮起塊(11)上形成的多個空氣孔(4、18、12)上吹空氣而使玻璃襯底(3)浮起，吸附保持該浮起的玻璃襯底(3)在輸送方向C上的前端部兩端而進行牽引，同時進行輸送。
文檔編號B65G51/03GK101412472SQ20081017832
公開日2009年4月22日 申請日期2003年4月16日 優先權日2002年4月18日
發明者安田守, 藤崎暢夫 申請人:奧林巴斯株式會社