平行曝光機的反光裝置的製作方法
2023-06-12 01:17:51 1
專利名稱：平行曝光機的反光裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種反光裝置，尤其涉及一種平行曝光機的反光裝置。
背景技術：
曝光機即電子束曝光機是集電子光學、電氣、機械、真空、計算機技術等於一體的複雜的半導體加工設備。在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光，受電子束輻照後的光刻膠，其物理化學性質發生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域，從而在抗蝕劑上形成精細圖形。反光裝置是平行曝光機的一個主要部件，目前在曝光機橢形反光罩的設計上，都是採用反光罩罩口朝上的安裝方式，如圖1和圖2所示，平行曝光機的反光裝置一般包括燈管1和燈罩2，其中，所述燈罩2為橢圓球燈罩，採用向下安裝方式。冷風從進風口 5處進來，沿著燈罩2向上從出風口 6出去。為了加強散熱效果，燈罩固定套3上設有散熱孔4。現有反光裝置主要有如下不足點1)不利於燈罩內UV介質膜的冷卻；2)不利於燈罩的自身清潔；3)不利於冷罩殼體的熱量散發。因此，有必要對現有的平行曝光機的反光裝置進行改進。
實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種平行曝光機的反光裝置，便於燈罩內UV介質膜散熱和冷卻，且不增加生產成本。本實用新型為解決上述技術問題而採用的技術方案是提供一種平行曝光機的反光裝置，包括燈管和燈罩，其中，所述燈罩為橢圓球燈罩，所述橢圓球燈罩的罩口向下，頂部設有散熱孔。上述的平行曝光機的反光裝置，其中，所述反光裝置包括導流片，所述導流片對稱設置於燈管的兩側，固定在燈罩固定套上。上述的平行曝光機的反光裝置，其中，所述燈罩固定套的進風口處設有進風機，出風口處設有抽風機。上述的平行曝光機的反光裝置，其中，所述燈罩內側覆蓋有UV介質膜。本實用新型對比現有技術有如下的有益效果本實用新型提供的平行曝光機的反光裝置，採用橢圓球燈罩，並採用向下安裝的方式，從而便於燈罩內UV介質膜散熱和冷卻，且不增加生產成本。
圖1為現有平行曝光機的反光裝置結構及散熱效果示意圖；圖2為沿圖1中A-A線的剖面示意圖；圖3為本實用新型平行曝光機的反光裝置結構示意圖。圖中[0014]I燈管 2燈罩 3燈罩固定套4散熱孔 5進風ロ 6出風ロ7導流片 8進風機 9抽風機
具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本實用新型作進ー步的描述。圖3為本實用新型平行曝光機的反光裝置結構示意圖。請參見圖3，本實用新型提供的平行曝光機的反光裝置包括燈管I和燈罩2，其中， 所述燈罩2為橢圓球燈罩，所述橢圓球燈罩的罩ロ向下，頂部設有散熱孔4。本實用新型提供的平行曝光機的反光裝置，反光裝置還進一歩包括導流片7，所述導流片7優選對稱設置於燈管I的兩側。所述導流片7傾斜成75°固定在燈罩固定套3 上，所述燈罩固定套3的進風ロ 5處設有進風機8，出風ロ 6處設有抽風機9，以便進ー步提高散熱效果。為了避免不當光線洩漏造成產品品質不良，所述燈罩2內側可進一步覆蓋UV介質膜(紫外線介質膜，即UltraViolet)。UV介質膜是將特殊配方塗料塗布於PET薄膜基材表面，以達到阻隔紫外光及短波長可見光之效果。適用於光學蝕刻製程或製程中需隔絕UV之產業如半導體業、電子業等。雖然本實用新型已以較佳實施例掲示如上，然其並非用以限定本實用新型，任何本領域技術人員，在不脫離本實用新型的精神和範圍內，當可作些許的修改和完善，因此本實用新型的保護範圍當以權利要求書所界定的為準。
權利要求1.ー種平行曝光機的反光裝置，包括燈管⑴和燈罩(2)，其特徵在於，所述燈罩⑵ 為橢圓球燈罩，所述橢圓球燈罩的罩ロ向下，頂部設有散熱孔(4)。
2.如權利要求I所述的平行曝光機的反光裝置，其特徵在於，所述反光裝置還包括導流片(7)，所述導流片(7)對稱設置於燈管(I)的兩側。
3.如權利要求I所述的平行曝光機的反光裝置，其特徵在於，所述導流片(7)固定在燈罩固定套(3)上，所述燈罩固定套(3)的進風ロ(5)處設有進風機(8)，出風ロ(6)處設有抽風機(9)。
4.如權利要求I 3任一項所述的平行曝光機的反光裝置，其特徵在於，所述燈罩(2) 內側覆蓋有UV介質膜。
專利摘要本實用新型公開了一種平行曝光機的反光裝置，包括燈管和燈罩，其中，所述燈罩為橢圓球燈罩，所述橢圓球燈罩的罩口向下，頂部設有散熱孔；所述反光裝置還包括導流片，所述導流片對稱設置於燈管的兩側；所述導流片固定在燈罩固定套上，所述燈罩固定套的進風口處設有進風機，出風口處設有抽風機。本實用新型提供的平行曝光機的反光裝置，採用橢圓球燈罩，並採用向下安裝的方式，從而便於燈罩內UV介質膜散熱和冷卻，且不增加生產成本。
文檔編號F21V29/00GK202339477SQ20112047587
公開日2012年7月18日 申請日期2011年11月25日 優先權日2011年11月25日
發明者牛實利 申請人:無錫旭電科技有限公司