新立式渦輪分子泵的製作方法

2023-05-31 02:40:56

專利名稱：新立式渦輪分子泵的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及高轉速機械真空泵，具體是一種新立式渦輪 分子泵。
背景技術：
目前，大型渦輪分子泵的結構採用中頻內轉子電機，由於結 構所限，更換軸承時必須將動葉輪和主軸拆開，必然造成對動平衡的破壞， 更換軸承後需要重新平衡，因此更換軸承須返回廠家，給用戶造成很大的損 失和麻煩；鋁合金板經過碾壓製作動葉片，這就造成材料纖維的方向性，即 有縱向纖維和橫向纖維，動葉片橫向纖維處的抗拉強度比縱向處低得多，因 此就限制了分子泵的轉速，而分子泵的真空性能(抽速、壓縮比)恰好直接 取決於轉速；倒錐油泵從油杯中吸油潤滑軸承，，多數軸承的損壞是由於油杯 中油位過低，油泵不能供油而造成的。實用新型內容本實用新型的目的是克服上述缺點，提供一種能杜絕分子泵軸承因缺油 而損壞，避免用戶因更換軸承造成的經濟損失和增添不必要的麻煩，提高泵 的轉速以獲得更佳性能，具有清潔無油的超高真空和節約能源的優點的新立 式渦輪分子泵。本實用新型的目的是這樣實現的--種新立式渦輪分子泵，其特徵在於油杯中設置油位傳感器，採用外轉 子電機，由固定在主軸上的動葉輪和靠泵殼固定的多層靜葉片組成，動葉輪 上有多層動葉片，其動葉片之間有靜葉片相隔，動葉片和靜葉片角度相反。 所述的多層靜葉片至少是九層或在九層以上；所述動葉輪上設置多層動葉片 至少是九層或九層以上，動葉片是採用隔離環與葉片整體鍛制，為鋁合金結 構。本實用新型具有清潔無油的超高真空和節約能源的優點。採用外轉子電 機，使得更換軸承時，可以將除油泵以外的旋轉部份整體拆開，不破壞整體 平衡，因此實現了用戶現場更換軸承；採用鍛造鋁合金作動葉片，鍛造除了 使材料組織更加緊密外，最重要的是其材料結構發生變化，即纖維方向呈放 射狀，使動葉片在高速旋轉時每個葉片處於最佳抗拉狀態，且提高泵的轉速 獲得更佳的性能，油杯上設置油位傳感器，當油位到達下限時，分子泵電源 會報警並停止運行，徹底杜絕分子泵軸承因缺油而損壞。


圖1是本實用新型結構示意圖具體實施方式
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圖中所示，新立式渦輪分於製，油杯9中設置油位傳感器10，採用外轉子電機4，由固定在主軸6上的動葉輪5和靠泵殼1固定的多層靜葉片3組 成，動葉輪5上有多層動葉月7，其動葉片7之間有靜葉片3相隔，動葉片7 和靜葉片3角度相反。所述的多層靜葉片3至少是九層或在九層以上；所述 動葉輪5上設置多層動葉片7至少是九層或九層以l:，動葉片7是採用隔離 環與葉片整體鍛制，為鋁合金結構。泵殼l、軸承2、除油泵8均是本實用新 型的零部件。
權利要求1、一種新立式渦輪分子泵，其特徵在於油杯(9)中設置油位傳感器(10)，採用外轉子電機(4)，由固定在主軸(6)上的動葉輪(5)和靠泵殼(1)固定的多層靜葉片(3)組成，動葉輪(5)上有多層動葉片(7)，其動葉片(7)之間有靜葉片(3)相隔，動葉片(7)和靜葉片(3)角度相反。
2、 根據權利要求1所述的新立式渦輪分子泵，其特徵是所述的多層靜葉 片(3)至少是九層或在九層以上。
3、 根據權利要求1所述的新立式渦輪分子泵，其特徵是所述動葉輪(5) 上設置多層動葉片(7)至少是九層或九層以上，動葉片(7)是採用隔離環 與葉片整體鍛制，為鋁合金結構。
專利摘要一種新立式渦輪分子泵，油杯中設置油位傳感器，採用外轉子電機，由固定在主軸上的動葉輪和靠泵殼固定的多層靜葉片組成，動葉輪上有多層動葉片，其動葉片之間有靜葉片相隔，動葉片和靜葉片角度相反。本實用新型通過採用外轉子電機、鍛造製作動葉片、油杯中設置油位傳感器，杜絕分子泵軸承因缺油而損壞，避免用戶因更換軸承造成的經濟損失和增添不必要的麻煩，材料結構發生變化，纖維方向呈放射狀，明顯提高泵的轉速以獲得更佳性能，具有清潔無油的超高真空和節約能源的優點。
文檔編號F04D19/00GK201050492SQ200720080139
公開日2008年4月23日 申請日期2007年6月29日 優先權日2007年6月29日
發明者明 葛 申請人:成都無極真空科技有限公司