多種化學品藥液分離、重複使用裝置的製作方法
2024-03-27 06:06:05 1
專利名稱：多種化學品藥液分離、重複使用裝置的製作方法
技術領域：
本發明是應用於半導體製程中刻蝕部分針對多種化學藥液再回收利用的技術，具
體為一種多種化學品藥液分離、重複使用裝置。
背景技術：
以槽式刻蝕為代表的傳統溼法刻蝕，刻蝕精度很難控制，由於溶劑微粒的沾汙而 導致高的缺陷水平，不能用於大直徑小特徵的晶圓加工。而單片刻蝕可以避免溶劑微粒的 沾汙，卻會產生大量的化學廢液，在化學品回收利用方面是個空白。
發明內容
為實現化學品的重複使用，本發明的目的在於提供一種多種化學品藥液分離、重 復使用裝置，可將多種化學藥液分離，再將回收的化學藥液配比成可重複使用的濃度，實現 再利用，該技術可大大減少刻蝕過程中化學藥液的浪費。
本發明的技術方案是 —種多種化學品藥液分離、重複使用裝置，該裝置主要設有藥液杯、旋轉馬達、導 向電機、回收液罐、再生液罐，導向電機與一段管路連接，管路上端與藥液杯連通，管路下端 通過導向電機旋轉不同的方向與下面的至少一個收集杯口中心對應；回收液罐與再生液罐 的一個入口通過管路相連，再生液罐的出口插設有管路，該管路另一端至藥液杯上方，與晶 片對應。 所述的多種化學品藥液分離、重複使用裝置，還包括配比液罐、補酸控制器，再生
液罐的另一入口通過管路與配比液罐相連，在該管路上裝有泵；補酸控制器的輸入端通過
傳感器置於回收液罐中，補酸控制器的輸出端連接所述的泵，控制泵的開啟或關閉。 所述的多種化學品藥液分離、重複使用裝置，在回收液罐與再生液罐的入口相連
的管路上安裝有泵。 所述的多種化學品藥液分離、重複使用裝置，在再生液罐出口插設的管路上安裝 有泵。 所述的多種化學品藥液分離、重複使用裝置，在回收液罐與再生液罐的入口相連 的管路上安裝排汙管，在該排汙管上安裝排廢閥。 所述的多種化學品藥液分離、重複使用裝置，收集杯為三個，第一個收集杯與一個
回收液罐連通，第二個收集杯與另一個回收液罐連通，第三個收集杯連接排汙管。 所述的多種化學品藥液分離、重複使用裝置，藥液杯的內側設置旋轉馬達，承片臺
安裝於旋轉馬達的軸上，晶片放置在承片臺上。 本發明的有益效果是 1、以槽式刻蝕為代表的傳統溼法刻蝕成品率低，而應用離心機旋轉的單片刻蝕方 式又導致大量化學品浪費，本發明裝置可實現化學藥液再利用。該裝置主要設有承片臺 (CHUCK)、旋轉馬達、回收化學藥液的藥液罐、補酸控制器、化學藥液泵等。本發明通過設於藥液杯(CUP)的下部不同藥液的回收切換裝置，使化學品根據顯影液歸於不同的回收容器 化學藥液灌中。多種化學品的重複使用，是通過化學品補償控制器，檢測相應藥液的濃度來 實現。 2、本發明利用導向電機連接不同管路實現對化學藥液的分離，補酸控制器的傳感 器檢測藥液罐中的化學藥液，再通過兩個泵配比液罐中的藥液來調節藥液濃度，再使用第 三個泵來實現重複利用藥液的再次噴灑。
圖1為本發明結構示意圖。圖中，1、晶片；2、承片臺(CHUCK) ;3、藥液杯(CUP) ;4、
旋轉馬達；5、導向電機；6、補酸控制器；7、泵I ;8、泵II ;9、泵III ;10、排廢閥；11、配比液 罐；12、回收液罐B ;13、再生液罐；14、回收液罐A ;15、收集杯；16、管路。
具體實施例方式
如圖l所示，本發明多種化學品藥液分離、重複使用裝置主要包括晶片1、承片臺 (CHUCK)2、藥液杯(CUP)3、旋轉馬達4、導向電機5、補酸控制器6、泵I 7、泵II 8、泵1119、 排廢閥10、配比液罐11、回收液罐B12、再生液罐13、回收液罐A14等，具體結構如下
藥液杯3內側設置旋轉馬達4，承片臺2安裝於旋轉馬達4的軸上，晶片1放置在 承片臺2上。導向電機5與一段管路16連通，管路16上端與藥液杯(CUP)3緊密相連，管 路16下端通過導向電機5旋轉不同的方向與下面三個收集杯口中心對應；三個收集杯15 之中，第一個收集杯與回收液罐B12連通，第二個收集杯與回收液罐A14連通，第三個收集 杯連接排汙管；本發明中，第三個收集杯連接排汙管，其目的是用於排除工藝過程中，沒有 回收價值的工藝液體，如已汙染的去離子水等。配比液罐11與再生液罐13的入口通過管 路相連，在該管路上裝有泵118 ;回收液罐B12與再生液罐13的入口通過管路相連，在該管 路上裝有泵I 7和排汙管，在該排汙管上安裝排廢閥10 ;再生液罐13的出口插設有管路， 該管路上安裝泵1119，該管路的另一端至藥液杯3上方，與晶片1對應。補酸控制器6輸入 端通過傳感器置於回收液罐B12中，傳感器將測量的液體濃度值輸入至補酸控制器6，補酸 控制器6的輸出端連接泵II8，控制泵I1 8的開啟或關閉。本發明中，補酸控制器6為常規 技術； 本發明中，回收液罐A14的作用是收集與回收液罐B12不同的藥液；這樣，可以將 回收液罐A14與再生液罐13的入口通過管路相連，在該管路上裝有泵和排汙管。此時，可以 將補酸控制器的傳感器置於回收液罐A14中，傳感器將測量的液體濃度值輸入至補酸控制 器，通過配比液罐11向再生液罐13中補充藥液。根據需要，還可以設置更多的回收液罐， 實現多種化學品藥液的分離和重複使用。
本發明的工作過程如下 藥液杯3內側設置的旋轉馬達4，帶動承片臺2上安裝的晶片l旋轉，藥液於上方 噴至晶片1，進行藥液的塗敷。導向電機5帶動可旋轉管路16，管路16上端連接藥液杯3的 底部開口 ，管路下端通過導向電機5旋轉不同的方向可與下面三個收集杯15 口中心對應， 藥液杯3收集的化學品藥液通過管路輸入到收集杯15中。收集杯口直徑比管路16直徑略 大，可有效的防止液體濺出。回收液罐B12是個中轉裝置，補酸控制器6測量回收液罐B12
4裡面的液體濃度，泵I 7把回收液罐B12的液體打入再生液罐13，與泵II 8連接的補酸控制器6通過換算控制泵II 8把配比液罐11中的液體打入再生液罐13中，此時再生液罐13已經是可重複使用的化學藥品了。最後，通過泵1119把再生液罐13中的化學藥品噴灑到晶片1上，實現回收再利用，廢棄化學藥品通過排廢閥io控制排出。
權利要求
一種多種化學品藥液分離、重複使用裝置，其特徵在於該裝置主要設有藥液杯、旋轉馬達、導向電機、回收液罐、再生液罐，導向電機與一段管路連接，管路上端與藥液杯連通，管路下端通過導向電機旋轉不同的方向與下面的至少一個收集杯口中心對應；回收液罐與再生液罐的一個入口通過管路相連，再生液罐的出口插設有管路，該管路另一端至藥液杯上方，與晶片對應。
2. 按照權利要求1所述的多種化學品藥液分離、重複使用裝置，其特徵在於還包括配 比液罐、補酸控制器，再生液罐的另一入口通過管路與配比液罐相連，在該管路上裝有泵； 補酸控制器的輸入端通過傳感器置於回收液罐中，補酸控制器的輸出端連接所述的泵，控 制泵的開啟或關閉。
3. 按照權利要求1所述的多種化學品藥液分離、重複使用裝置，其特徵在於在回收液 罐與再生液罐的入口相連的管路上安裝有泵。
4. 按照權利要求1所述的多種化學品藥液分離、重複使用裝置，其特徵在於在再生液 罐出口插設的管路上安裝有泵。
5. 按照權利要求1所述的多種化學品藥液分離、重複使用裝置，其特徵在於在回收液 罐與再生液罐的入口相連的管路上安裝排汙管，在該排汙管上安裝排廢閥。
6. 按照權利要求1所述的多種化學品藥液分離、重複使用裝置，其特徵在於收集杯為 三個，第一個收集杯與一個回收液罐連通，第二個收集杯與另一個回收液罐連通，第三個收 集杯連接排汙管。
7. 按照權利要求1所述的多種化學品藥液分離、重複使用裝置，其特徵在於藥液杯的 內側設置旋轉馬達，承片臺安裝於旋轉馬達的軸上，晶片放置在承片臺上。
全文摘要
本發明是應用於半導體製程中刻蝕部分針對多種化學藥液再回收利用的技術，具體為一種多種化學品藥液分離、重複使用裝置，可將多種化學藥液分離，再將回收的化學藥液配比成可重複使用的濃度，實現再利用，該技術可大大減少刻蝕過程中化學藥液的浪費。該裝置主要設有藥液杯、旋轉馬達、導向電機、回收液罐、再生液罐，導向電機與一段管路連接，管路上端與藥液杯連通，管路下端通過導向電機旋轉不同的方向與下面的至少一個收集杯口中心對應；回收液罐與再生液罐的入口通過管路相連，再生液罐的出口插設有管路，該管路另一端至藥液杯上方，與晶片對應。本發明通過不同藥液的回收切換裝置，使化學品根據顯影液歸於不同的回收容器化學藥液灌中。
文檔編號C23F1/46GK101760744SQ20081023010
公開日2010年6月30日 申請日期2008年12月24日 優先權日2008年12月24日
發明者孫東豐, 徐春旭 申請人:瀋陽芯源微電子設備有限公司