面板平行度調整裝置及具備該裝置的面板附著裝置的製作方法
2024-03-22 02:32:05 1
專利名稱：面板平行度調整裝置及具備該裝置的面板附著裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及面板平行度調整裝置，進一步具體涉及能夠通過精確地調整相互附著的兩個面板的平行度而減少在面板產品中產生不良現象，由此提高面板產品的質量的面板平行度調整裝置及具備該裝置的面板附著裝置。
背景技術：
最近，隨著可攜式電話、智慧型手機(smartphone)、數位電視、個人計算機(PC)、筆記本電腦、個人數據助理(PDA)、可攜式媒體播放器(PMP)、汽車導航儀等各種數字產品的出現，平板顯示裝置、觸控螢幕等面板產品的需求不斷增加。作為平板顯示裝置，有液晶顯示裝置(LiquidCrystalDisplay，LCD)、等離子顯示裝置(Plasma Display Device, PDP)、有機發光二極體(Organic Light Emitting Diode, OLED)等。其中，液晶顯示裝置由於具有重量輕、厚度薄、低電壓驅動、全彩顯示、高解析度等特徵，因此作為顯示裝置廣泛應用在各種數字產品上。液晶顯示裝置通過在控制透光率的液晶顯示面板上附著偏光板和背光單元而製成。等離子顯示裝置在相互相對的兩個面板上排列相互交叉的電極而製成。對於以液晶顯示裝置或者等離子顯示裝置為首的各種平板顯示裝置而言，在平板顯示面板上附著透明保護板等各種功能的面板。觸控螢幕是設置在各種平板顯示裝置的顯示面上供用戶一邊看顯示裝置一邊選擇目標信息的輸入裝置。作為觸控螢幕，有電阻型(Resi stive Type)、電容型(Capacitive Type)、電磁型(EM，Electro-Magnetic Type)、表面聲波觸控型(SAW Type)及紅外型 (Infrared Type)等。這些觸控螢幕是在透明材質的窗口面板上附著透明的導電電極面板而製成的。作為附著構成平板顯示裝置或者觸控螢幕等面板產品的面板的方法，目前有使用透明接著膜的方法和使用紫外線固化性溶劑(UV固化劑)的方法。由於使用透明接著膜的附著方法存在在附著面上產生氣泡問題，因此，最近優選使用紫外線固化性溶劑的附著方法。當使用紫外線固化性溶劑等接著劑附著面板時，如果未能夠調整好即將附著的兩個面板的平行度，則有可能存在接著劑向面板的外部露出，並且面板之間的附著位置被錯開的問題。
發明內容
本發明是鑑於上述問題點而提出的，其目的在於提供面板平行度調整裝置及具備該裝置的面板附著裝置，從而能夠穩定且精確地調整相互附著的兩個面板的平行度，由此避免在面板的附著過程中出現接著劑露出，能夠精確地對準面板之間的附著位置。為了達到上述目的，本發明提供的面板平行度調整裝置，包括具有上表面的基板、配置在所述基板上表面的第一支撐軸、與所述第一支撐軸結合成能夠以所述第一支撐軸為旋轉中心旋轉的第一傾斜板、用於對所述第一傾斜板施力以使所述第一傾斜板以所述第一支撐軸為中心旋轉的第一傾斜致動器、在所述第一傾斜板的上表面上配置成與所述第一支撐軸交叉的第二支撐軸、與所述第二支撐軸結合成能夠以所述第二支撐軸為旋轉中心旋轉的第二傾斜板、用於對所述第二傾斜板施力以使所述第二傾斜板以所述第二支撐軸為中心旋轉的第二傾斜致動器，以及與所述第二傾斜板的上表面結合而能夠使面板安裝的面板安裝用板。另外，本發明的面板平行度調整裝置優選還包括將所述第一支撐軸和所述第一傾斜板可旋轉地連接的第一軸承，以及將所述第二支撐軸和所述第二傾斜板可旋轉地連接的第二軸承。所述第一傾斜致動器也可以使其一端與所述基板鉸鏈連接，而另一端與所述第一傾斜板鉸鏈連接，所述第二傾斜致動器也可以使其一端與所述第一傾斜板鉸鏈連接，而另一端與所述第二傾斜致動器鉸鏈連接。所述第一支撐軸與所述第二支撐軸也可以垂直地交叉。所述第一支撐軸也可以配置在所述第一傾斜板的中央，所述第二支撐軸也可以配置在所述第二傾斜板的中央。為了達到上述目的，本發明提供的面板平行度調整裝置還可以包括框架、垂直地配置在能夠上升下降地支撐所述基板的所述框架上的多個導杆、在所述框架上被設置成對所述基板施力以使所述基板上升下降的上升下降用致動器。為了達到上述目的，本發明提供的面板附著裝置，包括具有上表面的基板、配置在所述基板上表面的第一支撐軸、與所述第一支撐軸結合成能夠以所述第一支撐軸為旋轉中心旋轉的第一傾斜板、用於對所述第一傾斜板施力以使所述第一傾斜板以所述第一支撐軸為中心旋轉的第一傾斜致動器、在所述第一傾斜板的上表面上配置成與所述第一支撐軸交叉的第二支撐軸、與所述第二支撐軸結合成能夠以所述第二支撐軸為旋轉中心旋轉的第二傾斜板、用於對所述第二傾斜板施力以使所述第二傾斜板以所述第二支撐軸為中心旋轉的第二傾斜致動器、與所述第二傾斜板的上表面結合而能夠使面板安裝的面板安裝用板、 用於安裝附著在安裝於所述面板安裝用板上的面板上的另一面板的面板附著用板、為了使所述面板附著用板反轉而與所述面板附著用板結合成使安裝在所述面板附著用板上的面板的上表面與安裝在所述面板安裝用板上的面板的上表面相對的反轉裝置，以及用於使結合有所述面板附著用板的所述反轉裝置向所述面板安裝用板一側輸送的輸送裝置。此外，本發明提供的面板附著裝置還可以包括框架、垂直地配置在能夠上升下降地支撐所述基板的所述框架上的多個導杆、在所述框架上被設置成對所述基板施力以使所述基板上升下降的上升下降用致動器。如上所述的基於本發明的面板平行度調整裝置由於第一傾斜板以第一支撐軸為旋轉中心傾斜，而第二傾斜板以與第一支撐軸交叉的第二支撐軸為旋轉中心傾斜，因此，能夠以各種方向和角度使安裝在面板安裝用板上的面板傾斜，從而能夠精確地調整面板平行度。此外，由於第一支撐軸構成第一傾斜板的旋轉中心軸，而第二支撐軸構成第二傾斜板的旋轉中心軸，因此，面板安裝用板能夠向兩個方向穩定地傾斜，從而能夠穩定地調整面板平行度。
圖1表示本發明的一實施例提供的面板附著裝置；圖2是表示本發明的一實施例提供的面板附著裝置中的面板平行度調整裝置的立體圖；圖3是本發明的一實施例提供的面板附著裝置中的面板平行度調整裝置的局部放大圖；圖4是表示本發明的一實施例提供的面板附著裝置中的面板平行度調整裝置的俯視圖；圖5是表示面板平行度調整裝置的另一實施例的俯視圖；圖6是表示面板平行度調整裝置的又另一實施例的俯視圖；附圖標記說明100面板附著裝置；101，150，160面板平行度調整裝置；102面板附著用板；103反轉裝置；104輸送裝置；110框架；111導杆；112基板；113上升下降用致動器；114，151，161 第一支撐軸；115，118第一、第二傾斜板；116，119第一、第二傾斜致動器；117，152，162 第二支撐軸；120面板安裝用板；121，130軸支撐構件；122，131第一、第二軸承；142旋轉構件；143旋轉致動器；145支撐杆；146滑動裝置；147輸送螺旋裝置；148輸送致動器。
具體實施例方式下面，參照附圖詳細說明本發明所提供的面板平行度調整裝置及具備該裝置的面板附著裝置。需要說明的是，在本發明的說明中，為了清楚且方便地進行說明，附圖中表示的構成要素的大小和形狀被放大或者被簡化。如圖1所示，本發明的一實施例提供的面板附著裝置100包括具有用於使第一面板Pl安裝的面板安裝用板120的面板平行度調整裝置101、安裝有用於附著在第一面板Pl 上的第二面板P2的面板附著用板102、用於使面板附著用板102反轉的反轉裝置103及用於輸送面板附著用板102的輸送裝置104。在這種面板附著裝置100中，在使第一面板Pl 和第二面板P2相互附著之前，通過由面板平行度調整裝置101精確地調整第一面板Pl的平行度，使第一面板Pl和第二面板P2平行，由此，第一面板Pl和第二面板P2不會錯開而精確地附著在一起。如圖1和圖2所示，面板平行度調整裝置101包括框架110、垂直地配置在框架 110上的多個導杆111、可上升下降地與多個導杆111結合的基板112、用於使基板112上升下降的上升下降用致動器113、配置在基板112的上表面的第一支撐軸114、以第一支撐軸 114為旋轉中心旋轉的第一傾斜板115、用於使第一傾斜板115傾斜的第一傾斜致動器116、 配置在第一傾斜板115的上表面的第二支撐軸117、以第二支撐軸117為旋轉中心旋轉的第二傾斜板118、用於使第二傾斜板118傾斜的第二傾斜致動器119及使第一面板Pl安裝的面板安裝用板120。基板112能夠通過上升下降用致動器113沿著多個導杆111上升或者下降。上升下降用致動器113設置在框架110上，使基板112推向面板附著用板102 —側或者拉到框架110—側。作為上升下降用致動器113，可以使用對基板112施力以使基板112作直線移動的各種各種的直線驅動裝置。如圖2至圖4所示，第一支撐軸114在基板112上表面沿著一方向例如Y軸方向配置。基板112具有一對軸支撐構件121，第一支撐軸114支撐在所述一對軸支撐構件121 上。在第一支撐軸114上結合有設置在第一傾斜板115下面的第一軸承122。第一傾斜板 115通過第一軸承122可旋轉地與第一支撐軸114結合。因此，第一傾斜板115能夠以第一支撐軸114為中心旋轉。第一支撐軸114位於第一傾斜板115的中央。第一傾斜板115通過設置在基板112上的第一傾斜致動器116來傾斜。第一傾斜致動器116包括致動器主體IM和可進退地與致動器主體124結合的動作稈125。致動器主體IM與基板112鉸鏈連接，動作稈125與第一傾斜板115鉸鏈連接。如圖4所示，動作稈125作用在第一傾斜板115上的力的作用點Ll在第一支撐軸114上或者第一支撐軸114 的延長線上。在基板112的上表面設有一對支撐構件126，致動器主體IM通過沿Y軸方向配置的鉸鏈銷127可旋轉地與一對支撐構件1 結合。另外，在第一傾斜板115的下面設有一對支撐構件128，動作稈125通過沿Y軸方向配置的鉸鏈銷1 可旋轉地與一對支撐構件1 結合。通過使第一傾斜致動器116的動作杆125前進或者後退，第一傾斜板115以第一支撐軸114為旋轉中心向順時針方向或者逆時針方向進行旋轉。需要說明的是，在本發明中第一支撐軸114與第一傾斜板115的結合結構不限於圖示的結構。即，可以使第一支撐軸114設置在第一傾斜板115的下面，而使第一軸承122 設置在基板112的上表面。此外，第一支撐軸114與第一傾斜板115的結合結構可以變更為各種結構，例如第一支撐軸114在基板112和第一傾斜板115之間沿著Y軸方向配置且第一傾斜板115以第一支撐軸114為旋轉中心進行旋轉。而且，第一傾斜致動器116除了圖示結構以外，還可以變更為推或拉第一傾斜板 115的其他結構。隨著第一傾斜致動器116結構不同，也可以使第一傾斜致動器116和基板 112的結合結構或者第一傾斜致動器116和第一傾斜板115的結合結構。此外，第一傾斜致動器116除了與基板112結合以外，還可以與框架110等其他部分結合。即，通過變更框架110、基板112、第一傾斜板115的大小和形狀，或者通過形成使致動器貫穿的通孔，可以與除基板112以外的其他部分結合。如圖2至圖4所示，第二支撐軸117在第一傾斜板的上表面沿著另一方向例如X軸方向配置。第一傾斜板115設有一對軸支撐構件130，第二支撐軸117支撐在所述一對支撐構件130上。在第二支撐軸117上結合設置在第二傾斜板118下面的第二軸承131。第二傾斜板118通過第二軸承131可旋轉地與第二支撐軸117結合。因此，第二支撐軸117與第一支撐軸114垂直地交叉並位於第二傾斜板118的中央。第二傾斜板118通過設置在第一傾斜板115上的第二傾斜致動器119來傾斜。第二傾斜致動器119包括致動器主體133和可進退地與致動器主體133結合的動作稈134。 致動器主體133與第一傾斜板115鉸鏈連接，動作稈134與第二傾斜板118鉸鏈連接。如圖4所示，動作稈134作用在第二傾斜板118上的力的作用點L2在第二支撐軸117上或者第二支撐軸117的延長線上。在第一傾斜板115的上表面設有一對支撐構件135，致動器主體133通過沿X軸方向配置的鉸鏈銷136可旋轉地與一對支撐構件135結合。另外，在第二傾斜板118的下面設有一對支撐構件137，動作稈134通過沿X軸方向配置的鉸鏈銷138可旋轉地與一對支撐構件137結合。通過使第二傾斜致動器119的動作杆134前進或者後退，第二傾斜板 118以第二支撐軸117為旋轉中心向順時針方向或者逆時針方向進行旋轉。需要說明的是，在本發明中第二支撐軸117與第二傾斜板118的結合結構不限於圖示的結構。即，可以使第二支撐軸117與第二傾斜板118的下面結合，而使第二軸承131 設置在第一傾斜板115的上表面。此外，第二支撐軸117與第二傾斜板118的結合結構可以變更為各種結構，例如第二支撐軸117在第一傾斜板115和第二傾斜板118之間沿著X 軸方向配置且第二傾斜板118以第二支撐軸117為旋轉中心進行旋轉。而且，第二傾斜致動器119除了圖示結構以外，還可以變更為推或拉第二傾斜板 118的其他結構。隨著第二傾斜致動器119結構不同，也可以使第二傾斜致動器119和第一傾斜板115的結合結構或者第二傾斜致動器119和第二傾斜板118的結合結構。此外，第二傾斜致動器119除了與第一傾斜板115結合以外，還可以與框架110、 基板112等其他部分結合。即，通過變更框架110、基板112、第一傾斜板115、第二傾斜板 118的大小和形狀，或者通過形成使致動器貫穿的通孔，可以與除第一傾斜板115以外的其他部分結合。如圖1至圖4所示，在第二傾斜板118的上表面結合用於安裝第一面板Pl的面板安裝用板120。面板安裝用板120具有多個吸附孔140，這些吸附孔140與真空壓力產生裝置(未圖示)連接。當第一面板Pl安裝在面板安裝用板120的上表面時，通過由多個吸附孔140產生的真空壓力，第一面板Pl被吸附在面板安裝用板120的上表面。面板安裝用板 120除利用真空壓力的結構以外，還可以變更為固定第一面板Pl的各種各種的結構。在所述面板平行度調整裝置101中，第一傾斜板115通過第一傾斜致動器116以 Y軸為旋轉中心旋轉，而第二傾斜板118通過第二傾斜致動器119以X軸為旋轉中心旋轉， 由此，即將安裝在面板安裝用板120上的第一面板Pl以多種方向和角度傾斜。因此，能夠精確地調整平行度。而且，第一支撐軸114構成第一傾斜板115的旋轉中心軸，而第二支撐軸117構成第二傾斜板118的旋轉中心軸，由此，面板安裝用板120能夠穩定地傾斜。S卩，第一支撐軸114和第二支撐軸117的交叉點成為基準點。因此，在第一面板Pl 沿X軸和Y軸各方向傾斜的過程中，安裝在安裝用面板120上的第一面板Pl的坐標不被變更。因此，不需要用來補正在附著過程中被變更的坐標的額外的裝置。如圖1所示，安裝有附著在第一面板Pl上的第二面板P2的面板附著用板102與反轉裝置103結合。反轉裝置103包括與面板附著用板102結合的旋轉構件142和用來使旋轉構件142旋轉的旋轉致動器143。作為旋轉致動器143，可以採用能夠使旋轉構件142 旋轉的各種裝置。面板附著用板102具有提供用來固定放在其上的第二面板P2的真空壓力的多個吸附孔144。放置在面板附著用板102的上表面的第二面板P2通過由吸附孔144 提供的真空壓力固定在面板附著用板102上，並且在面板附著用板102通過反轉裝置103 反轉時，與面板附著用板102 —起被反轉。輸送裝置104使結合有面板附著用板102的反轉裝置103進退。輸送裝置104包括與用於支撐反轉裝置103的支撐杆145結合的滑動裝置146、Y軸方向配置且與滑動裝置146結合成能夠使該滑動裝置146輸送的輸送螺旋裝置147、使輸送螺旋裝置147旋轉而使滑動裝置146沿著輸送螺旋裝置147輸送的輸送致動器148。滑動裝置146在輸送致動器148的作用下移動，由此使與反轉裝置103結合的面板附著用板102向面板安裝用板 120 一側移動或者離開面板安裝用板120。在將第二面板P2安裝於面板附著用板102的狀態下，通過輸送裝置104使面板附著用板102向面板安裝用板120的上方輸送後，在反轉裝置103的作用下，使面板附著用板 102反轉，或者在反轉的狀態下，使面板附著用板102向面板安裝用板120的上方輸送，此時第二面板P2的上表面與安裝於面板安裝用板120上的第一面板Pl的上表面相對。如果使用本發明的一實施例提供的所述面板附著裝置100，則第一面板Pl和第二面板P2的附著過程按照如下進行。首先，在面板安裝用板120上安裝第一面板P1，而在面板附著用板102上安裝第二面板P2。然後，使輸送裝置104工作，使面板附著用板102向面板平行度調整裝置101 — 側輸送。當面板附著用板102向面板安裝用板120的上方被輸送後，使反轉裝置103工作， 使面板附著用板102旋轉180°，由此第二面板P2的上表面與第一面板Pl的上表面相對。 當然，也可以先使面板附著用板102旋轉180°後再輸送，或者在輸送過程中旋轉180°。在使第一面板Pl和第二面板P2附著之前，使第一傾斜致動器116和第二傾斜致動器119動作，精確地調整第一面板Pl的傾斜度，由此第一面板Pl和第二面板P2處於平行的狀態。此時，有噴射器(未圖示)向第一面板Pl或者第二面板P2塗覆有UV固化劑等接著劑。一旦第一面板Pl的平行度調整到位，使上升下降用致動器113工作，使第一面板 Pl向第二面板P2 —側上升，由此進行第一面板Pl和第二面板P2的附著。如果第一面板 Pl和第二面板P2附著，則使用紫外線燈等固化裝置(未圖示)使接著劑固化。在此，第一面板Pl的平行度調整可通過光傳感器等平行度傳感裝置(未圖示)來自動地進行。由於所述的平行度傳感方法、噴射器的接著劑塗覆方法及固化裝置的接著劑固化等均採用公知技術，因此在此省略對它們的說明。圖5和圖6表示面板平行度調整裝置的另一實施例。在以下說明中，省略對與前述的實施例相同或者可從所述實施例容易推導出的部分的說明。圖5所示的面板平行度調整裝置150構成為第一支撐軸151偏離第一傾斜板115 的中央而配置，與第一支撐軸151交叉的第二支撐軸152偏離第二傾斜板118的中央而配置。這種面板平行度調整裝置150也使第一傾斜板115以第一支撐軸151為旋轉中心旋轉，使第二傾斜板118以第二支撐軸152為旋轉中心旋轉，由此能夠精確地調整即將安裝在面板安裝用板120上的第一面板Pl的平行度。而且，由於第一支撐軸151構成第一傾斜板 115的旋轉中心軸，第二支撐軸152構成第二傾斜板118的旋轉中心軸，因此，第一傾斜板 115和第二傾斜板118能夠穩定地傾斜的同時，能夠精確地調整放置在面板安裝用板120上的第一面板Pl的平行度。圖6所示的面板平行度調整裝置160構成為第一支撐軸161沿著第一傾斜板115 的對角方向配置，與第一支撐軸161交叉的第二支撐軸162沿著第二傾斜板118的對角方向配置。這種面板平行度調整裝置160也使第一傾斜板115以第一支撐軸161為旋轉中心旋轉，使第二傾斜板118以第二支撐軸162為旋轉中心旋轉，由此能夠精確地調整即將安裝在面板安裝用板120上的第一面板Pl的平行度。
前述的說明以及圖中表示的本發明的實施例不得解釋為限定本發明的技術思想， 本發明的保護範圍只能由權利要求書中記載的技術內容來限定。本領域技術人員可以對本發明的技術思想進行各種形態的改良或者變更，這種改良或者變更均落在本發明的保護範圍內。
權利要求
1.一種面板平行度調整裝置，包括 具有上表面的基板、配置在所述基板上表面的第一支撐軸、與所述第一支撐軸結合成能夠以所述第一支撐軸為旋轉中心旋轉的第一傾斜板、 用於對所述第一傾斜板施力以使所述第一傾斜板以所述第一支撐軸為中心旋轉的第一傾斜致動器、在所述第一傾斜板的上表面上配置成與所述第一支撐軸交叉的第二支撐軸、 與所述第二支撐軸結合成能夠以所述第二支撐軸為旋轉中心旋轉的第二傾斜板、 用於對所述第二傾斜板施力以使所述第二傾斜板以所述第二支撐軸為中心旋轉的第二傾斜致動器，以及與所述第二傾斜板的上表面結合而能夠使面板安裝的面板安裝用板。
2.如權利要求1所述的面板平行度調整裝置，其特徵在於，還包括 將所述第一支撐軸和所述第一傾斜板可旋轉地連接的第一軸承，以及將所述第二支撐軸和所述第二傾斜板可旋轉地連接的第二軸承。
3.如權利要求1所述的面板平行度調整裝置，其特徵在於，所述第一傾斜致動器的一端與所述基板鉸鏈連接，而另一端與所述第一傾斜板鉸鏈連接，所述第二傾斜致動器的一端與所述第一傾斜板鉸鏈連接，而另一端與所述第二傾斜致動器鉸鏈連接。
4.如權利要求1所述的面板平行度調整裝置，其特徵在於， 所述第一支撐軸與所述第二支撐軸垂直地交叉。
5.如權利要求4所述的面板平行度調整裝置，其特徵在於， 所述第一支撐軸配置在所述第一傾斜板的中央，所述第二支撐軸配置在所述第二傾斜板的中央。
6.如權利要求1所述的面板平行度調整裝置，其特徵在於，還包括 框架、垂直地配置在能夠上升下降地支撐所述基板的所述框架上的多個導杆、 在所述框架上被設置成對所述基板施力以使所述基板上升下降的上升下降用致動器。
7.一種面板附著裝置，包括 具有上表面的基板、配置在所述基板上表面的第一支撐軸、與所述第一支撐軸結合成能夠以所述第一支撐軸為旋轉中心旋轉的第一傾斜板、 用於對所述第一傾斜板施力以使所述第一傾斜板以所述第一支撐軸為中心旋轉的第一傾斜致動器、在所述第一傾斜板的上表面上配置成與所述第一支撐軸交叉的第二支撐軸、 與所述第二支撐軸結合成能夠以所述第二支撐軸為旋轉中心旋轉的第二傾斜板、 用於對所述第二傾斜板施力以使所述第二傾斜板以所述第二支撐軸為中心旋轉的第二傾斜致動器、與所述第二傾斜板的上表面結合而能夠使面板安裝的面板安裝用板、用於安裝附著在安裝於所述面板安裝用板上的面板上的另一面板的面板附著用板、 為了使所述面板附著用板反轉而與所述面板附著用板結合成使安裝在所述面板附著用板上的面板的上表面與安裝在所述面板安裝用板上的面板的上表面相對的反轉裝置，以及用於使結合有所述面板附著用板的所述反轉裝置向所述面板安裝用板一側輸送的輸送裝置。
8.如權利要求7所述的面板附著裝置，其特徵在於，還包括 框架、垂直地配置在能夠上升下降地支撐所述基板的所述框架上的多個導杆、 在所述框架上被設置成對所述基板施力以使所述基板上升下降的上升下降用致動器。
全文摘要
本發明公開了一種面板平行度調整裝置及具備該裝置的面板附著裝置。該面板平行度調整裝置包括具有上表面的基板、配置在基板上表面的第一支撐軸、與第一支撐軸結合成能夠以第一支撐軸為旋轉中心旋轉的第一傾斜板、用於對第一傾斜板施力以使第一傾斜板以第一支撐軸為中心旋轉的第一傾斜致動器、在第一傾斜板的上表面上配置成與第一支撐軸交叉的第二支撐軸、與第二支撐軸結合成能夠以第二支撐軸為旋轉中心旋轉的第二傾斜板、用於對第二傾斜板施力以使所述第二傾斜板以第二支撐軸為中心旋轉的第二傾斜致動器、與第二傾斜板的上表面結合而能夠使面板安裝的面板安裝用板。根據本發明，第一傾斜板能夠以第一支撐軸為旋轉中心傾斜，第二傾斜板能夠以與第一支撐軸交叉的第二支撐軸為旋轉中心傾斜，由此能夠以各種方向及角度精確地調整即將安裝在面板安裝用板上的面板。
文檔編號H01L21/68GK102473667SQ201080034503
公開日2012年5月23日 申請日期2010年7月20日 優先權日2009年8月5日
發明者韓東熙 申請人:韓東熙