一種實現連續太赫茲光譜探測的方法及系統的製作方法
2023-05-17 09:30:41 4
一種實現連續太赫茲光譜探測的方法及系統的製作方法
【專利摘要】本發明提供一種實現太赫茲光譜探測的方法及系統，採用一對高穩定性的單縱模近紅外雷射器作為種子光源，利用光纖調製雷射信號，光混頻器在外加偏壓下向外輻射出連續的太赫茲波；在信號接收端，採用光電導開關和天線對太赫茲波進行相干探測。通過對雷射器進行溫度調製，實現寬帶寬的差頻連續太赫茲輻射輸出。與常見的太赫茲時域脈衝光譜系統相比，該技術獲取的譜解析度得到極大提高，對太赫茲光譜學及其相關領域的發展起到很好的推動作用。
【專利說明】一種實現連續太赫茲光譜探測的方法及系統
【技術領域】
[0001]本發明涉及光學應用【技術領域】，特別是涉及一種實現連續太赫茲光譜探測的方法及系統。
【背景技術】
[0002]近年來，隨著太赫茲技術在各個領域中的快速發展，太赫茲波光譜技術應用研究也愈發廣泛。由於太赫茲波自身的眾多優點，使得太赫茲應用技術已經延伸到了現實生活的各個方面。例如，在公共安全檢測方面，太赫茲波能透過一些常見的紅外無法穿透的材料，如塑料包裝，信封和半導體介質等無極性材料，所以非常適合用於隱蔽物的探測；更為重要的，毒品和TNT都具有其特殊的太赫茲指紋譜，採用太赫茲光譜技術可以提高對危險品和違禁品的檢測效率，豐富了安檢的手段。在生物醫學方面，不同組織組織(脂肪、皮膚和肌肉)對太赫茲波具有差別吸收，另外，太赫茲對組織內水分十分敏感，基於這兩特點，太赫茲光譜技術能夠檢測不同表皮生物細胞之間的差異，如皮膚燒傷區域，皮膚癌變區域等。同時，太赫茲波能量遠低於X射線等高能粒子射線，不會對生物組織產生電離損傷，所以更加安全，而較之於微波超聲技術，得益於其更短的波長，獲取的圖像具有更高的解析度。
[0003]由於太赫茲源和探測器的發展相對緩慢，在一定程度上制約了太赫茲光譜技術的發展。目前，太赫茲時域光譜技術使用較為廣泛，該技術輻射太赫茲波主要採用兩種手段:(I)基於非線性晶體的二次非線性效應；(2)基於電-光效應，採用光電導天線輻射出太赫茲波。在探測端均採用相干探測技術，受限於時域光譜系統的太赫茲輻射能量低，所以系統必須置於真空中；另一方面，響應信號為時域脈衝信號，所以系統必須要配備相應的機械時間延遲線，精確程度要求高，導致系統構架複雜，同時須對時域信號進行傅立葉變換方能得到頻域譜，太赫茲信號強度低，光譜解析度一般在10 GHz以上，譜解析度較低，對於一些純物質(如氣體)的尖銳吸收峰無法識別，限制了太赫茲光譜技術的應用。所以，簡化光譜系統、改善系統適用性和提高光譜解析度對於太赫茲光譜技術而言就顯得格外重要。
[0004]本發明的作者對太赫茲光譜技術及應用系統方面進行了深入研究，提出了一種實現連續太赫茲光譜探測的技術及系統，使太赫茲光譜解析度得到顯著提高，有利於太赫茲光譜技術的發展及應用。
【發明內容】
[0005]鑑於以上所述現有技術的缺點，本發明的目的在於提供一種實現連續太赫茲光譜探測器的方法及系統，用於解決現有技術中太赫茲信號強度低、光譜解析度低的問題。
[0006]為實現上述目的及其他相關目的，本發明提供一種實現連續太赫茲光譜探測器的系統，所述系統至少包括:光源模塊、調製光纖模塊和測試模塊；
[0007]所述光源模塊包括第一雷射器、第二雷射器、以及功率放大器，所述功率放大器通過光纖分別與所述第一雷射器和第二雷射器相連接；
[0008]所述光纖模塊包括由所述功率放大器輸出端接出的第一光纖和第二光纖，所述第一光纖和第二光纖分別通過電壓調製器調節雷射信號的相位；
[0009]所述測試模塊包括連續太赫茲光產生裝置、透射/發射光路裝置以及相干探測裝置，所述連續太赫茲光產生裝置與所述第一光纖相連接；所述連續太赫茲光產生裝置所產生的太赫茲光經過所述透射/反射光路裝置收集並匯聚後入射至所述相干探測裝置進行檢測，所述相干探測裝置還與所述第二光纖相連接。
[0010]作為本發明實現連續太赫茲光譜探測的系統的一種優化的方案，所述第一雷射器和第二雷射器為單縱模分布式反饋近紅外雷射器，通過一溫度調製器實現頻率調製。
[0011]作為本發明實現連續太赫茲光譜探測的系統的一種優化的方案，所述第一雷射器和第二雷射器的中心波長為855nm，通過所述溫度調製器的調製，實現50MHz?2THz的差頻輸出範圍，對應的溫度調節的範圍為O?50K。
[0012]作為本發明實現連續太赫茲光譜探測的系統的一種優化的方案，所述功率放大器輸出的雷射信號通過一光纖分束器按1:1進行信號分離，分離的信號分別進入所述第一光纖和第二光纖。
[0013]作為本發明實現連續太赫茲光譜探測的系統的一種優化的方案，所述第一光纖和第二光纖所選光纖的材質、長度和性能參數均相同，實現對光纖溫漂效應的有效抑制。
[0014]作為本發明實現連續太赫茲光譜探測的系統的一種優化的方案，所述連續太赫茲光產生裝置包括由第一光電導開光和第一天線構成的第一光混頻器，所述第一光纖與第一光電導開光相連，產生的連續太赫茲光由所述第一天線輻射出。
[0015]作為本發明實現連續太赫茲光譜探測的系統的一種優化的方案，根據測量模式的不同，所述透射/反射光路裝置為透射光路裝置或者反射光路裝置，所述透射光路裝置由一組90°離軸拋物面鏡和一組焦距為50mm的太赫茲超透鏡組成，樣品置於透鏡焦點處，連續太赫茲光穿透樣品；所述反射光路裝置由一組45°離軸拋物面鏡和一組焦距為50mm的太赫茲超透鏡組成，樣品置於透鏡焦點處，連續太赫茲光被樣品反射。
[0016]作為本發明實現連續太赫茲光譜探測的系統的一種優化的方案，所述相干探測裝置包括由第二光電導開關和第二天線構成的第二光混頻器，所述第二光電導開關與第二光纖相連，所述第二天線接收經過所述透射/反射光路裝置收集後的太赫茲光，雷射信號與太赫茲光信號在所述第二光電導開關處相干稱合產生響應光電流，通過轉換成電壓信號再由一鎖相探測器進行讀取檢測。
[0017]本發明還提供一種實現連續太赫茲光譜探測的方法，所述方法至少包括:
[0018]I)對第一雷射器和第二雷射器施加偏壓出光,經過功率放大器之後的雷射信號分成兩束，一束由第一光纖耦合進入連續太赫茲光產生裝置，在所述連續太赫茲光產生裝置上加偏壓後，產生太赫茲輻射並發射；另一束雷射信號進入第二光纖；
[0019]2)產生的太赫茲光經過置於透射/反射光路裝置中的樣品後，與第二光纖的雷射信號同時進入相干探測模塊，兩束光耦合產生光電流並由鎖相探測器對光電流信號進行讀取；
[0020]3)調節所述第一雷射器和第二雷射器，改變兩者頻率，通過差頻實現太赫茲光譜的頻域掃描，其中，在每個頻點處，第二光纖中的雷射信號和接收到的太赫茲光輸入相干探測模塊，採樣一個相干周期內的信號確定極大值，最後綜合各個頻點處的極大值獲得太赫茲頻域光譜圖。
[0021]作為本發明實現連續太赫茲光譜探測的方法的一種優化的方案，利用電壓調製器輸出正弦電壓信號來調製所述第一光纖和第二光纖的長度，實現對雷射信號的相位調製，完成連續太赫茲光的相干探測，系統在整個頻段內的平均信噪比大於60db，太赫茲光譜的解析度為50MHz。
[0022]如上所述，本發明提供一種實現連續太赫茲光譜探測的方法及系統，鑑於常用時域太赫茲光譜系統的局限性，如低光譜解析度、時間延遲線、太赫茲信號強度低和測試環境真空等方面，本發明優先採用高性能DFB雷射器溫度調製差頻產生連續太赫茲波，雷射器頻率的高穩定性使得到的太赫茲光譜解析度顯著提高，採用調製光纖實現相干探測有效降低光譜系統的複雜程度，非常有利於太赫茲光譜技術的發展，在太赫茲光譜學實際應用方面具有重要意義。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0023]圖1為本發明實現連續太赫茲光譜探測的系統的一種示意圖。
[0024]圖2為本發明實現連續太赫茲光譜探測的系統的另一種示意圖。
[0025]圖3為本發明獲得的大氣太赫茲光譜圖。
[0026]元件標號說明
[0027]I光源模塊
[0028]11第一雷射器
[0029]12第二雷射器
[0030]13功率放大器
[0031]14溫度調製器
[0032]15光纖
[0033]2調製光纖模塊
[0034]21第一光纖
[0035]22第二光纖
[0036]3測試模塊
[0037]31太赫茲光產生裝置
[0038]311第一光電導開關
[0039]312第一天線
[0040]312偏壓裝置
[0041]32透射/發射光路裝置
[0042]321離軸拋物面鏡
[0043]322透鏡
[0044]33相干探測裝置
[0045]331第二光電導開關
[0046]332第二天線
[0047]4鎖相探測器
[0048]5樣品
【具體實施方式】
[0049]以下通過特定的具體實例說明本發明的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本發明的其他優點與功效。本發明還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應用，本說明書中的各項細節也可以基於不同觀點與應用，在沒有背離本發明的精神下進行各種修飾或改變。
[0050]請參閱附圖。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發明的基本構想，遂圖式中僅顯示與本發明中有關的組件而非按照實際實施時的組件數目、形狀及尺寸繪製，其實際實施時各組件的型態、數量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態也可能更為複雜。
[0051]目前，太赫茲光譜技術普遍採用時域光譜系統，利用傅立葉變換處理時域脈衝信號得到頻域光譜，太赫茲信號強度低，光譜解析度不高；鑑於此，本發明提供了一種實現連續太赫茲探測的方法及系統，基於光學混頻技術，採用穩定性高且成熟的近紅外雷射器作為種子光源，結合光電導天線技術獲得連續的太赫茲光譜，通過溫控調製雷射頻率，天線輻射出的太赫茲光譜達到MHz量級的光譜解析度，相比於常用的太赫茲時域光譜技術，譜解析度得到顯著提高。同時，本發明的實現連續太赫茲光譜探測系統的結構簡單，易於實施。以下將詳細闡述本發明實現連續太赫茲光譜探測的方法及系統的原理及實施方式，使本領域技術人員不需要創造性勞動即可理解本發明的實現連續太赫茲光譜探測的方法及系統。
[0052]本發明提供一種實現連續太赫茲光譜探測的系統，如圖1和圖2所示，所述系統至少包括:光源模塊1、調製光纖模塊2和測試模塊3。
[0053]所述光源模塊I包括第一雷射器11、第二雷射器12、以及功率放大器13，所述功率放大器13通過光纖15分別與所述第一雷射器11和第二雷射器12相連接，雷射信號通過光纖15耦合進功率放大器13，功率放大器可將雷射平均功率提升到150mW的量級。
[0054]其中，所述第一雷射器11和第二雷射器12為高性能單縱模分布式反饋(DFB)近紅外雷射器，中心波長為855nm，單個出光功率約為40mW。所述光源模塊I還包括與所述第一雷射器11和第二雷射器12相連接的溫度調製器14，通過調製溫度來調製第一雷射器11和第二雷射器12的波長，從而實現兩臺雷射器頻率的調節。進一步地，溫度調製器14的溫度調製速率為25GHz/K，調節範圍為O?50K，對應第一雷射器11和第二雷射器12頻率的可調範圍為50MHz?2THz，調製後第一雷射器11和第二雷射器12的頻率不相等。
[0055]所述光纖模塊2包括由所述功率放大器13輸出端接出的第一光纖21和第二光纖22，所述第一光纖21和第二光纖22分別通過電壓調製器(未予以圖示)調節雷射信號的相位。
[0056]其中，需要說明的是，所述功率放大器13輸出的雷射信號通過一光纖分束器(未予以圖示)按1:1進行信號分離，分離的信號分別進入所述第一光纖21和第二光纖22。所述第一光纖21和第二光纖22所選光纖的材質、長度和光學參數最好均相同，這樣可以有效抑制光纖的溫漂效應。利用電壓調製器調製所述第一光纖21和第二光纖22的長度，進而分別實現對兩束雷射相位(光程)的調製。本實施例中，由電壓調製器輸出正弦電壓信號來調製光纖長度。
[0057]所述測試模塊3包括連續太赫茲光產生裝置31、透射/發射光路裝置32以及相干探測裝置33，所述連續太赫茲光產生裝置31與所述第一光纖21相連接；所述連續太赫茲光產生裝置31所產生的太赫茲光經過所述透射/反射光路裝置32收集並匯聚後入射至所述相干探測裝置33進行檢測，所述相干探測裝置33還與所述第二光纖22相連接。
[0058]其中，所述連續太赫茲光產生裝置31包括由第一光電導開光311和第一天線312構成的第一光混頻器。具體地，所述第一光纖21與第一光電導開光311相連，產生的連續太赫茲光由所述第一天線312輻射出。需要說明的是，所述連續太赫茲光產生裝置31還包括與所述第一光電導開光311相連的偏壓裝置313，用於給所述連續太赫茲光產生裝置31加偏壓。本實施例中，所述第一光混頻器的第一光電導開關311選擇為GaAs材料,帶寬可至3THz，發射的連續太赫茲波輻射功率可達I微瓦,信噪比最高可達80db。
[0059]根據測量模式的不同，所述透射/反射光路裝置32為透射光路裝置或者反射光路裝置，分別由不同離軸度的離軸拋物面鏡組321和太赫茲超透鏡322構成。具體為:如圖1所示，所述透射光路裝置由一組90°離軸拋物面鏡321和一組焦距為50mm的太赫茲超透鏡322組成，樣品置於透鏡322焦點處，連續太赫茲光穿透樣品5 ;如圖2所示，所述反射光路裝置由一組45°離軸拋物面鏡321和一組焦距為50mm的太赫茲超透鏡322組成，樣品置於透鏡322焦點處，連續太赫茲光被樣品5反射。
[0060]所述相干探測裝置33包括由第二光電導開關331和第二天線332構成的第二光混頻器，所述第二光電導開關331與第二光纖22相連，所述第二天線332接收經過所述透射/反射光路裝置32收集後的太赫茲光，雷射信號與太赫茲光信號在所述第二光電導開關332處相干耦合產生響應光電流，通過轉換成電壓信號再由一鎖相探測器4進行讀取檢測。具體地，本實施例中，所述鎖相探測器4為鎖相放大器。
[0061]為使本領域技術人員進一步理解本發明探測系統的實施方式，以下將詳細說明本發明的相關原理及具體使用本發明探測系統的方法。
[0062]本發明還提供一種實現聯繫太赫茲光譜探測的方法，所述方法至少包括以下步驟:
[0063]首先執行步驟I)，對第一雷射器和第二雷射器施加偏壓出光，經過功率放大器之後的雷射信號分成兩束，一束由第一光纖耦合進入連續太赫茲光產生裝置，在所述連續太赫茲光產生裝置上加偏壓後，產生太赫茲輻射並發射；另一束雷射信號進入第二光纖。
[0064]本實施例以測試大氣的太赫茲光譜為例，採用如圖1所示的透射模式進行光譜測量，第一雷射器和第二雷射器米用DFB雷射器,第一光纖和第二光纖的長度由電壓調製器來調節，具體操作步驟如下:
[0065]1-1)驅動DFB雷射器，驅動電壓為9V，在溫度調製器沒打開的情況下，兩臺雷射器的中心波長為855nm ；
[0066]1-2)等兩臺雷射器穩定之後，再打開功率放大器，等待約30秒，功率放大器穩定；
[0067]1-3)打開光纖的電壓調製器，選擇正弦調製信號U = U0Sin (2 π fs t)，電壓幅值為80V, fs為電壓調製頻率，設為IkHz。
[0068]然後執行步驟2)，產生的太赫茲光經過置於透射/反射光路裝置中的樣品後，與第二光纖的雷射信號同時進入相干探測模塊，兩束光耦合產生光電流並由鎖相探測器對光電流信號進行讀取。
[0069]本步驟的具體操作過程為:
[0070]2-1)外加1V偏置電壓與第一光混頻器(Tx)差頻產生連續的太赫茲輻射；
[0071]2-2)採用透射模式光路，測試大氣的太赫茲光譜，光路中無任何目標阻擋太赫茲波(即相當於樣品為大氣)，光路置於開放的實驗室環境下，空氣相對溼度為35%，溫度為24。。。
[0072]2-3)打開相干探測模塊的鎖相放大器，對第二光電導開關的響應光電流進行探測。
[0073]最後執行步驟3)，調節所述第一雷射器和第二雷射器，改變兩者頻率，通過差頻實現太赫茲光譜的頻域掃描，其中，在每個頻點處，第二光纖中的雷射信號和接收到的太赫茲光輸入相干探測模塊，採樣一個相干周期內的信號確定極大值，最後綜合各個頻點處的極大值獲得太赫茲頻域光譜圖。
[0074]具體地，設定測試雷射器溫控調製範圍為4°C?49°C，對應的測試頻率範圍為0.2?1.8THz，頻率掃描步長為50MHz。系統在整個頻段內的平均信噪比大於60db，太赫茲光譜的解析度為50MHz。
[0075]最終獲得的大氣太赫茲光譜圖如圖3所示，內插圖為箭頭所指低頻段水氣吸收峰放大示意圖。可以看出，光譜主要受到大氣中水氣的吸收影響，水氣在低頻段560GHz和750GHz附近的小的吸收峰在譜線中也能清晰的觀察到，對560GHz處的水氣吸收峰放大可知，該峰的半峰寬約為1GHz。
[0076]綜上所述，本發明提供一種實現連續太赫茲光譜探測的方法及系統，採用一對高穩定性的單縱模近紅外雷射器作為種子光源，利用光纖調製雷射信號，光混頻器在外加偏壓下向外輻射出連續的太赫茲波；在信號接收端，採用光電導開關和天線對太赫茲波進行相干探測。通過對雷射器進行溫度調製，實現寬帶寬的差頻連續太赫茲輻射輸出。與常見的太赫茲時域脈衝光譜系統相比，該技術獲取的譜解析度得到極大提高，對太赫茲光譜學及其相關領域的發展起到很好的推動作用。
[0077]所以，本發明有效克服了現有技術中的種種缺點而具高度產業利用價值。
[0078]需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關係術語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關係或者順序。而且，術語「包括」、「包含」或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句「包括……」限定的要素，並不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設備中還存在另外的相同要素。
[0079]上述實施例僅例示性說明本發明的原理及其功效，而非用於限制本發明。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本發明的精神及範疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術領域】中具有通常知識者在未脫離本發明所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本發明的權利要求所涵蓋。
【權利要求】
1.一種實現連續太赫茲光譜探測的系統，其特徵在於，所述系統至少包括:光源模塊、調製光纖模塊和測試模塊； 所述光源模塊包括第一雷射器、第二雷射器、以及功率放大器，所述功率放大器通過光纖分別與所述第一雷射器和第二雷射器相連接； 所述光纖模塊包括由所述功率放大器輸出端接出的第一光纖和第二光纖，所述第一光纖和第二光纖分別通過電壓調製器調節雷射信號的相位； 所述測試模塊包括連續太赫茲光產生裝置、透射/發射光路裝置以及相干探測裝置，所述連續太赫茲光產生裝置與所述第一光纖相連接；所述連續太赫茲光產生裝置所產生的太赫茲光經過所述透射/反射光路裝置收集並匯聚後入射至所述相干探測裝置進行檢測，所述相干探測裝置還與所述第二光纖相連接。
2.根據權利要求1所述的實現連續太赫茲光譜探測的系統，其特徵在於:所述第一雷射器和第二雷射器為單縱模分布式反饋近紅外雷射器，通過一溫度調製器實現頻率調製。
3.根據權利要求2所述的實現連續太赫茲光譜探測的系統，其特徵在於:所述第一雷射器和第二雷射器的中心波長為855nm，通過所述溫度調製器的調製，實現50MHz?2THz的差頻輸出範圍，對應的溫度調節的範圍為O?50K。
4.根據權利要求1所述的實現連續太赫茲光譜探測的系統，其特徵在於:所述功率放大器輸出的雷射信號通過一光纖分束器按1:1進行信號分離，分離的信號分別進入所述第一光纖和第二光纖。
5.根據權利要求1所述的實現連續太赫茲光譜探測的系統，其特徵在於:所述第一光纖和第二光纖所選光纖的材質、長度和性能參數均相同，實現對光纖溫漂效應的有效抑制。
6.根據權利要求1所述的實現連續太赫茲光譜探測的系統，其特徵在於:所述連續太赫茲光產生裝置包括由第一光電導開光和第一天線構成的第一光混頻器，所述第一光纖與第一光電導開光相連，產生的連續太赫茲光由所述第一天線輻射出。
7.根據權利要求1所述的實現連續太赫茲光譜探測的系統，其特徵在於:根據測量模式的不同，所述透射/反射光路裝置為透射光路裝置或者反射光路裝置，所述透射光路裝置由一組90°離軸拋物面鏡和一組焦距為50mm的太赫茲超透鏡組成，樣品置於透鏡焦點處，連續太赫茲光穿透樣品；所述反射光路裝置由一組45°離軸拋物面鏡和一組焦距為50_的太赫茲超透鏡組成，樣品置於透鏡焦點處，連續太赫茲光被樣品反射。
8.根據權利要求1所述的實現連續太赫茲光譜探測的系統，其特徵在於:所述相干探測裝置包括由第二光電導開關和第二天線構成的第二光混頻器，所述第二光電導開關與第二光纖相連，所述第二天線接收經過所述透射/反射光路裝置收集後的太赫茲光，雷射信號與太赫茲光信號在所述第二光電導開關處相干耦合產生響應光電流，通過轉換成電壓信號再由一鎖相探測器進行讀取檢測。
9.利用權利要求1?8任一項所述系統實現連續太赫茲光譜探測的方法，其特徵在於，所述方法至少包括: 1)對第一雷射器和第二雷射器施加偏壓出光，經過功率放大器之後的雷射信號分成兩束，一束由第一光纖耦合進入連續太赫茲光產生裝置，在所述連續太赫茲光產生裝置上加偏壓後，產生太赫茲輻射並發射；另一束雷射信號進入第二光纖； 2)產生的太赫茲光經過置於透射/反射光路裝置中的樣品後，與第二光纖的雷射信號同時進入相干探測模塊，兩束光耦合產生光電流並由鎖相探測器對光電流信號進行讀取； 3)調節所述第一雷射器和第二雷射器，改變兩者頻率，通過差頻實現太赫茲光譜的頻域掃描，其中，在每個頻點處，第二光纖中的雷射信號和接收到的太赫茲光輸入相干探測模塊，採樣一個相干周期內的信號確定極大值，最後綜合各個頻點處的極大值獲得太赫茲頻域光譜圖。
10.根據權利要求9所述的實現連續太赫茲光譜探測的方法，其特徵在於:利用電壓調製器輸出正弦電壓信號來調製所述第一光纖和第二光纖的長度，實現對雷射信號的相位調製，完成連續太赫茲光的相干探測，系統在整個頻段內的平均信噪比大於60db，太赫茲光譜的解析度為50MHz。
【文檔編號】G01N21/3586GK104458645SQ201410742447
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年12月5日 優先權日:2014年12月5日
【發明者】周濤, 曹俊誠, 吳義東 申請人:中國科學院上海微系統與信息技術研究所