多孔板表面檢查方法以及多孔板表面檢查裝置的製作方法

2023-05-17 14:06:46 2

專利名稱：多孔板表面檢查方法以及多孔板表面檢查裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及對具有多個透孔部的多孔板進行攝像，基於此攝像的影像來檢查多孔板表面的多孔板表面檢查方法以及多孔板表面檢查裝置。
背景技術：
近年來，各種在板材表面照射照明光，對在表面反射的反射光進行攝像，基於此攝像的影像檢查板材表面的技術被提出來(例如，參照專利文獻I)。在專利文獻I中，作為檢查萌罩板缺陷的方法，公開了以下方法:在向萌罩板的一個主面照射透過用的照明光的同時，向萌罩板的另一主面照射反射用的照明光，並且在萌罩板的另一主面側，以接收透過萌罩板的透過光和在萌罩板的另一主面反射的反射光的的方式對萌罩板進行攝像，從而不受萌罩板附著的異物的影響，正確地檢查萌罩板的缺陷。現有技術文獻專利文獻1:日本特開平6-341958號公報發明概要發明要解決的課題但是在現有的照射透過光和反射光以對多孔板的表面進行攝像來檢查多孔板的缺陷的方法中，例如，在透過多孔板的透孔部的透過光的光量比在多孔板的表面反射的反射光的光量暗時，且在反射光和透過光之間的光量的差別很大時，有把透孔部誤判為異物的危險。所以，正確檢查多孔板表面的汙垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等是困難的。本發明是鑑於上述課題而研發的，其目的是為了提供一種能夠正確檢查出多孔板的表面的汙垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等的多孔板表面檢查方法以及多孔板表面檢查裝置。發明解決課題的手段本發明的解決所述課題的多孔板表面檢查方法，其特徵在於，是一種對具有多個透孔部的多孔板進行攝像，基於該攝像的影像，檢查多孔板表面的多孔板表面檢查方法，所述多孔板表面檢查方法包含:對於多孔板從該多孔板的表面側照射反射用的照明光，並且從多孔板的背面側照射背光用的照明光的步驟；從多孔板的表面側對多孔板的表面進行攝像的步驟；基於該攝像的影像測定多孔板的表面反射的反射光的光量和透過多孔板的孔部的透過光的光量的步驟；為了使反射光的光量和透過光的光量相同並且變成在預先設定的範圍內的光量，調節反射用的照明光和背光用的照明光的光量的步驟；在光量已調節的狀態，對多孔板的表面進行攝像，基於此攝像的影像檢查多孔板的缺陷的步驟。通過本發明，因為為了使反射光的光量和透過光的光量相同並且變成在預先設定的範圍內的光量，而調節反射用的照明光和背光用的照明光的光量，所以能夠使得進行這樣光量調節後攝像的影像中的多孔板的表面和多孔板的透孔部的濃度差變小。
因此在檢查多孔板缺陷的工程中，能夠防止把多孔板的透孔部誤認為異物，可以正確地判斷多孔板的表面有無缺陷。因此在多孔板的表面有汙垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等情況下能夠正確地檢出這些。較為理想的是，在檢查多孔板的缺陷的步驟中，將在調節光量之後攝像的影像劃分為多個影像範圍，從多個影像範圍中設定作為檢查對象的影像範圍的檢查對象影像範圍和作為比較對象的其它多個影像範圍的比較對象影像範圍，測定檢查對象影像範圍的光量和比較對象影像範圍的光量，在檢查對象影像範圍的光量和比較對象影像範圍的光量的差分在事先設定的閾值以上的情況下，判斷在檢查對象影像範圍對應的部分存在缺陷。較為理想的是，在多孔板具有將多個透孔部配設在列方向，且將配設在該列方向的多個透孔部的列在寬度方向配設多個的構成的情況下，在檢查多孔板的缺陷的步驟中，將大於一個透孔部大的，且列方向的尺寸具有從該透孔部到和位於列方向一側的其它透孔部的分界部分的尺寸長度、寬度方向的尺寸具有從透孔部到和位於寬度方向一側的其它透孔部的分界部分的尺寸長度的，範圍設定為檢查對象影像範圍，並且在相對檢查對象影像範圍在列方向偏移的位置將具有和檢查對象影像範圍相同尺寸的範圍設定為比較對象影像範圍。另外，較為理想的是，在檢查多孔板的缺陷的步驟中，在對於檢查對象影像範圍在各列方向上偏離的位置，設定多個比較對象影像範圍。本發明的多孔板表面檢查裝置，其特徵在於，是對具有多個透孔部的多孔板進行攝像，基於該攝像的影像，檢查多孔板的表面的多孔板表面檢查裝置，所述多孔板表面檢查裝置包含:反射照明光源，其與多孔板的表面相向配置，且向多孔板的表面照射反射用的照明光；背光照明光源，其與多孔板的背面相向配置，且向多孔板的背面照射背光用的照明光；攝像部，其對多孔板的表面進行攝像；光量調節部，其基於通過攝像部攝像的影像，測定多孔板的表面反射的反射光的光量和透過多孔板的透孔部的透過光的光量，且為了使反射光的光量和透過光的光量相同並且變成在事先設定的範圍內的光量，調節反射照明光源和背光照明光源的光量；以及檢查部，通過光量調節部進行過光量調節的反射用的照明光和背光用的照明光照射在多孔板的狀態下，基於通過攝像部攝像的影像，檢查多孔板的缺陷。通過本發明，因為為了使反射光的光量和透過光的光量相同並且在事先設定的範圍內，而調節反射用的照明光和背光用的照明光的光量，所以能夠使得進行這樣光量調節後攝像的影像中的多孔板的表面和多孔板的透孔部的濃度差變小。因此能夠防止把多孔板的透孔部誤認為異物，可以正確地判斷多孔板的表面有無缺陷。因此能夠正確地檢查出在多孔板的表面有汙垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等情況。進一步，檢查部具有影像範圍設定裝置，其將通過攝像部攝像的影像劃分多個影像範圍，並且從該多個影像範圍中設定成為檢查對象的影像範圍的檢查對象影響範圍和成為比較對象的其他影像範圍的比較對象影響範圍；光量測定裝置，其測定通過影像範圍設定裝置設定的檢查對象影像範圍的光量和比較對象影像範圍的光量；判斷裝置，其算出通過光量測定裝置測定的檢查對象影像範圍的光量和比較對象影像範圍的光量的差分，該差分在事先設定的閾值以上的情況下，判斷在對應檢查對象的影像範圍的部分存在缺陷。進一步，在多孔板具有將多個透孔部配設在列方向，且將配設在該列方向的多個透孔部的列在寬度方向配設多個的構成的情況下，影像範圍設定裝置將大於一個透孔部大的，且列方向的尺寸具有從該透孔部到和位於列方向一側的其它透孔部的分界部分的尺寸長度、寬度方向的尺寸具有從所述透孔部到和位於寬度方向一側的其它透孔部的分界部分的尺寸長度的，範圍設定為檢查對象影像範圍，並且在相對該檢查對象影像範圍在列方向偏離的位置將具有和檢查對象影像範圍相同尺寸的範圍設定為比較對象影像範圍。通過本發明，能夠把檢查對象影像範圍以及比較對象影像範圍的透孔部的面積和表面的面積的比例設定為定值。因此，能夠使沒有缺陷的範圍內的光量維持一個定值，減小測定誤差。因此，特別是在沿著列方向具有透孔部Wc的部分和不具有透孔部Wc部分的存在比例按規定正確排列的多孔板的情況，能夠正確地進行檢查。影像範圍設定裝置也可以在相對檢查對象影像範圍在各個列方向偏離的位置設定多個比較對象影像範圍而構成。發明的效果通過本發明的多孔板表面檢查方法以及裝置，因為為了使反射光的光量和透過光的光量相同並且變成在事先設定的範圍內的光量，而調節反射用的照明光和背光用的照明光的光量，所以能夠使得進行這樣光量調節後攝像的影像中的多孔板的表面和多孔板的透孔部的濃度差變小。因此，在檢查多孔板的缺陷的工程中，能夠防止把多孔板的透孔部誤認為異物，可以正確地判斷多孔板的表面有無缺陷。因此能夠正確地檢查出在多孔板的表面有汙垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等情況。本說明書包含作為本申請優先權基礎的日本國專利申請2010-255947號的說明書以及/或者附圖中記載的內容。附圖的簡單說明

圖1是說明本實施方式中多孔板表面檢查裝置的構成的立體圖。圖2是本實施方式中多孔板表面檢查裝置的構成的示意圖。圖3是對沒有缺陷的多孔板進行攝像的影像的示意圖。圖4是以斷面示出圖3的A部的照射光以及反射光的狀態的圖。圖5是對有缺陷的多孔板進行攝像的影像的示意圖。圖6是以斷面示出圖5的B部的照射光以及反射光的狀態的圖。圖7是示出檢查對象影像範圍和比較對象影像範圍的設定例中的一個示例的圖。圖8是示出對應於圖7的比較例的圖。實施發明的方式有關本發明的實施方式，在下面使用附圖進行說明。圖1是說明本實施方式中多孔板表面檢查裝置的構成的立體圖，圖2是本實施方式中多孔板表面檢查裝置的構成的示意圖。多孔板表面檢查裝置I是檢查在具有多個透孔部Wc (參考圖7)的多孔板W的表面Wa是否存在汙垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等缺陷的裝置，對多孔板W攝像，基於該攝像的影像進行判斷有無缺陷的處理。多孔板表面檢查裝置I具有:反射照明光源3，其向多孔板W的表面Wa照射反射用的照明光；背光照明光源2，其向多孔板W的背面照射背光用的照明光；攝像部4，其從多孔板W的表面Wa側對多孔板W進行攝像；以及控制部5，其基於通過攝像部4攝像的影像來調節反射照明光源3和背光照明光源2的光量並檢查多孔板W的缺陷(參照圖2)。多孔板W例如由用於鎳氫二次電池的芯體等的鋼板制的帶狀薄板部件構成，在其兩面實施了電鍍處理。多孔板W通過沒有圖示的傳送裝置，以表面Wa配置在上側的形態被沿著縱向方向按照指定的速度傳送。多孔板W具有多個透孔部Wc。各透孔部Wc例如具有俯視為大致矩形的開口形狀，並且以沿著多孔板W的縱向方向的方式設置在列方向。而且透孔部Wc的列在寬度方向上配設多個以並排配置。反射照明光源3配置在多孔板W的表面Wa的相對方向，為了使得遍及多孔板W的寬度方向保持一定的亮度，向多孔板W的表面Wa照射照明光。背光照明光源2配置在多孔板W的背面的相對方向，為了使得遍及多孔板W的寬度方向保持一定的亮度，向多孔板W的背面照射照明光。在本實施方式中，如圖2所示，背光照明光源2具有比多孔板W在寬度方向上更突出的尺寸，使得從背光照明光源2向多孔板W的背面照射的照射光的一部分，透過透孔部Wc而成為透過光，且可被攝像部4接收。攝像部4配置在多孔板W的表面Wa的相對方向，以對包括多孔板W的表面Wa和比多孔板W的側端部Wb更靠寬度方向外側的部分的範圍S進行攝像的方式構成。控制部5由微型計算機等構成，具備:A/D變換裝置，其將由攝像部4攝像的影像從模擬影像信號向數字影像信號變換；RAM，其將通過A/D變換裝置變換的數字影像信號作為影像數據進行記憶；CPU，其進行光量的調節、影像處理等各種計算處理；以及R0M，其存儲各種控制CPU的程序。控制部5具有光量調節部6和檢查部7。光量調節部6基於由攝像部4攝像的影像進行分別對反射照明光源3和背光照明光源2的光量進行調節的光量調節處理。檢查部7在由光量調節部6進行光量調節後，對由攝像部4攝像的影像，實施影像處理，進行對多孔板W的缺陷進行檢查的缺陷檢查處理。光量調節部6對應作為檢查對象的多孔板W的種類，在預先設定的時機進行光量調節。例如，多孔板W是鍍層比較厚的馬口鐵板，以從卷狀捲曲的狀態順序地被抽出以被檢查的方式，在卷的前端側和尾部側的表面Wa的光澤不同的情況下，也可以和檢查部7的缺陷檢查處理同步一直進行光量調節。也就是說，在進行缺陷檢查處理的情況下，也可以一直進行光量調節，基於在光量調節的狀態攝像的影像，進行缺陷檢查處理。另外，在卷的前端側和尾部側的表面Wa的光澤變化比較小的多孔板W的情況下，和最初的缺陷檢查處理同步，可以只進行一次光量調節，省略這之後的和缺陷檢查處理同步的光量調節。另外，也可以在每隔預先設定的一定的攝像次數，或者每隔一定的時間的時機進行光量調節。作為缺陷檢查處理，檢查部7進行影像範圍設定處理，其中將攝像部4攝像的影像劃分為多個影像範圍，從多個影像範圍中設定作為檢查對象的影像範圍的檢查對象影像範圍，和作為比較對象的其它多個影像範圍的比較對象影像範圍；進行光量測定處理，其中測定由影像範圍設定處理設定的檢查對象影像範圍的光量和比較對象影像範圍的光量；進行缺陷判斷處理，其中算出由光量測定處理測定的檢查對象影像範圍的光量和比較對象影像範圍的光量的差分，在差分在預先設定的閾值以上的情況下，判斷在多孔板W的表面Wa的檢查對象影像範圍的對應部分存在缺陷。下面對有關利用所述的多孔板表面檢查裝置I的多孔板表面檢查方法進行說明。圖3是對表面沒有缺陷的多孔板進行攝像的影像的示意圖，圖4是以斷面示出圖3的A部的照射光以及反射光的狀態的圖，圖5是對表面有缺陷的多孔板進行攝像的影像的示意圖，圖6是以斷面示出圖5的B部的照射光以及反射光的狀態的圖，圖7是檢查對象影像範圍和比較對象影像範圍的設定例中的一個示例的圖，是對一部分放大而示出的圖。本發明的多孔板表面檢查方法，最初進行調節反射照明光源3的光量和背光照明光源2的光量的光量調節處理，然後，進行檢查多孔板W的缺陷的缺陷檢查處理。首先，在光量調節處理中，在向多孔板W的表面Wa照射反射照明光源3的照明光的同時，向多孔板W的背面照射背光照明光源2的照明光。然後，通過攝像部4對攝像範圍S攝像。所攝像的影像從攝像部4輸入到控制部5。控制部5的光量調節部6，基於攝像的影像，測定在多孔板W的表面Wa反射的反射光12的光量和透過多孔板W的透孔部Wc的透過光11的光量，為了使得反射光12的光量以及透過光11的光量相同並且變成在預先設定的範圍內的光量，進行調節反射照明光源3和背光照明光源2的光量的控制。反射光12的光量以及透過光11的光量被調節為在預先設定的下限閾值Thmin和上限閾值Thmax之間的允許範圍內的值。下限閾值Thmin例如被設定為如蟲子等異物那樣的普通黑色的、吸收光的汙垢的反射光的光量，上限閾值Thmax例如被設定為如電鍍的傷痕等那樣的普通白色的、反射光的汙垢的反射光的光量。所以，例如如圖3所示，在這樣的光量調節後，能夠使得攝像的畫像Cl中的多孔板W的表面Wa和多孔板W的透孔部Wc的濃度差變小，可以防止檢查部7將多孔板W的透孔部Wc誤認為異物。另外，雖然在圖3中，為了說明方便，在影像Cl中用假想的線表示了多孔板W的側端部Wb，但是因為透過光11的光量和反射光12的光量是被調節為相同，實際的影像中多孔板W的表面Wa和比多孔板W的側端部Wb更靠寬度方向外側的部分沒有濃度差，或者濃度差比較小，不可能認出影像Cl中的側端部Wb。另外，如圖5以及圖6所示，在異物X附著在多孔板W的表面Wa而變成缺陷的時候，在異物X反射的反射光12'變成擴散反射，其光量比影像C2的其它部分的光量，也就是說，比反射光12的光量以及透過其它透孔部Wc的透過光11的光量要少。所以，在該部分的光量比下限閾值Thmin少的情況下，如圖5所示那樣，影像C2中的異物X就明顯地顯現出來。另外，雖然圖中沒有特別顯示，在多孔板W的表面Wa有傷痕的時候，傷痕的反射光的光量和其它部分的光量相比變多，在該部分的光量比上限閾值Thmax多的情況下，影像中的傷痕就明顯地顯現出來。缺陷檢查處理，進行在由光量調節部6進行光量調節的狀態下，通過攝像部4對多孔板W的表面Wa攝像，基於該攝像的影像，檢查多孔板W的缺陷的處理。攝像部4在規定的時機,對以預先設定的一定速度，向著移動方向F移動的多孔板W進行攝像。在此，包括多孔板W的表面Wa和比多孔板W的側端部Wb更靠外側的部分的範圍S被攝像(參考圖1以及圖2)。如圖7所示，檢查部7進行影像處理範圍設定處理(影像處理範圍設定裝置)，其中將攝像部4攝像的影像劃分為多個影像範圍，從多個影像範圍中設定作為檢查對象的影像範圍的檢查對象影像範圍21和作為比較對象的其它多個影像範圍的比較對象影像範圍22-24。檢查對象影像範圍21和比較對象影像範圍22-24，具有在各範圍內包含透孔部Wc的至少一部分和多孔板W的表面Wa的一部分兩者的大小，在以任意的時機對向移動方向F移動的多孔板W進行攝像的情況下，設定為在各範圍內總是加入一定面積的透孔部Wc和表面Wa的大小(尺寸)，並設定為使得各範圍21-24內的透孔部Wc的面積和表面Wa的面積的比例為定值。例如，在本實施方式中，如圖7所示，檢查對象影像範圍21是比一個透孔部Wc大的範圍，列方向的大小Ld設定為從該透孔部Wc到和位於列方向一側的其它透孔部Wc的分界部分為止的尺寸長度，寬度方向的大小Lw設定為從該透孔部Wc到和位於寬度方向一側的其它透孔部Wc的分界部分為止的尺寸長度。比較對象影像範圍22-24具有和檢查對象影像範圍21相同的尺寸，設定在相對於檢查對象影像範圍21在各個列方向偏離的位置。例如如圖7所示，本實施方式的比較對象影像範圍22-24以檢查對象影像範圍21為基準，在從檢查對象影像範圍21向多孔板W的移動方向F偏離的位置並且設定在一部分互相重疊的位置。另外，雖然所述的實施方式以設定在互相相鄰的比較對象影像範圍22-24的一部分相互重疊的位置的情況為例進行了說明，但是也可以設定在只是相隔規定的距離的位置，能夠通過檢查出的缺陷的大小變更設定的位置。例如，通過把各比較對象影像範圍22-24設定在一部分重疊的位置，能夠檢查出容納在檢查對象影像範圍21內那樣大小的缺陷。另外，通過把各比較對象影像範圍22-24設定在互相只是相隔規定距離的位置，可以檢查出相比檢查對象影像範圍21更大的尺寸的缺陷。如果進行了所述的檢查對象影像範圍21和比較對象影像範圍22-24的設定，則接下來，要進行測定檢查對象影像範圍21的光量和比較對象影像範圍22-24的光量的處理(光量測定裝置)。光量的測定通過影像處理進行。然後，從檢查對象影像範圍21的光量和比較對象影像範圍22-24的光量的差分，判斷對應檢查對象影像範圍21的部分是否存在缺陷(判斷裝置)。在此，從各比較對象影像範圍22-24的光量計算平均光量，求出檢查對象影像範圍21的光量和比較對象影像範圍22-24的平均光量的差分。然後，在差分在預先設定的閾值以上的情況下，判斷在對應多孔板W的表面Wa的檢查對象影像範圍21的部分存在缺陷，在差分小於閾值的情況下，判斷不存在缺陷。圖8是對於本實施方式的比較例的內容的說明圖，是圖7的對應圖。例如如圖8的比較例所示，在把檢查對象影像範圍31和比較對象影像範圍32-34並列設定在多孔板W的寬度方向的情況下，每個範圍的透孔部Wc的面積和表面Wa的面積不同，容易受寬度方向的濃度差的影響。所以，各範圍31-34之間的濃度差比較大，成為幹擾部分，有誤認為缺陷的危險。對此，因為本實施方式把檢查對象影像範圍21以及比較對象影像範圍22-24排列在多孔板W的移動方向，將透孔部Wc的面積和表面Wa的面積設定為一定比例，所以能夠使得不沒有缺陷的範圍內的光量成為定值，能夠降低測定誤差。因此，對於象多孔板這樣，沿著移動方向(列方向)具有透孔部Wc的部分和不具有透孔部Wc的部分的存在比例按規定正確排列，能夠正確地進行檢查。通過所述多孔板表面檢查裝置I，基於攝像部4攝像的影像，測定在多孔板W的表面Wa反射的反射光12的光量和透過多孔板W的透孔部Wc的透過光11的光量，為了使反射光12的光量以及透過光11的光量相同並且變成在預先設定的範圍內的光量，調節反射照明光源3和背光照明光源2的光量，所以在這樣的光量調節後，能夠使得攝像的影像中的多孔板W的表面Wa和透孔部Wc的濃度差變小。因此，對於檢查部7能夠防止將多孔板W的透孔部Wc誤認為異物，可以正確判斷多孔板W的表面Wa有無缺陷。因此，在多孔板W的表面Wa存在汙垢、傷痕、電鍍不良、異物附著的情況下，能夠將這些正確地檢查出來。另外，本發明並不限定於所述實施方式，在不脫離本發明的宗旨的範圍內可以有各種變更。符號說明I多孔板表面檢查裝置2背光照明光源3反射照明光源4攝像部5控制部6光量調節部7檢查部11透過光12反射光21檢查對象影像範圍22-24比較對象影像範圍S攝像範圍W多孔板Wa 表面Wb側端部Wc透孔部X異物(缺陷)
權利要求
1.一種多孔板表面檢查方法,其特徵在於，所述多孔板表面檢查方法是對具有多個透孔部的多孔板進行攝像，且基於該攝像的影像來檢查所述多孔板的表面的多孔板表面檢查方法， 所述多孔板表面檢查方法包括: 對於所述多孔板從該多孔板的表面側照射反射用的照明光，並且從所述多孔板的背面側照射背光用的照明光的步驟； 從所述多孔板的表面側對所述多孔板的表面進行攝像的步驟； 基於該攝像的影像測定在所述多孔板的表面反射的反射光的光量和透過所述多孔板的孔部的透過光的光量的步驟； 為了使所述反射光的光量和所述透過光的光量相同並且變成在預先設定的範圍的光量，調節所述反射用的照明光和所述背光用的照明光的光量的步驟；以及 在所述光量已調節的狀態，對所述多孔板的表面進行攝像，基於此攝像的影像檢查所述多孔板的缺陷的步驟。
2.如權利要求1所述的多孔板表面檢查方法，其特徵在於， 在檢查所述多孔板的缺陷的步驟中， 將在調節所述光量之後攝像的影像劃分為多個影像範圍，從該多個影像範圍中設定作為檢查對象的影像範圍的檢查對象影像範圍和作為比較對象的其它多個影像範圍的比較對象影像範圍，測定所述檢查對象影像範圍的光量和所述比較對象影像範圍的光量，在所述檢查對象影像範圍的光量和所述比較對象影像範圍的光量的差分在預先設定的閾值以上的情況下，判斷在所述多孔板的表面的所述檢查對象影像範圍對應的部分存在缺陷。
3.如權利要求2所述的多孔板表面檢查方法，其特徵在於， 在所述多孔板具有將所述多個透孔部配設在列方向，且將配設在該列方向的所述多個透孔部的列在寬度方向配設多個的構成的情況下， 在檢查所述多孔板的缺陷的步驟中， 將大於所述一個透孔部的，且列方向的尺寸具有從該透孔部到和位於列方向一側的其它透孔部的分界部分的尺寸長度、寬度方向的尺寸具有從所述透孔部到和位於寬度方向一側的其它透孔部的分界部分的尺寸長度的，範圍設定為所述檢查對象影像範圍，並且 在相對該檢查對象影像範圍在列方向偏移的位置，將具有和所述檢查對象影像範圍相同尺寸的範圍設定為所述比較對象影像範圍。
4.如權利要求3所述的多孔板表面檢查方法，其特徵在於， 在檢查所述多孔板的缺陷的步驟中， 在相對所述檢查對象影像範圍在各列方向上偏離的位置，設定多個所述比較對象影像範圍。
5.一種多孔板表面檢查裝置，其特徵在於，所述多孔板表面檢查裝置是對具有多個透孔部的多孔板進行攝像，基於該攝像的影像來檢查所述多孔板的表面的多孔板表面檢查裝置， 所述多孔板表面檢查裝置包括: 反射照明光源，其與所述多孔板的表面相向配置，且向所述多孔板的表面照射反射用的照明光；背光照明光源，其與所述多孔板的背面相向配置，且向所述多孔板的背面照射背光用的照明光； 攝像部，其對所述多孔板的表面進行攝像； 光量調節部，其基於通過所述攝像部攝像的影像，測定在所述多孔板的表面反射的反射光的光量和透過所述多孔板的透孔部的透過光的光量，為了使所述反射光的光量和所述透過光的光量相同且變成在預先設定的範圍內的光量，調節所述反射照明光源和所述背光照明光源的光量；以及 檢查部，其在通過所述光量調節部進行過光量調節的所述反射用的照明光和所述背光用的照明光照射在所述多孔板的狀態下，基於通過所述攝像部攝像的影像來檢查所述多孔板的缺陷。
6.如權利要求5所述的多孔板表面檢查裝置，其特徵在於， 所述檢查部具有: 影像範圍設定裝置，其將通過所述攝像部攝像的影像劃分多個影像範圍，並且從該多個影像範圍中設定作為檢查對象的影像範圍的檢查對象影響範圍和作為比較對象的其他影像範圍的比較對象影響範圍； 光測定裝置，其測定通過該影像範圍設定裝置設定的所述檢查對象影像範圍的光量和所述比較對象影像範圍的光量；以及 判斷裝置，其算出通過該光量測定裝置測定的所述檢查對象影像範圍的光量和所述比較對象影像範圍的光量的差分，在該差分在預先設定的閾值以上的情況下，判斷在對應所述檢查對象的影像範圍的部分存在缺陷。
7.如權利要求6所述的多孔板表面檢查裝置，其特徵在於， 在所述多孔板具有將所述多個透孔部配設在列方向，且將配設在該列方向的所述多個透孔部的列在寬度方向配設多個的構成的情況下， 所述影像範圍設定裝置， 將大於所述一個透孔部的，且列方向的尺寸具有從該透孔部到和位於列方向一側的其它透孔部的分界部分的尺寸長度、寬度方向的尺寸具有從所述透孔部到和位於寬度方向一側的其它透孔部的分界部分的尺寸長度的，範圍設定為所述檢查對象影像範圍，並且 在相對該檢查對象影像範圍在列方向偏離的位置，將具有和所述檢查對象影像範圍相同尺寸的範圍設定為所述比較對象影像範圍。
8.如權利要求7所述的多孔板表面檢查裝置，其特徵在於， 所述影像範圍設定裝置， 在相對所述檢查對象影像範圍在各列方向上偏離的位置，設定多個所述比較對象影像範圍。
全文摘要
本發明的目的是提供一種能夠正確檢查在多孔板的表面的汙垢、傷痕、電鍍不良、異物附著等的多孔板表面檢查方法以及裝置。本發明從多孔板W的表面側照射反射用的照明光，並且從多孔板W的背面側照射背光用的照明光，利用攝像部4對多孔板W的表面Wa進行攝像。然後，基於此影像，測定在多孔板W的表面Wa反射的反射光12的光量和透過多孔板W的透孔部Wc的透過光11的光量，為了使這兩個光量相同並且在事先設定的範圍內，調節反射用的照明光和背光用的照明光的光量。然後，在光量已調節的狀態，對多孔板W的表面Wa進行攝像，基於此攝像的影像檢查多孔板W的表面Wa的缺陷。
文檔編號G01N21/89GK103119424SQ20118004600
公開日2013年5月22日 申請日期2011年11月14日 優先權日2010年11月16日
發明者松村修美, 今重薫, 矢崎伸二 申請人:東洋鋼鈑株式會社