放電錶面處理用電極、放電錶面處理方法以及覆膜的製作方法

2023-05-22 08:55:56 1

專利名稱：放電錶面處理用電極、放電錶面處理方法以及覆膜的製作方法
技術領域：
本發明關於一种放電錶面處理，其以將金屬粉末或金屬化合物 的粉末成型而獲得的成型體，或對該粉末的成型體進行熱處理而獲得 的粉末成型體作為電極，在加工液中或氣氛中，使電極和被加工物之 間產生脈衝狀放電，利用該能量，在被加工物表面形成由電極材料、 或電極材料通過放電能量反應生成的物質形成的覆膜。
背景技術：
在兩個金屬部件的滑動面上，使兩個部件都不被磨損這一點， 從耐久性和節能等的觀點上看很重要，作為抑制這種金屬和金屬間的 滑動部的邊界潤滑區域上的磨損的方法，以往採取在滑動部形成反應 膜的方法。這種反應膜是使添加在潤滑油中的磷、氯等活性元素，通過摩 擦生熱發生化學反應而生成的硫化鐵、磷酸鐵、氯化鐵等剪切性低的 固體潤滑覆膜，可以抑制磨損。作為上述可以形成反應膜的物質，可以舉出Fe(鐵)、Sn(錫)、 Zn (鋅)、Cr (鉻)、Ni (鎳)等。此外，近年來，作為可以形成不易剝落的覆膜的表面處理方法， 放電錶面處理逐漸確立起來。根據這种放電錶面處理，雖然不是以形成Zn覆膜或Cr覆膜為 目的，但是已經報導了多個使用含有Zn或Cr的電極形成由陶瓷構 成的高硬度覆膜的例子。例如特開平7 — 70761號公報中公開了如下技術，其使用在易碳 化的金屬單體粉末或者大於或等於兩種的混合粉末中，作為結合金屬 添加Al粉再擠壓成型為所需形狀而形成的放電錶面處理用電極，在 石油或煤油等能夠通過放電分解產生碳的加工液中進行表面處理，在作為基材的Al或Al合金表面形成表面層，該表面層是由電極中的易 碳化金屬與分解產生的碳反應形成的碳化物、和電極材料混合而成 的。艮P，特開平7 — 70761號公報中，是以通過放電使易碳化的金屬 碳化，形成由高硬度碳化物構成的覆膜為目的，並且發揮A1粉柔軟 的特性，在對易碳化的金屬粉末進行成型時作為粘接劑使用。由於如果增加覆膜中Al等較軟的材質所佔比例，則覆膜強度會 顯著下降，因此以高硬度覆膜的形成為目的的特開平7 — 70761號公 報中，極力抑制電極中含有的Al粉的量，使其重量比小於或等於64wt %。另外，作為與Al粉具有相同作用的物質，可以舉出Zn粉。此外，例如國際公開WO2004/108990中，公開了使用在Cr3C2 (碳化鉻)中混合大於或等於40體積X的不形成碳化物的Co (鈷) 而成的電極，從而形成厚金屬覆膜的技術。此外，作為該不形成碳化物的材料，除了 Co之外還可以舉出 Ni、 Fe、 Al、 Cu、 Zn等。專利文獻l:特開平7 — 70761號公報專利文獻2:國際公開WO2004/108990發明內容以往，在利用反應膜控制摩擦係數和磨損量的使用環境中，在 滑動部形成由Zn或Cr的磷化物或硫化物組成的反應膜非常重要， 為此向潤滑油中作為添加劑而添加Zn或Zn化合物等以形成反應膜， 但是如果在潤滑油中添加過多的Zn則失去作為潤滑油的作用，因此 其添加量有限，微量的添加量則不能以反應膜充分地覆蓋整個滑動 面，使控制摩擦係數和抑制磨損量的效果不充分。即，由於如果能在滑動部形成Cr或Zn的覆膜，則可以與潤滑 油的P或S反應，在滑動部的大致整個面上形成反應膜，因此可以 控制部件的摩擦係數和抑制其磨損量，但是現行的Zn或Cr電鍍而 成的覆膜，在小載荷下就會容易地剝落，不具備實用性，無法作為用於在滑動部形成反應膜的Zn覆膜或Cr覆膜使用。此外，對於上述特開平7 — 70761號公報中揭示的由易碳化金屬 碳化形成的物質組成的高硬度覆膜，公開了在放電錶面處理用電極中 混入Zn粉的例子，但由於Zn粉是作為粘接劑混入的，在該電極中 成分比例較少，因而由於作為主要成分的物質的影響，不能形成反應 膜。另外，在國際公開WO2004/108990中，對於為了形成厚的覆膜， 在C r 3 C 2中混入大於或等於4 0體積％的C o粉末的情況進行了說明， 作為與Co具有同樣效果的物質舉出了 Zn，但僅是示出在Cr3C2中混 合Zn的情況，由於Zn的量較少，不能形成反應膜以及控制部件表 面的硬度。本發明的目的在於形成Zn、 Sn、 Cr、 Ni覆膜，上述覆膜可以在 含有磷或硫的潤滑油中，形成由磷化物或硫化物組成的反應膜。此外，其目的還在於可以在滑動部形成上述覆膜，並且形成不 同表面硬度的覆膜，特別是提供一種即使在位於邊界潤滑區域的滑動 部上也不會剝落的、具有高耐磨性和各種摩擦係數的覆膜及其形成方 法。本發明涉及的放電錶面處理用電極，是在如下放電錶面處理中 使用的電極以將金屬粉末成型而獲得的成型體，或對該成型體迸行 熱處理而獲得的成型體作為電極，使電極與被加工物間產生脈衝狀放 電，利用該放電的能量，在被加工表面形成電極材料的覆膜、或者借 助放電能量由電極材料反應生成的物質的覆膜，該電極含有大於或等 於90wtX的Zn粉、Cr粉或Ni粉。發明的效果根據本發明，可以形成不易剝落的Zn、 Sn、 Cr、 Ni覆膜，上述 覆膜可以在含有磷或硫的潤滑油中形成由磷化物或硫化物組成的反 應膜。


圖1是用於製造本實施方式涉及的放電錶面處理用電極的流程。圖2是用平均粒徑為2pm的Zn粉製造電極時的成型壓力和以 JISK7194規定的四探針法測得的電極的電阻的關係圖。圖3是分別改變將平均粒徑為2pm的Zn粉成型而獲得的壓粉 體電極的電阻，利用各種電阻的電極進行放電錶面處理時，用EDS (Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy)測得覆膜表面的Zn含量的 關係。圖4是對滑動試驗後的覆膜表面進行TOF-SIMS分析而獲得的圖。圖5是表示使用0.02Q的電極，在峰值電流為5A、放電時間為 0.5)is的條件下在SCM上形成的Zn覆膜的剖面照片和線分析結果的圖。圖6是表示被加工物使用硬度為300HV程度的S45C，使用電 阻為0.02Q的Zn電極形成覆膜時的放電電流和放電時間的乘積與覆 膜表面硬度的關係的圖。圖7是表示利用在粒徑為2pm的Zn粉中改變TiC的混合比例 而製成的電極形成覆膜時的覆膜硬度的圖。
具體實施方式
實施方式1首先，對放電錶面處理的原理進行說明。將金屬或金屬合金粉末成型而獲得的材料，或者在成型後進行 熱處理而獲得的材料作為電極使用，並配置為與設置在充滿石油類加 工液的加工槽中的基材(被加工物)距離規定間隔，以電極作為陰極、 被加工物作為陽極，以兩者不相接觸的方式， 一邊使主軸進行伺服動 作一邊在電極和被加工物間產生放電。在這裡，針對石油類加工液進 行了說明，但也可以在氣氛中或水中進行放電。利用放電產生的熱量使被加工物及電極熔融，氣化，通過隨氣化 產生的氣浪及靜電力，將熔融的電極的一部分(焙融粒子)輸送至被加工物表面。然後，如果熔融的電極的一部分到達被加工物表面，則再次凝 固成為覆膜。由於是使被加工物表面熔融，在其上堆積覆膜，因此被 加工物和覆膜之間形成擴散接合，覆膜不會從被加工物剝落。下面，在圖1中示出用於製造本實施方式涉及的放電錶面處理 用電極的流程。與潤滑油中的磷或硫反應而形成反應膜的物質具有Zn、 Sn、 Cr、 Ni等，為此，製造用於形成上述覆膜的電極。本實施方式中，Zn、 Sn的情況下僅使用平均粒徑小於或等於 15pm的粉末，Cr及Ni的情況下僅使用小於或等於4pm的粉末。在Cr的情況下，用球磨裝置等粉碎機將市售的平均粒徑為幾十 pm的粉末粉碎為平均粒徑小於或等於4pm。此外，在液體中進行粉碎的情況下，需要使液體蒸發、粉末幹 燥，但是乾燥後的電極粉末，粉末與粉末間會發生聚集，形成大塊。因此，為了使該大塊分散，使其通過網眼尺寸為lOOpm至300pm 程度的篩子，將聚集成的塊打碎。Zn及Sn、 Ni的情況下，雖然購買市售的上述粒徑的粉末，不 經粉碎就可以進行成型，但該情況下，由於該粉末也會發生聚集，因 此使其過篩。此外，篩子的網眼尺寸根據隨後工序中擠壓的成型性、 和放電鍍膜處理中脫落至電極和基材之間時可以通過放電爆炸力粉 碎的尺寸決定。另外，使用的Zn、 Sn粉末的平均粒徑大於其他金屬是因為Zn、 Sn的熔點為約40(TC，而其他金屬為130(TC左右，因此以較小的能 量就可以使Zn或Sn粉末熔融。艮P，在對Zn或Sn和其他金屬在相同放電條件下進行處理的情 況下，Zn或Sn粉末具有如下優點，即，可以使用平均粒徑更大的粉 末形成覆膜，粒徑越大則電極的成型性越高。但是，如果Zn或Sn粉末的平均粒徑大於15pm，則發生電極間 短路等使放電狀態不穩定，因此優選Zn或Sn的平均粒徑小於或等 於15jim。將過篩後的粉末放入模具，用衝頭以規定的衝壓壓力加載壓力， 通過衝壓使粉末緊固，成為壓粉體。Zn粉或Sn粉、Ni粉的氧化膜較薄，能夠容易地通過衝壓的壓 力破壞氧化膜，使粉末和粉末之間發生金屬結合，但對於Cr則不容 易破壞氧化膜，成型性不十分好。因此，如果在Cr粉中以重量比為 1%至10%的程度混入石蠟等蠟，則可以使衝壓時衝壓壓力向混合粉 末內部的傳導性變好，能夠改善成型性。擠壓成型獲得的壓粉體，如果通過擠壓能夠得到規定的硬度， 則可以直接作為放電錶面處理用電極使用，但是在強度不足的情況 下，則通過加熱使其強度增加。另外，使用蠟的情況下，需要加熱至高於蠟熔點的溫度而除去 蠟，由此得到放電錶面處理用電極。利用Zn粉或Sn粉、Ni粉製造電極的情況下，僅利用衝壓的壓 力就可以使粉末與粉末間進行金屬結合，因此不必加熱也能夠成為具 有足夠強度的電極，但利用Cr粉製造電極的情況下，僅通過衝壓則 強度不足，衝壓後需要以30(TC至50(TC進行熱處理。下面，對本實施方式涉及的最佳實施例進行說明。在本例中，購買市售的平均粒徑為2pm的Zn粉，使其通過網 眼尺寸為300(im的篩子，從而得到小於或等於300pm的聚集後的塊 體後，通過壓縮該粉末成型獲得電極。在這裡，在圖2中示出用平均粒徑為2pm的Zn粉製造電極時 的成型壓力與以JIS K 7194規定的四探針法測得的電極電阻之間的 關係，其中，該四探針法是在電極上沿直線放置4根針狀探針，在外 側的兩根探針間流過 一 定電流，並測定內側的兩根探針間產生的電位 差，而求出電阻。根據該圖可知，如果成型壓力增加則電極的電阻降低。在粉末的成型壓力低的情況下，電極中的粉末間的金屬結合較 少，因此電極的電阻高，隨著成型壓力的增加，粉末間的金屬結合增 加，因而電阻以指數函數下降。在這裡，對形成覆膜的電極電阻的條件進行說明。為了保持電極的前端與被加工物的間隔，通過在電極和被加工 物之間施加電壓，進行伺服動作以使檢測到的極間電壓大致恆定，從 而控制電極和被加工物之間的極間距，但如果電阻過大(例如大於或 等於4Q)，則由於電極在同樣的間距下，極間的電壓大幅下降，因 此會控制主軸使其下降，使電極前端接近被加工物，直至達到與極間 電壓相當的距離，從而使電極和被加工物發生碰撞。如果電極與被加工物接觸，則不能在其間施加電壓，不能產生 放電。艮P，電極的電阻大於的情況下，電極和被加工物之間無法進行伺服動作，不能產生放電。在圖3中示出分別改變由平均粒徑為2pm的Zn粉成型獲得的 壓粉體電極的電阻(如圖2所示通過改變成型壓力而改變電阻)，利 用各種電阻的電極進行放電錶面處理時，通過EDS (Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy)測得的覆膜表面的Zn含量 的關係。 —被加工物為碳鋼(S45C)，覆膜的形成條件是放電電流為8A, 放電時間為8iis，處理面積為2"6，處理時間為2分鐘。以200倍觀察覆膜表面區域，加速電壓為15kV，以此測定Zn 含量。EDS分析並不僅僅檢測覆膜的最表面，還包括一定程度的深 度(數pm)。因此，檢測出大量比表面的Zn覆膜更靠下的被加工 物S45C的成分、即Fe。如果覆膜即Zn的量增加，則Fe的量減少。這代表Zn覆膜厚度 增加及Zn堆積部分增加。如圖3所示，由電阻為0.002Q的電極形成的覆膜的Zn含量為 0.1wt%，電阻越大，Zn含量越大。此外，對於電阻小於0.002Q的電極，與電極的硬度高相同的原 理，形成覆膜的Zn難以從電極脫離，因此從電極向被加工物供給的 Zn量非常少，只能少量堆積Zn，甚至反而成為去除加工。艮P，為了形成Zn覆膜，必須使電極的電阻大於或等於0.002Q。由於反應膜即使是原子級的厚度也能發揮效果，因此即使是覆蓋被加工物最表層的Zn的量為0.1wt。/。的覆膜，也能夠抑制磨損。但 是，作為滑動面的反應膜有時會被磨損，因此對於較薄的Zn覆膜， 經過長時間覆膜的耐久性會降低。此外，國際公開WO2004/108990中利用陶瓷等混合電極形成的 覆膜的Zn的含量為0.1wt。/。左右，但因為在滑動面上存在除了 Zn以 外的物質，因而不能形成反應膜，會磨損對象材料。如上所述，使用Zn粉的壓粉體電極進行放電錶面處理的情況 下，通過製造為使該電極的電阻大於或等於0.002Q而小於或等於 4Q，可以在被加工物表面上形成能夠生成反應膜的Zn覆膜。如果使該形成有Zn、 Cr或Ni覆膜的滑動部在潤滑油中滑動， 則可以使該覆膜與潤滑油中含有的磷或硫反應，形成由磷化物或硫化 物組成的反應膜。在維氏硬度為IOOOHV程度的SCM420鋼上，使用0.02Q的電 極，在峰值電流為7A、放電時間為0.5ps的條件下形成Zn覆膜，針 對該Zn覆膜一邊以5cc/min滴下含有0.06 0.30wtM的S以及100 600ppm的P的潤滑油一邊進行滑動試驗。對象材料為經過淬火回火 的SKS-95鋼針，其前端的曲率半徑為18mm，硬度為HRC60 64。將該鋼針前端以5kgf載荷壓在覆膜上，以200cpm的周期進行 50mm往復滑動。其結果是，可以形成反應膜，與SCM420的研磨麵 相比摩擦係數可以增大10%左右，並且與未處理試樣相比還可以抑 制磨損量。對滑動試驗後的覆膜表面進行TOF-SIMS分析。其結果如圖4 所示。TOF-SIMS分析是如下分析方法，即，向試樣表面照射Ga+離子 而使試樣表面的元素的二次離子飛濺出，根據由二次離子的質量決定 的飛濺時間來確定元素，同時對離子數進行計數。該分析方法中，在 根據試樣表面繪出的圖象上生成具有與離子數對應的亮度的亮點，根 據亮度的高低和離子的數量確定元素的量。如圖所示，滑動面上可以觀察到Zn、 P、 S以及S03的分布，確 認了 ZnS及ZnS03的存在。覆膜、對象材料幾乎都未磨損，發揮了磷酸鋅、ZnS及ZnS03的反應膜具有的提高耐磨性等特性。在圖5中示出使用的電極，以峰值電流為5A、放電時間為0.5ps的條件形成在SCM上的覆膜的剖面照片和線分析結果。形成了作為被加工物主要成分的Fe朝向覆膜逐漸減少，覆膜的Zn朝向被加工物逐漸減少的混合層。可知這樣的放電錶面處理形成的覆膜不會從被加工物剝落。覆膜的膜厚包含擴散層在內為2pm左右。在邊界潤滑下的滑動面的摩擦係數及磨損量還受部件表面硬度 的影響。 一般是表面硬度越低摩擦係數越小。另外，如果被磨損材料與對象材料的硬度差較大，則由磨損造 成硬度小者受磨損。由於放電錶面處理形成的覆膜，隨著加工條件的改變，能夠實 現各種表面硬度，因此有利於覆膜的形成。可以形成反應膜的Zn及Ni，固體金屬的硬度小於或等於 100HV，因而如果堆積Zn或Ni厚度大於或等於0.1mm—的覆膜，則 覆膜表面的硬度只能成為等於或略大於Zn或Ni固體金屬的程度。如上所述，為了防止磨損，由於作為對象材料廣泛普及的鋼的 硬度大於或等於200HV,因此為了抑制磨損需要使部件的表面硬度 大於或等於200HV。下面，對為了防止磨損而提高覆膜表面硬度的技術進行說明。例如，如果使覆膜厚度變厚則覆膜的表面硬度如上所述變為作 為覆膜材質的那種金屬的硬度，但是如果該膜厚小於或等於10nm， 則不變為作為覆膜材質的那種金屬的硬度，而是隨覆膜形成過程的加 工條件變化而變化。因此，以下的例子是通過改變覆膜形成過程的加 工條件，調整覆膜的表面硬度。在圖6中示出以硬度為300HV左右的S45C作為被加工物，使 用電阻為0.02Q的Zn電極形成覆膜時，放電電流和放電時間(電荷 量)的乘積與試驗載荷為10gf時覆膜表面硬度的關係。為了通過放電使被加工物表面溫度充分上升，而延長處理時間。 電荷量越大則表面硬度越高。這可以認為是通過放電能量使加工液分解產生碳，該碳溶入熔融的被加工物表面，使表面的含碳量增加，從 而硬度增加。可以推斷電荷量越多，則碳的溶入量越多，從而使硬度越高。由於碳的沸點為4000K左右，最先開始析出，因此被加工物凝 固時表面為碳富集的狀態。因此，可以通過放電電流和放電時間的控制，調整覆膜表面的硬度。根據本實施方式，可以通過放電錶面處理形成以往難以形成覆 膜的Zn、 Sn、 Ni或Cr的覆膜，上述覆膜可以在含有硫或磷的潤滑 油環境下形成反應膜，形成高耐磨性的機械滑動面。此外，可以形成不會剝落、並具有各種硬度的Zn、 Sn、 Ni或 Cr覆膜。另外，通過調整放電電流和放電時間，可以控制覆膜的表面硬 度。由此可以成為與滑動的對象材料相同程度的硬度，因此兩部件都 不會磨損，可以提高部件的耐久性和可靠性。另外，通過使覆膜形成為覆膜的表面硬度低於對象材料，可以 降低覆膜表面的剪切性，使摩擦係數減小。以上，對Zn覆膜的例子進行了說明，但即使是Sn、 Ni及Cr 覆膜也能得到基本相同的效果。其中，對於Sn覆膜的例子進行簡單 的追加說明。針對Sn覆膜一邊以5cc/min滴下含有0.06 0.30wt。/。的 S以及100 600ppm的P的潤滑油一邊進行滑動試驗。對象材料是經 過淬火回火的SKS-95鋼針，其前端的曲率半徑為18mm，硬度為 HRC60 64。將該鋼針的前端以5kgf的載荷按壓在覆膜上，以200cpm的周 期進行50mm往復滑動。其結果，可以形成反應膜，與SCM420的 研磨麵相比摩擦係數可以增大10%左右，並且與未處理的試樣相比 還可以抑制磨損量。實施方式2實施方式1中，對通過放電條件改變覆膜表面硬度的方法進行了說明。本實施方式中，對通過改變被加工物的硬度，而改變覆膜表 面硬度的情況進行說明。如上所述可以形成反應膜的Zn或Sn、 Ni，固體金屬硬度小於 或等於100HV，如果堆積Zn或Sn、 Ni的厚度大於或等於O.lmm的 覆膜，則覆膜表面的硬度只能成為等於或略大於Zn或Sn、 Ni的固 體金屬的程度。但是，通過使覆膜的厚度小於或等於3pm，可以使覆膜的表面 硬度與被加工物的硬度密切相關，而不受覆膜的組成影響。在這裡，使用經過滲碳處理、滲氮處理、高頻感應加熱淬火、 電子束加熱淬火等而使表面硬度不同的鋼作為被加工物，在其上形成 厚度小於或等於3|nm的Zn或Sn、 Ni、 Cr的覆膜。在以煤油作為主要成分的加工油中，使用電阻為0.074Q的 60x16x2的Zn電極，在通過滲碳處理和回火而高硬度化至1000HV 程度的SCM420鋼上，使用峰值電流為5A、放電時間為0.5ps、放電 和放電間的休止間隔為(有時會由於下降動作或伺服控制的影 響，使處理中休止間隔變長)的脈衝放電，進行放電錶面處理，使每 lmmxlmm的單位面積的處理時間為0.6s。在這裡，處理時間與圖6的情況相比縮短了很多。這是因為如 果增加處理時間，則會由放電的熱量造成被加工物的表面溫度上升， 發生實施方式1所示的滲碳處理或覆膜厚度的增大等，而降低覆膜的 表面硬度。此外，如果每單位面積的處理時間小於0.6s，則不能充分形成 Zn覆膜，局部地露出被加工物表面。由於如果被加工物表面的露出 增加，則沒有形成Zn反應膜的區域的比例增加，因此與使整個表面 由Zn覆膜覆蓋的情況相比，發生磨損量增加等反應膜效果的降低。以上述條件形成的覆膜的表面粗糙度為Ra=0.2pm，在lOgf的 試驗載荷下測得的覆膜表面硬度為940HV,以加速電壓為15kV的 EDS測得的Zn含量為10.0wt%。另外，覆膜厚度為2pm左右，覆膜硬度幾乎沒有降低。覆膜的對象材料使用經過淬火回火的SKS-95鋼針，其硬度為HRC60 64、前端曲率半徑為18mm，一邊以5cc/min滴下含有0.06 0.30wt。/。的S以及100 600ppm的P的潤滑油一邊進行滑動試驗。將 該鋼針前端以5kgf的載荷按壓在覆膜上，以200cpm的周期進行 50mm往復運動。其結果，可以形成反應膜，與SCM420的研磨麵相 比摩擦係數可以增大10%左右，並且與未處理的試樣相比還可以抑 制磨損量。另外，使用電阻為0.074Q的60x16x2的Zn電極，在通過滲碳 處理和回火而高硬度化至IOOOHV程度的SCM420鋼上，使用峰值電 流為7A、放電時間為0.5iis、放電和放電間的休止間隔為2ps (有時 會由於下降動作或伺服控制的影響，使處理中休止間隔變長)的脈衝 放電，進行放電錶面處理，使每單位面積的處理時間為0.6s。以上述條件形成的覆膜的表面粗糙度為Ra=0.3pm，試驗載荷 為10gf時測得的覆膜的表面硬度為920HV，以加速電壓為15kV的 EDS測得的Zn含量為12.0wt%。另外，使用電阻為0.074Q的60x16x2的Zn電極，在通過滲碳 處理和回火而高硬度化至IOOOHV程度的SCM420鋼上，使用峰值電 流為IOA、放電時間為lps、放電和放電間的休止間隔為2)is (有時 會由於下降動作或伺服控制的影響，使處理中休止間隔變長)的脈衝 放電，進行放電錶面處理，使每單位面積的處理時間為0.6s。以上述條件形成的覆膜的表面粗糙度為Ra-0.8^im，試驗載荷 為10gf時測得的覆膜的表面硬度為900HV，以加速電壓為15kV的 EDS測得的Zn含量為12.0wt%。如果使峰值電流為12A，放電時間為2)is，則即使縮短處理時間， 覆膜表面的硬度也會降低至800HV。因此，為了利用被加工物的硬度，增大覆膜的表面硬度，使峰 值電流小於或等於10A、放電時間小於或等於lps是很重要的。另外， 由於如果峰值電流小於O.IA，放電時間小於0.1ps,則能量不足以使 從被加工物或電極脫離出的粒子熔融，不能通過放電錶面處理形成覆 膜，因此必須使放電條件大於上述條件。另外，在高硬度化至400HV程度的S45C上，以上述峰值電流小於或等於IOA，放電時間小於或等於l(as，放電與放電的間隔為2^s (有時會由下降動作或伺服控制的影響，使處理中休止間隔變長)， 每單位面積的處理時間為0.6s的放電條件，形成Zn覆膜。試驗載荷為10gf時，其表面硬度為約400HV。此外，在高硬度 化至600HV程度的S45C上，以上述放電條件形成Zn覆膜。試驗載 荷為10gf時，其表面硬度為580HV左右。此外，在通過水淬高硬度 化至800HV程度的S45C上，以上述放電條件形成Zn覆膜。試驗載 荷為10gf時，其表面硬度為77HV程度。另外，滲碳處理、滲氮處理、淬火等處理，硬度從表面向內部 逐漸降低。因此如果通過滲碳/滲氮/淬火等形成達到期望硬度的高硬 度覆膜，隨後在對表面進行研磨後的面上通過放電錶面處理形成Zn 覆膜，則可以形成具有期望硬度的Zn覆膜。本實施方式中，對鋼進行了說明，但即使是在固體金屬如鋁合 金或鉬合金上通過放電錶面處理形成Zn覆膜，也能實現具有與固體 金屬同樣程度硬度的Zn覆膜。 —艮口，根據本實施方式，可以在含有硫或磷的潤滑油環境下形成 反應膜，能夠形成不會剝落、且具有各種硬度的Zn、 Sn、 Ni或Cr 覆膜。此外，可以利用被加工物的硬度，形成固體金屬硬度低的Zn或 Ni的高硬度覆膜。因此，在被磨損材料和對象材料為相同材質的情況下，可以形 成覆膜而不用擔心硬度降低，兩部件都不會磨損，可以提高部件的耐 久性和可靠性。另外，如果使被處理物表面硬度略低於對象材料，則可以降低 表面的剪切性，減小摩擦係數。實施方式3在邊界潤滑區域，在利用減小摩擦係數、抑制磨損等反應膜的 特性的情況下，覆膜的表面粗糙度也很重要。如果表面粗糙度大，則有時會使局部表面壓力變大，潤滑油不能進入該部分，不能形成反應膜。為此，在本實施方式中，對形成反應膜時的滑動部件的表面粗 糙度進行探討。在以煤油為主要成分的加工油中，使用電阻為0.074Q的 60x16x2的電極，在作為被加工物的經淬火後的SCM420鋼上，使用 峰值電流為8A、放電時間為8ps、放電與放電的間隔為128ps的脈 衝放電，進行放電錶面處理，使每lmmxlmm的單位面積的處理時 間為5s。得到的覆膜的表面粗糙度為Ra=2.0pm。由於表面粗糙度越小 反應膜越容易形成，因此考慮實際使用情況優選Ra小於或等於 1.0,。另外，為了使Zn覆膜的膜厚或堆積量增加，有時使用大於上述 放電電流或放電時間的值形成覆膜，但是這種情況下，表面粗糙度增 大。對用於除去使表面粗糙度增加的主要原因、即通過放電錶面處 理形成的凸起部的放電加工除去方法進行說明。在除去工序中，使用與覆膜相同材質的固體金屬電極，使電極 的處理面平行地正對覆膜。這是由於如果不使用與覆膜相同材質的固體金屬電極，則有可 能使電極由於放電的熱量少量蒸發，而作為雜質混入覆膜中。例如，如果使用形雕放電加工中通常使用的Cu-W電極進行加 工，則會使W附著在覆膜表面。具體地說，電極使用Zn固體金屬電極，在峰值電流為8A、放 電時間為lps、放電與放電的間隔為8ps (有時會由下降動作或伺服 控制的影響，使處理中休止間隔變長)的加工條件下，相對於60x16 的Zn覆膜，使用處理面為16x2的Zn固體金屬電極，通過伺服動作 使電極和覆膜之間保持一定間隔，一邊使電極沿覆膜的60mm方向移 動一邊通過放電加工除去凸起使膜厚小於或等於5pm。利用以上的方法獲得的Zn覆膜的表面粗糙度為Ra二0.4pm，可 以在含有磷或硫的潤滑油環境下形成反應膜。 '此外，在除去工序中使用與覆膜相同尺寸(60x16)的電極的情況下，難以使電極和覆膜以數lim的精度平行相對，因此會僅在覆膜 和電極的距離近的部分上發生放電，使表面的加工質量產生波動。另外，加工剛剛開始後可以除去覆膜的凸起部，但是，如果進 一步繼續加工，則為了除去凸起部而產生的放電也會除去Zn固體金 屬電極的處理面，因此使Zn覆膜薄的部分與固體金屬電極部接近， 在該位置也產生放電，導致將原本膜厚適當(薄)的Zn覆膜除去。因此，如果使用比覆膜小的電極，即，如本實施方式所示，相 對於60"6的覆膜，使用2xl6的電極， 一邊進行伺服動作一邊移動 而進行加工，則由於始終在覆膜的最高處(凸起部)產生放電，因此 可以只除去Zn覆膜的凸起部，還可以使覆膜表面的加工質量均勻。此外，優選電極的移動速度大於或等於2mm/min。另外，作為除去凸起部的其他方法，可以對以上述條件形成的 Zn覆膜，使用研磨材料八1203或Si02，在轉數為180rpm、處理時間 為lhr的條件下進行滾磨。 —滾磨後的加工後的表面粗糙度為Ra=0.8pm，該粗糙度足以用 於形成反應膜。在本實施方式中，主要針對Zn進行了說明，但是作為可以與磷 或硫形成反應膜的物質除了 Zn之外還有Sn及Ni、 Cr等。這些電極的製造方法與上述相同，利用與Zn同樣的方法可以形 成表面粗糙度Ra小於或等於l.Opm的覆膜，可以通過上述方法使表 面粗糙度降低。根據本實施方式，可以形成如下Zn、 Sn、 Ni或Cr的覆膜，其 表面粗糙度Ra可以小於或等於l.Opm，能夠在含有硫或磷的潤滑油 環境下形成反應膜，不會剝落、並具有各種硬度。實施方式4在本實施方式中對其他覆膜處理方法進行說明，該方法中並不 是改變放電條件，而是改變電極材質，同樣能夠形成反應膜，並且可 以使表面硬度大於或等於200HV。實施方式1中，說明了利用僅包含Zn粉、Sn粉、Ni粉、Cr粉 的壓粉體電極形成覆膜的情況，但在本實施方式中，針對向上述Zn 粉、Ni粉、Cr粉中混合TiC、 Cr3C2、 WC等陶瓷粉末而形成的電極 進行說明。本實施方式中，作為混合TiC、 Cr3C2、 WC等陶瓷粉末的理由， 是為了改變覆膜的硬度。本實施方式中，向粒徑為2pm的Zn粉中，使粒徑為lpm的TiC 粉末的混合比例從2wt至20wt^變化而進行混合，使其通過網眼尺 寸為300pm的篩子後，通過擠壓成型製造多個60x16x2的電極，使 用這些製造好的電極，利用峰值電流為8A、放電時間為l)iis、放電 與放電的休止間隔為2ps (有時會由下降動作或伺服控制的影響，使 處理中休止間隔變長)的脈衝放電，經過充分的處理時間形成覆膜， 此時的覆膜硬度如圖7所示。上述條件下形成的覆膜的表面粗糙度Ra為0.4nm左右。另外， 作為被加工物，使用未經淬火及滲氮處理的S45C鋼的原材料(300HV 程度)。例如，利用混合了 5wtX的TiC的電極得到的覆膜的硬度，在試 驗載荷為10gf時是850HV程度，與S45C原材料相比，由於高硬度 的TiC的影響，使覆膜的表面硬度也增大了 550HV。另外，利用混合了 10wt^的TiC的電極得到的覆膜在試驗載荷 為10gf時的硬度，使300HV程度的S45C原材料的表面硬度提高至 1100HV程度。如果形成混合有TiC等陶瓷和可以形成反應膜的Zn或Ni的覆 膜，則可以形成具有各種硬度的覆膜。但是，如果TiC大於或等於20wt%，則存在於覆膜表面的TiC 增加，不能形成反應膜。另外，該覆膜表面硬度超過1500HV，與鋼 等通常使用的材質相比硬度過大，有時會導致磨損鋼等的普通部件。例如，對象材料使用經過淬火回火的硬度為HRC60 64的前端 曲率半徑為18mm的SKS-95鋼針， 一邊以5cc/min滴下含有 0.06 0.30wt。/。的S及100 600ppm的P的潤滑油一邊進行滑動試驗。將該鋼針前端以5kgf載荷按壓在覆膜上，以200cpm的周期進行 50mm往復移動。經過測定摩擦係數和磨損量，以TiC為10wtX為 界線，鋼針的磨損量急劇增加，此時的試驗載荷為10gf測得的覆膜 硬度大於1200HV。此外，由於TiC不形成反應膜，因此可以推斷鋼針與覆膜固體 接觸，高硬度的TiC磨損SKS鋼針。如果使TiC的混合量大於10wtX，則覆膜中含有的TiC量增加， 覆膜硬度變大，同時，TiC增加而導致不能形成反應膜。這樣的覆膜 會磨損對象材料。此外，代替Zn粉而在Sn粉、Ni粉、Cr粉中混入TiC的情況也 相同，另外，代替TiC而使用Cr3C2、 WC等陶瓷粉末，也能夠得到 同樣的試驗結果。因此，以在邊界潤滑區域使用反應膜的特性為目的 的情況下，在Zn粉、Sn粉、Ni粉、Cr粉中，混合的TiC、 Cr3C2、 WC等陶瓷粉末的比例小於或等於10wt。/。就足夠了。由於上述Zn粉及TiC粉末的粒徑，與放電痕跡相比非常小，因 此即使電極的粒徑不同也能夠形成陶瓷分布均勻的覆膜。因此，即使電極粒徑不同，覆膜硬度也不會受到混合比之外的 影響。下面，對本實施方式中用於製造放電錶面處理用電極的流程進 行說明。Zn及Sn的情況下使用平均粒徑小於或等於15pm的粉末，Cr 及Ni的情況下使用小於或等於4pm的粉末，將大於或等於90wt% 的上述粉末，和重量比小於或等於10wtX的平均粒徑為lnm左右的 TiC、 0:3(:2或WC等陶瓷粉末，放入圓筒容器，然後在其中充入體 積大於或等於粉末的2倍的高揮發性有機溶劑並密封，使該圓筒容器 旋轉數小時至數十小時，使Zn、 Sn、 Cr或Ni中任意一種粉末與陶 瓷粉末均勻混合。在這裡，由於混合時間過短的情況下，存在Zn粉沒有與陶瓷粉 末均勻混合，存在於覆膜上的TiC的濃度不均勻的問題，因此需要 持續混合大於或等於IO小時。混合結束後，通過放置一段時間，使混合粉末沉降在容器底部。然後，為了使該沉降的粉末不漂起，小心地將澄清液取出至其 它容器中，取出僅含有少量有機溶劑的混合粉末。隨後，將該混合粉末在真空爐或常溫環境下乾燥，使有機溶劑 揮發。 '使乾燥後的混合粉末通過網眼尺寸為100nm至300pm的篩子， 使聚集在一起的塊體分解。該網眼尺寸根據隨後工序中擠壓的成型性、和處理中脫落至電 極和被加工物之間時可以通過放電爆炸力粉碎的尺寸決定。然後，將過篩後的粉末放入模具，通過衝頭加載壓力進行衝壓， 使粉末緊固成為壓粉體。 'Zn粉及Ni粉的氧化膜較薄，可以利用衝壓壓力容易地破壞氧 化膜，使粉末和粉末金屬結合，但Cr的氧化膜不易破壞，成型性不 十分好。因此，如果'在粉末中以重量比為1%至10%的程度混入石蠟等 蠟，則可以使衝壓時向混合粉末內部的衝壓壓力的傳遞性變好，改善 成型性。擠壓成型的壓粉體，如果通過擠壓能夠得到規定的硬度，則可 以直接作為放電錶面處理用電極使用，但是強度不足的情況下，由於 不能產生放電，因此需要加熱使強度增加。另外，使用蠟的情況下，需要從壓粉體中除去蠟，因而加熱至 高於蠟的熔點的溫度而除去蠟。這樣得到放電錶面處理用電極。此外，使用Zn粉或Sn粉、Ni粉製造電極的情況下，僅通過衝 壓壓力就可以使粉末與粉末金屬結合，因此不加熱就能夠得到具有足 夠強度的電極。但是，利用Cr粉製造電極的情況下，由於僅僅通過衝壓則強度 不足，因此衝壓後需要在30(TC至50(TC進行熱處理。根據本實施方式，通過在Zn、 Sn、 Ni、 Cr等可以與磷或硫形成 反應膜的物質中混合陶瓷，即使不增大被加工物的硬度，也能夠使試驗載荷為10gf程度下覆膜表面的硬度大於或等於200HV。根據本實施方式，可以製造具有大於或等於0.002Q電阻的放電 表面處理用電極，並形成Zn覆膜。使用該電極，可以形成表面粗糙 度Ra小於或等於lpm、且表面硬度大於或等於200HV的Zn覆膜。 如果在含有磷或硫的潤滑油中使用具有該特性的覆膜，則可以形成反 應膜，基本不會磨損對象材料。工業實用性如上所述，基於本發明可以形成下述覆膜，其不會剝落且具有 高耐磨性，在含有磷或硫的潤滑油中能夠形成由磷化物或硫化物組成 的反應膜，因為上述覆膜可以形成為表面硬度不同的覆膜，因此特別 適用於邊界潤滑區域中的滑動部。
權利要求
1.一种放電錶面處理用電極，其用於下述放電錶面處理，在該放電錶面處理中，以將金屬粉末成型獲得的成型體、或對該成型體進行熱處理而獲得的成型體作為電極，使電極和被加工物之間產生脈衝狀放電，利用該放電的能量，在被加工物的表面形成電極材料的覆膜、或通過放電的能量使電極材料反應生成的物質的覆膜，其特徵在於，該放電錶面處理用電極含有大於或等於90wt％的Zn粉末或Sn粉末Ni粉末。
2. 根據權利要求1所述的放電錶面處理用電極，其特徵在於， 根據JIS K7194中規定的四探針法測得的電極表面電阻大於或等於0.002Q而小於或等於4Q。
3. 根據權利要求1或2所述的放電錶面處理用電極，其特徵在於，由Zn粉末或Sn粉末構成的電極，是由平均粒徑小於或等於 15pm的粉末構成的。
4. 根據權利要求1或2所述的放電錶面處理用電極，其特徵在於，由Ni粉末構成的電極，是由平均粒徑小於或等於4jim的粉末構成的。
5. 根據權利要求l至4中任意一項所述的放電錶面處理用電極， 其特徵在於，在Zn、 Sn或Ni粉末中，作為電極材料混合小於或等於10wt% 的TiC、 Cr3C2、 WC等陶瓷粉末。
6. —种放電錶面處理用電極，其用於下述放電錶面處理，在該 放電錶面處理中使電極和被加工物之間產生脈衝狀放電，利用該放電 的能量，在被加工物的表面形成電極材料的覆膜、或通過放電的能量 使電極材料反應生成的物質的覆膜，其特徵在於，該放電錶面處理用電極是將平均粒徑小於或等於15pm的Zn粉 末或Sn粉末成型獲得的成型體或者對該成型體進行熱處理而獲得的 成型體，根據JISK7194中規定的四探針法測得的電極表面電阻大於 或等於0.002Q而小於或等於4Q。
7. —种放電錶面處理用電極，其用於下述放電錶面處理，在該 放電錶面處理中，以將金屬粉末成型獲得的成型體、或對該成型體進 行熱處理而獲得的成型體作為電極，使電極和被加工物之間產生脈衝 狀放電，利用該放電的能量，在被加工物的表面形成電極材料的覆膜、 或通過放電的能量使電極材料反應生成的物質的覆膜，其特徵在於，該放電錶面處理用電極含有大於或等於90wt%的Cr粉末，根據 JISK7194中規定的四探針法測得的電極表面電阻大於或等於0.002Q 而小於或等於4Q。
8.根據權利要求7所述的放電錶面處理用電極，其用於下述放 電錶面處理，在該放電錶面處理中，以將金屬粉末成型獲得的成型體、 或對該成型體進行熱處理而獲得的成型體作為電極，使電極和被加工 物之間產生脈衝狀放電，利用該放電的能量，在被加工物的表面形成 電極材料的覆膜、或通過放電的能量使電極材料反應生成的物質的覆 膜，其特徵在於，該放電錶面處理用電極含有大於或等於90wtX的Cr粉末，同時 作為電極材料混合有小於或等於10wtX的TiC、 Cr3C2、 WC等陶瓷 粉末。
9. 一种放電錶面處理方法，其以將金屬粉末成型獲得的成型體、 或對該成型體進行熱處理而獲得的成型體作為電極，使電極和被加工 物之間產生脈衝狀放電，利用該放電的能量，在被加工物的表面形成 電極材料的覆膜、或通過放電的能量使電極材料反應生成的物質的覆 膜，其特徵在於，在含有大於或等於90wt。/。的Zn、 Sn、 Cr或Ni粉末的放電錶面 處理用電極和所述被加工物之間，使用峰值電流大於或等於1A而小 於或等於IOA、放電時間大於或等於O.lps而小於或等於lps的脈衝 放電進行放電錶面處理。
10. —种放電錶面處理方法，其以將金屬粉末成型獲得的成型 體、或對該成型體進行熱處理而獲得的成型體作為電極，使電極和被 加工物之間產生脈衝狀放電，利用該放電的能量，在被加工物的表面 形成電極材料的覆膜、或通過放電的能量使電極材料反應生成的物質 的覆膜，其特徵在於，金屬粉末由平均粒徑小於或等於15pm的Zn粉末構成，在根據 JIS K7194中規定的四探針法測得的電極表面電阻大於或等於0.002n 而小於或等於的Zn電極和被加工物之間，使用峰值電流大於或 等於1A而小於或等於IOA、放電時間大於或等於O.lps而小於或等 於lps的脈衝放電，在所述被加工物上進行放電錶面處理形成Zn覆 膜或Sn粉末，上述覆膜可以通過在含有磷或硫的潤滑油中與對象材 料相對滑動，與潤滑油中的磷或硫反應形成磷化物或硫化物而生成反 應膜。
11. 一种放電錶面處理方法，其是一種形成下述覆膜的覆膜形成 方法，該覆膜可以通過在含有磷或硫的潤滑油中與對象材料相對滑 動，與潤滑油中的磷或硫反應形成磷化物或硫化物而生成反應膜，其特徵在於，在該放電錶面處理方法中，以將大於或等於90wt^的Zn、 Sn 或Ni的金屬粉末成型獲得的成型體，或者對該成型體進行熱處理而 獲得的成型體作為電極，在該電極和被加工物之間產生脈衝狀放電， 通過該放電的能量，形成使電極成分即Zn、 Sn或Ni成分熔融在被 加工物材料中而生成的混合層。
12. 根據權利要求7至9中任意一項所述的放電錶面處理方法， 其特徵在於，在Zn金屬粉末、Sn金屬粉末、Cr金屬粉末或Ni金屬粉末中， 作為電極材料混合小於或等於10城％的TiC、 Cr3C2、 WC等陶瓷粉 末。
13. —种放電錶面處理方法，其是一種形成下述覆膜的覆膜形成 方法，該覆膜可以通過在含有磷或硫的潤滑油中與對象材料相對滑 動，與潤滑油中的磷或硫反應形成磷化物或硫化物而生成反應膜，其特徵在於，在該放電錶面處理方法中，以在大於或等於90wtX的Cr金屬粉 末中，作為電極材料混合小於或等於10wtX的TiC、 Cr3C2、 WC等 陶瓷粉末並進行成型而獲得的成型體，或者對該成型體進行熱處理而 獲得的成型體作為電極，在該電極和被加工物之間產生脈衝狀放電， 通過該放電的能量，形成使電極成分即Cr成分熔融在被加工物材料 中而生成的混合層。
14. 根據權利要求9至13中任意一項所述的放電錶面處理方法， 其特徵在於，使用由進行該放電錶面處理的電極的材質構成的金屬固體電 極，對放電錶面處理面進行放電，而除去該放電錶面處理的凸起。
15. 根據權利要求9至13中任意一項所述的放電錶面處理方法，其特徵在於，對放電錶面處理面進行研磨或噴丸處理，除去該放電錶面處理 面的凸起。
16. —种放電錶面處理方法，其以將金屬粉末成型獲得的成型 體、或對該成型體進行熱處理而獲得的成型體作為電極，使電極和被 加工物之間產生脈衝狀放電，利用該放電的能量，在被加工物的表面 形成電極材料的覆膜、或通過放電的能量使電極材料反應生成的物質 的覆膜，其特徵在於，具有下述工序在含有大於或等於90wt。/。的Zn、 Sn、 Cr或Ni粉末的放電錶面 處理用電極和所述被加工物之間，使用峰值電流大於或等於4A而小 於或等於12A、放電時間大於或等於2ps而小於或等於8ps的脈衝放 電進行放電錶面處理的工序；以及使用由進行該放電錶面處理的電極的材質構成的金屬固體電 極，對放電錶面處理面進行放電，或對放電錶面處理面進行研磨或噴 丸處理，而除去該放電錶面處理面的凸起的工序。
17. —種覆膜，其特徵在於，該覆膜是通過下述放電錶面處理形 成的，在該放電錶面處理中，以將大於或等於90wtX的Zn、 Sn、 Cr 或Ni粉末成型獲得的成型體，或者對該成型體進行熱處理而獲得的 成型體作為電極，在該電極和被加工物之間產生脈衝狀放電，通過該 放電的能量，形成使電極成分即Zn、 Sn或Ni成分熔融在被加工物 材料中而生成的混合層。
18. —種覆膜，其可以通過在含有磷或硫的潤滑油中與對象材料 相對滑動，與潤滑油中的磷或硫反應而形成磷化物或硫化物的反應 膜，其特徵在於，該覆膜是通過下述放電錶面處理形成的，在該放電錶面處理中，以將大於或等於卯wt^的Zn、 Sn或Ni粉末成型獲得的成型體，或 者對該成型體進行熱處理而獲得的成型體作為電極，在該電極和被加 工物之間產生脈衝狀放電，通過該放電的能量，形成使電極成分即 Zn、 Sn或Ni成分熔融在被加工物材料中而生成的混合層。
19. 一種覆膜，其特徵在於，該覆膜具有使Zn、 Sn、 Cr或Ni， 和所述被加工物熔融而形成的混合層，在含有磷或硫的潤滑油中對象 材料與覆膜相對滑動的環境中，存在於該混合層中的Zn、 Cr或Ni， 與所述潤滑油中的磷或硫反應而生成反應膜。
20. 根據權利要求17或19所述的覆膜，該覆膜是通過放電錶面 處理形成的，其特徵在於，表面硬度大於或等於200HV。
21. 根據權利要求17至20中任意一項所述的覆膜，該覆膜是通 過放電錶面處理形成的，其特徵在於，表面粗糙度Ra小於或等於lpm。
22. 根據權利要求17至21中任意一項所述的覆膜，該覆膜是通 過放電錶面處理形成的，其特徵在於，混合層的厚度小於或等於10pm。
23. —種覆膜，其特徵在於，該覆膜是通過下述放電錶面處理形 成的，在該放電錶面處理中，以將大於或等於90wt^的Cr粉末成型 獲得的成型體，或者對該成型體進行熱處理而獲得的成型體作為電 極，在該電極和被加工物之間產生脈衝狀放電，通過該放電的能量， 形成使電極成分即Cr成分熔融在被加工物材料中而生成的混合層， 該混合層滿足表面硬度大於或等於200HV，或者表面粗糙度Ra小於 或等於lpm，或者混合層的厚度小於或等於10pm。
24. —種覆膜形成方法，其特徵在於，具有下述工序在含有大於或等於90wt^的Zn、 Sn、 Cr或Ni粉末的放電錶面 處理用電極和所述被加工物之間，使用脈衝放電，形成使Zn、 Cr或 Ni，和所述被加工物熔融而生成的混合層的工序；以及通過使形成有該混合層的所述被加工物，在含有磷或硫的潤滑 油中與對象材料相對滑動，形成由存在於該混合層中的Zn、 Cr或 Ni與所述潤滑油中的磷或硫反應而生成反應膜的工序。
全文摘要
本發明提供放電錶面處理用電極、放電錶面處理方法以及覆膜。通過使用如下放電錶面處理用電極，可以形成不易剝落的Zn、Sn、Ni覆膜，上述覆膜能夠在含有磷或硫的潤滑油中生成由磷化物或硫化物組成的反應膜，其中，上述放電錶面處理用電極用於下述放電錶面處理，在該放電錶面處理中，以將金屬粉末成型獲得的成型體、或對該成型體進行熱處理而獲得的成型體作為電極，使電極和被加工物之間產生脈衝狀放電，利用該放電的能量，在被加工物的表面形成電極材料的覆膜、或通過放電的能量使電極材料反應生成的物質的覆膜，其特徵在於，該放電錶面處理用電極含有大於或等於90wt％的Zn粉、Sn粉或Ni粉。
文檔編號C23C14/34GK101278070SQ20068003608
公開日2008年10月1日 申請日期2006年9月29日 優先權日2005年9月30日
發明者後藤昭弘, 秋吉雅夫 申請人:三菱電機株式會社