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AMOLED背板結構的製作方法

2023-05-02 11:37:56 2


本發明涉及顯示技術領域,尤其涉及一種amoled背板結構。



背景技術:

在顯示技術領域,液晶顯示面板(liquidcrystaldisplay,lcd)與有機發光二極體顯示面板(organiclightemittingdiode,oled)等平板顯示裝置已經逐步取代陰極射線管(cathoderaytube,crt)顯示器。

其中,oled顯示面板具有自發光、驅動電壓低、發光效率高、響應時間短、清晰度與對比度高、近180°視角、使用溫度範圍寬、可實現柔性顯示與大面積全色顯示等諸多優點,而被廣泛地應用於智慧型手機、平板電腦、全彩電視等。

oled顯示面板按照驅動方式可以分為無源矩陣(passivematrix,pm)型和有源矩陣(activematrix,am)型兩大類,即直接尋址和薄膜電晶體(thinfilmtransistor,tft)矩陣尋址兩類。

不論是lcd顯示面板還是oled顯示面板均需要在相應的背板上設置柵極驅動電路來進行顯示驅動。如圖1所示,傳統的顯示面板是將集成了柵極驅動電路的柵極驅動晶片100邦定(bonding)在有效顯示區aa之外的面板的左右兩側,加大了面板左右邊框的寬度。

隨著顯示技術的發展,出現了代替傳統柵極驅動晶片的goa(gatedriveonarray)電路,將柵極驅動電路製作在薄膜電晶體陣列背板上,以實現逐行的掃描驅動。結合圖2與圖3,現有的顯示面板仍然將goa電路300布局於有效顯示區aa之外的面板的左右兩側,goa電路300中的薄膜電晶體t100與有效顯示區aa內的薄膜電晶體t200設計在同一水平面,雖然可以有效減少面板左右邊框的寬度,但是還存在1mm至3mm的邊框,無法做到進一步減窄面板邊框,不符合顯示面板超窄邊框甚至無邊框化的發展趨勢。



技術實現要素:

本發明的目的在於提供一種amoled背板結構,能夠顯著減小

amoled顯示面板左右邊框的寬度,有助於實現amoled顯示面板的無邊框化目標。

為實現上述目的,本發明提供一種amoled背板結構,包括有效顯示區,及設於所述有效顯示區下方被部分有效顯示區完全遮蓋的goa驅動電路;

所述goa驅動電路包括第一薄膜電晶體;所述有效顯示區內設有像素電路,所述像素電路包括第二薄膜電晶體;在goa驅動電路的所在區域,所述第二薄膜電晶體層疊在第一薄膜電晶體上。

所述goa驅動電路被有效顯示區的左、右兩側完全遮蓋;在有效顯示區的左、右兩側,所述第二薄膜電晶體層疊在第一薄膜電晶體上。

所述第一薄膜電晶體包括第一半導體溝道層、覆蓋所述第一半導體溝道層的第一柵極絕緣層、於所述第一半導體溝道層上方設於第一柵極絕緣層上的第一柵極、覆蓋所述第一柵極與第一柵極絕緣層的第一層間絕緣層、設於所述第一層間絕緣層上的第一源極與第一漏極、及覆蓋所述第一源極、第一漏極、與第一層間絕緣層的第一鈍化保護層;所述第一源極、第一漏極分別經由貫穿所述第一層間絕緣層與第一柵極絕緣層的第一過孔、第二過孔連接第一半導體溝道層的兩側;

所述第二薄膜電晶體包括設於所述第一鈍化保護層上的第二半導體溝道層、覆蓋所述第二半導體溝道層的第二柵極絕緣層、於所述第二半導體溝道層上方設於第二柵極絕緣層上的第二柵極、覆蓋所述第二柵極與第二柵極絕緣層的第二層間絕緣層、設於所述第二層間絕緣層上的第二源極與第二漏極、及覆蓋所述第二源極、第二漏極、與第二層間絕緣層的第二鈍化保護層;所述第二源極、第二漏極分別經由貫穿所述第二層間絕緣層與第二柵極絕緣層的第三過孔、第四過孔連接第二半導體溝道層的兩側。

所述第一半導體溝道層的材料為多晶矽,所述第二半導體溝道層的材料為金屬氧化物。

所述amoled背板結構還包括襯底基板、及覆蓋所述襯底基板的緩衝層,所述第一半導體溝道層設在所述緩衝層上。

所述第一柵極絕緣層、第一層間絕緣層、及第一鈍化保護層的材料均為氧化矽、氮化矽、或二者的層疊。

所述第一柵極、第一源極、與第一漏極的材料均為鉬、鈦、鋁、銅中的一種或幾種的層疊組合。

所述第二柵極絕緣層、第二層間絕緣層、及第二鈍化保護層的材料均為氧化矽、氮化矽、或二者的層疊。

所述第二柵極、第二源極、與第二漏極的材料均為鉬、鈦、鋁、銅中的一種或幾種的層疊組合。

所述襯底基板為玻璃基板,所述緩衝層的材料為氧化矽、氮化矽、或二者的層疊。

本發明的有益效果:本發明提供的一種amoled背板結構,在有效顯示區下方設置被部分有效顯示區完全遮蓋的goa驅動電路,且在goa驅動電路的所在區域,所述有效顯示區內像素電路的第二薄膜電晶體層疊在goa驅動電路的第一薄膜電晶體上,無需像現有技術那樣將goa驅動電路布局於有效顯示區之外的面板的左右兩側,從而能夠顯著減小amoled顯示面板左右邊框的寬度,有助於實現amoled顯示面板的無邊框化目標。

附圖說明

為了能更進一步了解本發明的特徵以及技術內容,請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖,然而附圖僅提供參考與說明用,並非用來對本發明加以限制。

附圖中,

圖1為傳統顯示面板將柵極驅動晶片邦定在有效顯示區之外的面板的左右兩側的示意圖;

圖2為現有的顯示面板將goa電路布局於有效顯示區之外的面板的左右兩側的示意圖;

圖3為對應於圖2中c-c處的剖面結構示意圖;

圖4為本發明的amoled背板結構的主視示意圖;

圖5為對應於圖4中d-d處的剖面結構示意圖。

具體實施方式

為更進一步闡述本發明所採取的技術手段及其效果,以下結合本發明的優選實施例及其附圖進行詳細描述。

請同時參閱圖4與圖5,本發明提供一種amoled背板結構,包括有效顯示區aa,及設於所述有效顯示區aa下方被部分有效顯示區aa完全遮蓋的goa驅動電路b,優選地,所述goa驅動電路b被有效顯示區aa的左、右兩側完全遮蓋。

所述goa驅動電路b與現有的goa驅動電路的構造無異,包括若干個第一薄膜電晶體t1,及若干條起連接及信號傳輸作用的金屬導線(未圖示)。所述有效顯示區aa內設有像素電路(未圖示),所述像素電路與現有的amoled像素驅動電路的構造無異,包括若干個第二薄膜電晶體t2及若干條起連接及信號傳輸作用的金屬導線(未圖示)。在goa驅動電路b的所在區域,即在有效顯示區aa的左、右兩側,所述第二薄膜電晶體t2層疊在第一薄膜電晶體t1上。

由於amoled能夠自發光,本發明中將goa驅動電路b設置於有效顯示區aa下方且被部分有效顯示區aa完全遮蓋,並不會影響到有效顯示區aa的正常發光顯示,有效顯示區aa也不會損失顯示畫質;反而因為goa驅動電路b被部分有效顯示區aa完全遮蓋,且在goa驅動電路b的所在區域,所述有效顯示區aa內像素電路的第二薄膜電晶體t2層疊在goa驅動電路b的第一薄膜電晶體t1上,無需像現有技術那樣將goa驅動電路布局於有效顯示區之外的面板的左右兩側,從而能夠顯著減小amoled顯示面板左右邊框的寬度,有助於實現amoled顯示面板的無邊框化目標。

具體地,所述第一薄膜電晶體t1包括第一半導體溝道層11、覆蓋所述第一半導體溝道層11的第一柵極絕緣層12、於所述第一半導體溝道層11上方設於第一柵極絕緣層12上的第一柵極13、覆蓋所述第一柵極13與第一柵極絕緣層12的第一層間絕緣層14、設於所述第一層間絕緣層14上的第一源極151與第一漏極152、及覆蓋所述第一源極151、第一漏極152、與第一層間絕緣層14的第一鈍化保護層16;所述第一源極151、第一漏極152分別經由貫穿所述第一層間絕緣層14與第一柵極絕緣層12的第一過孔v11、第二過孔v12連接第一半導體溝道層11的兩側。

所述第二薄膜電晶體t2包括設於所述第一鈍化保護層16上的第二半導體溝道層21、覆蓋所述第二半導體溝道層21的第二柵極絕緣層22、於所述第二半導體溝道層21上方設於第二柵極絕緣層22上的第二柵極23、覆蓋所述第二柵極23與第二柵極絕緣層22的第二層間絕緣層24、設於所述第二層間絕緣層24上的第二源極251與第二漏極252、及覆蓋所述第二源極251、第二漏極252、與第二層間絕緣層24的第二鈍化保護層26;所述第二源極251、第二漏極252分別經由貫穿所述第二層間絕緣層24與第二柵極絕緣層22的第三過孔v21、第四過孔v22連接第二半導體溝道層21的兩側。

所述amoled背板結構還包括襯底基板1、及覆蓋所述襯底基板1的緩衝層2,所述第一半導體溝道層11設在所述緩衝層2上。

進一步地,所述襯底基板優選玻璃基板,所述緩衝層2的材料為氧化矽(siox)、氮化矽(sinx)、或二者的層疊。

所述第一半導體溝道層11的材料為多晶矽(poly-si),優選為低溫多晶矽(ltps),所述第二半導體溝道層21的材料優選銦鎵鋅氧化物(indiumgalliumzincoxide,igzo)等金屬氧化物。

所述第一柵極絕緣層12、第一層間絕緣層14、及第一鈍化保護層16的材料均為siox、sinx、或二者的層疊。

所述第一柵極13、第一源極151、與第一漏極152的材料均為鉬(mo)、鈦(ti)、鋁(al)、銅(cu)中的一種或幾種的層疊組合。

所述第二柵極絕緣層22、第二層間絕緣層24、及第二鈍化保護層26的材料均為siox、sinx或二者的層疊。

所述第二柵極23、第二源極251、與第二漏極252的材料均為mo、ti、al、cu中的一種或幾種的層疊組合。

本發明的amoled背板結構搭配頂發射型的oled即可實現最佳的超窄邊框設計。此外,本發明的amoled背板結構也可為量子點發光二級管(quantumdotslightemittingdiode,qled)面板,甚至反射式的lcd或電子紙(e-paper)提供借鑑。

綜上所述,本發明的amoled背板結構,在有效顯示區下方設置被部分有效顯示區完全遮蓋的goa驅動電路,且在goa驅動電路的所在區域,所述有效顯示區內像素電路的第二薄膜電晶體層疊在goa驅動電路的第一薄膜電晶體上,無需像現有技術那樣將goa驅動電路布局於有效顯示區之外的面板的左右兩側,從而能夠顯著減小amoled顯示面板左右邊框的寬度,有助於實現amoled顯示面板的無邊框化目標。

以上所述,對於本領域的普通技術人員來說,可以根據本發明的技術方案和技術構思作出其他各種相應的改變和變形,而所有這些改變和變形都應屬於本發明的權利要求的保護範圍。

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