傳動機構及應用該傳動機構的鍍膜裝置的製作方法
2023-05-01 07:20:26 1
專利名稱：傳動機構及應用該傳動機構的鍍膜裝置的製作方法
技術領域：
本發明有關於ー種傳動機構及應用該傳動機構的鍍膜裝置，尤指ー種可以避免製作エ藝氣體所解離的活性物種汙染傳動元件，從而可增進鍍膜製作エ藝薄膜品質以及連續式鍍膜製作エ藝設備的可靠度的傳動機構及應用其的鍍膜裝置，。
背景技術：
光電產業的太陽電池(Solar cell)連續式(In-line type)薄膜生產方式是在串聯的真空腔內部以滾輪(Roller)等方式傳輸基板，具有成本與產能優勢，且於鍍膜製作エ藝成膜機制中，採用將基板放置於熱板(Hot plate)上的方式，通過熱接觸使基板獲得最佳的熱均勻性，可以提高鍍膜品質與膜厚均勻性。
請參閱圖I所示ー種現有鍍膜裝置的結構示意圖，該鍍膜裝置10主要包括一機架11，在該機架11上設有ー腔室12，該腔室12 ニ側設有多個傳動輪13，在該傳動輪13設有O型環131，該傳動輪13軸接於一傳動軸14，該傳動軸14裝設於旋轉磁性軸封元件(圖中未不出)，該傳動軸14連接一基板傳輸機構15,由該基板傳輸機構15驅動該傳動軸14及傳動輪13轉動，以帶動基板18移動，在該機架11設有一升降機構16，該升降機構16頂部設有ー熱板17，該熱板17設置於該腔室12內，該腔室12設有ー氣體噴灑頭19，製作エ藝氣體可經由氣體噴灑頭19噴入該腔室12內進行解離，為了實現在連續式鍍膜製作エ藝傳輸該基板18，以及將基板18置放於熱板17上等兩個目的，該傳動輪13必須具有伸縮的功能，然而，該腔室12中的製作エ藝氣體ー經解離為活性物種191後，不僅會通過流場的帶動於基板18上進行薄膜沉積，同時，也會擴散到該腔室12整個內部，此時，傳動元件如旋轉磁性軸封元件等若無妥善遮蔽或防護，則隨著鍍膜時間增長，活性物種191逐漸在接觸表面反應沉積，容易造成傳動元件的異常，例如旋轉磁性軸封元件的軸承運轉不順，因而增加設備維護的頻率次數與更換元件成本，同時，活性物種191也會在傳動輪13的O型環131表面成長脆弱的膜層，在傳輸基板過程中剝落產生小脆片，造成製作エ藝汙染並影響鍍膜製作エ藝薄膜品質。針對上述缺失，鍍膜製作エ藝相關技術領域人士提出不同的改善方案，例如美國專利公開號US2010/0016136A1「COVER FOR A ROLLER」，請參閱圖2及圖3所示，該案提出ー種滾輪遮蓋的技術，其利用傳動滾輪I向後退縮進入一容置件6的同時，該傳動滾輪I可觸動ー撥杆3，並帶動該遮蓋2以樞軸4為中心轉動並遮住該容置件6的出口，同時可將該傳動滾輪I以及設置於該傳動滾輪I的O型環5封閉於該容置件6內，以避免活性物種進入沉積於傳動滾輪I的O型環5，然而，該現有專利設置的活動機構暴露於腔室中接觸活性物種，例如該樞軸4及遮蓋2等，易因為被活性物種沉積，造成活動機構動作失效或因遮蓋元件運動產生剝落的粉塵而汙染製作エ藝的疑慮。
發明內容
有鑑於現有技術的缺失，本發明的目的在於提出一種傳動機構及應用其的鍍膜裝置，在鍍膜製作エ藝的薄膜沉積的過程中，可以避免製作エ藝氣體所解離的活性物種汙染包括軸承、傳動輪上的O型環等傳動元件,且活動機構不接觸活性物種，使得連續式(in-line)鍍膜製作エ藝包括CVD、PECVD以及PVD中，傳動輪傳輸基板時保持確切良好的運行，不僅可以降低鍍膜設備更換及維護傳動元件的頻率次數，使鍍膜設備稼動率提高，也可以消除由於傳動輪上的O型環被活性物種沉積附著，導致傳動輪O型環與基板接觸進行傳輸時，碎片剝落產生粉塵，造成鍍膜腔體以及基板表面汙染的問題，從而增進鍍膜製作エ藝薄膜品質以及連續式鍍膜製作エ藝設備的可靠度。為達到上述目的，本發明提出ー種傳動機構，包含ー轉軸，該轉軸沿其軸心具有一呈錐形的軸向端部，該錐形軸向端部具有至少ー錐面；一傳動輪，該傳動輪沿其軸心具有相対的一第一軸向端部以及ー第二軸向端部，該傳動輪的第一軸向端部設有ー軸孔，該轉軸的錐形軸向端部同軸穿設於該軸孔內，該轉軸與該傳動輪之間設有至少ー連接結構，使該傳動輪可與該轉軸同步轉動，且該傳動輪可 與該轉軸作平行於該傳動輪的軸心方向的相對運動；多個滑件，每ー該滑件具有相対的一第一端部以及ー第二端部，該滑件的該第一端部及該第二端部之間延伸形成一軸心線，該多個滑件的軸心線以該傳動輪的軸心為中心且沿著該傳動輪的徑向呈放射狀設置於該傳動輪，該滑件的第一端部朝向該傳動輪的軸心且外露於該傳動輪的軸孔內，該滑件的第二端部外露於該傳動輪的外周緣；一第一弾性件，設置於該傳動輪內且圍繞套設於該多個滑件的該第二端部的外圍；一第二弾性件，相對於該第一弾性件往該第一軸向端部的方向而套設於該傳動輪的外周緣；以及一封套元件，用以容置上述該轉軸、該傳動輪、該多個滑件、該第一弾性件以及該第二弾性件，該封套元件具有ー開ロ，該傳動輪的第二軸向端部外露於該開ロ，該傳動輪與該轉軸相對運動吋，該多個滑件的第一端部可與該轉軸的錐形軸向端部相對運動，並驅動該多個滑件沿著該傳動輪的徑向滑移，進而改變該第一弾性件的外徑尺寸，通過該第一彈性件使該封套元件的開ロ形成開放或封閉狀態。為達到上述目的，本發明又提出一種鍍膜裝置，包含一腔室，用以提供製作エ藝氣體於其內解離為活性物種；—傳動機構，對稱設置於該腔室內相對兩側，該傳動機構用以傳輸至少一基板，且上述該活性物種於該基板表面進行薄膜沉積，該傳動機構包括ー轉軸，該轉軸沿其軸心具有一呈錐形的軸向端部，該錐形軸向端部具有至少ー錐面；一傳動輪，該傳動輪沿其軸心具有相対的一第一軸向端部以及ー第二軸向端部，該傳動輪的第一軸向端部設有ー軸孔，該轉軸的錐形軸向端部同軸穿設於該軸孔內，該轉軸與該傳動輪之間設有至少ー連接結構，使該傳動輪可與該轉軸同步轉動，且該傳動輪可與該轉軸作平行於該傳動輪的軸心方向的相對運動；多個滑件，每ー該滑件具有相対的一第一端部以及ー第二端部，該滑件的該第一端部及該第二端部之間延伸形成一軸心線，該多個滑件的軸心線以該傳動輪的軸心為中心且沿著該傳動輪的徑向呈放射狀設置於該傳動輪，該滑件的第一端部朝向該傳動輪的軸心且外露於該傳動輪的軸孔內，該滑件的第二端部外露於該傳動輪的外周緣；一第一弾性件，設置於該傳動輪內且圍繞套設於該多個滑件的該第二端部的外圍；一第二弾性件，相對於該第一弾性件往該第一軸向端部的方向而套設於該傳動輪的外周緣；以及一封套元件，用以容置上述該轉軸、該傳動輪、該多個滑件、該第一弾性件以及該第二弾性件，該封套元件具有ー開ロ，該傳動輪的第二軸向端部外露於該開ロ，該傳動輪與該轉軸相對運動吋，該多個滑件的第一端部可與該轉軸的錐形軸向端部相對運動，並驅動該多個滑件沿著該傳動輪的徑向滑移，進而改變該第一弾性件的外徑尺寸，通過該第一彈性件使該封套元件的開ロ形成開放或封閉狀態。為使貴審查委員對於本發明的結構目的和功效有更進ー步的了解與認同，茲配合 圖示詳細說明如後。
圖I是現有鍍膜裝置的結構示意圖；圖2及圖3是美國專利公開號US2010/0016136A1「COVER FOR A ROLLER」的結構示意圖；圖4是本發明鍍膜裝置的結構示意圖；圖5是本發明的傳動機構位於第一位置時的剖面結構不意圖；圖6是圖5的A-A剖面結構示意圖。(圖6是顯示完整軸斷面結構)；圖7是本發明的傳動輪與滑件配合的結構示意圖；圖8是本發明的傳動輪位於第二位置時的剖面結構示意圖；圖9是圖8的B-B剖面結構示意圖。(圖9是顯示完整軸斷面結構)；圖10是本發明傳動機構的傳動輪位於第二位置時的鍍膜裝置的結構示意圖。主要元件符號說明
背景技術：
傳動滾輪2-遮蓋3-撥杆4-樞軸5-0 型環6-容置件10-現有鍍膜裝置Iト機架12-腔室13-傳動輪14-傳動軸15-基板傳輸機構
16-升降機構17-熱板18-基板19-氣體噴灑頭191-活性物種本發明 100-鍍膜裝置20-腔室30-氣體噴灑頭(Shower Head)3ト活性物種40-機架50-升降機構51-熱板(Hot plate)60-傳動機構61-轉軸611-錐形軸向端部612-錐面613-凹槽62-傳動輪621-第一軸向端部622-第二軸向端部623-軸孔624-凸鍵625-第一溝槽626-導孔6261-導孔的第一軸向端部6262-導孔的第二軸向端部627-第二溝槽63-滑件631-支撐部632-導柱6321-導柱的第一端部6322-導柱的第二端部64-第一彈性件65-第二彈性件66-封套元件661-開ロ662-內側壁67-基板
70-第一驅動裝置80-第二驅動裝置C-軸心D-深度LI-傳動輪的長度L2-凹槽的長度L3-凸鍵的長度W1、W3_第一彈性件的外圍尺寸
W2-第二彈性件的外圍尺寸
具體實施例方式以下將參照隨附的附圖來描述本發明為達成目的所使用的技術手段與功效，而以下附圖所列舉的實施例僅為輔助說明，以利貴審查委員了解，但本案的技術手段並不限於所列舉附圖。請參閱圖4所示，本發明所提供的鍍膜裝置100，其包含一腔室20，該腔室20內設有ー氣體噴灑頭(Shower Head) 30，該氣體噴灑頭30可將製作エ藝氣體引入該腔室20內，該製作エ藝氣體可在該腔室20內進行反應並解離為活性物種31，該腔室20設置於一機架40上，在該機架40設有一升降機構50，該升降機構50頂部設有ー熱板(Hot plate) 51，該熱板51設置位於該腔室20內，在該腔室20內部的相對兩側對稱設置有多個傳動機構60。請參閱圖4至圖6所不，該傳動機構60主要包括一轉軸61、一傳動輪62、多個滑件63、一第一弾性件64、一第二弾性件65以及一封套元件66。該轉軸61呈圓柱形，其具有ー軸心C，該轉軸61沿其軸心C具有一呈錐形的軸向端部611，該錐形軸向端部611具有至少ー錐面612，該轉軸61連接ー第一驅動裝置70 (如圖4所示)，該第一驅動裝置70用以同時驅動兩側該轉軸61轉動，該第一驅動裝置70的形式不限，例如可為馬達及皮帶構成的驅動裝置。該傳動輪62呈圓柱形，該傳動輪62與該轉軸61同軸設置，因此，該傳動輪62的軸心相當於該轉軸61的軸心C，該傳動輪62沿其軸心C的方向具有ー長度LI，且該傳動輪62沿其軸心C的方向具有相対的一第一軸向端部621以及ー第二軸向端部622，該傳動輪62的第一軸向端部621設有ー軸孔623,該軸孔623的深度D小於該傳動輪62的長度LI,亦即該軸孔623不貫穿該第二軸向端部622，該轉軸61的錐形軸向端部611同軸穿設於該軸孔623內，該傳動輪62連接ー第二驅動裝置80 (如圖4所示)，該第二驅動裝置80用以驅動該傳動輪62平行於該傳動輪62的軸心C的方向於ー第一位置與一第二位置間往復移動，圖5顯示該傳動輪62位於第一位置的狀態(此時可進行基板67的傳輸)，圖8顯示該傳動輪62位於第二位置，該第二驅動裝置80的形式不限，例如可採用圖示的氣壓缸裝置，也可採用液壓缸裝置驅動。在該轉軸61與該傳動輪62之間設有至少ー連接結構，如圖5所示實施例，該連接結構在此實施例中由ー凹槽613以及ー凸鍵624構成，該凹槽613設置於該轉軸61，該凹槽613具有ー長度L2，該凹槽613的長度L2的延伸方向平行於該轉軸61的軸心C的方向，該凸鍵624設置於該傳動輪62的軸孔623內相對於該凹槽613的位置，該凸鍵624具有ー長度L3，該凸鍵624的長度L3的延伸方向平行於該傳動輪62的軸心C的方向，且該凸鍵624的長度L3小於該凹槽613的長度L2，該凸鍵624嵌設於該凹槽613內，通過上述該凹槽613及凸鍵624所構成的連接結構,可使該轉軸61與該傳動輪62構成連接關係，當該第一驅動裝置70驅動該轉軸61轉動時,該傳動輪62可同步轉動，當該第二驅動裝置80驅動該傳動輪62平行於該傳動輪62的軸心C的方向，於第一位置(圖5所示位置)及第二位置(圖8所示位置)之間往復移動時，該凸鍵624分別位於凹槽613的兩端，該凹槽613不僅可保持該傳動輪62移動時的穩定性，同時對該傳動輪62的移動行程具有限位作用。但必須注意的是，該傳動輪62可轉動，且該傳動輪62可與該轉軸61作平行於該軸心C的方向的相對運動，上述該凹槽613及凸鍵624構成的連接結構，僅為可達成上述目的的實施例結構而己，該凹槽613及凸鍵624也可分別設計於傳動輪62與轉軸61上，但仍符合前述的連動結構對應關係，該凹槽613及凸鍵624的數量及形狀也沒有一定限制，可視實際需要而設計。請參閱圖5至圖7所示，本發明該傳動輪62設有ー第一溝槽625以及多個導孔626，該第一溝槽625以該傳動輪62的軸心C為中心環繞設置該傳動輪62的周緣，該多個導孔626沿著該傳動輪62的徑向，且以該傳動輪62的軸心C為中心呈放射狀設置，該多個 導孔626等角度設置,姆ー該導孔626具有相對的ー第一軸向端部6261以及ー第二軸向端部6262,該導孔626的第一軸向端部6261與該軸孔623相連通,該導孔626的第二軸向端部6262與該第一溝槽625相連通。本發明的一實施例中，每ー該滑件63由一支撐部631以及ー導柱632構成，該導柱632沿其軸心具有相對的ー第一端部6321以及ー第二端部6322,該支撐部631設置於該導柱632的第二端部6322，本實施例中，該支撐部631呈圓弧狀，該導柱632的第二端部6322設置於該支撐部631中央位置，使該滑件63呈」 T」字型態樣，該導柱632設置於該導孔626內，且該支撐部631位於該第一溝槽625內，本實施例設有八個該導孔626,該滑件63的數目與該導孔626的數目相同，且該每一滑件63的形狀相同，該導柱632的第一端部6321做為滑件63的第一端部，該支撐部631則為滑件63的第二端部，該滑件63的第一端部及該第二端部之間延伸形成一軸心線，該軸心線亦即該導柱632的軸心，由於該多個導孔626沿著該傳動輪62的徑向，且以該傳動輪62的軸心C為中心呈放射狀設置，因此，將該多個滑件63 —一設置於該導孔626後，該多個滑件63的軸心線也以該傳動輪62的軸心C為中心且沿著該傳動輪62的徑向呈放射狀設置於該傳動輪62，該滑件63的第一端部(亦即該導柱632的第一端部6321)朝向該傳動輪62的軸心C且外露於該傳動輪62的軸孔623內，該滑件63的第二端部(亦即該支撐部631)外露於該傳動輪62的外周緣，該第一弾性件64設置於該傳動輪62的第一溝槽625內且圈套於該多個滑件63的外國。請參閱圖5及圖6所示，該第一弾性件64圍繞套設於該多個滑件63的支撐部631的外圍，該第二弾性件65套設於該傳動輪62上，且相對於該第一弾性件64往該轉軸61的方向的ー處外周緣，例如圖5所示的第二溝槽627的位置，該第二溝槽627用以容置第二彈性件65,該第二彈性件65與該第一彈性件64同心設置,且該第二彈性件65靠近該傳動輪62的該第一軸向端部621，該第一弾性件64及第ニ弾性件65可採用O型環，該第一弾性件64及第ニ弾性件65具有可弾性擴張及收縮的特性。該封套元件66用以容置上述該轉軸61、該傳動輪62、該多個滑件63、該第一彈性件64以及該第二彈性件65,該封套兀件66具有一開ロ 661,圖5顯不該傳動輪62位於第一位置，該傳動輪62的第二軸向端622部外露於該開ロ 661且凸伸於該開ロ 661外一段長度,該第一彈性件64及第ニ彈性件65外露於該封套元件66タト，該滑件63的該導柱632的第一端部6321與該轉軸61的錐形軸向端部611的錐面612分離，通過該第一弾性件64的弾性緊束於該多個滑件63タト，可使該多個導柱632於所設置的導孔626內朝向該傳動輪62的軸心C移動且定位,此時,該第一彈性件64的外圍尺寸Wl小於該第二弾性件65的外圍尺寸W2，亦即該第二弾性件65較突出於該傳動輪62外表面，因此可由該第二彈性件65承載基板67,且該傳動輪62轉動時，即可傳輸該基板67移動,如圖4所不,該基板67由對稱設置的傳動機構60運輸移動於該腔室20內。請參閱圖8至圖10，當該傳動輪62位於第二位置，亦即該傳動輪62退回該封套元件66內，該滑件63的第一端部(亦即該導柱632的第一端部6321)朝向該轉軸61的錐形 軸向端部611移動，當該滑件63與該錐面612接觸時，該錐面612可推動該多個滑件63，使該多個滑件63沿著該傳動輪62的徑向向外滑移，該多個滑件63的支撐部631將該第一弾性件64撐開，使該第一弾性件64的外圍尺寸擴大，該第一弾性件64被夾設於該支撐部631與該封套元件66的內側壁662之間，如此，即可使該封套元件66的開ロ 661形呈封閉狀態，同時，該第一弾性件64的外圍尺寸W3大於該第二彈性件65的外圍尺寸W2，必須說明的是，為使該第一彈性件64均勻擴張並與該封套元件66的內側壁662密合。請參閱圖10所示，該基板67設置於熱板51上加溫，該腔室20內雖然瀰漫著活性物種31，但由於該該封套元件66的開ロ 661呈現封閉狀態，因此可以避免活性物種31侵入該傳動機構60內。比對圖6及圖9可知，該傳動輪62於第一位置(如圖6所示)及第二位置(如圖9所示)往復滑移吋，該多個滑件63的第一端部(亦即該導柱632的第一端部6321)可與該轉軸61的錐形軸向端部611相對運動，滑件63通過該錐面612推動徑嚮往復滑移，進而可改變該第一弾性件64的外徑尺寸，通過該第一弾性件64及傳動輪62即可使該封套元件66的開ロ 661形呈開放(如圖6所示)或封閉(如圖9所示)狀態。綜上所述，本發明提供的傳動機構及應用其的鍍膜裝置，在鍍膜製作エ藝的薄膜沉積的過程中，可以避免製作エ藝氣體所解離的活性物種汙染包括軸承、傳動輪上的O型環等傳動元件，且活動機構不接觸活性物種，使得連續式(in-line)鍍膜製作エ藝包括CVD,PECVD以及PVD中，傳動輪傳輸基板時保持確切良好的運行，不僅可以降低鍍膜設備更換及維護傳動元件的頻率次數，使鍍膜設備稼動率提高，也可以消除由於傳動輪上的O型環被活性物種沉積附著，導致傳動輪O型環與基板接觸進行傳輸時，碎片剝落產生粉塵，造成鍍膜腔體以及基板表面汙染的問題，從而增進鍍膜製作エ藝薄膜品質以及連續式鍍膜製作エ藝設備的可靠度。以上所述的僅為本發明的實施例而已，不能以之限定本發明所實施的範圍。即凡依本發明權利要求所作的均等變化與修飾，皆應仍屬於本發明專利涵蓋的範圍內。
權利要求
1.ー種傳動機構,包含 轉軸，該轉軸沿其軸心具有一呈錐形的軸向端部，該錐形軸向端部具有至少ー錐面； 傳動輪，該傳動輪沿其軸心具有相対的一第一軸向端部以及ー第二軸向端部，該傳動輪的第一軸向端部設有ー軸孔，該轉軸的錐形軸向端部同軸穿設於該軸孔內，該轉軸與該傳動輪之間設有至少ー連接結構，使該傳動輪可與該轉軸同步轉動，且該傳動輪可與該轉軸作平行於該傳動輪的軸心方向的相對運動； 多個滑件，每ー該滑件具有相対的一第一端部以及ー第二端部，該滑件的該第一端部及該第二端部之間延伸形成一軸心線，該多個滑件的軸心線以該傳動輪的軸心為中心且沿著該傳動輪的徑向呈放射狀設置於該傳動輪，該滑件的第一端部朝向該傳動輪的軸心且外露於該傳動輪的軸孔內，該滑件的第二端部外露於該傳動輪的外周緣； 第一弾性件，設置於該傳動輪內且圍繞套設於該多個滑件的該第二端部的外圍； 第二弾性件，相對於該第一弾性件往該第一軸向端部的方向而套設於該傳動輪的外周緣；以及 封套元件，用以容置上述該轉軸、該傳動輪、該多個滑件、該第一弾性件以及該第二彈性件，該封套元件具有ー開ロ，該傳動輪的第二軸向端部外露於該開ロ，該傳動輪與該轉軸相對運動吋，該多個滑件的第一端部可與該轉軸的錐形軸向端部相對運動，並驅動該多個滑件沿著該傳動輪的徑向滑移，進而改變該第一弾性件的外徑尺寸，通過該第一弾性件使該封套元件的開ロ形成開放或封閉狀態。
2.如權利要求I所述的傳動機構，其中 該傳動輪設有第一溝槽以及多個導孔，該第一溝槽以該傳動輪的軸心為中心環繞設置該傳動輪的周緣，該第一弾性件設置於該傳動輪的第一溝槽內，該多個導孔沿著該傳動輪的徑向，且以該傳動輪的軸心為中心呈放射狀設置，每ー該導孔具有相対的一第一軸向端部以及ー第二軸向端部，該導孔的第一軸向端部與該軸孔相連通，該導孔的第二軸向端部與該第一溝槽相連通；以及 每ー該滑件由一支撐部以及一導柱構成，該導柱設置於該導孔內，該導柱的軸心是該滑件的軸心線，該導柱沿其軸心具有相対的一第一軸向端部以及ー第二軸向端部，該支撐部設置於該導柱的第二軸向端部，且該支撐部位於該第一溝槽內，該導柱的第一軸向端部是該滑件的第一端部，該支撐部是該滑件的第二端部。
3.如權利要求2所述的傳動機構，其中每ー該支撐部呈圓弧狀，該傳動輪與該轉軸的該相對運動為該傳動輪平行於該傳動輪的軸心方向於ー第一位置與一第二位置間往復移動，該傳動輪位於該第二位置吋，該多個滑件的支撐部的外圍弧度圍設形成ー圓環形。
4.如權利要求2所述的傳動機構，其中該多個導孔是等角度設置，該滑件的數目與該導孔的數目相同，且該每一滑件的形狀相同。
5.如權利要求I所述的傳動機構，其中該連接結構包括 至少ー凹槽，設置於該轉軸，該凹槽具有ー長度，該凹槽的長度的延伸方向平行於該轉軸的軸心方向； 至少ー凸鍵，設置於該傳動輪的軸孔內相對於該凹槽的位置，該凸鍵具有ー長度，該凸鍵的長度的延伸方向平行於該傳動輪的軸心方向，且該凸鍵的長度小於該凹槽的長度，該凸鍵嵌設於該凹槽內。
6.如權利要求I所述的傳動機構，其中該轉軸的錐形軸向端部是ー圓錐形。
7.如權利要求I所述的傳動機構，其中該第二弾性件與該第一弾性件是同心設置。
8.如權利要求I所述的傳動機構，其中該第一弾性件及第ニ弾性件是O型環。
9.如權利要求I所述的傳動機構，其中該傳動輪沿其軸心方向具有ー長度，該軸孔的深度小於該傳動輪的長度。
10.如權利要求I所述的傳動機構，其中該轉軸連接ー第一驅動裝置，該第一驅動裝置用以驅動該轉軸轉動，該傳動輪連接一第二驅動裝置，該第二驅動裝置用以驅動該傳動輪做平行於該傳動輪的軸心方向的往復移動。
11.一種鍍膜裝置，包含 腔室，用以提供製作エ藝氣體在其內解離為活性物種； 多個傳動機構，對稱設置於該腔室內部的相對兩側，該傳動機構用以傳輸至少一基板，且上述該活性物種於該基板表面進行薄膜沉積，該傳動機構包括 轉軸，該轉軸沿其軸心具有一呈錐形的軸向端部，該錐形軸向端部具有至少ー錐面； 傳動輪，該傳動輪沿其軸心具有相対的一第一軸向端部以及ー第二軸向端部，該傳動輪的第一軸向端部設有ー軸孔，該轉軸的錐形軸向端部同軸穿設於該軸孔內，該轉軸與該傳動輪之間設有至少ー連接結構，使該傳動輪可與該轉軸同步轉動，且該傳動輪可與該轉軸作平行於該傳動輪的軸心方向的相對運動； 多個滑件，每ー該滑件具有相対的一第一端部以及ー第二端部，該滑件的該第一端部及該第二端部之間延伸形成一軸心線，該多個滑件的軸心線以該傳動輪的軸心為中心且沿著該傳動輪的徑向呈放射狀設置於該傳動輪，該滑件的第一端部朝向該傳動輪的軸心且外露於該傳動輪的軸孔內，該滑件的第二端部外露於該傳動輪的外周緣； 第一弾性件，設置於該傳動輪內且圍繞套設於該多個滑件的該第二端部的外圍； 第二弾性件，相對於該第一弾性件往該第一軸向端部的方向而套設於該傳動輪的外周緣；以及 封套元件，用以容置上述該轉軸、該傳動輪、該多個滑件、該第一弾性件以及該第二彈性件，該封套元件具有ー開ロ，該傳動輪的第二軸向端部外露於該開ロ，該傳動輪與該轉軸相對運動吋，該多個滑件的第一端部可與該轉軸的錐形軸向端部相對運動，並驅動該多個滑件沿著該傳動輪的徑向滑移，進而改變該第一弾性件的外徑尺寸，通過該第一弾性件使該封套元件的開ロ形成開放或封閉狀態。
全文摘要
本發明公開一種傳動機構及應用其的鍍膜裝置，鍍膜裝置包含腔室提供活性物種，在腔室內對稱設有多個傳動機構，傳動機構包括轉軸、傳動輪、多個滑件、第一彈性件、第二彈性件及封套元件，轉軸具有錐形軸向端部，傳動輪具有軸孔，轉軸的錐形軸向端部同軸穿設於軸孔，多個滑件以傳動輪軸心為中心沿傳動輪徑向放射狀設置於傳動輪，第一彈性件套設於多個滑件外，第二彈性件相對於該第一彈性件往該第一軸向端部的方向而套設於傳動輪外，封套元件具有開口；傳動輪往復移動時，可驅動滑件沿傳動輪徑向滑移，進而改變第一彈性件外徑尺寸，使封套元件開口形成開放或封閉狀態。
文檔編號C23C16/54GK102691054SQ201110100180
公開日2012年9月26日 申請日期2011年4月21日 優先權日2011年3月22日
發明者何榮振, 杜陳忠, 梁沐旺, 江銘通, 沈添沐, 陳冠州 申請人:財團法人工業技術研究院