一種具有柔性關節的容器的製造方法
2023-11-05 18:43:07 2
一種具有柔性關節的容器的製造方法
【專利摘要】本發明提供一種容器，包括：一個腔體，一個蓋體，所述蓋體包括第一部分通過鉸鏈固定到腔體，第二部分隨鉸鏈轉動而相對腔體移動一個支撐臂包括第一端連接到腔體，第二端通過一個柔性關節連接到所述蓋體，其中所述柔性關節包括一個本體和一個中心旋轉軸，本體上還包括一個離心旋轉軸，所述中心旋轉軸固定到蓋體上，所述支撐臂的第二端固定到所述離心旋轉軸上。
【專利說明】一種具有柔性關節的容器
【技術領域】
[0001]本發明涉及低氣壓容器機械連接部件領域，尤其涉及一種用於低氣壓容器的連接關節。
【背景技術】
[0002]在半導體設備的製造過程中，反應器需要抽成低壓，接近真空才能對基片進行處理形成所需要的基片結構，其它化工或者生物技術等需要低壓環境的反應器或容器都需要在容器腔體和至少一個蓋體實現開關。蓋體通過鉸鏈使蓋體一端與腔體相固定，另一端圍繞鉸鏈旋轉移動，使蓋體與容器具有打開和關閉兩種狀態。在閉合時抽走容器內的空氣或者充入需要進行處理的氣體直到獲得需要的氣壓。在打開時蓋體移動，解除密閉狀態。由於蓋體較重很多容器都包括一個氣缸支撐臂輔助蓋體開啟和關閉，並且在關閉時能夠保持蓋體和腔體間的氣密性。但是所有這些蓋體、腔體、鉸鏈、氣缸支撐臂在製造過程中都存在公差，特別是容器尺寸較大時，這些公差積累後導致的尺寸不匹配是不能忽略的。比如在蓋合時支撐臂長度偏短，在開啟蓋體時受到蓋體上下氣壓差和蓋體本身重力的合力，原來用於輔助的氣缸支撐臂由於氣缸已經存在拉伸，所以向上的支撐力不夠，操作人員很難靠手臂力量將蓋體拉起。相反的在支撐臂長度偏長的情況下，在蓋合過程中支撐臂的向上支撐力較大，可能會造成蓋體與腔體間出現縫隙，影響氣密效果。由於傳統支撐臂的尺寸是固定的所以無法再做補充調整，所以除了更換尺寸更合適的部件，沒有其它辦法。上述尺寸偏差太大時甚至會發生蓋體與腔體卡死等極端情況。 [0003]所以業內需要一種更好的蓋體支撐裝置，能夠克服尺寸偏差帶來的蓋合不緊密或者，蓋體打開困難的問題。
【發明內容】
[0004]本發明的目的是提供一種柔性開關提供更好的蓋體支撐裝置，能夠克服尺寸偏差帶來的蓋合不緊密或者，蓋體打開困難的問題。
[0005]本發明的應用於一種容器包括:一個腔體，一個蓋體，所述蓋體包括第一部分通過鉸鏈固定到腔體，第二部分隨鉸鏈轉動而相對腔體移動一個支撐臂包括第一端連接到腔體，第二端通過一個柔性關節連接到所述蓋體，其中所述柔性關節包括一個本體和一個中心旋轉軸，本體上還包括一個離心旋轉軸，所述中心旋轉軸固定到蓋體上，所述支撐臂的第二端固定到所述離心旋轉軸上。柔性關節本體上包括一個限位槽，與蓋體上的限位突出部配合限制本體的旋轉角度，或者可以是柔性關節本體上包括一個限位突出部，與蓋體上的限位槽配合限制本體的旋轉角度。
[0006]其中柔性關節也可以設置在支撐臂第一端與腔體之間。
[0007]支撐臂包括一個氣缸和一個支撐杆。
[0008]支撐臂的兩端均可以通過一個柔性關節分別連接到腔體和蓋體。【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1a為本發明容器處於蓋合狀態整體示意圖；
[0010]圖1b為本發明容器處於打開狀態整體示意圖；
[0011]圖2a為本發明圖支撐臂柔性關節外側示意圖；
[0012]圖2b為本發明圖支撐臂柔性關節內側示意圖；
[0013]圖3為本發明圖2b中柔性關節剖面示意圖。
【具體實施方式】
[0014]以下結合圖1至3，詳細說明本發明實施例。
[0015]如圖1a所示，本發明容器包括腔體10蓋體20，蓋體20的一端通過鉸鏈12固定到腔體，另一端隨鉸鏈旋轉轉動。一個支撐臂33包括一個氣缸30和支撐杆31，氣缸的第一端也就是支撐臂33的第一端通過一個固定關節連接到腔體10，氣缸的另一端與支撐杆31的相連。支撐臂的第二端固定到一個柔性關節32，柔性關節連接到蓋體20。如圖1a中所示在腔體與蓋體接觸界面或者其附近包括一個卡固裝置40，在蓋體與腔體處於閉合狀態時鎖定蓋體，在要進入圖1b所述開啟狀態時解除鎖定掀起蓋體。
[0016]圖2a為圖1所示柔性關節32的外側視角的局部放大圖，柔性關節32包括一個關節本體320，在本體中心包括一個中心旋轉軸321，在本體320外圍包括一個離心旋轉軸322。離心旋轉軸與支撐臂第二端的支撐杆31相固定，離心旋轉軸可以相對本體320轉動。中心旋轉軸321固定到蓋體上，使本體320可以沿中心旋轉軸321相對轉動。中心旋轉軸和離心旋轉軸的配合轉動可以實現支撐臂33第二端可以圍繞中心旋轉軸231作圓周運動。
[0017]如圖1a和Ib所示在蓋體開啟狀態時離心旋轉軸322也就是支撐臂33的第二端相對中心旋轉軸具有第一位置。在蓋體處於閉合狀態時離心旋轉軸322也就是支撐臂33的第二端相對中心旋轉軸具有第二位置。在蓋合過程中如果出現支撐臂尺寸不匹配狀況，如支撐臂較長時，多餘的長度可以通過離心旋轉軸相對中心旋轉軸轉動實現抵消。如支撐臂較短時離心軸可以旋轉到離氣缸第一端更近的另一個位置。通過離心軸322相對中心旋轉軸321的轉動可以補償尺寸的誤差，從而保證在蓋體相對腔體閉合時的氣密性。在開啟蓋體時，操作人員在支撐臂提供的升力輔助下將蓋體舉起。
[0018]圖2b所示為柔性關節內側示意圖，也就是從腔體側看向柔性關節32的視角。圖中本體320上包括一個限位槽323。限位槽323與固定在蓋體上的限位突出部相匹配，可以限制本體320相對中心旋轉軸的旋轉角度，也就限制了支撐臂固定到柔性關節的一端的可移動範圍。本發明限位功能也可以通過其它結構實現，比如本體320上包括一個限位突出部與位於蓋體上的槽相匹配實現限位。
[0019]本發明的柔性關節32也可以是位於支撐臂33的第一端處，此時支撐臂33的第二端可以是柔性關節也可以是固定關節。
[0020]圖3為圖2b在X平面的剖面示意 圖，如圖所示離心旋轉軸322相對中心旋轉軸處的本體320具有較小的厚度，便於外側支撐杆固定安裝到離心旋轉軸上。中心旋轉軸321包括一個延伸部伸入蓋體或腔體的固定孔中，離心旋轉322也包括一個延伸部向外側突出，
以安裝支撐臂的第二端。
[0021]本發明通過可旋轉的柔性關節的設計可以使得支撐部件在設計和製造時可以具有更大裕量，同時結構簡單，能夠保證蓋體相對腔體的開關效果。
[0022]儘管本發明的內容已經通過上述優選實施例作了詳細介紹，但應當認識到上述的描述不應被認為是對本發明的限制。在本領域技術人員閱讀了上述內容後，對於本發明的多種修改和替代都將是顯而易 見的。因此，本發明的保護範圍應由所附的權利要求來限定。
【權利要求】
1.一種容器,包括: 一個腔體，一個蓋體，所述蓋體包括第一部分通過鉸鏈固定到腔體，第二部分隨鉸鏈轉動而相對腔體移動 一個支撐臂包括第一端連接到腔體，第二端通過一個柔性關節連接到所述蓋體，其中所述柔性關節包括一個本體和一個中心旋轉軸，本體上還包括 一個離心旋轉軸，所述中心旋轉軸固定到蓋體上，所述支撐臂的第二端固定到所述離心旋轉軸上。
2.如權利要求1所述的容器，其特徵在於:所述柔性關節本體上包括一個限位槽，與蓋體上的限位突出部配合限制本體的旋轉角度。
3.如權利要求1所述的容器，其特徵在於:所述柔性關節本體上包括一個限位突出部，與蓋體上的限位槽配合限制本體的旋轉角度。
4.如權利要求1所述容器，其特徵在於:所述支撐臂包括一個氣缸和一個支撐杆。
5.—種容器,包括: 一個腔體，一個蓋體，所述蓋體包括第一部分通過鉸鏈固定到腔體，第二部分隨鉸鏈轉動而相對腔體移動 一個支撐臂包括第二端連接到蓋體，第一端通過一個柔性關節連接到所述腔體，其中所述柔性關節包括本體和位於本體中心的中心旋轉軸，本體上 還包括一個離心旋轉軸，所述中心旋轉軸固定到腔上，所述支撐臂的第一端固定到所述離心旋轉軸上。
6.如權利要求5所述的容器，其特徵在於:所述柔性關節本體上包括一個限位槽，與腔體上的限位突出部配合限制本體的旋轉角度。
7.如權利要求5所述的容器，其特徵在於:所述柔性關節本體上包括一個限位突出部，與腔體上的限位槽配合限制本體的旋轉角度。
8.如權利要求5所述容器，其特徵在於:所述支撐臂包括一個氣缸和一個支撐杆。
9.如權利要求5所述的容 器，其特徵在於:所述支撐臂的第二端也通過一個柔性關節連接到蓋體。
【文檔編號】H01L21/67GK103904004SQ201210575313
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2012年12月26日 優先權日:2012年12月26日
【發明者】虞龍斌, 陳妙娟, 徐朝陽, 王正友 申請人:中微半導體設備(上海)有限公司