一種調整雙臂機械手fork圓心重合的方法

2023-11-09 21:41:37 4

專利名稱：一種調整雙臂機械手fork圓心重合的方法
技術領域：
本發明涉及在半導體生產設備製造領域內，一種調整雙臂機械手FORK圓心重合的方法。經過調整，當T軸處於零位時，可使雙臂機械手末端FORK的圓心在R軸各自的旋轉平面內上下重合，從而為雙臂機械手運動軌跡提供了原始定位基準。
背景技術：
雙臂機械手在吸附矽片時，矽片的圓心位置理論上即是未端臂FORK的圓心。無論雙臂機械手的上下臂運動軌跡如何變化，但上下臂運動軌跡的原始基準是確定的。理論上講，當T軸處於零位，雙臂向前平伸，上下臂FORK的圓心是重合的。但由於製造誤差的裝配誤差的存在，實際上的上下臂FORK的圓心是不重合的。為了使上下臂FORK的圓心不重合程度小於規定的指標，需要雙臂機械手在裝配調試時，一是要有一個確定雙臂FORK圓心的基準，二是在雙臂機械手的左右臂，要有在R軸旋轉平面可以進行平移的調整機構。

發明內容
本發明的目的在於提供一種結構合理，能夠方便、可靠地調整雙臂機械手FORK圓心重合的方法。本方法通過試驗臺提供確定的雙臂FORK圓心基準，通過FORK調整夾頭來對FORK圓心進行調整。本發明的發明目的是這樣實現的一種調整雙臂機械手FORK圓心重合的方法，所述方法使用的裝置包括FORK調整夾頭機構和FORK圓心基準試驗臺。FORK調整夾頭機構包括FORK組合1、調整緊固螺釘2、調整夾頭本體3、氣路密封膠圈4、取片臂5、氣路接口 6、取片臂下蓋板7。FORK圓心基準試驗臺包括框架結構8、圓心調節裝置底板9、小臂中間定位板10、圓心定位塊11、小臂定位固定夾板12、小臂定位活動夾板13、主機支撐板14等。將氣路接口 6的螺紋端擰入調整夾頭本體3旋緊到位後，把氣路密封圈4放入調整夾頭本體3上的密封圈槽內，將FORK組合1的氣孔對正密封圈4的氣孔，把FORK組合1 後端放入調整夾頭本體3的槽內，將8個緊固螺釘擰緊到位。經上述安裝後的裝配體放入取片臂5的凹槽內，將4個調整緊固螺釘2從取片臂的長孔內擰入裝配體但並不旋緊。此時裝配體在取片臂5的槽中應能左右平移2mm。兩個臂都完成上述裝配後，將雙臂機械手的主機放入圓心基準試驗臺內，先將主機的惟一安裝位置固定，然後將T軸調至零位。調正零位後，將兩臂的小臂緊靠在圓心試驗臺的小臂中間定位板10上，並以小臂定位固定夾板12、小臂定位活動夾板13夾緊。此時，雙臂機械手的大臂和小臂均以固定，只有取片臂能夠活動。將兩個取片臂的聯接螺釘擰松，前後左右的轉動或平移上下取片臂5，使FORK組合1的圓心半徑與定位塊11的圓心半徑靠緊並完全吻合後，再將所有鬆開的螺釘緊固到位。保持現有緊固狀態，將兩個小臂的同步帶與帶輪安裝嚙合，調整同步帶預緊機構，保持足夠的預緊力，並檢查雙臂的傳動機構，確保沒有無約束的自由轉動或移動。拆除定位約束按以下順序進行先拆除圓心定位塊11，再拆除小臂活動夾板13， 最後卸下小臂固定夾板12與小臂中間夾板10。本發明一種調整雙臂機械手圓心重合的方法，具有如下優點1、在本發明中，FORK圓心重合的調整過程使用同一基準的圓心定位塊，因此定位精度較高，重複精度好。2、在本發明中，由於FORK圓心重合調整試驗臺的框架使用了主機工位調試試驗臺的框架，因此調整後無需搬運主機，安裝工作工位後，即可進行矽片的傳輸試驗，可減少工位試驗的系統誤差，提高矽片傳輸精度。3、本發明之FORK圓心重合的調整方法，結構簡單、作用可靠、操作簡便、可有效降低設備調試的成本。


圖1為本發明中的調整機構-FORK調整夾頭的俯視圖。在圖1中，具體數字表示0點表示FORK的圓心、1-F0RK組合；圖2為本發明中的調整機構-FORK調整夾頭的主剖視圖。在圖2中，具體數字表示1-F0RK組合；2_調整緊固螺釘、3_調整夾頭本體、4_氣路密封膠圈、5-取片臂、6-氣路接口、7-取片臂下蓋板；圖3表示FORK圓心基準試驗臺的俯視圖。具體數字表示8-框架結構、9-圓心調節裝置底板、10-小臂中間定位板、11-圓心定位塊、12-小臂定位固定夾板、13-小臂定位活動夾板、14-主機支撐板。
具體實施例方式結合附圖對本發明作進一步說明參照圖1、圖2所示，一種調整雙臂機械手圓心重合的裝置包括FORK調整夾頭機構和FORK圓心基準試驗臺。其中，FORK調整夾頭機構包括FORK組合1、調整緊固螺釘2、調整夾頭本體3、氣路密封膠圈4、取片臂5、氣路接口 6、取片臂下蓋板7。FORK圓心基準試驗臺包括框架結構8、圓心調節裝置底板9、小臂中間定位板10、圓心定位塊11、小臂定位固定夾板12、小臂定位活動夾板13、主機支撐板14等。裝配及調整過程中，將氣路接口 6的螺紋端擰入調整夾頭本體3旋緊到位後，把氣路密封圈4放入調整夾頭本體3上的密封圈槽內，將FORK組合1的氣孔對正氣路密封膠圈 4的氣孔，把FORK組合1後端放入調整夾頭本體3的槽內，將8個緊固螺釘擰緊到位。經上述安裝後的裝配體放入取片臂5的凹槽內，將4個調整緊固螺釘2從取片臂5的長孔內擰入裝配體但並不旋緊。此時裝配體在取片臂5的槽中應能左右平移2mm。兩個臂都完成上述裝配後，將雙臂機械手的主機放入圓心基準試驗臺內，先將主機的惟一位置固定，然後將 T軸調至零位。調正零位後，將兩臂的小臂緊靠在圓心重合試驗臺的小臂中間定位板10上， 並以小臂定位固定夾板12、小臂定位活動夾板13夾緊。此時，雙臂機械手的大臂和小臂均以固定，只有取片臂5能夠活動。將兩個取片臂5的聯接螺釘擰松，前後左右的轉動或平移上下取片臂5，使FORK組合1的中心半徑與圓心定位塊11的中心半徑靠緊並完全吻合後，再將所有鬆開的螺釘緊固到位。保持現有緊固狀態，將兩個小臂的同步帶與帶輪安裝嚙合， 調整同步帶預緊機構，保持足夠的預緊力，並檢查雙臂的傳動機構，確保沒有無約束的自由轉動或移動後，可對圓心重合試驗臺的約束進行放鬆。
權利要求
1.一種調整雙臂機械手圓心重合的方法，包括使用FORK調整夾頭機構和FORK圓心基準試驗臺；其特徵在於所述FORK調整夾頭機構包括FORK組合(1)、調整緊固螺釘O)、調整夾頭本體(3)、氣路密封膠圈G)、取片臂(5)、氣路接口(6)、取片臂下蓋板(7)；將氣路接口(6)的螺紋端擰入調整夾頭本體C3)旋緊到位後，把氣路密封圈(4)放入調整夾頭本體(3)上的密封圈槽內，將FORK組合(1)的氣孔對正氣路密封膠圈(4)的氣孔，把FORK組合(1)後端放入調整夾頭本體(3)的槽內，將8個緊固螺釘擰緊到位；經上述安裝後的裝配體放入取片臂(5)的凹槽內，將4個調整緊固螺釘( 從取片臂(5)的長孔內擰入裝配體但並不旋緊；此時裝配體在取片臂( 的槽中應能左右平移2mm ；兩個臂都完成上述裝配後，將雙臂機械手的主機放入圓心基準試驗臺內，先將主機的惟一位置固定，然後將T軸調至零位，T軸調正零位後，將兩臂的小臂緊靠在圓心重合試驗臺的小臂中間定位板(10)上， 並以小臂定位固定夾板(12)、小臂定位活動夾板(13)夾緊；此時，雙臂機械手的大臂和小臂均以固定，只有取片臂(5)能夠活動；將兩個取片臂(5)的聯接螺釘擰松，前後左右的轉動或平移上下取片臂(5)，使FORK組合(1)的中心半徑與圓心定位塊(11)的中心半徑靠緊並完全吻合後，再將所有鬆開的螺釘緊固到位；保持現有緊固狀態，將兩個小臂的同步帶與帶輪安裝嚙合，調整同步帶預緊機構，保持足夠的預緊力，並檢查雙臂的傳動機構，確保沒有無約束的自由轉動或移動後，可對圓心重合試驗臺的約束進行放鬆。。
2.根據權利要求1所述的一種調整雙臂機械手圓心重合的方法，其特徵在於所述 FORK圓心基準試驗臺包括框架結構(8)、圓心調節裝置底板(9)、小臂中間定位板(10)、圓心定位塊(11)、小臂定位固定夾板(12)、小臂定位活動夾板(13)、主機支撐板(14)。
全文摘要
本發明提供一種結構合理，能夠方便、可靠地調整雙臂機械手FORK圓心重合的方法。方法通過FORK圓心基準試驗臺提供確定的雙臂FORK圓心基準，通過FORK調整夾頭來對FORK組合中的圓心進行調整。經過調整，當T軸處於零位時，可使雙臂機械手末端FORK的圓心在R軸各自的旋轉平面內上下重合，從而為雙臂機械手運動軌跡提供了原始定位基準。
文檔編號H01L21/683GK102176424SQ201110062759
公開日2011年9月7日 申請日期2011年3月16日 優先權日2011年3月16日
發明者劉延傑, 吳明月, 孫立寧, 榮偉彬 申請人:哈爾濱工業大學