液滴噴出裝置的控制方法、液滴噴出裝置、電光學裝置的製造方法、電光學裝置及電子機器的製作方法

2023-08-01 13:38:41

專利名稱：液滴噴出裝置的控制方法、液滴噴出裝置、電光學裝置的製造方法、電光學裝置及電子機器的製作方法
技術領域：
本發明涉及實施加壓供給動作(間歇驅動加壓泵，維持所定的動作壓力範圍地將功能液罐加壓後，由功能液罐將功能液加壓供給噴出功能液滴的功能液滴噴出頭)和描繪動作(一邊使功能液滴噴出頭對安裝在描繪區域的被描繪對象物相對移動，一邊驅動功能液滴噴出頭，使之噴出功能液滴，進行描繪)的液滴噴出裝置的控制方法、液滴噴出裝置、電光學裝置的製造方法、電光學裝置及電子機器。
背景技術：
在現有技術的作為一種液滴噴出裝置而廣為人知的噴墨記錄裝置(液滴噴出裝置)中，有的使用空氣泵將墨水罐(功能液罐)加壓後，將墨水罐中貯存的墨水(功能液)加壓供給噴墨記錄頭(功能液滴噴出頭)的墨水供給裝置(功能液供給裝置)。
在墨水供給裝置中，在墨水罐和噴墨記錄頭之間，設置副罐，由墨水罐壓送的墨水，暫時貯存在副罐中後，再供給噴墨記錄頭。在副罐中，設置著檢出墨水剩餘量的變位檢出單元，按照副罐中的墨水剩餘量，由墨水罐供給墨水。這樣，副罐內的壓力就被保持在一定的範圍內，能夠抑制供給噴墨記錄頭的墨水的壓力變動。
特開2001-162834號公報而且，現有技術的噴墨記錄裝置，採用變位檢出單元檢出某一定值後，就由墨水罐加壓供給功能液的結構，即使在印刷期間，也只要變位檢出單元檢出一定值，就將墨水加壓供給噴墨記錄頭。可是，向正在印刷的噴墨記錄頭加壓供給墨水後，在加壓泵的ON-OFF的作用下，噴墨記錄頭內的頭內流路就產生壓力變動(脈動)。使墨滴的噴出不穩定，對印刷質量產生不利的影響。

發明內容
因此，本發明的課題是提供能夠不使印刷質量下降、能夠將墨水加壓供給功能液滴噴出頭的液滴噴出裝置的控制方法、液滴噴出裝置、電光學裝置的製造方法、電光學裝置及電子機器。
本發明的特徵在於為了維持所定的動作壓力，在實施加壓供給動作(利用加壓泵將功能液罐加壓，由功能液罐將功能液加壓供給噴出功能液滴的功能液滴噴出頭)和描繪動作(一邊使功能液滴噴出頭對安裝在描繪區域的被描繪對象物相對移動，一邊驅動功能液滴噴出頭，使之噴出功能液滴，進行描繪)的液滴噴出裝置的控制方法中，包括檢出功能液罐內的壓力是否在動作壓力的下限壓力以下的壓力檢出工序；在功能液罐內的壓力在下限壓力以下時，確認功能液滴噴出頭是否正在進行描繪動作的描繪動作確認工序；確認不在進行描繪動作時，將功能液罐加壓到動作壓力的上限壓力為止的第1加壓控制工序。
另外，本發明的特徵在於為了維持所定的動作壓力，在實施加壓供給動作(利用加壓泵將功能液罐加壓，由功能液罐將功能液加壓供給噴出功能液滴的功能液滴噴出頭)和描繪動作(一邊使功能液滴噴出頭對安裝在描繪區域的被描繪對象物相對移動，一邊驅動功能液滴噴出頭，使之噴出功能液滴，進行描繪)的液滴噴出裝置中，包括檢出功能液罐內的壓力是否在動作壓力的下限壓力以下的壓力檢出單元；在功能液罐內的壓力在下限壓力以下時，確認功能液滴噴出頭是否正在進行描繪動作的描繪動作確認單元；確認不在進行描繪動作時，將功能液罐加壓到動作壓力的上限壓力為止的第1加壓控制單元。
採用這些結構後，在功能液罐內的壓力在動作壓力的下限壓力以下時，確認功能液滴噴出頭是否正在進行描繪動作，不在進行描繪動作時，將功能液罐加壓到動作壓力的上限壓力後，維持動作壓力。就是說，因為在功能液滴噴出頭的非描繪動作期間加壓供給功能液，所以功能液的加壓供給，不會影響描繪結果，可以利用功能液滴噴出頭進行高精度的描繪。
這時，最好還具有確認正在進行描繪動作的功能液滴噴出頭，一邊在描繪移動區域內相對移動，一邊向位於描繪移動區域內的描繪區域噴出功能液滴，確認正在進行描繪動作，而且確認功能液滴噴出頭面對描繪區域時，等待功能液滴噴出頭離開描繪區域後，在中斷描繪動作的同時，將功能液罐加壓到所述上限壓力為止，確認正在進行描繪動作、確認功能液滴噴出頭沒有面對描繪區域時，中斷描繪動作，將功能液罐加壓到上限壓力為止的第2加壓控制工序；和在第2加壓控制工序之後，使描繪動作再開始的描繪再開始工序。
另外，這時，最好還具有確認正在進行描繪動作的功能液滴噴出頭，一邊在描繪移動區域內相對移動，一邊向位於描繪移動區域內的描繪區域噴出功能液滴，確認正在進行描繪動作，而且確認功能液滴噴出頭面對描繪區域時，等待功能液滴噴出頭離開描繪區域後，在中斷描繪動作的同時，將功能液罐加壓到所述上限壓力為止，確認正在進行描繪動作、確認功能液滴噴出頭沒有面對描繪區域時，中斷描繪動作，將功能液罐加壓到上限壓力為止的第2加壓控制單元；和在中斷描繪動作，將功能液罐加壓到上限壓力為止後，使描繪動作再開始的描繪再開始單元。
採用這些結構後，在功能液罐內的壓力成為動作壓力的下限壓力時，而且確認功能液滴噴出頭正在進行描繪動作時，確認功能液滴噴出頭的位置後，再進行加壓。而且，由於在功能液滴噴出頭沒有面對描繪區域時，加壓供給功能液，所以能夠極力抑制給對被描繪對象物的描繪結果帶來不良的影響。
這時，第2加壓控制工序，最好取代上限壓力，用比該上限壓力低的描繪動作中的壓力進行加壓。
另外，這時，第2加壓控制單元，最好取代上限壓力，用比該上限壓力低的描繪動作中的壓力進行加壓。
採用這些結構後，由於確認了描繪動作時的加壓上限壓力，被定為比動作壓力的上限壓力低的描繪動作中的壓力，所以可以減少描繪動作的中斷前及再開始後的功能液的頭內壓力(功能液滴噴出頭的頭內流路中的壓力)的變動，能夠有效地防止進行描繪動作的中斷期間的功能液的加壓供給給描繪動作再開始後的描繪結果帶來的不良影響。
這時，最好還具有面對功能液滴噴出頭，對該功能液滴噴出頭進行保養的維護單元；使功能液滴噴出頭對維護單元相對移動的頭移動單元；控制頭移動單元，使正在進行加壓供給動作的功能液滴噴出頭，面對維護單元的移動控制單元。
採用這種結構後，能夠使正在進行加壓供給動作的功能液滴噴出頭面對維護單元，能夠對正在進行加壓供給動作的功能液滴噴出頭進行保養，能夠將正在進行加壓供給動作的功能液滴噴出頭維持成為適當的狀態。
而且，這時的維護單元，最好具有下述諸單元中的至少一個以上密封功能液滴噴出頭的噴嘴面的罩蓋單元，從功能液滴噴出頭的噴嘴吸引的吸引單元，用摩擦接觸片擦拭功能液滴噴出頭的噴嘴面的摩擦接觸單元。
本發明的電光學裝置的製造方法，其特徵在於使用上述的液滴噴出裝置，在基板上形成由功能液滴變成的成膜部。
另外，本發明的電光學裝置，其特徵在於使用上述的液滴噴出裝置，在基板上形成由功能液滴變成的成膜部。
採用這些結構後，由於使用能夠實現高精度的描繪的液滴噴出裝置進行製造，所以能夠製造出可靠性高的電光學裝置。此外，作為電光學裝置(平面屏顯示器)，可以想到彩色濾波器、液晶顯示裝置、有機EL裝置、PDP裝置、電子發射裝置等。此外，電子發射裝置，包含所謂FED(FieldEmission Display)及SED(Surface-conduction Electron-Emitter Display)裝置。進而，作為電光學裝置，可以想到包含形成金屬布線、形成透鏡、形成抗蝕劑及形成光擴散體等的裝置。
本發明的電子機器，其特徵在於搭載上述電光學裝置。
這時，作為電子機器，除搭載了所謂平面屏顯示器的手機、個人用計算機之外，各種電子產品，也均屬此類。


圖1是本發明的第1實施方式涉及的噴墨印表機的外形立體圖。
圖2是打開捲筒紙罩、開閉罩、墨盒罩時，本發明的第1實施方式涉及的噴墨印表機的外形立體圖。
圖3是頭組件(功能液滴噴出頭)的外形立體圖。
圖4是噴墨印表機的示意說明圖。
圖5是墨水盒的說明圖。
圖6是壓力調整閥的示意說明圖。
圖7是噴墨印表機的控制塊的圖形。
圖8是加壓泵的驅動方法的說明圖。
圖9是表示跟隨加壓時序控制處理的一系列流程的流程圖。
圖10是本發明的第2實施方式涉及的液滴噴裝置的俯視示意圖。
圖11是講述液滴噴裝置的主制系統的方框圖。
圖12是講述彩色濾波器的製造工序的流程圖。
圖13A～13E是按照工序順序表示的彩色濾波器的剖面示意圖。
圖14是表示使用了採用本發明的彩色濾波器的液晶裝置的簡要結構的重要部位剖面圖。
圖15是表示使用了採用本發明的彩色濾波器的第2例的液晶裝置的簡要結構的重要部位剖面圖。
圖16是表示使用了採用本發明的彩色濾波器的第3例的液晶裝置的簡要結構的重要部位剖面圖。
圖17是有機EL裝置——顯示裝置的重要部位剖面圖。
圖18是講述有機EL裝置——顯示裝置的製造工序的流程圖。
圖19是講述形成無機物圍堰層的工序圖。
圖20是講述形成有機物圍堰層的工序圖。
圖21是講述空穴注入/輸送層形成過程的工序圖。
圖22是講述空穴注入/輸送層形成狀態的工序圖。
圖23是講述形成藍色發光層的過程的工序圖。
圖24是講述形成了藍色發光層的狀態的工序圖。
圖25是講述形成了各色發光層的狀態的工序圖。
圖26是講述形成陰極的工序圖。
圖27是等離子體型顯示裝置(PDP裝置)——顯示裝置的主要部件的分解立體圖。
圖28是電子發射裝置(FED裝置)——顯示裝置的主要部件剖面圖。
圖29A及29B是分別表示顯示裝置的電子發射部周圍的俯視圖及表示其形成方法的俯視圖。
具體實施例方式
下面，參照附圖，講述本發明的第1實施方式涉及的一種液滴噴出裝置——噴墨印表機。該噴墨印表機，是與個人用計算機等主計算機連接的大型彩色印表機，根據主計算機傳輸的列印數據，採用噴墨方式，在成為列印對象物的捲筒紙上進行印刷。
如圖1及圖2所示，噴墨印表機1，包括具有噴墨頭41(將在後文講述)的印表機本體2和支持印表機本體2的支持臺3。
印表機本體2，用裝置外殼11覆蓋著外部，在其上部的後方，開閉自如地設置著旨在裝卸捲筒紙R的捲筒紙罩12，還裝卸自如地設置著將內部從捲筒紙罩12的前方到印表機本體2的正面敞開的開閉罩13。另外，在裝置外殼11上，還形成旨在裝卸墨水盒81的墨水盒罩17。進而，在印表機本體2的正面，在位於開閉罩13的下側，形成排出印刷完畢的捲筒紙R的排紙口14。
在捲筒紙罩12的內側，形成裝拆自如地收容捲筒紙R的收容部15，設置著裝入捲筒紙R後將其抽出的繞線盤16。
另一方面，在開閉罩13的內側，形成將抽出捲筒紙R輸送到排紙口14為止的輸送線路(未圖示)，沿著該輸送線路，設置著旨在往捲筒紙R上印刷的印刷單元21。
該噴墨印表機1，作為基本結構，包括具有噴墨頭41，旨在往捲筒紙R上印刷的印刷單元21；沿著輸送線路，輸送捲筒紙R的進給單元22；具有墨水盒81，向噴墨頭41供給墨水的墨水供給單元23；向噴墨頭41提供保養的維護單元24；一邊使上述各單元相互關聯，一邊加以控制，從而控制整個噴墨印表機1的控制單元25(參照圖7)。然後，一邊由墨水供給單元23向噴墨頭41供給墨水，一邊同步驅動印刷單元21及進給單元22，從而在捲筒紙R上印刷圖象。
印刷單元21，具備搭載噴墨頭41的頭組件31，和移動自如地支持頭組件31，使頭組件31移動的頭移動機構32。
頭組件31，採用在託架42上搭載多個噴出墨水(滴)的噴墨頭41的結構。如圖3所示，噴墨頭41，具備設置著接受墨水供給單元23供給的墨水的連接針52的墨水導入部51，和與墨水導入部51的下方連接，旨在使其噴出供給的墨水的頭本體53。頭本體53，由噴嘴板54及外殼55構成，前者具有許多(360個)噴嘴57開口的噴嘴面56，後者則裝入壓電元件。在噴墨頭41中，在外殼55內的壓電元件的收縮的作用下，由噴嘴57噴出墨滴。
此外，圖3所示的本實施方式的噴墨頭41，是所謂雙聯式的裝置，在墨水導入部51中，設置著兩個被獨立地供給墨水的連接針52，而且在噴嘴板54(噴嘴面56)中，還形成2列由各連接針52獨立供給墨水的噴嘴列。各噴嘴列等間距配置著許多(180個)噴嘴57，相互錯開半個間距(約70μm)地形成。這樣，噴墨頭41既可以向各噴嘴列供給不同種類的墨水，使其噴出2種墨水；也可以使2個噴嘴列一致，以半間距的間隔噴出墨水(進行高解析度的描繪)。
託架42，以定位的狀態保持多個噴墨頭41，將多個噴墨頭41在託架42上定位固定後，就在託架42中形成由各噴墨頭41的噴嘴列構成的所定的描繪線。所謂「描繪線」，是在捲筒紙R的進給方向(Y軸方向)上連續、而且供給同一種顏色的墨水的噴嘴列(噴嘴57)的排列，在本實施方式中，與墨水供給單元23供給的4色(4個)墨水對應，在託架42上形成4條描繪線。
頭移動機構32，旨在使頭組件31(託架42)向與捲筒紙R的進給方向(Y軸方向)正交的X軸方向(主掃描方向)移動，包括託架電動機(未圖示)，傳遞託架電動機的動力後使頭組件31向X軸方向移動的動力傳遞機構(未圖示)，和在X軸方向上滑動自如地支持頭組件31的同時，還向X軸方向延伸地引導其移動的導向部件62。
託架電動機，由可以正反轉的DC伺服電動機構成。動力傳遞機構，具有一對皮帶輪，和架設在一對皮帶輪之間、使噴墨頭41的噴嘴面56與輸送路線平行地固定託架42的基部的同步皮帶(均未圖示)。託架電動機與一個皮帶輪連接，託架電動機正反轉後，通過同步皮帶做媒介，將動力傳遞給頭組件31，引導導向部件62，使託架42在X軸方向上往復運動。
此外，頭移動機構32採用使頭組件31在預先設定的頭移動區域64內往復運動的結構。在本實施方式中，位於頭移動區域64的圖示右側一端的位置，被設定成頭組件31的原來位置，將該位置作為基準位置，把握頭組件31的移動位置。
具體地說，在噴墨印表機1中，設置著檢出頭組件31的原來位置的原來位置檢出傳感器65，同時還設置著由搭載在託架42上的光電傳感器和與導向部件62並列設置、向X軸方向延伸的線性刻度構成的X軸線編碼器66，用原來位置檢出傳感器65檢出頭組件31的原來位置後，用光電傳感器依次檢出被線性刻度設置的許多檢出線，從而掌握在頭移動區域64內移動的頭組件31的移動位置。
進給單元22，在抽出捲筒紙收容部15收容的捲筒紙R的同時，還沿著輸送路線輸出抽出的捲筒紙R，具備成為旨在抽出、輸送捲筒紙R的驅動源的輸送電動機(未圖示)，和在面對輸送線路地配置的同時、通過動力傳遞機構(未圖示)做媒介與輸送電動機(未圖示)連接、抽出輸送捲筒紙R的輸送滾輪(未圖示)。此外，在頭移動區域64內，與安裝的捲筒紙R的寬度對應，設置著印刷區域，捲筒紙R在該進給單元22的作用下，被通過該印刷區域地輸送。
在該噴墨印表機1中，一邊驅動頭移動機構32，使頭組件31向X軸方向移動，一邊有選擇地驅動多個噴墨頭41，從而反覆進行向捲筒紙R噴出墨滴的主掃描和驅動進給單元22後進行的捲筒紙R的進給——副掃描，在捲筒紙R上描繪所需的圖象。
如圖4所示，墨水供給單元23，包括分別貯存黃(Y)、洋紅(M)、藍綠(C)及黑(B)的墨水的4個墨水盒81；收容4個墨水盒81的盒架82；向各墨水盒81供給空氣，從而將墨水盒81加壓後，加壓輸送各墨水盒81的墨水的加壓單元83；將(4個)墨水盒81和(多個)噴墨頭41布管連接的多根(在本實施方式中是4根)給液管84。
如圖5所示，各墨水盒81，具有貯存墨水的墨水囊91和收容墨水囊91的墨水囊盒93。墨水囊91，是在將2枚長方形的(可撓性的)薄片重疊後熱封口的袋狀材料上，安裝供給墨水的樹脂制的供給口92後的元件，成為可以變形的結構。墨水囊盒93，在以密閉的狀態收容墨水囊91的同時，還設置著與加壓單元83的空氣管道113(將在後文講述)連通的空氣供給口(未圖示)。就是說，空氣供給口向墨水囊盒93內供給空氣後，空氣就被供給墨水囊91的周圍，從外側向墨水囊加壓。
盒架82，被固定設置在比噴墨頭41的噴嘴面低的位置上。盒架82具有4個旨在安裝所定顏色的墨水盒81的墨水盒安裝部101。在各墨水盒安裝部101上，設置著連接器(未圖示)，將墨水盒81安裝到墨水盒安裝部101上後，就通過連接器做媒介，使空氣管道113和墨水囊盒93氣密狀態地連接。
加壓單元83，具有獨立地向各墨水盒81(墨水囊盒93)供給空氣的空氣供給機構111。空氣供給機構111，包括向各墨水盒81供給空氣，將其加壓的單一的加壓泵112；連接加壓泵112及各墨水盒81的空氣管道113(空氣流路)；在空氣管道113中設置的調節器114；設置在位於調節器114的下遊側的空氣管道113中，通過檢出空氣流路內的壓力，從而檢出作用於墨水囊91的加壓力的壓力傳感器115。
加壓泵112，使用隔膜式的產品，通過動力傳遞機構做媒介，將泵電動機(步進電動機)的動力傳遞給構成泵腔的一部分的隔膜，從而使泵腔的容積增減，吸入·供給空氣(均未圖示)。驅動加壓泵112後，通過空氣管道113做媒介，供給空氣，使墨水囊盒93內被加壓。這樣，被墨水盒81收容的墨水囊91就被加壓，墨水囊91內貯存的墨水被加壓供給。
空氣管道113，一端與加壓泵112連接，另一端將被各墨水盒安裝部101配置的4個連接器串連，將單一的加壓泵112供給的空氣，通過連接器做媒介，供給4個的各墨水盒81(墨水囊盒93)。
調節器114，是為了不使空氣流路內的壓力(墨水囊盒93的加壓力)由於加壓泵112供給的空氣而超過預先設定的所定的上限壓力的安全閥(放洩閥)。此外，在調節器114中，設置著螺線管114a，採用在噴墨印表機1不運轉等時，將空氣流路內向大氣敞開的結構。
壓力傳感器115，是用光藕合器等構成的ON/OFF傳感器，檢出空氣流路內的壓力是否達到設定壓力。詳細內容將在後文講述。壓力傳感器115，與控制單元25連接，根據壓力傳感器115的檢出結果，控制單元25驅動加壓泵112後，將墨水盒81供給的墨水的墨水供給壓力，保持在所定的動作壓力內。
各給液管84，其一端與噴墨頭41的連接針52連接，另一端與墨水盒81的供給口92連接。4根給液管84，被圖外的電纜載有體(ケ一ブルベア註冊商標)歸納收容，隨著頭組件31(託架42)的移動而移動。
此外，如圖4所示，在搭載噴墨頭41的託架42上，搭載著多個旨在調整由墨水盒81供給的墨水的壓力的壓力調整閥121，在給液管84中，設置著壓力調整閥121。
如圖6所示，壓力調整閥121在閥殼122內形成與墨水盒81連接的1次腔123、與噴墨頭41連接的2次腔124、連通1次腔123及2次腔124的連通流路125，在2次腔124的一個面上，設置著面向外部的隔膜126(樹脂薄膜)，在連通流路125中，設置著在隔膜126的作用下進行開閉動作的閥體127。
由墨盒81導入1次腔123的功能液，通過2次腔124做媒介，供給噴墨頭41。這時，作用於隔膜126的大氣壓，作為調整基準壓力，使在連通流路125中設置的閥體127開閉，從而調整2次腔124內的壓力。這時，由於能夠按照成為閥座的1次腔123側的連通流路的開口邊緣離開連接的閥體本體127a和隔膜126的面積比，抑制墨水囊91側(1次側)的墨水的壓力變動，所以能夠向噴墨頭41供給壓力變動極少的壓力穩定的墨水。就是說，雖然由墨水盒81供給的墨水的供給壓，被保持成所定的動作壓力，但在該壓力調整閥121的作用下，可以進一步減小其壓力變動量。另外，在墨水囊91側產生的墨水的脈動等，也被閥體127阻擋，所以可以將其吸收(阻尼功能)。
維護單元24，具有吸引噴墨頭41的吸引單元131和旨在接受來自噴墨頭41的噴出的衝洗單元132。
吸引單元131，通過可以與噴墨頭41的噴嘴面貼緊的帽141做媒介，使來自吸引泵等的吸引力作用於噴墨頭41，從而將墨水強制性地從噴嘴57排出，用來解除/防止噴嘴57的堵塞。另外，吸引單元131(的帽141)還被用來保管噴墨頭41，在噴墨印表機1不工作時，使帽141貼緊噴墨頭41的噴嘴面56，防止噴嘴57的乾燥。此外，吸引單元131面對原來位置地配置，能夠使帽141貼緊面對原來位置的頭組件31的噴墨頭41(參照圖4)。
衝洗單元132，具有接受來自噴墨頭41的噴出的衝洗接受部151。衝洗接受部151，是在遍及上述頭移動區域64(吸引單元131的設置區域除外)中包含噴墨頭41的移動軌跡地設置的凹槽，形成無論頭組件31面對哪個位置，都能接受來自噴墨頭41的噴出的結構。這樣，由噴墨頭41噴出的廢棄墨滴就不必說了，從滾筒紙R的端部滲出的墨滴也能用衝洗接受部151接受(參照圖4)。
此外，這裡所謂的「廢棄墨滴」，是為了排出在噴墨頭41的噴嘴57內(由於氣化等)粘度增加的墨水，並且向噴嘴57供給狀態良好的新墨水，而使噴墨頭41的(所有的)噴嘴57噴出的墨水，噴出廢棄墨滴後，能夠將噴墨頭41維持成適當的狀態。
控制單元25，與噴墨印表機1的各單元連接，統一控制整個噴墨印表機1。另外，在控制單元25中，作為和用戶的接口，具備顯示器(未圖示)及各種指示器等。
下面，參照圖7，講述噴墨印表機1的主控系統。如該圖所示，噴墨印表機1包括具有印表機接口161，在輸入主計算機發送的列印數據(圖象數據及列印控制數據)及各種指令的同時，還向主計算機輸出噴墨印表機1內部中的各種數據的數據輸出入部162；具有上述的X軸線性編碼器66及壓力傳感器115，進行各種檢出的檢出部163；具有印刷單元21及進給單元22，為了在滾筒紙R上進行印刷的印刷部164；具有墨水供給單元23，旨在加壓供給墨水的墨水供給部165；具有維護單元24，旨在對噴墨頭41進行保養的維護部168；具有驅動噴墨頭41的頭驅動器171、驅動託架電動機的託架電動機驅動器172、驅動進給電動機的進給電動機驅動器173、驅動加壓泵112的泵驅動器174等驅動各部的各種驅動器的驅動部166；與這些各部連接，對整個噴墨印表機1加以控制的控制部167。
控制部167，包括除了具有可以暫時記憶的記憶區域外，還具有作為旨在進行控制處理的作業區域使用的RAM181；具有各種記憶區域，記憶控制程序及控制數據(顏色變換表及文字修飾表等)的ROM182；對各種數據進行運算處理的CPU183；在裝入旨在處理與周邊電路的接口信號的邏輯電路的同時，還裝入旨在進行時間控制的計時器185的周邊控制電路(P-CON)184；將它們互相連接的總線186。
此外，在RAM181中，設置著墨滴計數器(未圖示)。該墨滴計數器，在記憶後文講述的跟隨加壓計算方法中使用的各種數據(例如墨水囊盒93的可加壓容積、單位墨水滴數的墨水體積等)的同時，還累計各噴嘴57噴出的墨滴數。另外，在ROM182中，記憶旨在驅動控制加壓泵112的驅動控制程序，還按照該驅動控制程序計算跟隨加壓時間。
在控制部167中，按照ROM182記憶的控制程序等，使CPU183對通過P-CON184做媒介從各部輸入的各種數據及RAM181內的各種數據進行運算處理，將其處理結果，通過P-CON184做媒介向各部輸出，從而控制各部。
例如，加壓單元83的壓力傳感器115與控制部167連接，控制部167根據壓力傳感器115的檢出結果，間歇驅動空氣供給機構111(加壓泵112)，從而將墨水盒81的加壓力、即墨水盒81供給的墨水的供給壓力，調整成預先設定的動作壓力(Pmin～Pmax)內。
更具體地說，壓力傳感器115被設定成檢出動作壓力的下限壓力Pmin，初期加壓時也包括在內，控制部167在壓力傳感器115檢出壓力的下限壓力Pmin後(壓力檢出工序)，驅動加壓泵112，使加壓力(墨水的供給壓力)從動作壓力的下限壓力Pmin到動作壓力的上限壓力Pmax為止的時間，作為跟隨加壓時間T(sec)求出。然後，根據求出的跟隨加壓時間、使加壓泵112(泵驅動工序)，從而將墨水盒81的加壓力調整成動作壓力。
此外，在噴墨頭41中，作為補償噴出所定量(體積)的功能液滴的功能液的壓力，預先設定補償壓力範圍，滿足該補償壓力範圍地設定上述動作壓力。
在這裡，講述跟隨加壓時間的計算方法。在本實施方式中，作為加壓泵112單位時間的空氣供給量A(ml/sec)和使下限壓力Pmin達到上限壓力Pmax所需的必要空氣量B(ml)之商，求出跟隨加壓時間T。跟隨加壓時間的計算方法包括測定單位時間的空氣供給量A的空氣供給量測定工序；計算必要空氣量B的必要空氣量計算工序；根據測定的單位時間的空氣供給量A和計算出的必要空氣量B，計算跟隨加壓時間T的跟隨加壓時間計算工序。
空氣供給量測定工序，在用加壓泵112將處於向大氣敞開狀態的墨水囊盒93加壓到上限壓力Pmax為止的初期加壓中，將墨水囊盒93的加壓力開始初始加壓後，直到達到下限壓力Pmin為止的到達時間t(sec)，和在到達時間t的期間加壓泵112供給的空氣供給量a(ml)相除後，求出單位時間的空氣供給量A。
到達時間t，使用裝入控制部167(P-CON184)的計時器185，將為了初期加壓而開始驅動加壓泵112之後，到壓力傳感器115檢出下限壓力Pmin為止的時間，作為時間t計測。
空氣供給量a，按照波義耳-查理定律，根據開始初期加壓時的墨水囊盒93的加壓容積和到達時間t內的加壓力的壓力變化量計算。加壓容積，通過從墨水囊盒93的可加壓容積(ml)(即從墨水囊盒93的容積減去噴墨時的墨水囊91的容積)，減去開始初期加壓時墨水囊91殘留的墨水體積(ml)後求出。這時，墨水囊91殘留的墨水體積，根據預先設定(記憶)的裝滿墨水時的墨水體積、單位墨滴數的墨水體積以及墨水計數器的計數值，進行運算處理後求出。
此外，在本實施方式中，空氣供給量測定工序，每逢將噴墨印表機1的電源ON時進行。
必要空氣量計算工序，和空氣供給量a的計算方法相同，在計算出檢出下限壓力Pmin時的墨水囊盒93加壓容積V的同時，按照波義耳-查理定律，計算在計算出的加壓容積V中，為使下限壓力達到上限壓力Pmax所需的必要空氣量B。
跟隨加壓時間計算工序，將求出的單位時間的空氣供給量A和求出的必要空氣量B相除後，求出跟隨加壓時間T。比外，在空氣供給量測定工序中求出的單位時間的空氣供給量A，被RAM181記憶，初期加壓後，使用RAM181記憶的空氣供給量A，求出跟隨加壓時間T。這時，每逢進行空氣供給量測定工序時，RAM181記憶的空氣供給量A就被更新。
可是，從噴墨頭41噴出的墨滴極其細微，噴墨頭41容易受到供給的墨水的壓力變動的影響。而且，在本實施方式的噴墨印表機1中，以具有一定的壓力範圍(Pmin～Pmax)的動作壓向噴墨頭41加壓供給墨水，向正在進行印刷動作的期間(噴出墨滴的期間)的噴墨頭41加壓供給墨水後，加壓泵112的ON-OFF等時，頭內流路產生壓力變動，墨滴的噴出有變得不穩定的危險。
因此，在本實施方式中，利用控制部167，對上述加壓單元83(加壓泵112)進行驅動控制，在噴墨頭41對捲筒紙R進行印刷動作的期間，不進行墨水的加壓供給、即跟隨加壓。
具體地說，動作壓力下降，由壓力傳感器115檢出動作壓力的下限壓力Pmin後，就通過跟隨加壓時序控制處理，設定按照哪個時序開始跟隨加壓，以便不向正在對捲筒紙R進行印刷動作的噴墨頭41加壓供給墨水，按照該設定，進行跟隨加壓。
在這裡，參照圖9，講述跟隨加壓時序控制處理。檢出下限壓力Pmin、開始跟隨加壓時序控制處理後，首先，為了確認噴墨頭41是否正在進行印刷動作，而確認是否正在發送旨在進行印刷處理的印刷控制信號(例如從主計算機接收的旨在印刷印刷數據的墨水噴出信號)(S11)。在這裡，如果沒有發送印刷控制信號(S11NO)，就判斷沒有正在進行印刷動作(S12)，驅動加壓泵112，開始跟隨加壓(S17)。作為判斷沒有正在進行印刷動作時的一個例子，可以列舉印刷待機狀態及吸引單元131正在對噴墨頭41進行吸引處理等。
另一方面，發送印刷控制信號(S11Yes)、判斷正在進行印刷動作(S13)時，根據X軸線編碼器66，確認在頭移動區域64中進行往復動作的頭組件31(噴墨頭41)，是否面對捲筒紙R所在的印刷區域(S14)。這樣，確認頭組件31的位置後，可以判斷衝洗單元132是正在進行廢棄噴出，還是正在對捲筒紙R進行旨在印刷的噴出。
然後，在噴墨頭41沒有面對捲筒紙R所在的印刷區域時(S14No)，判斷沒有正在對捲筒紙R進行印刷動作，在暫時中斷印刷處理(S16)的同時，還開始跟隨加壓(S17)。另外，在噴墨頭41面對印刷區域時(S14Yes)，等待噴墨頭41離開印刷區域後(S15)，在暫時中斷印刷處理(S16)的同時，還開始跟隨加壓(S17)。然後，無論何時(S18Yes)，跟隨加壓結束後，就再開始中斷的印刷處理(S19)，結束跟隨加壓時序控制處理。
此外，在確認印刷處理的狀態下進行跟隨加壓時，可以取代動作壓力的上限壓力Pmax，加壓到設定成為比上限壓力Pmax低的壓力的印刷時設定壓力為止。這樣，能夠減小跟隨加壓前的噴墨頭41的頭內流路和跟隨加壓後的噴墨頭41的頭內流路的壓力差，能夠抑制描繪處理再開始時的跟隨加壓的影響。
另外，在確認印刷處理的狀態下進行跟隨加壓時，為了防止跟隨加壓期間的噴墨頭41的乾燥，最好由維護單元24對跟隨加壓中的噴墨頭41進行保養。例如中斷印刷處理後，驅動託架電動機61，使噴墨頭41移動到原來位置為止，由吸引單元131的帽141壓緊噴嘴面。
這樣，在本實施方式的噴墨印表機1中，噴墨頭41正在對捲筒紙R進行印刷動作時，不進行墨水的加壓供給，所以墨水的加壓供給產生的壓力變動，不會對印刷結果帶來不良影響，能夠進行高質量的印刷。
此外，跟隨加壓時序控制處理，按照ROM182記憶的旨在實行跟隨加壓時序控制處理的控制程序進行，權利要求書所說的「壓力檢出單元」、「描繪動作確認單元」、「第1加壓控制單元」、「第2加壓控制單元」、「描繪再開始單元」，控制部167的各單元，按照控制程序，協同動作後，發揮作用。
下面，講述本發明的第2實施方式涉及的液滴噴出裝置。該液滴噴出裝置，是裝入所謂平面顯示器的生產線的裝置，將使功能材料溶解到溶劑中的功能液導入功能液滴噴出頭，採用液滴噴出法(應用噴墨法)後，形成由R(紅)、G(綠)、B(藍)等3種顏色構成的液晶顯示裝置的彩色濾波器的著色層及成為有機EL裝置的各象素的發光元件等。
如圖10所示，液滴噴出裝置201，包括機臺202，在機臺202上的整個區域放置的、具有功能液噴出頭252的描繪裝置203，在機臺202上附設在描繪裝置203上的頭保養裝置204，向功能液滴噴出頭252供給功能液的功能液供給裝置205，控制各裝置的圖外的控制裝置206。而且，在液滴噴出裝置201中，根據控制裝置206的控制，在由描繪裝置203對圖外的工件移載機器人導入工件進行描繪處理的同時，還由保養裝置204對功能液滴噴出頭252進行適當的保養處理。
描繪裝置203包括朝主掃描方向(X軸方向)延伸的X軸臺211，與X軸臺211正交的Y軸臺212，移動自如地安裝在Y軸臺211上的主架213，被主架213支持、搭載(多個)功能液滴噴出頭252的頭組件214。
X軸臺211，採用將安裝工件W的安裝臺222移動自如地搭載到被構成X軸方向的驅動系統的X軸電動機(未圖示)驅動的X軸滑塊221上的結構。安裝臺222，具有吸附安裝工件W的吸附臺223，和對安裝在吸附臺223上的工件W的位置朝θ軸方向修正的θ臺224。此外，在機臺202中，設置著X軸線性傳感器225，以便掌握在X軸方向上移動的安裝臺222的移動位置。
Y軸臺212，採用和X軸臺211大致相同的結構，具有被構成Y軸方向的驅動系統的Y軸電動機(未圖示)驅動的Y軸滑塊231，在Y軸方向上移動自如地搭載著主架213。另外，與Y軸臺212並列地設置著Y軸線性傳感器232，以便掌握在Y軸方向上移動的頭組件214的移動位置。此外，Y軸臺212介有在機臺202上直立設置的左右支柱235，跨越機臺202上設置的X軸臺211及頭保養裝置204地配置。X軸臺211及Y軸臺212相交的區域，成為對工件W進行描繪的描繪區域；Y軸臺212及頭保養裝置204相交的區域，成為對功能液滴噴出頭252進行保養動作的保養區域。
主架213，由下列部件構成支持頭組件214的託架本體241；通過託架本體241做媒介，對頭組件214的θ方向進行位置修正的θ旋轉機構242；通過θ旋轉機構242做媒介，使Y軸臺212支持託架本體241(頭組件214)的近似I字型的吊設部件(未圖示)。
頭組件214，採用通過頭保持部件(未圖示)做媒介，將功能液滴噴出頭252搭載到頭板251上的結構。功能液滴噴出頭252，採用和上述噴墨頭41同樣的方式構成，所以在此不再贅述。
下面，講述描繪裝置203在進行描繪處理時的一系列的動作。首先，通過θ旋轉機構242做媒介，對頭組件214的位置進行修正，同時還通過θ旋轉機構242做媒介，對安裝在安裝臺222上的工件W的位置進行修正。接著，驅動X軸臺211，使工件W在主掃描(X軸)方向上往復運動。與工件W的往動同步，驅動許多功能液滴噴出頭252，對工件W有選擇地進行功能液滴的噴出動作。工件W的往動結束後，驅動Y軸臺212，使頭組件214向副掃描(Y軸)方向移動。然後，再次進行使工件W向主掃描方向的復動和功能液滴噴出頭252的驅動。這樣，在描繪處理中，工件W向X軸方向的移動和與此同步的功能液滴噴出頭252的噴出驅動(主掃描)，和頭組件214向Y軸方向的移動(副掃描)交替反覆進行，從而對工件W描繪所定的描繪圖案。
頭保養裝置204，包括安置在機臺202上的移動臺261、衝洗組件262、吸引組件263、摩擦接觸組件264。移動臺261，採用可向X軸方向移動的結構。吸引組件263及摩擦接觸組件264，朝X軸方向並排地設置在移動臺261上，採用在對功能液滴噴出頭252進行保養時，驅動移動臺261，使吸引組件263及摩擦接觸組件264面對適當的保養區域的結構。
衝洗組件262，是為了在對(1塊)工件W進行的一系列的描繪處理中，接受頭組件214的所有的功能液滴噴出頭252的廢棄噴出(衝洗)的功能液，和在描繪處理中從工件W滲出的功能液的裝置，具有一對沿著與吸附臺223的Y軸方向平行的一對邊(周邊)地設置的描繪衝洗箱271。這樣，通過吸附臺223做媒介，使工件W向X軸方向往復動作後，(經過一次主掃描，頭組件214即將面對工件W以及頭組件214剛從工件W離開的哪個時候都)能夠使頭組件214的所有的功能液滴噴出頭252依次面對描繪衝洗箱271，能夠適當接受對工件W進行的描繪動作將要開始和剛剛結束時進行的廢棄噴出的功能液。
吸附組件263，相當於上述吸引單元131，具有緊貼功能液滴噴出頭252的噴嘴面的帽281，和通過帽281做媒介，可以吸引功能液滴噴出頭252的單一的吸引泵等。
摩擦接觸組件264，是用將洗滌液霧狀噴出的摩擦接觸片291清除附著在功能液滴噴出頭252的噴嘴面上的汙垢的裝置，包括一邊抽出卷繞成滾輪狀的摩擦接觸片291，一邊卷繞的卷繞組件292；向抽出的摩擦接觸片291散布洗滌液的洗滌液供給組件198；用散布了洗滌液的摩擦接觸片291，擦拭噴嘴面的擦拭組件294。
功能液供給裝置205，具備與R·G·B 3種顏色的功能液對應的3個功能液罐301，收容3個功能液罐301的罐架302，將功能液罐301的功能液加壓輸送給功能液滴噴出頭252的加壓單元303，將3個功能液罐301和功能液滴噴出頭252布管連接的多根(在本實施方式中為了3根)給液管304，採用與噴墨印表機1中的元件同樣的結構、安裝在各給液管304中的壓力調整閥305。
功能液供給裝置205，採用和上述噴墨印表機1的墨水供給單元大致相同的結構，功能液罐301採用墨盒式的產品。在罐架302中，設置著收容各功能液罐301的功能液收容部(未圖示)，在各功能液收容部中，配置著連接功能液罐301和空氣布管323的連接器(未圖示)。另外，加壓單元303具有通過連接器做媒介將空氣供給各功能液罐301的空氣供給機構321，驅動構成空氣供給機構321的單一的加壓泵322後，就通過空氣布管323做媒介，向各功能液罐301供給空氣。這時，在空氣布管323中，也設置著帶螺線管的調節器324及壓力傳感器325，成為可以將空氣布管323內維持成所定的動作壓力的結構。
控制裝置206，由專用計算機等構成，具備旨在輸入數據、進行各種設定的輸入單元(鍵盤等)，以及為了觀看輸入數據·各種設定狀態等的顯示器等(均未圖示)。
下面，參照圖11，講述液滴噴出裝置201的主控系統。液滴噴出裝置201，包括具有描繪裝置203的描繪部331；具有頭保養裝置204的頭保養部332；具有功能液供給裝置205的功能液供給部333；具有描繪裝置203、頭保養裝置204及功能液供給裝置205的各種傳感器，進行各種檢出的檢出部334；驅動各部的各種驅動器(旨在驅動描繪裝置203的描繪驅動器341、旨在驅動頭保養裝置204的頭保養驅動器342、旨在驅動功能液供給裝置205的功能液供給驅動器343等)的驅動部335；與各部連接，對整個液滴噴出裝置201進行控制的控制部336(控制裝置206)。
控制部336，具備旨在連接描繪裝置203及頭保養裝置204等的接口351，以及在記憶來自描繪裝置203、頭保養裝置204及功能液供給裝置205的各種數據等的同時，還記憶旨在處理各種數據的程序等的硬碟352。除此之外，還和上述噴墨印表機1的控制部25的結構大致相同，具備RAM353、ROM354、CPU355、計時器356、內部總線357。
本實施方式的液滴噴出裝置201，也和上述噴墨印表機1進行同樣的控制。即通過控制部336對加壓泵322進行驅動控制後，在將功能液罐301供給的功能液的供給壓力，調整成預先設定的動作壓力內的同時，還使正在對工件W進行描繪動作的功能液滴噴出頭252的頭內流路不產生壓力變動，所以在功能液滴噴出頭252對工件W進行描繪動作的期間，不進行功能液的加壓供給。而且，在中斷描繪處理、加壓供給功能液時，驅動功能液滴噴出頭252(X軸臺211或Y軸臺212)，使頭組件214面對衝洗組件262或保養區，用頭保養裝置204進行保養地利用到加壓供給結束為止的等待時間，對功能液滴噴出頭252進行保養。所以，液滴噴出裝置201可以用極高的精度描繪圖案。
下面，作為使用本實施方式的液滴噴出裝置201製造的電光學裝置(平面屏顯示器)，以彩色濾波器、液晶顯示裝置、有機EL裝置、等離子體顯示器(PDP裝置)、電子發射裝置(FED裝置、SED裝置)、進而在這些顯示裝置中形成的有源矩陣基板等為例，講述它們的結構及製造方法。此外，所謂「有源矩陣基板」，是指薄膜電晶體及形成與薄膜電晶體電連接的源極線、數據線的基板。
首先，講述裝入液晶顯示裝置及有機EL裝置等的彩色濾波器的製造方法。圖12是表示彩色濾波器的製造工序的流程圖，圖13A～13E是按照工序順序表示的本實施方式的彩色濾波器600(濾波器基體600A)的剖面示意圖。
首先，在黑色矩陣形成工序(S101)中，如圖13A所示，在基板(W)601上，形成黑色矩陣602。黑色矩陣602，由金屬鉻、金屬鉻和氧化鉻的層迭體或樹脂炭黑等形成。為了形成由金屬薄膜構成的黑色矩陣602，可以使用濺射法及蒸鍍法等。另外，在形成由樹脂薄膜構成的黑色矩陣602時，可以使用凹版印刷術、光敏抗蝕劑法及熱複製法等。
接著，在圍堰形成工序(S102)中，以在黑色矩陣602上重疊的狀態形成圍堰603。就是說，首先如圖13B所示，覆蓋基板601及黑色矩陣602地形成由負片型的透明的感光性樹脂構成的抗蝕劑層604。然後，用形成矩陣圖案形狀的掩模薄膜605被覆其上面的狀態，進行曝光處理。
進而，如圖13C所示，腐蝕處理抗蝕劑層604的未曝光部分，從而在抗蝕劑層604上布圖，形成圍堰603。此外，在用樹脂炭黑形成黑色矩陣時，可以兼作黑色矩陣和圍堰。
該圍堰603和其下的黑色矩陣602，成為劃分各象素區域607a的劃分壁部607b，在以後的著色層形成工序中，利用功能液滴噴出頭252形成著色層(成膜部)608R、608G、608B之際，規定功能液滴的射中區域。
經過以上的黑色矩陣形成工序及圍堰形成工序後，就獲得上述的濾波器基體600A。
此外，在本實施方式中，作為圍堰603的材料，使用塗膜表面成為疏液(疏水)性的樹脂材料。然後，由於基板(玻璃基板)601的表面是親液(親水)性的，所以在後述的著色層形成工序中，能夠提高射入被圍堰603(劃分壁部607b)包圍的各象素區域607a內的液滴的射中位置精度。
接著，在著色層形成工序(S301)中，如圖13D所示，由功能液滴噴出頭252噴出功能液滴，使其落入被劃分壁部607b包圍的各象素區域607a內。這時，使用功能液滴噴出頭252，導入R·G·B 3色的功能液(過濾材料)，噴出功能液滴。此外，作為R·G·B 3色的排列圖案，有帶狀排列、嵌鑲排列及三角形排列等。
然後，經過乾燥處理(加熱等處理)後，使功能液固定，形成3色的著色層608R、608G、608B。形成了3色的著色層608R、608G、608B後，進行保護膜形成工序(S104)，如圖13E所示，覆蓋基板601、劃分壁部607b及著色層608R、608G、608B的上面地形成保護膜609。
即向基板601的形成著色層608R、608G、608B的整個面上噴出保護膜用塗敷液後，再經過乾燥處理，形成保護膜609。
然後，形成保護膜609後，彩色濾波器600進入下道工序——成為透明電極的ITO(Indium Tin Oxide)等的貼膜工序。
圖14是表示作為使用了上述彩色濾波器600的液晶顯示裝置的一個例子的無源矩陣型液晶裝置(液晶裝置)的簡要結構的重要部位剖面圖。該液晶裝置620，通過安裝液晶驅動用IC、後備燈、支持體等的附帶要素後，可以獲得作為最終產品的透明型液晶顯示裝置。此外，彩色濾波器600與圖13A～13E所示的產品相同，所以給對應的部位賦予相同的符號，不再贅述。
該液晶裝置620，主要由下述部件構成彩色濾波器600，由玻璃基板等構成的相對基板621，以及由被夾在它們之間的STN(Super TwistedNematic)液晶組成物構成的液晶層622。將彩色濾波器600，配置在圖中的上側(觀測者一側)。
此外，雖然沒有圖示，但在相對基板621及彩色濾波器600的外面(與液晶層622一側相反側的面)上，分別配置著偏振光板，還在位於相對基板621一側的偏振光板的外側，配置著背景燈。
在彩色濾波器600的保護膜609上(液晶層側)，在圖14中的左右方向，以所定的間隔形成許多長尺寸的矩形的第1電極623，覆蓋該第1電極623和彩色濾波器600的一側相反側的面地形成第1定向膜624。
另一方面，在相對基板621中和彩色濾波器600相對的面上，以所定的間隔在與彩色濾波器600的第1電極623正交的方向上，形成許多長尺寸的矩形的第2電極626，覆蓋該第2電極626的液晶層622側的面地形成第2定向膜627。該第1電極623及第2電極626，由ITO等透明導電材料形成。
在液晶層622內設置的間隔片628，是為了將液晶層622的厚度(單元間隙)保持成一定的部件。另外，密封部件629，是為了防止液晶層622內的液晶組成物向外部漏出的部件。此外，第1電極623的一個端部，作為布線623a，延伸到密封部件629的外側。
然後，第1電極623及第2電極626交差的部分，是象素，採用使彩色濾波器600的著色層608R、608G、608B位於成為該象素部分的結構。
在通常的製造工序中，在彩色濾波器600上進行第1電極623的布圖及第1定向膜624的塗敷後，製作彩色濾波器600一側的部分；另外，在相對基板621上進行第2電極626的布圖及第2定向膜627的塗敷後，製作相對基板621一側的部分。然後，將間隔片628及密封部件629裝入相對基板621一側的部分，在這種狀態下，與彩色濾波器600一側的部分貼合。接著，從密封部件629的注入口注入構成液晶層622的液晶，封住注入口。然後，層迭兩偏振光板及背景燈。
實施方式的液滴噴出裝置201，例如可以在塗敷構成上述單元間隙的間隙片材料(功能液)的同時，在將彩色濾波器600一側的部分貼合到相對基板621一側的部分上之前，向用密封部件629圍住的區域均勻地塗敷液晶(功能液)。另外，還可以用功能液滴噴出頭252對上述密封部件629進行印刷。進而，還可以用功能液滴噴出頭252對第1·第2定向膜624、627進行塗敷。
圖15是表示使用了本實施方式中製造的彩色濾波器600的液晶顯示裝置的第2個例子的的簡要結構的重要部位剖面圖。
該液晶裝置630，和上述液晶裝置620的最大的不同之處是將彩色濾波器600配置在圖中的下側(與觀測者相反的一側)。
該液晶裝置630，主要採用在彩色濾波器600和由玻璃基板等構成的相對基板631之間夾住由STN液晶構成的液晶層632的結構。此外，雖然沒有圖示，但在相對基板631及彩色濾波器600的外面，分別配置著偏振光板等。
在彩色濾波器600的保護膜609上(液晶層632側)，在圖中的深度方向，以所定的間隔形成許多長尺寸的矩形的第1電極633，覆蓋該第1電極633的液晶層632側的面地形成第1定向膜634。
在相對基板631中和彩色濾波器600相對的面上，以所定的間隔，形成許多向與彩色濾波器600的第1電極633正交的方向延伸的長尺寸的矩形的第2電極636，覆蓋該第2電極636的液晶層632側的面地形成第2定向膜637。
在液晶層632內，設置著為了將該液晶層632的厚度保持成一定的間隔片638，和為了防止液晶層632內的液晶組成物向外部漏出的部件密封部件639。
然後，和上述液晶裝置620一樣，第1電極633及第2電極636交差的部分，是象素，採用使彩色濾波器600的著色層608R、608G、608B位於成為該象素部分的結構。
圖16是表示使用本實施方式的彩色濾波器600構成液晶顯示裝置的第3個例子的圖形，是表示透過型的TFT(Thin Film Transistor)型的液晶裝置的簡要結構的分解立體圖。
該液晶裝置650，將彩色濾波器600配置在圖中的上側(觀測者側)。
該液晶裝置650，主要由下述部件構成彩色濾波器600，與其相對地配置的相對基板651，夾在它們之間沒有圖示的液晶層，配置在彩色濾波器600的上面側(觀測者一側)的偏振光板655，配置在相對基板651的下面側的偏振光板(未圖示)。
在彩色濾波器600的保護膜609的表面(相對基板651側的面)，形成液晶驅動用的電極656。該電極656，由ITO等透明導電材料構成，成為覆蓋形成後述的象素電極660的整個區域的全面電極。另外，以覆蓋該電極656的象素電極660的相反側的面的狀態，設置定向膜657。
在相對基板651與彩色濾波器600相對的面上，形成絕緣層658，在該絕緣層658上，以互相正交的狀態，形成掃描線661及信號線662。然後，在被這些掃描線661及信號線662包圍的區域內，形成象素電極660。此外，在實際的液晶裝置中，在象素電極660上設置著定向膜，但圖中省略。
另外，採用在象素電極660的缺口部和被掃描線661及信號線662包圍的部分，裝入具備源電極、漏電極、半導體及柵電極的薄膜電晶體663的結構。然後，向掃描線661和信號線662外加信號後，使薄膜電晶體663通·斷，從而能夠對象素電極660進行通電控制。
此外，上述各例的液晶裝置620、630、650，採用了透過型的結構。但可以設置反射層或半透過反射層後，作為反射型的液晶裝置或半透過反射型的液晶裝置。
圖17是有機EL裝置的顯示區域(以下簡稱「顯示裝置700」)的主要部位剖面圖。
該顯示裝置700，主要以在基板(W)701上，層疊電路元件部702、發光元件部703及陰極704的狀態構成。
在該顯示裝置700中，由發光元件部703向基板701側發出的光，透過電路元件部702及基板701後，射向觀看者的一側，與此同時，由發光元件部703向基板701的相反側發出的光，被陰極704反射後，透過電路元件部702及基板701後，射向觀看者的一側。
在電路元件部702和基板701之間，形成由矽氧化膜構成的基底保護膜706；在該基底保護膜706上(發光元件部703的一側)，形成由多晶矽構成的島狀的半導體膜707。在該半導體膜707的左右區域，通過高濃度地注入陽離子，分別形成源極區域707a及漏極區域707b。然後，在沒有注入陽離子的中央部，成為溝道區域707c。
另外，在電路元件部702中，形成覆蓋基底保護膜706及半導體膜707的透明的柵極絕緣膜708，在該柵極絕緣膜708上的與半導體膜707的溝道區域707c對應的位置上，形成例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等構成的柵電極709。在該柵電極709及柵極絕緣膜708上，形成透明的第1層間絕緣膜711a和第2層間絕緣膜711b。另外，貫通第1、第2層間絕緣膜711a、711b，形成分別與半導體膜707的源極區域707a、漏極區域707b連通的接觸孔712a、712b。
然後，在第2層間絕緣膜711b上，布圖成為所定的形狀地形成由ITO等構成的透明的象素電極713，該象素電極713，通過接觸孔712a，與源極區域707a連接。
另外，在第1層間絕緣膜711a上，配置電源線714，該電源線714，通過接觸孔712b，與漏極區域707b連接。
這樣，在電路元件部702中，分別形成與各象素電極713連接的驅動用的薄膜電晶體715。
上述發光元件部703，主要由分別在多個象素電極713上層疊的功能層717和在各象素電極713及功能層717之間具備的、劃分各功能層717的圍堰部718構成。
這些象素電極713、功能層717及在功能層717上配置的陰極704，構成發光元件。此外，象素電極713，布圖成在俯視圖上略呈矩形後形成，在各象素電極713之間形成圍堰部718。
圍堰部718，例如由SiO、SiO2、TiO2等無機材料形成的無機物圍堰層718a(第1圍堰層)，和在該無機物圍堰層718a上層疊的由丙烯樹脂、聚醯亞胺樹脂等耐熱性、耐溶劑性優異的抗蝕劑形成的、斷面呈臺形的有機物圍堰層718b(第2圍堰層)構成。該圍堰部718的一部分，以位於象素電極713的周邊部之上的狀態形成。
然後，在各圍堰部718之間，形成對象素電極713而言，朝上方逐漸擴大的開口部719。
上述功能層717，由在開口部719內以層疊在象素電極713之上的狀態形成的空穴注入/輸送層717a，和在該空穴注入/輸送層717a上形成的發光層717b構成。此外，還可以與該發光層717b鄰接，形成具有其它功能的其它功能層。例如還可以形成電子輸送層。
空穴注入/輸送層717a，具有從象素電極713的一側輸送空穴、注入發光層717b的功能。該空穴注入/輸送層717a，採用噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第1組成物(功能液)的方法形成。作為空穴注入/輸送層形成材料，使用眾所周知的材料。
發光層717b，發出紅色(R)、綠色(G)或藍色(B)中的某一種光，採用噴出包含發光層形成材料(發光材料)的第2組成物(功能液)的方法形成。作為第2組成物的溶劑(非極性溶劑)，最好使用不溶於空穴注入/輸送層717a的眾所周知的材料。在發光層717b的第2組成物中，使用這種非極性溶劑後，能夠使空穴注入/輸送層717a不重新溶解地形成發光層717b。
然後，在發光層717b中，由空穴注入/輸送層717a注入的空穴，和由陰極704注入的電子，形成在發光層中重新結合而發光的結構。
陰極704，以覆蓋發光元件部703的整個面的狀態形成，與象素電極713結成對子後，發揮使電流流入功能層717的作用。此外，在該陰極704的上部，配置著未圖示的密封部件。
接著，參照圖18～圖26，講述上述顯示裝置700的製造方法。
該顯示裝置700，如圖18所示，經過下述工序製造圍堰部形成工序(S 111)、表面處理工序(S112)、空穴注入/輸送層形成工序(S113)、發光層形成工序(S114)及相對電極形成工序(S115)。此外，製造工序並不局限於例示的內容，可以根據需要，去掉或追加其它的工序。
首先，在圍堰部形成工序(S111)中，如圖19所示，在第2層間絕緣膜711b上，形成無機物圍堰層718a。該無機物圍堰層718a，通過在形成位置上形成無機物膜後，再採用光刻蝕術等在該無機物膜上布圖後形成。這時，無機物圍堰層718a的一部分，與象素電極713的周邊部重疊地形成。
形成無機物圍堰層718a後，如圖20所示，在無機物圍堰層718a上形成有機物圍堰層718b。該有機物圍堰層718b，也和無機物圍堰層718a一樣，採用光刻蝕術等布圖後形成。
這樣，就形成圍堰部718。另外，與此同時，在各圍堰部718之間，形成對象素電極713而言，朝上方開口的開口部719。該開口部719，規定象素區域。
在表面處理工序(S112)中，進行親液化處理及斥液化處理。實施親液化處理的區域，是無機物圍堰層718a的第1層疊部718aa及象素電極713的電極面713a，這些區域，例如經過將氧作為處理氣體的等離子體處理後，表面呈親液性。該等離子體處理，還兼有對象素電極713——ITO進行洗滌等的作用。
另外，斥液化處理，在有機物圍堰層718b的壁面718s及有機物圍堰層718b的上面718t中實施，例如經過將四氟化甲烷作為處理氣體的等離子體處理後，表面就被氟化處理(斥液性處理)。
經過該表面處理工序後，在使用功能液滴噴出頭252形成功能層717之際，能夠使功能液滴更精確地射到象素區域中，另外，還能防止射到象素區域的功能液滴從開口部719處溢出。
經過以上的工序後，可以獲得顯示裝置基體700A。將該顯示裝置基體700A放置到圖10所示的液滴噴出裝置201的安裝臺222上，進行以下的空穴注入/輸送層形成工序(S113)及發光層形成工序(S114)。
如圖21所示，在空穴注入/輸送層形成工序(S113)中，由功能液滴噴出頭252向象素區域——各開口部179內噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第1組成物。然後，如圖22所示，進行乾燥處理及熱處理，使第1組成物中包含的極性溶劑蒸發，在象素電極(電極面713a)713上形成空穴注入/輸送層717a。
接著，講述發光層形成工序(S114)。在該發光層形成工序中，如上所述，為了防止空穴注入/輸送層717a的再溶解，作為發光層形成之際使用的第2組成物的溶劑，使用對空穴注入/輸送層717a不溶的非極性溶劑。
可是，另一方面，由於空穴注入/輸送層717a對非極性溶劑的親和性低，所以即使將包含非極性溶劑的第2組成物噴到空穴注入/輸送層717a上，也有不能使空穴注入/輸送層717a和發光層717b貼緊或者不能均勻塗敷發光層717b的危險。
因此，為了提高空穴注入/輸送層717a對非極性溶劑及發光層形成材料的親和性，最好在發光層形成之前進行表面處理(表面改質處理)。該表面處理，通過在空穴注入/輸送層717a上塗敷和發光層形成之際使用的第2組成物的非極性溶劑相同的溶劑或與其類似的溶劑——表面改質材料，使其乾燥後進行。
進行這種處理後，空穴注入/輸送層717a的表面容易與非極性溶劑親和，在以後的工序中，能夠將包含發光層形成材料的第2組成物均勻塗敷到空穴注入/輸送層717a上。
再接著，如圖23所示，將與包含各色中的某一個(在圖23的示例中為藍色(B))對應的發光層形成材料的第2組成物作為功能液滴，向象素區域(開口部719)內打入所定量。打入象素區域內的第2組成物，在空穴注入/輸送層717a上擴散，裝滿開口部719內。此外，即使萬一第2組成物偏離象素區域，落到圍堰部718的上面718t上，也由於該上面718t如上所述，進行過斥液處理，所以第2組成物容易滾入開口部719內。
然後，進行乾燥工序等，對噴出後的第2組成物進行乾燥處理，使第2組成物包含的非極性溶劑蒸發，就如圖24所示，在空穴注入/輸送層717a上形成發光層717b。該圖表示形成與藍色(B)對應的發光層717b。
同樣，使用功能液滴噴出頭252，如圖25所示，依次進行和上述形成與藍色(B)對應的發光層717b時同樣的工序，形成與其它顏色(紅色(R)及綠色(G))對應的發光層717b。此外，發光層717b的形成順序，並不局限於例示的順序，用哪種順序都行。例如可以按照發光層形成材料，決定形成的順序。另外，作為R·G·B3色的排列圖案，有帶狀排列、嵌鑲排列及三角形排列等。
至此，在象素電極713上形成功能層717即空穴注入/輸送層717a及發光層717b。然後，進行相對電極形成工序(S115)。
在相對電極形成工序(S115)中，如圖26所示，例如採用蒸鍍法、濺射法、CVD法等，在發光層717b及有機物圍堰層718b的整個上，形成陰極704(相對電極)。該陰極704，在本實施方式中，例如層疊鈣層及鋁層後構成。
在該陰極704的上部，適當設置作為電極的Al膜、Ag膜及防止其氧化的SiO2、SiN等保護層。
這樣，在形成陰極704之後，再在該陰極704的上部，實施利用密封材料密封的密封處理及布線處理等其它處理，就獲得顯示裝置700。
圖27是等離子體型顯示裝置(PDP裝置，以下簡稱「顯示裝置800」)的主要部件的分解立體圖。此外，在該圖中，以將顯示裝置800去掉一部分的狀態顯示。
該顯示裝置800，主要包括互相相對配置的第1基板801、第2基板802及在它們之間形成的放電顯示部803。放電顯示部803，由多個放電腔805構成。在這些多個放電腔805中，紅色放電腔805R、綠色放電腔805G、藍色放電腔805B的3個放電腔805成為一組，構成1個象素地配置。
在第1基板801的上面，以所定間隔條紋狀地形成地址電極806，並且還覆蓋該地址電極806和第1基板801的上面地形成介電體層807。在介電體層807上，位於各地址電極806之間，而且沿著各地址電極806地直立設置隔壁808。該隔壁808，包括如圖所示的向地址電極806的寬度方向的兩側延伸的部分，和未圖示的向與地址電極806正交的方向延伸的部分。
然後，被該隔壁808隔開的區域，就成為放電腔805。
在放電腔805內，配置螢光體809。螢光體809，是發出紅(R)、綠(G)、藍(B)中的某一種顏色的螢光的元件，在紅色放電腔805R的底部，配置著紅色螢光體809(R)；在綠色放電腔805G的底部，配置著綠色螢光體809(G)；在藍色放電腔805B的底部，配置著藍色螢光體809(B)。
在第2基板802的圖中下側的面上，向與地址電極806正交的方向以所定間隔條紋狀地形成多個顯示電極811。然後，覆蓋它們地形成介電體層812及由MgO等構成的保護膜813。
第1基板801和第2基板802，以使地址電極806和顯示電極811互相正交的狀態相對地貼合在一起。此外，上述地址電極806和顯示電極811，與未圖示的交流電源連接。
然後，給各電極806、811通電後，在放電顯示部803中，螢光體809受激發光，可以進行彩色顯示。
在本實施方式中，上述地址電極806、顯示電極811及螢光體809，可以使用圖10所示的液滴噴出裝置201形成。以下，舉列講述第1基板801中的電極806的形成工序。
這時，在將第1基板801放置到液滴噴出裝置201的安裝臺222上的狀態下，進行以下工序。
首先，由功能液滴噴出頭252，將包含導電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，噴射到地址電極形成區域。該液體材料，作為導電膜布線形成用材料，是將金屬等導電性微粒分散到分散劑中的材料。作為該導電性微粒，可以使用包含金、銀、銅、鈀或鎳等的金屬微粒及導電性聚合體等。
對成為補充對象的所有的地址電極形成區域，補充液體材料的工序結束後，對噴出後的液體材料進行乾燥處理，使液體材料中包含的分散劑蒸發，從而形成地址電極806。
以上，雖然只舉例講述電極806的形成工序，但上述顯示電極811及螢光體809，也都可以經過以上工序形成。
形成顯示電極811時，和地址電極806一樣，將包含導電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴，噴射到顯示電極形成區域。
另外，形成螢光體809時，由功能液滴噴出頭252，將包含與各色(R、G、B)對應的螢光材料的液體材料(功能液)作為液滴，噴射到對應的顏色的放電腔805內。
圖28是電子發射裝置(也稱作「FED裝置」或「SED裝置」，以下簡稱「顯示裝置900」)的主要部件剖面圖。此外，在該圖中，將顯示裝置900的一部分，作為剖面顯示。
該顯示裝置900，主要由相互相對配置的第1基板901、第2基板902及在它們之間形成的電場發射顯示部903構成。電場發射顯示部903，由陣列狀地配置的多個電子發射部905構成。
在第1基板901的上面，相互正交地形成構成陰極電極906的第1元件電極906a及第2元件電極906b。另外，在用第1元件電極906a及第2元件電極906b隔開的部分，形成構成帽908的導電性膜907。就是說，由第1元件電極906a、第2元件電極906b及導電性膜907，構成許多電子發射部905。導電性膜907，例如由氧化鈀(PdO)等構成，另外，帽908，在導電性膜907成膜後，用成形法等形成。
在第2基板902的下面，形成與陰極電極906對峙的陽極電極909。在陰極電極906的下面，形成晶格狀的圍堰部911，在被該圍堰部911包圍、朝下的各開口部912中，與電子發射部905對應地配置螢光體913。螢光體913是發出紅(R)、綠(G)、藍(B)中的某一種顏色的螢光的元件，在各開口部912中，以上述所定的圖案配置著紅色螢光體913R、綠色螢光體913G及藍色螢光體913B。
然後，將這樣構成的第1基板901和第2基板902，存在微小間隙地貼合在一起。在該顯示裝置900中，通過導電性膜(帽908)907做媒介，使從陰極——第1元件電極906a或第2元件電極906b飛出的電子，撞擊陽極——陽極電極909上形成的螢光體913，可以使其受激發光，進行彩色顯示。
這時，也和其它實施方式一樣，可以使用液滴噴出裝置201，形成第1元件電極906a、第2元件電極906b、導電性膜907及陽極電極909，還能使用液滴噴出裝置201，形成各色的螢光體913R、91G、913B。
第1元件電極906a、第2元件電極906b及導電性膜907，具有圖29A所示的平面形狀，使它們成膜時，如圖29B所示，預先留下要裝入第1元件電極906a、第2元件電極906b及導電性膜907的部分，形成圍堰部BB(光刻蝕術)。接著，在由圍堰部BB構成的槽部，形成第1元件電極906a及第2元件電極906b(採用液滴噴出裝置201的噴墨法)，使該溶劑乾燥、成膜後，形成導電性膜907(採用液滴噴出裝置201的噴墨法)。然後，在導電性膜907成膜後，除去(拋光剝離處理)圍堰部BB，進行上述的成形處理。此外，和上述的有機EL裝置時一樣，最好對第1基板901、第2基板902進行親液化處理，以及對圍堰部911、BB進行斥液化處理。
另外，作為其它的電光學裝置，可以考慮金屬布線形成、透鏡形成及光擴散體形成等的裝置。通過將上述液滴噴出裝置201用於各種電光學裝置(器件)的製造後，可以高效率地製造出各種電光學裝置。
權利要求
1.一種液滴噴出裝置的控制方法，所述液滴噴出裝置實施加壓供給動作和描繪動作，所述加壓供給動作，利用加壓泵對功能液罐加壓以維持所定的動作壓力，由所述功能液罐將功能液加壓供給到噴出功能液滴的功能液滴噴出頭，從而進行功能液的加壓供給，所述描繪動作，一邊使所述功能液滴噴出頭相對於被設置在描繪區域的被描繪對象物進行移動，一邊驅動所述功能液滴噴出頭使之噴出所述功能液滴，從而進行描繪，其特徵在於包括檢出所述功能液罐內的壓力是否在所述動作壓力的下限壓力以下的壓力檢出工序；當所述功能液罐內的壓力處於所述下限壓力以下時，確認所述功能液滴噴出頭是否正在進行描繪動作的描繪動作確認工序；以及當得出不在進行所述描繪動作的確認時，將所述功能液罐加壓到所述動作壓力的上限壓力為止的第1加壓控制工序。
2.如權利要求1所述的液滴噴出裝置的控制方法，其特徵在於，正在進行所述描繪動作的所述功能液滴噴出頭，一邊在描繪移動區域內相對移動，一邊向位於所述描繪移動區域內的所述描繪區域噴出所述功能液滴，所述方法還具有第2加壓控制工序和描繪再開始工序，所述第2加壓控制工序，當得出正在進行所述描繪動作的確認、而且得出所述功能液滴噴出頭面對所述描繪區域的確認時，等待所述功能液滴噴出頭離開所述描繪區域後，中斷所述描繪動作並將所述功能液罐加壓到所述上限壓力為止，而當得出正在進行所述描繪動作的確認、而且得出所述功能液滴噴出頭沒有面對所述描繪區域的確認時，中斷所述描繪動作將所述功能液罐加壓到所述上限壓力為止；所述描繪再開始工序，在所述第2加壓控制工序之後，使所述描繪動作再開始。
3.如權利要求2所述的液滴噴出裝置的控制方法，其特徵在於所述第2加壓控制工序，取代所述上限壓力，用比該上限壓力低的描繪動作中的壓力進行加壓。
4.一種液滴噴出裝置，實施加壓供給動作和描繪動作，所述加壓供給動作，利用加壓泵對功能液罐加壓以維持所定的動作壓力，由所述功能液罐將功能液加壓供給到噴出功能液滴的功能液滴噴出頭，從而進行功能液的加壓供給，所述描繪動作，一邊使所述功能液滴噴出頭相對於被設置在描繪區域的被描繪對象物進行移動，一邊驅動所述功能液滴噴出頭使之噴出所述功能液滴，從而進行描繪，其特徵在於包括檢出所述功能液罐內的壓力是否在所述動作壓力的下限壓力以下的壓力檢出單元；在所述功能液罐內的壓力在所述下限壓力以下時，確認所述功能液滴噴出頭是否正在進行所述描繪動作的描繪動作確認單元；以及當得出不在進行所述描繪動作的確認時，將所述功能液罐加壓到所述動作壓力的上限壓力為止的第1加壓控制單元。
5.如權利要求4所述的液滴噴出裝置，其特徵在於，正在進行所述描繪動作的所述功能液滴噴出頭，一邊在描繪移動區域內相對移動，一邊向位於所述描繪移動區域內的所述描繪區域噴出所述功能液滴，所述液滴噴出裝置還具有第2加壓控制單元和描繪再開始單元，所述第2加壓控制單元，當得出正在進行所述描繪動作的確認、而且得出所述功能液滴噴出頭面對所述描繪區域的確認時，等待所述功能液滴噴出頭離開所述描繪區域後，中斷所述描繪動作並將所述功能液罐加壓到所述上限壓力為止，而當得出正在進行所述描繪動作的確認、而且得出所述功能液滴噴出頭沒有面對所述描繪區域的確認時，中斷所述描繪動作將所述功能液罐加壓到所述上限壓力為止；所述描繪再開始單元，在中斷所述描繪動作將所述功能液罐加壓到所述上限壓力為止之後，使所述描繪動作再開始。
6.如權利要求5所述的液滴噴出裝置，其特徵在於所述第2加壓控制單元，取代所述上限壓力，用比該上限壓力低的描繪動作中的壓力進行加壓。
7.如權利要求4～6任一項所述的液滴噴出裝置，其特徵在於，還具有面對所述功能液滴噴出頭，對該功能液滴噴出頭進行保養的維護單元；使所述功能液滴噴出頭相對於所述維護單元進行移動的頭移動單元；以及控制所述頭移動單元，使正在進行加壓供給動作的所述功能液滴噴出頭，面對所述維護單元的移動控制單元。
8.如權利要求7所述的液滴噴出裝置，其特徵在於，所述維護單元，具有下述諸單元中的至少一個以上密封所述功能液滴噴出頭的噴嘴面的罩蓋單元、從所述功能液滴噴出頭的噴嘴進行吸引的吸引單元、以及用摩擦接觸片擦拭所述功能液滴噴出頭的噴嘴面的摩擦接觸單元。
9.一種電光學裝置的製造方法，其特徵在於使用權利要求4～8任一項所述的液滴噴出裝置，在所述被描繪對象物上形成由所述功能液滴變成的成膜部。
10.一種電光學裝置，其特徵在於使用權利要求4～8任一項所述的液滴噴出裝置，在所述被描繪對象物上形成由所述功能液滴變成的成膜部。
11.一種電子機器，其特徵在於搭載了採用權利要求9所述的液滴噴出裝置的製造方法所製造的電光學裝置或權利要求10所述的電光學裝置。
全文摘要
一種功能液供給裝置的控制方法，其特徵在於，在為了維持所定的動作壓力，而實施加壓供給動作(利用加壓泵將功能液罐加壓，由所述功能液罐將功能液加壓供給噴出功能液滴的功能液滴噴出頭)和描繪動作(一邊使所述功能液滴噴出頭對安裝在描繪區域的被描繪對象物相對移動，一邊驅動所述功能液滴噴出頭，使之噴出所述功能液滴，進行描繪)的液滴噴出裝置的控制方法中，包括檢出所述功能液罐內的壓力是否在所述動作壓力的下限壓力以下的壓力檢出工序；在所述功能液罐內的壓力在所述下限壓力以下時，確認所述功能液滴噴出頭是否正在進行所述描繪動作的描繪動作確認工序；確認不在進行所述描繪動作時，將所述功能液罐加壓到所述動作壓力的上限壓力為止的第1加壓控制工序。
文檔編號B41J2/18GK1820952SQ200610008829
公開日2006年8月23日 申請日期2006年2月16日 優先權日2005年2月16日
發明者臼田秀範, 有賀和巳 申請人:精工愛普生株式會社