一種阻蒸設備用翻轉擋板裝置的製作方法

2023-06-21 14:01:39

本發明涉及一種阻蒸器用擋板裝置，具體是指一種阻蒸設備用翻轉擋板裝置。

背景技術：

阻蒸鍍膜一般是通過設置在鍍膜機內的阻蒸設備來加熱靶材使其表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來，並且使靶材的原子團或離子沉降在基片表面，通過成膜過程(散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。阻蒸鍍膜時為了防止基片在鍍膜完成後殘留在蒸發室內的靶材原子團或離子繼續為基片進行鍍膜，而影響靶材的鍍膜質量，我們便在阻蒸設備的上方設置了用於遮擋靶材原子團或離子的擋板裝置，使殘留在蒸發室內的靶材原子團或離子不會沉降在基片表面上。

然而，現有人們所採用的阻蒸設備用旋轉式擋板裝置工作時其擋板需進行170°旋轉，而擋板旋轉時會佔用安裝阻蒸設備的蒸發室大部分空間，導致阻蒸鍍膜機的蒸發室的利用率過低，致使蒸發室內部不能設置多個阻蒸設備，從而嚴重的影響了阻蒸鍍膜機的工作效率。

技術實現要素：

本發明的目的在於克服現有的阻蒸設備用旋轉式擋板裝置工作時其擋板佔用阻蒸鍍膜機的蒸發室空間過大的缺陷，提供一種阻蒸設備用翻轉擋板裝置。

本發明的目的通過下述技術方案現實：一種阻蒸設備用翻轉擋板裝置，主要由防汙板，設置在防汙板上並能帶動防汙板上下運動的連杆組件，以及與連杆組件相連接的氣缸組成；所述連杆組件連接在氣缸的伸縮杆上。

所述連杆組件包括與氣缸的伸縮杆相連接並能跟隨伸縮杆上下運動的連接杆，通過絲杆連接在連接杆上並能跟隨連接杆運動的連動杆，以及與連動杆相連接並能帶動防汙板上下運動的安裝件；所述防汙板通過連接軸連接在安裝件上。

所述氣缸上設置有連接筒，所述氣缸的伸縮杆貫穿連接筒，且該伸縮杆通過直線軸承連接在連接筒上。

所述氣缸的伸縮杆上設置有與連接筒相連接的密封座，所述氣缸的伸縮杆通過密封環與密封座相連接。

所述安裝件通過深溝軸承連接在安裝座上。

所述密封座上設置有壓環。

所述氣缸的伸縮杆上還設置有密封壓頭，所述密封壓頭還與密封座相連接。

所述防汙板上設置有把手，所述把手貫穿防汙板後並與連接軸相連接。

所述氣缸為dnc系列的直線往復運動的氣缸。

本發明與現有技術相比具有以下優點及有益效果：

(1)本發明設的防汙板相連接的連杆組件在氣缸的伸縮杆的帶動能進行上下翻轉，本發明的防汙板進行上下翻轉比現有的防汙板的170°旋轉相比，本發明的防汙板進行上下翻轉極大的減小了防汙板在阻蒸鍍膜機的蒸發室所佔用的空間，使蒸發室能安裝多個阻蒸設備，從而使本發明能有效的提高阻蒸鍍膜機的蒸發室的利用率，並很好的提高了阻蒸鍍膜機的工作效率。

(2)本發明的連杆組件設置了連接杆和連動杆以及安裝件能有效的減小連杆組件所佔高阻蒸鍍膜機的蒸發室的空間。

(3)本發明設置的安裝座用於安裝連杆組件，該安裝座能使連杆組件的安裝工作更穩定，而設置在安裝座上的密封座能有效的提高翻轉擋板裝置與蒸發室連接的緊密性，有效的防止空氣進入蒸發室。

(4)本發明在連杆組件與安裝座的連接處設置的深溝軸承能很好的提高防汙板翻轉的靈活性。

(5)本發明在防汙板上設置的把手能便於防汙板的安裝與拆卸，本發明並具有結構簡單、設計合理和生產成本低等優點。

附圖說明

圖1為本發明的整體示意圖。

圖2為本發明的局部剖視圖。

圖3為本發明的工作示意圖。

上述附圖中，附圖標記對應的部件名稱如下：

1—防汙板，2—氣缸，3—密封座，4—安裝座，5—連接杆，6—絲杆，7—連動杆，8—連接筒，9—把手，10—壓環，11—伸縮杆，12—安裝件，13—連接軸，14—直線軸承，15—密封環，16—深溝軸承，17—密封壓頭，18—螺栓。

具體實施方式

下面結合實施例對本發明作進一步地詳細說明，但本發明的實施方式並不限於此。

實施例

如圖1～3所示，本發明公開了一種阻蒸設備用翻轉擋板裝置，主要由防汙板1，與防汙板1相連接的連杆組件，以及與連杆組件相連接的氣缸2組成；所述連杆組件連接在氣缸2的伸縮杆11上。其中，所述連杆組件如圖2所示，其包括連接杆5，連動杆7，安裝件12，以及用於連接連接杆5和連動杆7的絲杆6。

實施時，所述的防汙板1本發明優先採用了不鏽鋼製成的弧形面板來實現，該防汙板1上設有用於安裝把手9的通孔。把手9貫穿防汙板1上的通孔後連接在連接軸13上，該把手9與連接軸13採用螺紋連接的方式進行連接，把手9用於將防汙板1固定連接在連接軸13上。在需對防汙板1進行拆卸時只需用手擰下把手9便能完成對防汙板1的拆卸，不需要別的輔助工具便能完成。所述的連接軸13連接在連杆組件上。

所述連杆組件如圖2、3所示，其包括連接杆5，連動杆7，安裝件12，以及用於連接連接杆5和連動杆7的絲杆6。所述的安裝件12上設有通孔和兩個安裝孔，所述的連接軸13通過螺紋連接的方式安裝在安裝件12上的其中一個安裝孔內。安裝件12上設置了安裝座4，該安裝座4用於安裝連杆組件和連接氣缸2，所述的安裝件12安裝在安裝座4上，為了使安裝件12能在安裝座4上自由的轉動，本發明在安裝座4用於連接安裝件12的槽孔內設置了深溝軸承16，該深溝軸承16能使安裝件12實現自由轉動。所述的連動杆7一端通過螺紋連接在安裝件12的另一個安裝孔內，而另一端則通過螺紋連接的方式連接在絲杆6的一端上，該連動杆7在為可摺疊式連動杆，採用可摺疊式連動杆7能減少使整個連杆組件所佔高阻蒸鍍膜機的蒸發室的空間。

同時，所述的接連接杆5則通過螺紋連接在絲杆6的另一端上，使接連接杆5和絲杆6以及連動杆7與絲杆6相連接的一端能在氣缸2的伸縮杆11的帶動下與伸縮杆11一起向運動，而連動杆7與安裝件12連接的一端則與伸縮杆11的運動方向相反，安裝件12在連動杆7的帶動下也與伸縮杆11運動相反。所述的安裝座4上還設置了密封座3，該密封座3位於安裝座4的下方，該密封座3的下端上設置有兩個以上的穿心孔，本發明在安裝時密封座3安裝在蒸發室的安裝臺的下端，而密封座3相連接的安裝座4則位於蒸發室內，安裝時將螺釘貫穿密封座3上的穿心孔連接在安裝座4上。為了使安裝座4與蒸發室的安裝臺能緊密的接觸，以防止空氣進入蒸發室內，本發明在蒸發室內與蒸發室之間設置了壓環10，該壓環10安裝在密封座3上，該壓環10本發明優先採用了耐高溫材料製成的壓環。

進一步地，本發明在密封座3的下方設置了連接筒8，該連接筒8用於安裝氣缸2，氣缸2通過螺釘安裝在連接筒8的下端上，氣缸2的伸縮杆11從下至上依次貫穿連接筒8和密封座3。同時，氣缸2的伸縮杆11通過直線軸承14連接在連接筒8上，氣缸2的伸縮杆11並通過密封環15連接在密封座3上，為了使密封環15與氣缸2的伸縮杆11和密封座3的連接更緊密，本發明在密封座3上還設置了密封壓頭17，該密封壓頭17優先採用了其內孔光滑的壓頭。所述氣缸2的伸縮杆11貫穿密封壓頭17的內孔後與連接杆5相連接，連接杆5並通過螺栓18垂直固定在氣缸2的伸縮杆11上，使氣缸2的伸縮杆11能帶動連接杆5進行上下直線運動。

本發明中所述的氣缸2優先採用了dnc系列的直線往復運動的氣缸，該氣缸2與外部的壓縮機通過氣管相連接，外部的壓縮機對氣缸2進行吸氣做工時，氣缸2的伸縮杆11向氣缸2內收縮，外部的壓縮機對氣缸2進行充氣做工時，氣缸2的伸縮杆11向氣缸2外伸展。

本發明運行時，阻蒸鍍膜機對基片進行鍍膜時，控制系統控制與氣缸2相連接的外部的壓縮機對氣缸2進行充氣做工，氣缸2的伸縮杆11帶動連接杆5向上運動，而連接杆5使連動杆7帶動通過連接軸13安裝件12連接在上的防汙板1延安裝座4上的深溝軸承16向安裝座4的下端運動，使蒸發舟內的靶材的原子團或離子沉降在基片表面，從而實現對基片的鍍膜。當鍍膜完成後，控制系統控制與氣缸2相連接的外部的壓縮機對氣缸2進行吸氣做工，氣缸2的伸縮杆11帶動連接杆5向下運動，而連接杆5使連動杆7帶動通過連接軸13安裝件12連接在上的防汙板1延安裝座4上的深溝軸承16向安裝座4的上端轉動，使防汙板1擋住蒸發舟內的靶材的原子團或離子，使靶材的原子團或離子不會沉降在基片表面，從而防止了殘留在阻蒸鍍膜機的蒸發室內的靶材原子團或離子沉降在基片上，有效的確保了鍍膜的質量。

本發明通過防汙板1相連接的連杆組件在氣缸2的伸縮杆11的帶動下實現了上下翻轉，本發明的防汙板1進行上下翻轉比現有的防汙板的180°旋轉相比，本發明的防汙板1進行上下翻轉極大的減小了防汙板在阻蒸鍍膜機的蒸發室所佔用的空間，使蒸發室能安裝多個阻蒸設備，從而使本發明能有效的提高阻蒸鍍膜機的蒸發室的利用率，並很好的提高了阻蒸鍍膜機的工作效率。

如上所述，便可很好的實現本發明。