具有可調節電容的等離子體處理系統的方法和裝置的製作方法

2023-06-03 19:44:26

專利名稱：具有可調節電容的等離子體處理系統的方法和裝置的製作方法
具有可調節電容的等離子體處理系統的方法和裝置
背景技術：
等離子體處理的進步驅動了半導體工業的增長。由於半導體工業的高度競爭特 性，器件製造商想要使產量最大化並高效地利用襯底上能夠獲得的表面。在襯底的等離子 體處理過程中，需要控制多個參數以確保處理的器件的高產量。有缺陷的器件的通常原因 是缺乏襯底處理過程中的一致性。可能影響一致性的因素是襯底邊緣效應。有缺陷的器件 的另一個原因可能是由於在轉移過程中聚合物副產品從一個襯底的後部脫落，落到另一個 襯底上。當前的製造技術面臨著對更高性能器件的需要、進一步減少襯底特徵尺寸的壓力 以及更新的最優襯底材料的實現的挑戰。例如，保持更大的襯底(例如，> 300毫米)上從 中心到邊緣的處理結果的一致性變得越來越困難。通常，對於給定的特徵尺寸，隨著襯底的 尺寸變得更大，邊緣附近襯底上的器件的數量增加。同樣地，對於給定的襯底尺寸，隨著器 件的特徵尺寸的減小，邊緣附近襯底上的器件的數量增加。例如，通常，襯底上的器件總數 的20%以上位於襯底的圓周附近。圖1顯示了具有單一熱邊緣環的電容耦合等離子體處理系統的簡圖。通常，通過 電容耦合，使用射頻發生器112來產生等離子體並控制等離子體密度。某些刻蝕應用可能 要求上電極接地而下電極由射頻能量接電。一般來說，一組適當的氣體通過上電極102中的進口流入。然後該氣體被離子化 以形成等離子體104，以處理(例如，刻蝕或沉積在)襯底106 (比如半導體襯底或玻璃平 板)的暴露區域，在靜電卡盤(ESC) 108上有熱邊緣環(HER) 116 (例如，矽等)，該靜電卡盤 108也作為接電電極。熱邊緣環116通常執行多種功能，包括在ESC108上定位襯底106以及遮擋不在襯 底自身保護下的下方元件免於被等離子體的離子損害。熱邊緣環116，如圖1所示，被置於 襯底106的邊緣的下方和周圍。熱邊緣環116可以進一步坐落在耦合環114(例如，石英 等)上，其通常被配置為提供從卡盤108到熱邊緣環116的電流通路。如圖1所示，石英套筒126被配置為從耦合環114伸出以將HER 116與ESC108隔 離以最小化從ESC組件108和110到HER 116的直接的射頻耦合。HER 116到ESC組件108 和110的射頻耦合是由耦合環114提供的。石英套筒126和耦合環114可以是單一部件或 者可以是兩個獨立的部件。在圖1的實施例中，絕緣體環118和120被配置為提供ESC108和接地環122之間 的隔離。石英罩124被置於接地環122上。耦合環114的材料可以是石英或者合適的材料 以優化從ESC 108到HER116的射頻耦合。例如，可以使用石英作為耦合環114以最小化到 HER 116的射頻耦合。在另一個實施例中，可以使用鋁作為耦合環114以增強到HER 116的
射頻耦合。 由於襯底邊緣效應，比如電場、等離子體溫度和來自工藝化學物質的負載作用，在 等離子體處理過程中，襯底邊緣附近的處理結果可能不同於襯底的其它(中心)區域的處 理結果。例如，襯底106邊緣周圍的電場可能由於到HER 116的射頻耦合的變化而變化。等離子體包層的等勢線可能被破壞，在襯底邊緣周圍帶來不一致的離子角分布(angular distribution)。一般來說，人們希望電場在襯底的整個表面上方保持大體恆定，以保持處理的一 致性和豎直的刻蝕輪廓。在等離子體處理過程中，可以通過設計優化襯底106和HER 116 之間的射頻耦合平衡以保持處理的一致性和縱向刻蝕。例如，可以將到HER 116的射頻耦 合優化為最大的射頻耦合以獲得一致刻蝕。然而，保持處理一致性的射頻耦合平衡可能帶 來斜緣(beveled edge)聚合體沉積的代價。在刻蝕處理過程中，聚合物副產品(例如，氟化聚合物等)在襯底背部上和/或襯底邊緣周圍形成是常見的。氟化聚合物通常是由先前暴露於刻蝕化學物質的光刻膠材料或 者碳氟化合物刻蝕處理過程中沉積的聚合物副產品組成的。通常，氟化聚合物是一種具有 化學式CxHyFz的物質，其中X、Z是大於0的整數，而y是大於或等於0的整數(例如，CF4, 匚2屍6、CH2F2、C4F8、C5F8 等)。然而，當連續的聚合物層作為一些不同刻蝕處理的結果而沉積在邊緣區域時，通 常堅固而粘著的有機粘結物會最終削弱並脫落或剝離，通常在轉移過程中會落在另一個襯 底上。例如，襯底通常是通過基本清潔的容器(通常稱為盒)在各等離子體處理系統之間 成組移動的。當放置的較高的襯底在該容器中移動時，一部分聚合物層可能會落到較低的 襯底上(那裡存在晶粒)，有可能影響器件的良率。圖2顯示了襯底的簡圖，其中顯示一組邊緣聚合物已經沉積在平坦的背部上。如 前所述，在刻蝕處理過程中，聚合物副產品(邊緣聚合物)在襯底上形成是常見的。在此實 施例中，聚合物副產品已經沉積在平坦的背部，也就是說，襯底上遠離等離子體的那一側。 例如，聚合物的厚度可以是在大約70° 202處為大約250nm，在大約45° 204處為270nm， 在0° 206處為大約120nm。通常，聚合物的厚度越大，聚合物的一部分變得移位並落在另 一個襯底或者卡盤上，從而影響生產良率的概率越高。例如，到HER 116的射頻耦合可以優化為最小的射頻耦合以減少聚合物副產品在 斜緣上的沉積。然而，最小化斜緣聚合物沉積的射頻耦合平衡可能帶來保持襯底邊緣的處 理一致性的代價。因此，上述現有技術方法要求最佳的熱邊緣環具有固定的幾何形狀和/或材料， 使得射頻耦合的值恆定。因此，可能需要平衡熱邊緣環和襯底之間的射頻耦合，以在邊緣一 致性或者斜緣聚合物沉積的優化之間找到平衡。

發明內容
在一個實施方式中，本發明涉及一種在等離子體處理室中處理襯底的方法。該襯 底被置於卡盤上方並被邊緣環圍繞。該邊緣環被從該卡盤電性隔離。該方法還包括向該卡 盤提供射頻電力。該方法還包括提供可調節電容裝置。該可調節電容裝置耦合於該邊緣環 以向該邊緣環提供射頻耦合，使得該邊緣環具有邊緣環電勢。該方法進一步包括在該等離 子體處理室中產生等離子體以處理該襯底。該襯底被處理而該可調節電容裝置被配置為在 處理該襯底的同時，按照所述襯底的直流電勢動態調節所述邊緣環電勢。上述發明內容只涉及此處揭示的本發明的許多實施方式中的一個，並不意在限制 本發明的範圍，該範圍如權利要求所述。在下面本發明的具體實施方式
部分，結合附圖，對本發明的這些及其他特徵進行更加詳細的描述。


本發明是以附圖的各圖中的實施例的方式進行說明的，而不是以限制的方式，其 中類似的參考標號表示類似的元件，其中圖1顯示了具有單一熱邊緣環的電容耦合等離子體處理系統的簡圖。圖2顯示了襯底的簡圖，其中顯示一組邊緣聚合物已經沉積在平坦的背部上。圖3顯示了，按照本發明的一個實施方式，被配置有具有氣密密封腔的耦合環組 件以提供可調節(tunable)電容的電容耦合等離子體處理系統的簡圖。圖4顯示了，按照本發明的一個實施方式，配置有直流繼電器開關的多頻電容耦 合等離子體處理系統。圖5A顯示了，按照本發明的一個實施方式，配置有機械電容器裝置 (arrangement)的多頻電容耦合等離子體處理系統。圖5B顯示了，按照本發明的一個實施方式，配置有可用於可變電容器裝置中的斷 流器(cutout)的同心環的俯視圖。
具體實施例方式現在參考附圖中描繪的一些實施方式，對本發明進行詳細描述。在下面的描述中， 闡明了許多具體細節以提供對本發明的徹底理解。然而，顯然，對本領域的技術人員來說， 沒有這些具體細節中的一些或全部本發明仍然可以實現。在其它情況下，沒有對熟知的工 藝步驟和/或結構進行詳細描述，以免不必要地模糊本發明。下面描述了包括方法和技術在內的各種實施方式。應當記住，本發明也涵蓋包括 計算機可讀介質的製造品，在該計算機可讀介質上存儲有用於執行本發明的技術的各實施 方式的計算機可讀指令。計算機可讀介質可能包括，例如，半導體、磁的、光磁的、光學的或 者其它形式的用於存儲計算機可讀代碼的計算機可讀介質。進一步，本發明還可涵蓋用於 實現本發明的各實施方式的裝置。這樣的裝置可能包括電路(專用的和/或可編程的)以 執行與本發明的各實施方式有關的任務。這樣的裝置的實施例包括被適當編程的通用計算 機和/或專用計算裝置，並可包括適於執行與本發明的各實施方式有關的各種任務的計算 機/計算裝置和專用/可編程電路。按照本發明的各實施方式，提供用於配置等離子體處理系統以增強對各等離子體 處理參數的控制的方法和裝置。本發明的各實施方式包括為到熱邊緣環的射頻耦合提供可 調節電容，以在襯底和該熱邊緣環之間製造出期望的電勢差。因此，給定的等離子體處理的 等離子體包層的等勢線可以被優化以實現襯底邊緣的一致的刻蝕，而又不妨礙從該襯底的 斜緣清潔聚合物副產品。在本發明的一個或多個實施方式中，提供一種配置有上耦合環和下耦合環的耦合 環組件。在一個實施方式中，該上耦合環和該下耦合環可以被耦合以形成氣密密封。在一 個實施方式中，該氣密密封耦合環組件內有一個腔，該氣密密封腔可被配置有進口和出口 以傳送電介質材料進出該空腔。在一個實施方式中，通過改變該氣密密封腔內部的電介質 材料可以改變該耦合環組件的電容，以影響熱邊緣環頂上的區域的電學性質。因此，在等離子體處理過程中，調整該耦合環的電容以最小化襯底和該熱邊緣環之間的電勢差以獲得對 該襯底的一致刻蝕。類似地，調整該耦合環的電容以最大化該襯底和該熱邊緣環之間的電 勢差以執行對該襯底的斜緣清潔。在一個實施方式中，HER可以配置有接觸腳(contactfoot)。在一個實施方式中， 可移動的連接器可被配置於軸上方以使該連接器上下移動以與該接觸腳接觸。按照本發明 的一個實施方式，該軸可以通過帶片(strap)射頻耦合於ESC下電極。在一個實施方式中， 在等離子體處理過程中，該連接器可以被上下移動以與該接觸腳接觸以充當機械開關，也 就是說，直流繼電器開關，打開或者關閉從該ESC下電極到該HER的射頻耦合。因此，當該 連接器和該腳之間接觸時，到該HER的射頻耦合為一致刻蝕而優化。然而，當該連接器和該 腳之間不接觸時，到該HER的射頻耦合為斜緣清潔而最小化。在一個實施方式中，下熱邊緣環可以配置有向下突出的第一板。在一個實施方式 中，下熱邊緣環可以配置於HER下方並且不暴露於等離子體。在另一個實施方式中，第一板 可以直接耦合於HER而不使用下熱邊緣環。按照本發明的一個實施方式，該第一板可以被 配置為平行於第二板以在該第一板和該第二板之間形成具有空氣間隙的機械電容器裝置。 在一個實施方式中，該第二板可以通過多個帶片射頻耦合於下ESC電極。在等離子體處理 過程中，在一個實施方式中，通過相對於該第一板移動該第二板以改變這兩個板之間的重 疊面積，可以動態調整該機械電容器裝置的電容。因此，從該ESC下電極到該HER的射頻耦 合可以由該機械電容器裝置動態調整。
在另一個實施方式中，該機械電容器裝置可以是從多個同心環配置的。在一個實 施方式中，一個同心環可以配置有多個斷流器和多個隔離該斷流器的部分。在一個實施方 式中，根據最佳射頻耦合的預先確定的需要，每個斷流器和/或每個部分可以配置有類似 的或不同的幾何形狀。在一個實施方式中，兩個同心環(其中每個具有多個斷流器)可以 被置於熱邊緣環下方。在一個實施方式中，各同心環可以被空氣間隙隔開以形成電容器裝 置。在等離子體處理過程中，該同心環電容器裝置的電容可以被動態調整以改變從ESC組 件到HER的射頻耦合。參考下面的附圖和討論，可以更好地理解本發明的特徵和優點。圖3顯示了，按照 本發明的一個實施方式，被配置有具有氣密密封腔的耦合環組件以提供可調節電容的電容 耦合等離子體處理系統300的簡圖。等離子體處理系統300可以是單頻、雙頻或三頻射頻電容性放電系統(discharge system)。在一個實施例中，射頻可包括但不限於，例如，2MHz、27MHz和60MHz。等離子體處 理系統300可以被配置為包括位於靜電卡盤(ESC) 308上方的襯底306。ESC 308(其也充 當接電電極)被置於ESC下電極310上方。考慮這種情況，例如，其中正在處理襯底306。在等離子體處理過程中，具有到地通 路(未示以簡化該圖)的多頻射頻發生器312可以通過射頻匹配網絡(未示以簡化該圖) 向ESC下電極310供應低射頻偏置電力。來自射頻發生器312的射頻電力可能與氣體(未 示以簡化該圖)相互作用以在上電極302和襯底306之間引燃等離子體304。可以使用等 離子體刻蝕襯底306和/或在襯底306上沉積材料以形成電子器件。如圖3所示，某些特定刻蝕應用可能要求上電極302相對於下電極(其被RF接 電)接地。該射頻電力是2MHz、27MHz和60MHz中的至少一個。又一種刻蝕應用可能要求該上電極和該下電極兩者都被使用類似的射頻頻率射頻接電。在圖3的實現中，絕緣體環318和320被配置為在熱邊緣環(HER) 316和接地環322之間提供隔離。石英罩324被置於接地環322頂上。HER 316可進一步坐落於耦合環 組件314上。耦合環組件314可以是由比如鋁或石墨等導電材料製成的，以提供從ESC組 件(例如，ESC 308和ESC下電極310)到HER 316的射頻耦合。與現有技術不同，按照本發明的一個實施方式，其中該耦合環是整體結構，耦合環 組件314被配置有上耦合環314a、下耦合環314b和空腔330。在一個實施方式中，空腔330 是在耦合環組件內部氣密密封的。此處使用的術語「氣密密封」用來表示防止氣體或者液 體進入或者漏出空腔。在一個實施方式中，空腔330可以是使用位於上耦合環314a和下耦合環314b之 間的交界332處的0形環(未示)氣密密封的。替代地，可以使用形成氣密密封的其它方 式，例如，電阻焊接、焊封和/或玻璃密封，以適當地匹配用作耦合環組件的材料。儘管不希望被理論束縛，在此發明人相信，改變耦合環組件314的電容可以帶來 HER 316的頂部表面的射頻電壓的相應改變。例如，因為電容是通過該耦合環組件增加的， 該耦合環組件的阻抗的減少在該HER的頂部表面帶來更高的RF電壓。因此，可以在該HER 上方的區域中產生更高的等離子體密度。另一方面，例如，如果該耦合環組件的電容減少，阻抗會減少，在該HER的頂部表 面上帶來更低的射頻電壓。因此，該HER上方的區域中的等離子體密度可能更少。按照本發明的一個實施方式，圖3顯示了具有氣密密封腔330、進口通道326和出 口通道328的耦合環組件314。在一個實施方式中，進口通道326和出口通道328被配置為 傳送電介質材料進出氣密密封腔330。因此，在一個實施方式中，通過改變空腔330內部的 電介質材料，可以改變耦合環組件314的電容。電介質材料可以是一種固體、液體或者氣體。例如，在一個實施方式中，可以使用 如空氣、氮氣、礦物油、蓖麻油、水、甘油等電介質材料以實現預先確定的電容。在一個實施方式中，對轉移電介質材料進和/或出空腔330的控制是主動或被動 的流量控制系統。在主動流量控制系統中，該電介質材料流入和/或流出空腔330可以被 動態控制。例如，在等離子體處理過程中，該電介質材料可以是以預先確定的流速流過該空 腔的。在另一個實施例中，對於被動流量控制系統，該電介質材料可以是以期望的體積流入 空腔330的。然而，在等離子體處理過程中，對於被動流量控制系統，該電介質材料不是被 動態地流過空腔330的。考慮這種情況，例如，其中在等離子體處理過程中，期望對襯底306進行一致刻 蝕。在一個實施例中，按照一個實施方式，可以選定第一電介質材料以給耦合環組件314預 先確定的電容以優化從ESC組件到HER 316的射頻耦合，以在襯底邊緣環316上方的射頻 包層電壓(Vedge ring)區域相對於襯底306上方的射頻包層電壓(Vsubstrate)區域之間實現類似 的等離子體包層以產生最小電勢差(vsubstrate-vedg ing)。因此，對於給定的等離子體處理，該 等離子體包層的等勢線被優化以使得對襯底306邊緣的離子轟擊保持筆直。襯底306邊緣 的豎直的離子轟擊可以確保在等離子體處理過程中相對於襯底中心的一致刻蝕和刻蝕成 的圖案的豎直輪廓。替代地，按照一個實施方式，可以選定第二電介質材料以賦予耦合環組件314預先確定的電容以最小化從ESC組件到HER316的射頻耦合，以在襯底邊緣環316上方的射頻包層電壓(Vedgering)區域相對於襯底306上方的射頻包層電壓(VsubsteaJ區域之間實現 不相似的等離子體包層，以產生最大的電勢差formula see original document page 10。由於襯底306和HER 316之間的高電壓電勢，在襯底306的斜緣上可能發生電弧。 通常，電弧是一種不受歡迎的不可控事件。然而，在襯底的斜緣上沒有器件。因此，按照本 發明的一個實施方式，襯底306的斜緣上的電弧或微爆炸可以作為一種清潔機制而需要， 以除去該襯底的斜緣上沉積的聚合物副產品。在現有技術中，該耦合環是一種整體結構而到該HER的射頻耦合被優化以在襯底 邊緣的一致刻蝕或該斜緣上沉積聚合物副產品之間取得平衡。與現有技術方法不同，通過 在該耦合環組件的空腔內部有預先確定的電介質材料，該耦合環組件的電容可以被調節。 因此，在對襯底的多步驟等離子體處理中，可以調整該熱邊緣環上的電學性質以在刻蝕步 驟過程中實現一致刻蝕而在清潔步驟中實現聚合物副產品沉積的斜緣清潔。圖4顯示了，按照本發明的一個實施方式，配置有直流繼電器開關的多頻電容耦 合等離子體處理系統400。等離子體處理系統400可以被配置為包括接地上電極402、襯底 406、靜電卡盤(ESC) 408、ESC下電極410、絕緣體環418和420、接地環422和石英罩424。考慮這種情況，例如，正在處理襯底406。當氣體(未示以簡化該圖)與來自射頻 電力產生器412的射頻電力相互作用時，可以激發等離子體404。可以使用等離子體404刻 蝕襯底406和/或在襯底406上沉積材料以形成電子器件。如上所述，襯底邊緣效應，比如電場、等離子體溫度和來自處理化學物質的負載作 用，可能使得襯底邊緣附近的處理結果不同於襯底的其它(中心)區域的處理結果。例如， 該等離子體包層的等勢線可能被破壞，導致襯底邊緣周圍的非一致離子角分布。在圖4的實現中，HER 416被置於耦合環414上方及襯底406的邊緣周圍。在一 個實施方式中，HER 416可配置有接觸腳426。按照本發明的一個實施方式，可移動連接器 428可置於軸430上方以使連接器428向上和/或向下移動。在一個實施方式中，軸430被 配置為通過帶片432實現與ESC下電極410的射頻耦合。在一個實施方式中，通過向上和 /或向下移動連接器428，連接器428可以與接觸腳426物理接觸以充當機械開關，也就是 說，直流繼電器開關，以開啟或關閉從ESC下電極410到HER 416的射頻耦合。在一個實施方式中，當連接器428被向上移動與接觸腳426物理接觸時，到HER 416的射頻耦合被優化以在襯底406和HER416之間提供最小的電勢差(Vsubstrate-Vedge ring) 以實現該襯底邊緣的一致刻蝕。在另一個實施方式中，當連接器428被向下移動從而不與接觸腳426接觸時， 到HER 416的射頻耦合可以被最小化以在襯底406和HER 416之間提供最大的電勢差
(Vsubstrate-Vedge ring)以除去沉積在該襯底斜緣上的聚合物副產品。在現有技術中，到該HER的射頻耦合被優化以在襯底邊緣的一致刻蝕或該斜緣上 的聚合物副產品的沉積之間取得平衡。與現有技術方法不同，該機械開關可被配置為改變 從ESC下電極到HER的射頻耦合的開啟和閉合以影響該HER頂上的電學性質。因此，在對 襯底的多步驟等離子體處理中，在刻蝕步驟中，通過開啟該機械開關而透過射頻耦合優化 該熱邊緣環上的電學性質，以實現一致刻蝕。類似地，在清潔步驟中，通過用該機械開關關 閉射頻耦合，而實現對聚合物副產品沉積的斜緣清潔。
圖5A顯示，按照本發明的一個實施方式，配置有機械電容器裝置的多頻電容耦合 等離子體處理系統500。等離子體處理系統500可以被配置為包括接地上電極502、襯底 506、靜電卡盤(ESC) 508、ESC下電極510、石英套筒517、絕緣體環518和520、接地環522和 石英罩524。考慮這種情況，例如，正在處理襯底506。當氣體(未示以簡化該圖)與來自射頻 電力產生器512的射頻電力相互作用時，可以激發等離子體504。可以使用等離子體504刻 蝕襯底506和/或在襯底506上沉積材料以形成電子器件。在圖5的實現中，HER 516被置於襯底508的邊緣周圍。石英套筒517被配置為 將HER 516從ESC 508隔離以最小化從ESC組件508和510到HER 516的直接射頻耦合。在一個實施方式中，下HER環526(其配置有向下突出的第一電容器環528)可被 置於HER 516下方。在一個實施方式中，下HER環526不暴露於等離子體504並且不需要 像HER 516那樣頻繁更換。按照本發明的一個實施方式，從下HER環526向下突出的第一 環528可被配置為平行於第二環530以在打開的空腔區域514中形成具有空氣間隙534的 機械電容器裝置。在一個實施方式中，第二環530可以通過多個帶片532射頻耦合於ESC 下電極510。該多個帶片532可用於提供第二環530周圍的射頻耦合的方位角的一致性。替代地，在另一個實施方式中，第一環528可以被直接附著於HER 516以形成具有 第二環530的電容器裝置。在此實現中，下HER環526不是必需的。在一個實施方式中，在等離子體處理過程中，第二環530可以被配置為相對於第 一環528向上和/或向下移動以改變第二環530和第一環528之間的重疊面積。在一個實 施方式中，通過改變該重疊面積，在等離子體處理過程中可以動態調整該電容以改變從ESC 下電極510到HER 516的射頻耦合。在一個實施方式中，當第二環530被向上移動以與第一環528形成最大重疊 時，到HER 516的射頻耦合可以被優化以在襯底506和HER 516之間提供最小的電勢差
(Vsubstrate Vedge ring )以實現該襯底邊緣的一致刻蝕。在另一個實施方式中，當第二環530被向下移動從而不與第一環528重疊時， 到HER 516的射頻耦合可被最小化以在襯底506和HER 516之間提供最大的電勢差
(Vsubstrate-Vedge ring)以除去該襯底斜緣上沉積的聚合物副產品。圖5B顯示了，按照本發明的一個實施方式，配置有可用於可變電容器裝置中的斷 流器的同心環540的俯視圖。在一個實施方式中，同心環540可以配置有斷流器550、554 和558。在一個實施方式中，圍繞同心環540，第一斷流器550可以由第一部分552隔開，第 二斷流器554可以由第二部分556隔開等。按照本發明的一個實施方式，第一斷流器550可與第二斷流器552具有同樣的面 積。替代地，第一斷流器550可與第二斷流器554具有不同的面積。在一個實施方式中，第 一部分552可與第二部分556具有相同的面積。替代地，在一個實施方式中，第一部分552 可與第二部分556有不同的面積。因此，根據最佳射頻耦合的預先確定的需要，該同心環周 圍的每個斷流器和/或每個部分可具有類似的或不同的面積。考慮這種情況，例如，其中兩個同心環(類似於同心環540)可被置於HER下。在 一個實施方式中，這兩個同心環可由空氣間隙隔開以形成電容器裝置。通過旋轉第一同心 環通過第二同心環可以改變電容從而可以改變斷流器和實心部分的重疊面積以動態調整電容。因此，可以使用配置有具有斷流器的兩個同心環的機械電容器裝置以提供可變電容以影響從ESC組件到HER的射頻耦合。從上文可以看出，本發明的實施方式提供通過改變ESC組件和熱邊緣環之間的電 容的機制而改變該熱邊緣環的射頻耦合的方法和裝置。通過改變到該HER的射頻耦合，可 以實現在該襯底邊緣的刻蝕一致性，同時又不會犧牲等離子體處理過程中該斜緣的聚合物 副產品的清潔。儘管依據一些優選實施方式描述了本發明，然而，存在落入本發明範圍的變更、置 換和等同。而且，此處提供的名稱、發明內容和摘要是為了方便，不應當被用於解釋此處權 利要求的範圍。還應當注意，有許多實現本發明的方法和裝置的替代方式。儘管此處提供 了各種實施例，這些實施例意在是說明性的而非對本發明進行限制。而且，在此申請中，一 組「η」個項目指的是該組中的0個或以上的項目。因而，所附權利要求的範圍意在被解讀 為包括所有這些落入本發明的真實精神和範圍的變更、置換和等同。
權利要求
一種在等離子體處理室中處理襯底的方法，所述襯底被置於卡盤上方並被邊緣環圍繞，所述邊緣環被從所述卡盤電性隔離，包含向所述卡盤提供射頻電力；提供可調節電容裝置，所述可調節電容裝置耦合於所述邊緣環以向所述邊緣環提供射頻耦合，使得所述邊緣環具有邊緣環電勢；以及在所述等離子體處理室中產生等離子體以處理所述襯底，所述襯底被處理而所述可調節電容裝置被配置為在處理所述襯底的同時，按照所述襯底的直流電勢動態調節所述邊緣環電勢。
2.根據權利要求1所述的方法，其中所述可調節電容裝置包括耦合環組件。
3.根據權利要求2所述的方法，其中所述耦合環組件包含 提供上耦合環；提供下耦合環，所述下耦合環耦合於所述上耦合環以形成氣密密封； 提供氣密密封腔，所述氣密密封腔置於所述耦合環組件內部，其中所述氣密密封腔配 置有進口和出口以傳送電介質材料進出所述氣密密封腔以改變所述耦合組件的電容。
4.根據權利要求3所述的方法，其中所述電介質材料包括固體、液體和氣體的至少一種。
5.根據權利要求4所述的方法，其中所述電介質材料包括空氣、氮氣、礦物油、蓖麻油、 水和甘油的至少一種。
6.根據權利要求3所述的方法，其中所述傳送所述預先確定的電介質材料是通過主動 流量控制系統和被動流量控制系統的至少一種實現的。
7.根據權利要求2所述的方法，其中所述耦合環組件是由包括導電材料、鋁和石墨中 的至少一種的材料形成的。
8.根據權利要求1所述的方法，其中所述可調節電容裝置是機械開關。
9.根據權利要求8所述的方法，其中所述機械開關包含 軸；接觸腳；以及可移動連接器，所述可移動連接器被置於所述軸上方，所述軸被配置為協助所述可移 動連接器相對於所述接觸腳上下移動，所述接觸腳被配置為耦合於所述邊緣環。
10.根據權利要求9所述的方法，其中所述軸射頻通過帶片耦合於所述卡盤。
11.根據權利要求9所述的方法，其中所述邊緣環被配置為如果所述可移動連接器與 所述接觸腳物理接觸，則實現最大的射頻耦合。
12.根據權利要求9所述的方法，其中所述邊緣環被配置為如果所述可移動連接器不 與所述接觸腳物理接觸，則實現最小的射頻耦合。
13.根據權利要求1所述的方法，其中所述可調節電容裝置是機械電容器裝置。
14.根據權利要求13所述的方法，其中所述機械電容器裝置包含 提供第一板；提供第二板，所述第二板被配置為平行於所述第一板，所述第一板被配置為從所述邊 緣環向下突出，所述第一板和所述第二板由空氣間隙隔開；提供多個帶片，所述多個帶片被配置將所述第二板射頻耦合於所述卡盤；以及提供上下移動所述第二板的工具以在等離子體處理過程中調整與所述第一板的重疊 面積。
15.根據權利要求13所述的方法，其中所述機械電容器裝置包含提供第一同心環，所述第一同心環配置有第一多個斷流器；提供第二同心環，所述第二同心環配置有第二多個斷流器，所述第二同心環被配置為 平行於所述第一同心環，所述第一同心環和第二同心環由空氣間隙隔開；提供旋轉所述第二同心環的工具以在等離子體處理過程中調整與所述第一板的重疊 面積。
16.根據權利要求15所述的方法，其中來自所述第一多個斷流器的所述斷流器具有大 致相同的尺寸。
17.根據權利要求15所述的方法，其中來自所述第一多個斷流器的所述斷流器具有大 致不同的尺寸。
18.根據權利要求15所述的方法，其中來自所述第二多個斷流器的所述斷流器具有大 致相同的尺寸。
19.根據權利要求15所述的方法，其中來自所述第二多個斷流器的所述斷流器具有大 致不同的尺寸。
20.根據權利要求1所述的方法，其中被傳遞到所述卡盤的所述射頻電力具有包括約 2MHz、約27MHz和約60MHz的一組射頻頻率。
21.一種具有配置為處理襯底的等離子體處理室的等離子體處理系統，所述襯底被置 於卡盤上方並被邊緣環圍繞，所述邊緣環被從所述卡盤電性隔離，包含向所述卡盤提供射頻電力；可調節電容裝置，所述可調節電容裝置耦合於所述邊緣環以向所述邊緣環提供射頻耦 合，使得所述邊緣環具有邊緣環電勢；以及所述等離子體處理室被配置為激發等離子體以處理所述襯底，所述襯底被處理而所述 可調節電容裝置被配置為在處理所述襯底的同時，按照所述襯底的直流電勢動態調節所述 邊緣環電勢。
22.根據權利要求21所述的等離子體處理系統，其中所述可調節電容裝置包括耦合環 組件。
23.根據權利要求22所述的等離子體處理系統，其中所述耦合環組件包含上耦合環；下耦合環，所述下耦合環耦合於所述上耦合環以形成氣密密封；氣密密封腔，所述氣密密封腔置於所述耦合環組件內部，其中所述氣密密封腔配置有 進口和出口以傳送電介質材料進出所述氣密密封腔以改變所述耦合組件的電容。
24.根據權利要求23所述的等離子體處理系統，其中所述電介質材料包括固體、液體 和氣體的至少一種。
25.根據權利要求24所述的等離子體處理系統，其中所述電介質材料包括空氣、氮氣、 礦物油、蓖麻油、水和甘油的至少一種。
26.根據權利要求23所述的等離子體處理系統，其中所述傳送所述預先確定的電介質 材料是通過主動流量控制系統和被動流量控制系統的至少一種實現的。
27.根據權利要求21所述的等離子體處理系統，其中所述可調節電容裝置是機械開關。
28.根據權利要求27所述的等離子體處理系統，其中所述機械開關包含 軸；接觸腳；以及可移動連接器，所述可移動連接器被置於所述軸上方，所述軸被配置為幫助所述可移 動連接器相對於所述接觸腳上下移動，所述接觸腳被配置為耦合於所述邊緣環。
29.根據權利要求28所述的等離子體處理系統，其中所述軸由帶片射頻耦合於所述卡盤
30.根據權利要求28所述的等離子體處理系統，其中所述邊緣環被配置為如果所述可 移動連接器與所述接觸腳物理接觸，則實現最大的射頻耦合。
31.根據權利要求28所述的等離子體處理系統，其中所述邊緣環被配置為如果所述可 移動連接器不與所述接觸腳物理接觸，則實現最小的射頻耦合。
32.根據權利要求21所述的等離子體處理系統，其中所述可調節電容裝置是機械電容 器裝置。
33.根據權利要求32所述的等離子體處理系統，其中所述機械電容器裝置包含 第一板；第二板，所述第二板被配置為平行於所述第一板，所述第一板被配置為從所述邊緣環向下突出，所述第一板和所述第二板由空氣間隙隔開； 多個帶片，所述多個帶片被配置將所述第二板射頻耦合於所述卡盤；以及 上下移動所述第二板的工具以在等離子體處理過程中調整與所述第一板的重疊面積。
34.根據權利要求32所述的等離子體處理系統，其中所述機械電容器裝置包含 第一同心環，所述第一同心環配置有第一多個斷流器；第二同心環，所述第二同心環配置有第二多個斷流器，所述第二同心環被配置為平行 於所述第一同心環，所述第一同心環和第二同心環由空氣間隙隔開；旋轉所述第二同心環的工具以在等離子體處理過程中調整與所述第一板的重疊面積。
全文摘要
提供一種在等離子體處理室中處理襯底的方法。該襯底被置於卡盤上方並被邊緣環圍繞。該邊緣環被從該卡盤電性隔離。該方法還包括向該卡盤提供射頻電力。該方法還包括提供可調節電容裝置。該可調節電容裝置耦合於該邊緣環以向該邊緣環提供射頻耦合，使得該邊緣環具有邊緣環電勢。該方法進一步包括在該等離子體處理室中產生等離子體以處理該襯底。該襯底被處理而該可調節電容裝置被配置為在處理該襯底的同時，按照所述襯底的直流電勢動態調節所述邊緣環電勢。
文檔編號H01L21/00GK101809719SQ200880022113
公開日2010年8月18日 申請日期2008年6月23日 優先權日2007年6月28日
發明者拉金德爾·德辛德薩, 阿列克謝·馬拉赫塔諾夫 申請人:朗姆研究公司