背面電極型太陽能電池單元、配線基板、附配線基板的太陽能電池單元、太陽能電池模塊...的製作方法

2023-06-05 20:59:31

專利名稱：背面電極型太陽能電池單元、配線基板、附配線基板的太陽能電池單元、太陽能電池模塊 ...的製作方法
技術領域：
本發明涉及背面電極型太陽能電池單元、配線基板、附配線基板的太陽能電池單元、太陽能電池模塊、附配線基板的太陽能電池單元的製造方法及太陽能電池模塊的製造方法。
背景技術：
近年來，特別出於保護地球環境的觀點，對將太陽能轉換為電能的太陽能電池單元作為新一代能源的期待急劇提高。雖然太陽能電池單元的種類包括使用化合物半導體的太陽能電池單元及使用有機材料的太陽能電池單元等形形色色的種類，但目前，使用矽晶的太陽能電池單元已成為主流。目前，製造及銷售最多的太陽能電池單元是在太陽光射入側的一面(受光側)上形成η電極、在與受光面相反側的一面(背面)上形成ρ電極而構成的雙面電極型太陽能電池單元。還有，例如在(日本)特開2005-310830號公報(專利文獻1)中，公開了在太陽能電池單元的受光面上不形成電極、而只在太陽能電池單元的背面上形成η電極及ρ電極的背面電極型太陽能電池單元。具有上述專利文獻1所公開結構的背面電極型太陽能電池單元單體中可利用的電能有限。因此，需要研究將多個上述結構的背面電極型太陽能電池單元電連接而形成太陽能電池模塊的方法。還有，將背面電極型太陽能電池單元連接在形成了配線的基板上而構成的太陽能電池模塊已在美國專利第5951786號公報(專利文獻2)中公開。而且，在專利文獻2中，還記述了作為連接技術而研究的包括焊料、電阻焊接、含銀導電性環氧、以感壓性或熱固化性的導電樹脂覆蓋的銅箔、含銀粘接劑、含碳粘接劑、含有金或其他的導電性金屬的粘接劑。專利文獻1 (日本)特開2005-310830號公報專利文獻2 美國專利第5951786號公報然而，目前，關於背面電極型太陽能電池單元的電極與形成於基板狀部件的配線的連接的研究還不充分，希望能通過改善電極-配線間的連接而提高模塊特性。

發明內容
本發明是鑑於上述問題而提出的。本發明的目的在於提供能夠提高太陽能電池模塊特性的背面電極型太陽能電池單元、配線基板、附配線基板的太陽能電池單元、太陽能電池模塊、附配線基板的太陽能電池單元的製造方法及太陽能電池模塊的製造方法。本發明為背面電極型太陽能電池單元，其特徵在於，具有形成有第一導電型雜質擴散區域及第二導電型雜質擴散區域的半導體基板；形成於所述半導體基板的一個表面側的、分別對應所述第一導電型雜質擴散區域及所述第二導電型雜質擴散區域的第一導電型用電極及第二導電型用電極；所述第一導電型用電極及所述第二導電型用電極的至少一種電極隨著逐漸離開所述半導體基板、寬度連續地減小而從所述半導體基板的相反側突出。本發明為附配線基板的太陽能電池單元，其特徵在於，具有如權利要求1所述的背面電極型太陽能電池單元；具有絕緣基體材料和設置於所述絕緣基體材料上的第一導電型用配線及第二導電型用配線的配線基板；在所述配線基板上設置所述背面電極型太陽能電池單元，使所述背面電極型太陽能電池單元的所述第一導電型用電極與所述配線基板的所述第一導電型用配線對接、並且使所述背面電極型太陽能電池單元的所述第二導電型用電極與所述配線基板的所述第二導電型用配線對接；除所述背面電極型太陽能電池單元的所述第一導電型用電極與所述配線基板的所述第一導電型用配線對接而形成電連接的區域以及所述背面電極型太陽能電池單元的所述第二導電型用電極與所述配線基板的所述第二導電型用配線對接而形成電連接的區域以外，所述背面電極型太陽能電池單元與所述配線基板之間的至少一部分區域通過絕緣樹脂接合。而且，本發明為太陽能電池模塊，其特徵在於，通過密封材料將上述的附配線基板的太陽能電池單元密封於透明基板上。還有，本發明為背面電極型太陽能電池單元，其特徵在於，具有形成有第一導電型雜質擴散區域及第二導電型雜質擴散區域的半導體基板；形成於所述半導體基板的一個表面側的、分別對應所述第一導電型雜質擴散區域及所述第二導電型雜質擴散區域的第一導電型用電極及第二導電型用電極；所述第一導電型用電極及所述第二導電型用電極的至少一種電極在表面上具有多個凸部和在所述凸部之間形成且與電極端部連接的凹部。本發明為附配線基板的太陽能電池單元，其特徵在於，具有上述的背面電極型太陽能電池單元；具有絕緣基體材料和設置於所述絕緣基體材料上的第一導電型用配線及第二導電型用配線的配線基板；在所述配線基板上設置所述背面電極型太陽能電池單元，使所述背面電極型太陽能電池單元的所述第一導電型用電極與所述配線基板的所述第一導電型用配線對接、並且使所述背面電極型太陽能電池單元的所述第二導電型用電極與所述配線基板的所述第二導電型用配線對接；除所述背面電極型太陽能電池單元的所述第一導電型用電極與所述配線基板的所述第一導電型用配線對接而形成電連接的區域以及所述背面電極型太陽能電池單元(8)的所述第二導電型用電極與所述配線基板的所述第二導電型用配線對接而形成電連接的區域以外，所述背面電極型太陽能電池單元與所述配線基板之間的至少一部分區域通過絕緣樹脂接合。而且，本發明為太陽能電池模塊，其特徵在於，通過密封材料將上述的附配線基板的太陽能電池單元密封於透明基板上。還有，本發明為配線基板，其特徵在於，絕緣基體材料；為連接背面電極型太陽能電池單元的電極而在所述絕緣基體材料上設置的第一導電型用配線和第二導電型用配線； 所述第一導電型用配線及所述第二導電型用配線的至少一種配線隨著逐漸離開所述絕緣基體材料、寬度連續地減小而從所述絕緣基體材料的相反側突出。本發明為附配線基板的太陽能電池單元，其特徵在於，具有上述的配線基板、在形成有第一導電型雜質擴散區域及第二導電型雜質擴散區域的半導體基板的一個表面側形成分別對應所述第一導電型雜質擴散區域及所述第二導電型雜質擴散區域的第一導電型用電極及第二導電型用電極的背面電極型太陽能電池單元；在所述配線基板上設置所述背面電極型太陽能電池單元，使所述背面電極型太陽能電池單元的所述第一導電型用電極與所述配線基板的所述第一導電型用配線對接、並且使所述背面電極型太陽能電池單元的所述第二導電型用電極與所述配線基板的所述第二導電型用配線對接；除所述背面電極型太陽能電池單元的所述第一導電型用電極與所述配線基板的所述第一導電型用配線對接而形成電連接的區域以及所述背面電極型太陽能電池單元的所述第二導電型用電極與所述配線基板的所述第二導電型用配線對接而形成電連接的區域以外，所述背面電極型太陽能電池單元與所述配線基板之間的至少一部分區域通過絕緣樹脂接合。而且，本發明還為太陽能電池模塊，其特徵在於，通過密封材料將上述的附配線基板的太陽能電池單元密封於透明基板上。還有，本發明為配線基板，其特徵在於，絕緣基體材料；為連接背面電極型太陽能電池單元的電極而在所述絕緣基體材料上設置的第一導電型用配線和第二導電型用配線； 所述第一導電型用配線及所述第二導電型用配線的至少一種配線在表面上具有多個凸部和形成於所述凸部之間且與配線端部連接的凹部。本發明為附配線基板的太陽能電池單元，其特徵在於，具有上述的配線基板、在形成有第一導電型雜質擴散區域及第二導電型雜質擴散區域的半導體基板的一個表面側形成分別對應所述第一導電型雜質擴散區域及所述第二導電型雜質擴散區域的第一導電型用電極及第二導電型用電極的背面電極型太陽能電池單元；在所述配線基板上設置所述背面電極型太陽能電池單元，使所述背面電極型太陽能電池單元的所述第一導電型用電極與所述配線基板的所述第一導電型用配線對接、並且使所述背面電極型太陽能電池單元的所述第二導電型用電極與所述配線基板的所述第二導電型用配線對接；除所述背面電極型太陽能電池單元的所述第一導電型用電極與所述配線基板的所述第一導電型用配線對接而形成電連接的區域以及所述背面電極型太陽能電池單元的所述第二導電型用電極與所述配線基板的所述第二導電型用配線對接而形成電連接的區域以外，所述背面電極型太陽能電池單元與所述配線基板之間的至少一部分區域通過絕緣樹脂接合。而且，本發明還為太陽能電池模塊，其特徵在於，通過密封材料將上述的附配線基板的太陽能電池單元密封於透明基板上。另外，本發明為製造附配線基板的太陽能電池單元的方法，該附配線基板的太陽能電池單元具有在形成有第一導電型雜質擴散區域及第二導電型雜質擴散區域的半導體基板的一個表面側形成分別對應所述第一導電型雜質擴散區域及所述第二導電型雜質擴散區域的第一導電型用電極及第二導電型用電極的背面電極型太陽能電池單元；具有絕緣基體材料和設置於所述絕緣基體材料上的第一導電型用配線和第二導電型用配線的配線基板；該製造方法的特徵在於，包括在包括所述第一導電型用配線的表面和/或所述第二導電型用配線的表面的所述配線基板的表面上塗布絕緣樹脂的工序；在所述配線基板上設置所述背面電極型太陽能電池單元的工序。而且本發明還是太陽能電池模塊的製造方法，其特徵在於，包括將按照上述的附配線基板的太陽能電池單元的製造方法製造出的附配線基板的太陽能電池單元通過密封材料密封於透明基板上的工序。還有，本發明是製造附配線基板的太陽能電池單元的方法，該附配線基板的太陽能電池單元具有在形成有第一導電型雜質擴散區域及第二導電型雜質擴散區域的半導體基板的一個表面側形成分別對應所述第一導電型雜質擴散區域及所述第二導電型雜質擴散區域的第一導電型用電極及第二導電型用電極的背面電極型太陽能電池單元；具有絕緣基體材料和設置於所述絕緣基體材料上的第一導電型用配線和第二導電型用配線的配線基板；該製造方法的特徵在於，包括在包括所述第一導電型用電極的表面和/或所述第二導電型用電極的表面的所述背面電極型太陽能電池單元的表面上塗布絕緣樹脂的工序；在所述配線基板上設置所述背面電極型太陽能電池單元的工序。而且本發明還是太陽能電池模塊的製造方法，其特徵在於，包括將按照上述的附配線基板的太陽能電池單元的製造方法製造出的附配線基板的太陽能電池單元通過密封材料密封於透明基板上的工序。根據本發明，可提供能夠提高太陽能電池模塊特性的背面電極型太陽能電池單元、配線基板、附配線基板的太陽能電池單元、太陽能電池模塊、附配線基板的太陽能電池單元的製造方法及太陽能電池模塊的製造方法。


圖1是本發明的太陽能電池模塊的一例的示意性剖面圖；圖2是沿圖1所示的太陽能電池模塊的II-II方向的示意性剖面放大圖；圖3(a) (g)是針對圖1及圖2所示的背面電極型太陽能電池單元的製造方法的一例進行圖解的示意性剖面圖；圖4是本發明所使用的背面電極型太陽能電池單元的背面一例的示意性俯視圖；圖5(a) (d)是針對圖1及圖2所示的配線基板的製造方法的一例進行圖解的示意性剖面圖；圖6是本發明所使用的配線基板表面的一例的示意性俯視圖；圖7(a) (c)是針對圖1及圖2所示的附配線基板的太陽能電池單元的製造方法的一例進行圖解的示意性剖面圖；圖8是本發明的太陽能電池模塊的其他例的示意性剖面圖；圖9是本發明的太陽能電池模塊的其他例的示意性剖面圖；圖10是本發明的太陽能電池模塊的其他例的示意性剖面圖；圖11是沿圖10所示的太陽能電池模塊的XI-XI方向的示意性剖面放大圖；圖12(a) (c)是針對圖10及圖11所示的背面電極型太陽能電池單元的製造方法的一例進行圖解的示意性剖面圖；圖13是本發明的太陽能電池模塊的其他例的示意性剖面放大圖；圖14是本發明的太陽能電池模塊的其他例的示意性剖面放大圖；圖15是本發明的太陽能電池模塊的其他例的示意性剖面圖；圖16是沿圖15所示的太陽能電池模塊的XVI-XVI方向的示意性剖面放大圖；圖17(a) (c)是針對圖15所示的附配線基板的太陽能電池單元的製造方法的一例進行圖解的示意性剖面圖；圖18是本發明的太陽能電池模塊的其他例的示意性剖面放大圖；圖19是本發明的太陽能電池模塊的其他例的示意性剖面放大圖；圖20是實施例的太陽能電池模塊的EUElectro Luminescence 電致發光)發光圖像；圖21是比較例的太陽能電池模塊的EL發光圖像。
附圖標記說明1半導體基板；Ia切片損傷；2第一導電型雜質擴散區域；3第二導電型雜質擴散區域；4鈍化膜；4a，4b接觸孔；5防止反射膜；6第一導電型用電極；7第二導電型用電極； 8,80背面電極型太陽能電池單元；10，100配線基板；11絕緣基體材料；12，1 第一導電型用配線；13，13a第二導電型用配線；14連接用配線；16絕緣樹脂；17透明基板；18密封材料；19背膜；26，27，112，113凹部；36，37，212，213凸部；41導電層；42抗蝕劑膜；60第一導電型用集電電極；70第二導電型用集電電極。
具體實施例方式以下說明本發明的實施方式。在本發明的附圖中相同的附圖標記表示相同部分或相當的部分。圖1中表示本發明的太陽能電池模塊的一例的示意性剖面圖。圖1所示結構的太陽能電池模塊是將在配線基板10上設置有背面電極型太陽能電池單元8的結構的附配線基板的太陽能電池單元，密封於玻璃基板等透明基板17與聚酯膜等背膜19之間的乙烯-醋酸乙烯酯等密封材料18中而構成的。在此，在背面電極型太陽能電池單元8的半導體基板1的受光面上形成紋理結構等凹凸結構，覆蓋該凹凸結構而形成防止反射膜5。並且在背面電極型太陽能電池單元8的半導體基板1的背面形成鈍化膜4。而且，背面電極型太陽能電池單元8包括半導體基板1、形成於半導體基板1的背面的第一導電型雜質擴散區域2及第二導電型雜質擴散區域3、與第一導電型雜質擴散區域2連接而形成的第一導電型用電極6、與第二導電型雜質擴散區域3連接而形成的第二導電型用電極7。因此，在半導體基板1的背面側形成對應第一導電型雜質擴散區域2的第一導電型用電極6、及對應第二導電型雜質擴散區域3的第二導電型用電極7。在此，背面電極型太陽能電池單元8的背面側的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別為突出於半導體基板1的背面側的形狀，並且第一導電型用電極6的電極寬度及第二導電型用電極7的電極寬度分別隨著逐漸離開半導體基板1而連續地減小，第一導電型用電極6的外表面及第二導電型用電極7的外表面分別為如圓柱的側面那樣彎曲的曲面。通過像這樣使背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別形成為上述的形狀，能夠在第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別與配線基板10連接時頂開(押L· Θ K 3 )絕緣樹脂16而形成與配線基板10的配線電連接的形狀。即無論對於背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的哪一種，都形成為使絕緣樹脂16在未固化的液體材料的狀態下可以流動的形狀。 這種形狀是當第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別與配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13對接時，配置在電極-配線之間的未固化的絕緣樹脂 16可以流動的形狀。另外，在該例中，第一導電型雜質擴散區域2及第二導電型雜質擴散區域3分別形成為向圖1的紙面的表面側和/或背面側延伸的帶狀，並且第一導電型雜質擴散區域2和第二導電型雜質擴散區域3在半導體基板1的背面交替地隔開規定的間隔而配置。還有，在該例中，第一導電型用電極6及第二導電型用電極7也分別形成為向圖1 的紙面的表面側和/或背面側延伸的帶狀，並且第一導電型用電極6及第二導電型用電極7 分別通過鈍化膜4上所設的開口部，沿半導體基板1背面的第一導電型雜質擴散區域2及第二導電型雜質擴散區域3，分別與第一導電型雜質擴散區域2及第二導電型雜質擴散區域3連接而形成。另一方面，配線基板10包括絕緣基體材料11和在絕緣基體材料11的表面上形成為規定形狀的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13。而且，配線基板10的絕緣基體材料11上的第一導電型用配線12形成與背面電極型太陽能電池單元8背面的第一導電型用電極6彼此逐條相對的形狀。並且配線基板10的絕緣基體材料11上的第二導電型用配線13形成為與背面電極型太陽能電池單元8背面的第二導電型用電極7彼此逐條相對的形狀。另外，在該例中，配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13也分別形成為在圖1的紙面的表面側和/或背面側延伸的帶狀。然後，上述的背面電極型太陽能電池單元8與上述的配線基板10通過設置在背面電極型太陽能電池單元8和配線基板10之間的為電絕緣樹脂的絕緣樹脂16接合。圖2表示沿圖1所示的太陽能電池模塊的II-II方向(背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及配線基板10的第一導電型用配線12各自的延伸方向在圖 1的紙面的表面側和/或背面側延伸的方向)上的示意性剖面放大圖。在此，如圖2所示，背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6沿背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及配線基板10的第一導電型用配線12各自的延伸方向，與配線基板10的第一導電型用配線12連接而形成電連接。另外，雖然未圖示，但背面電極型太陽能電池單元8的第二導電型用電極7與圖2 所示的第一導電型用電極6相同，沿背面電極型太陽能電池單元8的第二導電型用電極7 及配線基板10的第二導電型用配線13各自的延伸方向，與配線基板10的第二導電型用配線13連接而形成電連接。還有，為方便說明，在圖2中對於半導體基板1的受光面的凹凸結構未圖示為凹凸形狀。以下參照圖3(a) 圖3(g)的示意性剖面圖，針對圖1及圖2所示的背面電極型太陽能電池單元8的製造方法的一例進行說明。首先，如圖3(a)所示，例如通過鑄錠切片等，準備在半導體基板1的表面上形成有切片損傷Ia的半導體基板1。在此，作為半導體基板1，例如可以採用由具有η型或P型的任一種導電型的多晶矽或單晶矽等構成的矽基板。接著，如圖3(b)所示，除去半導體基板1的表面的切片損傷la。在此，例如在半導體基板1是由上述的矽基板構成的情況下，可以利用氟化氫水溶液與硝酸的混合酸或氫氧化鈉等的鹼性溶液對上述切割後的矽基板的表面進行蝕刻等，由此除去切片損傷la。在此，對除去切片損傷Ia後的半導體基板1的大小及形狀沒有特別限定，但半導體基板1的厚度例如可以為100 μ m以上500 μ m以下，特別優選為200 μ m左右。
接著，如圖3(c)所示，在半導體基板1的背面分別形成第一導電型雜質擴散區域 2及第二導電型雜質擴散區域3。在此，第一導電型雜質擴散區域2例如可以通過使用含有第一導電型雜質的氣體的氣相擴散等方法形成，第二導電型雜質擴散區域3例如可以通過使用含有第二導電型雜質的氣體的氣相擴散等方法而形成。在此，第一導電型雜質擴散區域2隻要是含有第一導電型雜質，表示η型或P型導電型的區域就沒有特別限定。另外，作為第一導電型雜質，當第一導電型為η型時，例如可以使用磷等η型雜質；當第一導電型為ρ型時，例如可以使用硼或鋁等ρ型雜質。並且，第二導電型雜質擴散區域3隻要是含有第二導電型雜質，表示與第一導電型雜質擴散區域2相反導電型的區域就沒有特別限定。另外，作為第二導電型雜質，當第二導電型為η型時，例如可以使用磷等η型雜質；當第二導電型為ρ型時，例如可以使用硼或鋁等P型雜質。另外，第一導電型也可為η型或ρ型中的任一種導電型，第二導電型只要是與第一導電型相反的導電型即可。即第一導電型為η型時，第二導電型為ρ型；第一導電型為ρ型時，第二導電型為η型。而且，作為含有第一導電型雜質的氣體，當第一導電型為η型時，例如可以使用像 POCl3這種含有磷等η型雜質的氣體；當第一導電型為ρ型時，例如可以使用像BBr3這種含有硼等P型雜質的氣體。作為含有第二導電型雜質的氣體，當第二導電型為η型時，例如可以使用像POCl3 這種含有磷等η型雜質的氣體；當第二導電型為ρ型時，例如可以使用像BBr3這種含有硼等P型雜質的氣體。接著，如圖3(d)所示，在半導體基板1的背面形成鈍化膜4。在此，鈍化膜4例如可以通過熱氧化法或等離子體CVD (Chemical VaporDeposition)法等方法形成。在此，作為鈍化膜4，例如可以使用氧化矽膜、氮化矽膜、或氧化矽膜與氮化矽膜的積層體等，但不限定於這些。而且，鈍化膜4的厚度例如可以為0. 05 μ m以上1 μ m以下，特別優選為0. 2 μ m左
右ο接著，如圖3(e)所示，在半導體基板1的受光面的整個面上形成紋理結構等凹凸結構後，在該凹凸結構上形成防止反射膜5。在此，紋理結構例如可以通過蝕刻半導體基板1的受光面而形成。例如，當半導體基板1為矽基板時，使用將在例如氫氧化鈉或氫氧化鉀等鹼性溶液中添加了異丙醇的液體加熱至例如70°C以上80°C以下的蝕刻液，蝕刻半導體基板1的受光面，由此形成紋理結構。還有，防止反射膜5可以通過例如等離子體CVD法等形成。另外，作為防止反射膜 5，例如可以使用氮化矽膜等，但不限定於此。接著，如圖3(f)所示，通過除去半導體基板1背面的鈍化膜4的一部分，形成接觸孔如及接觸孔4b。在此，為了露出第一導電型雜質擴散區域2的表面的至少一部分而形成接觸孔如；同樣地，為了露出第二導電型雜質擴散區域3的表面的至少一部分而形成接觸孔4b。另外，接觸孔如及接觸孔4b可分別通過下述方法等形成，S卩、例如利用光刻技術， 在鈍化膜4上形成在對應接觸孔如及接觸孔4b的形成位置的部分上具有開口的抗蝕劑膜圖案之後，通過抗蝕劑膜圖案的開口，利用蝕刻等除去鈍化膜4的方法；或者在對應接觸孔如及接觸孔4b的形成位置的鈍化膜4的部分上塗布蝕刻膏之後，通過加熱，蝕刻、除去鈍化膜4的方法等。接著，如圖3 (g)所示，形成通過接觸孔4a、與第一導電型雜質擴散區域2連接的第一導電型用電極6和通過接觸孔4b、與第二導電型雜質擴散區域3連接的第二導電型用電極7，由此製作出背面電極型太陽能電池單元8。在此，第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別通過例如絲網印刷法、真空蒸鍍法或鍍層法等，能夠在與上述那種配線基板10連接時頂開絕緣樹脂16而形成與配線基板10的配線電連接的形狀。例如，在通過絲網印刷法形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的情況下，在形成具有與電極圖案對應而被構圖的開口部、並且使用了乳膠等乳劑的絲網或薄金屬板上，使用具有與電極圖案而被構圖的開口部的金屬絲網等，通過從絲網側的按壓，逐漸從絲網的開口部向半導體基板1擠出具有某種程度粘度的金屬膏。此時，粘附在半導體基板1上的金屬膏由於半導體基板1的反作用力而在橫向擴展的方向上受到力的作用，因此， 在半導體基板1側金屬膏的寬度大於絲網開口部寬度，隨著逐漸離開半導體基板1，金屬膏與絲網開口部的寬度基本相同，從而能夠形成傾斜。之後，金屬膏在例如500C 2000C左右的溫度下被乾燥後，在300°C 800°C左右的溫度下進行燒制，從而形成第一導電型用電極 6及第二導電型用電極7。還有，在通過真空蒸鍍法形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的情況下，在半導體基板1的背面側，在具有根據電極圖案構圖的開口部的金屬掩模和半導體基板1之間設有間隔的狀態、或者在金屬掩模的開口部的截面上設置傾斜的狀態下，真空蒸鍍金屬，由此可以使第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別形成為上述形狀。而且，如果第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別由可蝕刻的金屬形成，那麼例如通過基於弱酸或鹼性的溼式蝕刻對這些電極的表面進行短時間的處理，由此表面能量高的電極的邊緣能夠優先被蝕刻而使電極的前端部形成曲面。另外，在通過鍍層法形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的情況下，將光刻工序用的抗蝕劑膜或絲網印刷用的抗蝕劑膜在在半導體基板1的背面進行構圖，以具有根據電極圖案而構圖的開口部，然後，對抗蝕劑膜進行熱處理，由此在抗蝕劑膜的開口部的截面上設置傾斜。之後使半導體基板1浸泡在電鍍槽中，從抗蝕劑膜的開口部析出鍍層， 由此能夠分別形成由該鍍層構成的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7。還有，對抗蝕劑膜進行構圖，通過RF濺射法等在上述抗蝕劑膜的開口部形成作為鍍層開始層(#開始層)的電鍍種子層後除去抗蝕劑膜，在電鍍種子層上使鍍層析出， 由此能夠形成由該鍍層構成的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7。在該情況下，使表面能量一定而使鍍層自然地析出為半圓狀，因此能夠分別形成上述形狀的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7。另外，作為第一導電型用電極6及第二導電型用電極7，例如可以使用銀等金屬構成的電極。為了恰好頂開絕緣樹脂16而使背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板 10的配線的連接穩定性提高，第一導電型用電極6及第二導電型用電極7各自的厚度優選在IOnm以上1000 μ m以下的範圍內。圖4表示按照上述說明製作的背面電極型太陽能電池單元8背面的一例的示意性俯視圖。在此，在背面電極型太陽能電池單元8的背面，第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別形成為帶狀。而且，帶狀的多個第一導電型用電極6分別與一個帶狀的第一導電型用集電電極60連接，帶狀的多個第二導電型用電極7分別與一個帶狀的第二導電型用集電電極70連接。另外，在該例中，第一導電型用集電電極60在與帶狀的第一導電型用電極6的縱長方向垂直的方向上延伸而形成，第二導電型用集電電極70在與帶狀的第二導電型用電極7的縱長方向垂直的方向上延伸而形成。因此，在圖4所示結構的背面電極型太陽能電池單元8的背面上，通過一個第一導電型用集電電極60與多個第一導電型用電極6形成一個梳狀電極，通過一個第二導電型用集電電極70與多個第二導電型用電極7形成一個梳狀電極。而且，相當於該梳狀電極的梳齒的第一導電型用電極6與第二導電型用電極7彼此相對、逐條嚙合地配置。並且在連接帶狀的第一導電型用電極6的半導體基板1的背面部分配置一條帶狀的第一導電型雜質擴散區域2，在連接帶狀的第二導電型用電極7的半導體基板1的背面部分配置一條帶狀的第二導電型雜質擴散區域3。以下參照圖5(a) 圖5(d)的示意性剖面圖，針對圖1及圖2所示的配線基板10 的製造方法的一例進行說明。首先，如圖5(a)所示，在絕緣基體材料11的表面上形成導電層41。在此，作為絕緣基體材料11，例如可以使用由聚酯、聚萘二甲酸或聚醯亞胺等樹脂構成的基板，但不限定於此。而且，絕緣基體材料11的厚度例如可以為IOym以上200 μ m以下，特別優選為 25 μ m左右。並且，作為導電層41，例如可以使用銅等金屬構成的層，但不限定於此。接著，如圖5 (b)所示，在絕緣基體材料11的表面的導電層41上形成抗蝕劑膜(> 卜)42。在此，抗蝕劑膜42形成為在形成第一導電型用配線12及第二導電型用配線 13的位置以外的位置具有開口部的形狀。作為抗蝕劑膜42，例如可以使用目前已公知的材料，而且例如可以是使用通過絲網印刷、分配器(Π 7《 > 寸)塗布或噴墨塗布等方法將塗布在規定位置上的樹脂固化而成的材料。接著，如圖5(c)所示，按照箭頭43的方向除去從抗蝕劑膜42露出的部分的導電層41，由此形成導電層41的圖案，由導電層41的剩餘部分形成第一導電型用配線12及第二導電型用配線13。在此，例如可通過使用酸性或鹼性溶液的溼式蝕刻等除去導電層41。接著，如圖5(d)所示，從第一導電型用配線12的表面及第二導電型用配線13的表面除去所有的抗蝕劑膜42，由此製作出配線基板10。圖6表示按照上述說明製作出的配線基板10的表面的一例的示意性俯視圖。在此，在配線基板10的絕緣基體材料11的表面上，第一導電型用配線12及第二導電型用配線13分別形成為帶狀。而且在配線基板10的絕緣基體材料11的表面上形成帶狀的連接用配線14，通過連接用配線14電連接第一導電型用配線12和第二導電型用配線13。另外， 連接用配線14例如可與第一導電型用配線12及第二導電型用配線13同樣地，由導電層41的剩餘部分形成。通過這種結構，除分別位於配線基板10的終端的梳狀第一導電型用配線1 及梳狀第二導電型用配線13a以外，鄰接的第一導電型用配線12和第二導電型用配線13都通過連接用配線14電連接，所以在配線基板10上鄰接而設置的背面電極型太陽能電池單元彼此相互電連接。因此設置在配線基板10上的所有背面電極型太陽能電池單元都串聯地電連接。以下參照圖7(a) 圖7(c)的示意性剖面圖，針對圖1及圖2所示的附配線基板的太陽能電池單元的製造方法的一例進行說明。首先，如圖7(a)所示，在按照上述說明製作出的配線基板10的表面上塗布絕緣樹脂16。當在配線基板10的表面上塗布絕緣樹脂16時，例如可以在包括配線基板10的第一導電型用配線12的表面和/或第二導電型用配線13的表面的配線基板10的表面上塗布絕緣樹脂16。在此，絕緣樹脂16例如可以利用絲網印刷、分配器塗布或噴墨塗布等方法進行塗布。而且，作為絕緣樹脂16，可沒有特別限定地使用具有電絕緣性的樹脂，例如可以使用目前已公知的熱固性樹脂或光固化樹脂等。另外，絕緣樹脂16也可塗布在背面電極型太陽能電池單元8的表面上。當在背面電極型太陽能電池單元8的表面上塗布絕緣樹脂16 時，例如可以在包括背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6的表面和/或第二導電型用電極7的表面的背面電極型太陽能電池單元8的表面上塗布絕緣樹脂16。接著，如圖7(b)所示，在配線基板10上設置背面電極型太陽能電池單元8。在此，背面電極型太陽能電池單元8如圖7(c)所示，設置在配線基板10上，在配線基板10的第一導電型用配線12上設置背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6、並且在配線基板10的第二導電型用配線13上設置背面電極型太陽能電池單元8的第二導電型用電極7。由此，背面電極型太陽能電池單元8與配線基板10連接。此時，背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7 分別如上所述頂開絕緣樹脂16，形成與配線基板10的配線電連接的形狀。因此，在位於第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的各自下方且位於背面電極型太陽能電池單元8 與配線基板10之間的絕緣樹脂16被分別頂向第一導電型用電極6的前端部及第二導電型用電極7的前端部的各自的外側。即液狀材料狀態的未固化的絕緣樹脂16在第一導電型用電極6-第一導電型用配線12及第二導電型用電極7-第二導電型用配線13之間流動， 使第一導電型用電極6與第一導電型用配線12對接，並且使第二導電型用電極7與第二導電型用配線13對接。因此，第一導電型用電極6的前端部與第一導電型用配線12接觸而確保其電連接；並且第二導電型用電極7的前端部與配線基板10的第二導電型用配線13也接觸而確保其電連接。因此，在使用上述結構的背面電極型太陽能電池單元8的情況下，在背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線之間夾入絕緣樹脂16，能夠減少不能實現電連接背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線這種問題的發生，所以能夠提高附配線基板的太陽能電池單元及後述的太陽能電池模塊的特性。之後，將按照上述說明塗布的絕緣樹脂16加熱和/或進行光照射，由此使絕緣樹脂16固化，通過固化的絕緣樹脂16，接合背面電極型太陽能電池單元8和配線基板10。如此一來，背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7與配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13之間部分地通過絕緣樹脂16接合，並且通過在該接合部以外的位置上的對接，形成電連接。然後，上述的絕緣樹脂16固化後的附配線基板的太陽能電池單元例如如圖1所示，夾在具有乙烯-醋酸乙烯酯等密封材料18的玻璃基板等透明基板17與具有密封材料 18的聚脂膜等背膜19之間，將構成附配線基板的太陽能電池單元的背面電極型太陽能電池單元8密封在密封材料18中，由此製作出太陽能電池模塊。另外，絕緣樹脂16的固化也可在將構成附配線基板的太陽能電池單元的背面電極型太陽能電池單元8密封於密封材料18中之際進行。還有，在上述說明中關於背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的所有形狀雖然為頂開絕緣樹脂16而與配線10的配線電連接的形狀，但在本發明中，只要有第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的電極中的至少一種電極的形狀為頂開絕緣樹脂16而與配線10的配線電連接的形狀即可。即在第一導電型用電極6及第二導電型用電極7中的至少一種電極上，形成使絕緣樹脂16以未固化的液狀材料的狀態可流動的形狀即可。而且，在上述說明中關於背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的各自的形狀雖然為頂開絕緣樹脂16而與配線10的配線電連接的形狀，但在本發明中，例如如圖8的示意性剖面圖所示，也可將配線基板10的絕緣基體材料11 的表面上的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的各自形狀作為在與背面電極型太陽能電池單元8連接時頂開絕緣樹脂16而與背面電極型太陽能電池單元8的電極電連接的形狀。即也可在配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13上，形成使絕緣樹脂16以未固化的液狀材料的狀態可流動的形狀。這種形狀是在背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別與配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13對接時、使設置在電極-配線之間的未固化的絕緣樹脂16可流動的形狀。在此，配線基板10的絕緣基體材料11的表面上的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13分別成為突出於絕緣基體材料11的相反一側的形狀，第一導電型用配線12 的電極寬度及第二導電型用配線13的電極寬度分別隨著逐漸離開絕緣基體材料11而連續減小，第一導電型用配線12的外表面及第二導電型用配線13的外表面分別形成像圓柱的側面那樣彎曲的曲面。作為將配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的形狀形成為在分別與背面電極型太陽能電池單元8的連接時頂開絕緣樹脂16而與背面電極型太陽能電池單元8的電極電連接的形狀的方法，例如既可以通過上述的絲網印刷法、真空蒸鍍法或鍍層法等形成，也可以使用通過金屬箔的蝕刻來形成的方法。在此，在通過金屬箔的蝕刻分別形成配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的情況下，首先，在絕緣基體材料11的表面上形成通過軋制或電鍍法等形成的金屬箔。然後，在金屬箔的表面上對抗蝕劑膜進行構圖，然後利用酸等對金屬箔進行蝕刻，由此根據第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的配線圖案對金屬箔進行構圖。 之後，通過使用弱酸或鹼性的溶液的溼式蝕刻，分別對由構圖後的金屬箔構成的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的表面進行短時間的處理，由此能夠優先蝕刻表面能量高的配線的邊緣部，從而使第一導電型用配線12的表面及第二導電型用配線13的表面分別形成為曲面。還有，在圖8所示的結構中，雖然將配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的所有配線形狀都作為頂開絕緣樹脂16而與背面電極型太陽能電池單元8 的電極電連接的形狀，但在本發明中，也可將第一導電型用配線12及第二導電型用配線13 中的至少一種配線的形狀作為頂開絕緣樹脂16而與背面電極型太陽能電池單元8的電極電連接的形狀，即、也可在第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的至少一種配線上，形成使絕緣樹脂16以未固化的液狀材料的狀態可流動的形狀。在此，在圖8所示的結構中，為了恰好頂開絕緣樹脂16而提高背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線連接的穩定性，第一導電型用配線12及第二導電型用配線13各自的厚度優選在IOnm以上1000 μ m以下的範圍內。而且，在本發明中，例如如圖9的示意性剖面圖所示，也可將背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7各自的形狀形成為在與配線基板10 連接時頂開絕緣樹脂16而與配線基板10的配線電連接的形狀，並且將配線基板10的絕緣基體材料11表面上的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13各自的形狀形成為在與背面電極型太陽能電池單元8連接時頂開絕緣樹脂16而與背面電極型太陽能電池單元 8的電極電連接的形狀。即也可在背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7上形成使絕緣樹脂16以未固化的液狀材料狀態可流動的形狀，並且在配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13上形成使絕緣樹脂16也以未固化的液狀材料狀態可流動的形狀。在圖9所示的結構中，為了恰好頂開絕緣樹脂16而提高背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線連接的穩定性，第一導電型用電極6、第二導電型用電極 7、第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的厚度分別與上述相同，優選在IOnm以上 1000 μ m以下的範圍內。如上所述，在本發明中，通過使背面電極型太陽能電池單元8的電極和/或配線基板10的配線的形狀為頂開絕緣樹脂16的形狀，即通過在背面電極型太陽能電池單元8的電極和/或配線基板10的配線上形成使液狀材料可流動的形狀，能夠減少絕緣樹脂16的嵌入，作為背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線之間的接觸電阻可得到良好的值，因此，根據本發明所形成的附配線基板的太陽能電池單元及太陽能電池模塊，作為電子特性中的串聯電阻成分可得到良好的值，並且能夠改善光照射時的 F. F. (FillFactor 填充率)。另外，在本發明的背面電極型太陽能電池單元的概念中，不僅包括只在上述的半導體基板的一個表面側(背面側)形成第一導電型用電極及第二導電型用電極這兩種電極的結構，還包括所有的MWT (Metal Wrap Through)單元(在半導體基板所設有的貫通孔上設置電極的一部分的結構的太陽能電池單元)等所謂背接觸式太陽能電池單元(從與太陽能電池單元的受光面側相反側的背面側輸出電流的結構的太陽能電池單元)。還有，在本發明的附配線基板的太陽能電池單元的概念中，不僅包括將多個背面電極型太陽能電池單元設置在配線基板上的結構，還包括將一個背面電極型太陽能電池單元設置在配線基板上的結構。〈第二實施方式〉圖10表示本發明的太陽能電池模塊的其他例的示意性剖面圖，圖11表示沿圖10 所示的太陽能電池模塊的XI-XI方向(背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極 6及配線基板10的第一導電型用配線12各自的延伸方向向圖10的紙面的表面側和/或背面側延伸的方向)上的示意性剖面放大圖。在本實施方式的太陽能電池模塊中，例如如圖11所示，其特徵在於，背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6的表面沿第一導電型用電極6的延伸方向具有凹部沈和凸部36，第一導電型用電極6的表面的凹部沈為使被第一導電型用電極6的凸部 36頂開的絕緣樹脂16流動的樹脂流動部。還有，雖然未圖示，但背面電極型太陽能電池單元8的第二導電型用電極7的表面也如圖11的第一導電型用電極6的表面所示，沿第二導電型用電極7的延伸方向上具有凹部和凸部，第二導電型用電極7的表面的凹部也是使絕緣樹脂16流動的樹脂流動部。即在第二實施方式中，背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別形成在與配線基板10連接時頂開絕緣樹脂16而與配線基板10的配線電連接的形狀，並且具有用來使被頂開的絕緣樹脂16流動的樹脂流動部。在第二實施方式中，無論在背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6 及第二導電型用電極7的哪一個電極上，形成使絕緣樹脂16以未固化的液狀材料的狀態可流動的凹部26。這種凹部沈是在第一導電型用電極6的凸部36及第二導電型用電極7的凸部分別與配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13對接時、使設置在電極-配線之間的未固化的絕緣樹脂16可流動的形狀，是使未固化的絕緣樹脂16流動的樹脂流動部。第一導電型用電極6的凹部尤選與第一導電型用電極6的端部連接而形成於多個凸部36之間，第二導電型用電極7的凹部沈優選與第二導電型用電極7的端部連接而形成於多個凸部36之間。在第一導電型用電極6的凹部沈與第一導電型用電極6的端部連接的情況下，具有能夠將被第一導電型用電極6的凸部36頂開而流入第一導電型用電極 6的凹部沈的絕緣樹脂16從第一導電型用電極6的端部向第一導電型用電極6的外部排出的傾向。同樣地，在第二導電型用電極7的凹部沈與第二導電型用電極7的端部連接的情況下，具有能夠將被第二導電型用電極7的凸部36頂開而流入第二導電型用電極7的凹部沈的絕緣樹脂16從第二導電型用電極7的端部向第二導電型用電極7的外部排出的傾向。另外，作為第一導電型用電極6的端部，例如可例舉與第一導電型用電極6的延伸方向正交的方向上的端部，作為第二導電型用電極7的端部，例如可例舉與第二導電型用電極7 的延伸方向正交的方向上的端部。在此，具有如圖11所示形狀的樹脂流動部的背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別能夠通過例如絲網印刷法、真空蒸鍍法或鍍層法等形成。例如，在通過絲網印刷法形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的情況下，首先，準備絲網，該絲網設有對應第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的各自圖案的絲網開口部(以下稱為「主開口部」)，並且在與其開口部的長度方向(電極的延伸方向)正交的方向上也以任意間隔設有開口部(以下稱為「副開口部」)。然後，通過絲網逐漸向半導體基板1按壓出金屬膏來進行印製。此時，在絲網的設有副開口部的主開口部的部分上，為了使金屬膏也流入該副開口部而在該位置將所印製的金屬膏的厚度壓薄，由此，能夠沿第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的各自表面的延伸方向形成凹部和凸部。 之後，使金屬膏在例如50°C 200°C左右的溫度下乾燥後，在300°C 800°C左右的溫度下進行燒制，由此能夠形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7。還有，在通過真空蒸鍍法形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的情況下，與上述說明相同，使用具有主開口部和副開口部的金屬掩模，能夠通過在金屬掩模的開口部對金屬進行真空蒸鍍而形成。還有，在通過鍍層法形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的情況下，與上述說明相同，形成具有主開口部和副開口部的抗蝕劑膜，通過在抗蝕劑膜的開口部上析出鍍層，能夠形成由該鍍層構成的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7。另外，為了恰好頂開絕緣樹脂16而提高背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線連接的穩定性，優選第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的各自的厚度在IOnm以上1000 μ m以下的範圍內。以下參照圖12(a) 圖12(c)的示意性剖面放大圖，針對圖10及圖11所示的太陽能電池模塊所使用的附配線基板的太陽能電池單元的製造方法的一例進行說明。另外， 圖12(a) 圖12(c)是從與圖11相同方向觀察時的剖面放大圖。首先，如圖12(a)所示，在按照上述說明製作的配線基板10的表面上塗布絕緣樹脂16。在此，絕緣樹脂16也塗布在配線基板10的第一導電型用配線12的表面上。而且， 雖然未圖示，但絕緣樹脂16也塗布在配線基板10的第二導電型用配線13的表面上。另外，如果在配線基板10的表面上塗布絕緣樹脂16，那麼，例如能夠在包括配線基板10的第一導電型用配線12的表面和/或第二導電型用配線13的表面的配線基板10的表面上塗布絕緣樹脂16。而且，絕緣樹脂16也可塗布在背面電極型太陽能電池單元8的表面上。如果在背面電極型太陽能電池單元8的表面上塗布絕緣樹脂16，那麼，例如能夠在包括背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6的表面和/或第二導電型用電極7的表面的背面電極型太陽能電池單元8的表面上塗布絕緣樹脂16。接著，如圖12(b)所示，在配線基板10上設置背面電極型太陽能電池單元8。在此，如圖12 (c)所示，為了在配線基板10的第一導電型用配線12上設置背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6而將背面電極型太陽能電池單元8設置在配線基板10上。另外，雖然未圖示，但在配線基板10的第二導電型用配線13上設置有背面電極型太陽能電池單元8的第二導電型用電極7，由此連接背面電極型太陽能電池單元8與配線基板10。此時，背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6的凸部36及第二導電型用電極7的凸部(未圖示)分別頂開配線基板10上的絕緣樹脂16。但被這些電極的凸部頂開的絕緣樹脂16分別被收容在作為樹脂流動部的第一導電型用電極6的凹部沈及第二導電型用電極7的凹部(未圖示)中。即液狀材料狀態的、未固化的絕緣樹脂16在第一導電型用電極6-第一導電型用配線之間及第二導電型用電極7-第二導電型用配線13之間流動，使第一導電型用電極6的凸部36與第一導電型用配線12對接，並且使第二導電型用電極7的凸部與第一導電型用配線13對接。在此，如果流動的絕緣樹脂16被樹脂流動部(第一導電型用電極6的凹部沈及第二導電型用電極7的凹部)收容而固化，則在樹脂流動部中，第一導電型用電極6與第一導電型用配線12接合，並且第二導電型用電極7與第二導電型用配線13接合。因此，第一導電型用電極6的凸部36與第一導電型用配線12接觸而確保其電連接；並且第二導電型用電極7的凸部也與配線基板10的第二導電型用配線13接觸而確保其電連接。在絕緣樹脂16被固化的狀態下，背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7與配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13 這兩者之間，局部地通過樹脂流動部中的絕緣樹脂16接合，並且在該流動樹脂部以外的凸部的頂部對接，由此形成電連接。因此，在使用上述結構的背面電極型太陽能電池單元8的情況下，在背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線之間嵌入絕緣樹脂16，可以減少不能實現電連接背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線這種問題的發生，所以能夠提高附配線基板的太陽能電池單元及後述的太陽能電池模塊的特性。而且，絕緣樹脂16填充在背面電極型太陽能電池單元8的電極的樹脂流動部中， 覆蓋電極的周圍，對電極進行保護，所以能夠提高附配線基板的太陽能電池單元及太陽能電池模塊的長期可靠性。另外，在上述說明中，雖然在背面電極型太陽能電池單元8的所有第一導電型用電極6及第二導電型用電極7都設有樹脂流動部，但在本發明中，只要第一導電型用電極6 及第二導電型用電極7中的至少一種電極設有樹脂流動部即可。而且，在上述說明中，雖然將背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6 的凹部26及第二導電型用電極7的凹部(未圖示)分別作為樹脂流動部，但在本發明中，例如如圖13的示意性剖面放大圖所示，也可在配線基板10的第一導電型用配線12的表面、 沿第一導電型用配線12的延伸方向設有凹部112和凸部212，在第二導電型用配線13的表面、沿第二導電型用配線13的延伸方向設有凹部(未圖示)和凸部(未圖示)。在該情況下，第一導電型用配線12的凹部112及第二導電型用配線13的凹部(未圖示)分別為樹脂流動部。第一導電型用配線12的凹部112優選與第一導電型用配線12的端部連接而形成於多個凸部212之間，而且第二導電型用配線13的凹部112優選與第二導電型用配線13的端部連接而形成於多個凸部212之間。在第一導電型配線12的凹部112與第一導電型用配線12的端部連接的情況下，具有能夠將被第一導電型用配線12的凸部212頂開而流入第一導電型用配線12的凹部112的絕緣樹脂16從第一導電型用配線12的端部向第一導電型用配線12的外部排出的傾向。而且，在第二導電型用配線13的凹部112與第二導電型用配線13的端部連接的情況下，具有能夠將被第二導電型用配線13的凸部212頂開而流入第二導電型用配線13的凹部112的絕緣樹脂16從第二導電型用配線13的端部向第二導電型用配線13的外部排出的傾向。另外，作為第一導電型用配線12的端部，例如可以例舉與第一導電型用配線12的延伸方向正交的方向上的端部，作為第二導電型用配線13 的端部，例如可以例舉與第二導電型用配線13的延伸方向正交的方向上的端部。
在此，作為形成具有凹部112和凸部212的第一導電型用配線12及具有凹部(未圖示)和凸部(未圖示)的第二導電型用配線13的方法，雖然也可以通過例如上述的絲網印刷法、真空蒸鍍法或鍍層法等形成，但也可使用通過金屬箔的蝕刻而形成的方法。在通過金屬箔的蝕刻、分別形成配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的情況下，例如，首先在絕緣基體材料11的表面上形成通過軋制或電鍍法等形成的金屬箔。然後，與上述說明相同，為了具有主開口部和副開口部而在金屬箔的表面上對抗蝕劑膜進行構圖，之後通過酸等對金屬箔進行蝕刻，由此根據第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的圖案，對金屬箔進行構圖，從而能夠分別形成由構圖後的金屬箔構成的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13。另外，在圖13所示的結構中，雖然配線基板10的所有第一導電型用配線12及第二導電型用配線13都設有樹脂流動部，但在本發明中，只要第一導電型用配線12及第二導電型用配線13中的至少一種配線上設有樹脂流動部即可。在此，在圖13所示的結構中，為了恰好頂開絕緣樹脂16而提高背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線連接的穩定性，優選第一導電型用配線12及第二導電型用配線13各自的厚度在IOnm以上 1000 μ m以下的範圍內。還有，在本發明中，例如如圖14的示意性剖面放大圖所示，也可以在背面電極型太陽能電池單元8的各自的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7上設有樹脂流動部，同時在配線基板10的絕緣基體材料11的表面上的各自第一導電型用配線12及第二導電型用配線13上設有樹脂流動部。在圖14所示的結構中，為了恰好頂開絕緣樹脂16而提高背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線連接的穩定性，第一導電型用電極6、第二導電型用電極7、第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的厚度分別與上述相同，優選在IOnm以上IOOOym以下的範圍內。在此，第一導電型用電極6的凹部沈優選與第一導電型用電極6的端部連接而形成於多個凸部36之間。而且第二導電型用電極7的凹部沈優選與第二導電型用電極7的端部連接而形成於多個凸部36之間。在第一導電型用電極6的凹部沈與第一導電型用電極6的端部連接的情況下，具有能夠將被第一導電型用電極6的凸部36頂開而流入第一導電型用電極6的凹部沈的絕緣樹脂16從第一導電型用電極6的端部向第一導電型用電極 6的外部排出的傾向。而且，在第二導電型用電極7的凹部沈與第二導電型用電極7的端部連接的情況下，具有能夠將被第二導電型用電極7的凸部36頂開而流入第二導電型用電極7的凹部沈的絕緣樹脂16從第二導電型用電極7的端部向第二導電型用電極7的外部排出的傾向。另外，作為第一導電型用電極6的端部，例如可以例舉與第一導電型用電極6 的延伸方向正交的方向上的端部；作為第二導電型用電極7的端部，例如可以例舉與第二導電型用電極7的延伸方向正交的方向上的端部。而且，第一導電型用配線12的凹部112優選與第一導電型用配線12的端部連接而形成於多個凸部212之間，並且第二導電型用配線13的凹部112優選與第二導電型用配線13的端部連接而形成於多個凸部212之間。在第一導電型配線12的凹部112與第一導電型用配線12的端部連接的情況下，具有能夠將被第一導電型用配線12的凸部212頂開而流入第一導電型用配線12的凹部112的絕緣樹脂16從第一導電型用配線12的端部向第一導電型用配線12的外部排出的傾向。還有，在第二導電型配線13的凹部112與第二導電型用配線13的端部連接的情況下，具有能夠將被第二導電型用配線13的凸部212頂開而流入第二導電型用配線13的凹部112的絕緣樹脂16從第二導電型用配線13的端部向第二導電型用配線13的外部排出的傾向。另外，作為第一導電型用配線12的端部，例如可以例舉與第一導電型用配線12的延伸方向正交的方向上的端部；作為第二導電型用配線13的端部，例如可以例舉與第二導電型用配線13的延伸方向正交的方向上的端部。另外，為方便說明，在圖11 圖14中關於半導體基板1的受光面的凹凸結構也未圖示為凹凸形狀。本實施方式的除上述以外的其他說明因為與第一實施方式相同，所以在此省略其說明。〈第三實施方式〉圖15表示本發明的太陽能電池模塊的又一個其他例的示意性剖面圖，圖16表示沿圖15所示的太陽能電池模塊的XVI-XVI方向(背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及配線基板10的第一導電型用配線12的各自的延伸方向向圖15的紙面的表面側和/或背面側延伸的方向)上的示意性剖面放大圖。另外，為方便說明，在圖16中關於半導體基板1的受光面的凹凸結構也未圖示為凹凸形狀。在本實施方式的太陽能電池模塊中，例如如圖15及圖16所示，其特徵在於，背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6的表面沿第一導電型用電極6的延伸方向及與其延伸方向正交的方向上具有凹部26和凸部36，第一導電型用電極6表面的凹部26 是用來使被第一導電型用電極6的凸部36頂開的絕緣樹脂16流動的樹脂流動部。而且，在本實施方式的太陽能電池模塊中，例如如圖15及圖16所示，背面電極型太陽能電池單元8的第二導電型用電極7的表面也沿第二導電型用電極7的延伸方向及與其延伸方向正交的方向上具有凹部27和凸部37，第二導電型用電極7表面的凹部27也是用來使絕緣樹脂16流動的樹脂流動部。即在第三實施方式中，背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別頂開絕緣樹脂16而形成為與配線基板10的配線電連接的形狀，並且具有用來使被頂開的絕緣樹脂16流動的樹脂流動部。在第三實施方式中，無論在背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6 及第二導電型用電極7的哪一種電極上都形成有使絕緣樹脂16以未固化的液狀材料的狀態可以流動的凹部26、27。這種凹部沈、27是在第一導電型用電極6的凸部36及第二導電型用電極7的凸部37分別與配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13 對接時、使設置在電極-配線之間的未固化的絕緣樹脂16可以流動的形狀，是使未固化的絕緣樹脂16流動的樹脂流動部。在此，第一導電型用電極6的凹部沈優選與第一導電型用電極6的端部連接而形成於多個凸部36之間，而且第二導電型用電極7的凹部27優選與第二導電型用電極7的端部連接而形成於多個凸部37之間。在第一導電型用電極6的凹部沈與第一導電型用電極6的端部連接的情況下，具有能夠將被第一導電型用電極6的凸部36頂開而流入第一導電型用電極6的凹部沈的絕緣樹脂16從第一導電型用電極6的端部向第一導電型用電極 6的外部排出的傾向；在第二導電型電極7的凹部27與第二導電型用電極7的端部連接的情況下，具有能夠將被第二導電型用電極7的凸部37頂開而流入第二導電型用電極7的凹二導電型用電極7的端部向第二導電型用電極7的外部排出的傾向。另外，作為第一導電型用電極6的端部，例如可以例舉第一導電型用電極6的延伸方向上的端部和/或與第一導電型用電極6的延伸方向正交的方向上的端部；作為第二導電型用電極7的端部，例如可以例舉第二導電型用電極7的延伸方向上的端部和/或與第二導電型用電極7的延伸方向正交的方向上的端部。在此，具有如圖15及圖16所示形狀的樹脂流動部的背面電極型太陽能電池單元8 的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7分別能夠通過例如絲網印刷法、真空蒸鍍法或鍍層法等來形成。例如，在通過絲網印刷法形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的情況下，選擇絲網所使用的網狀金屬線的線形和厚度，能夠在被壓成為對應電極圖案的開口部形狀的金屬膏表面上形成細小的凹凸。在該情況下，金屬線部為凹部，金屬線之間的開口部為凸部。之後，將金屬膏在例如50°C 200°C左右的溫度下乾燥，然後再在300°C 800°C 左右的溫度下燒制，由此能夠形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7。還有，在通過真空蒸鍍法形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的情況下，使用具有對應電極圖案的開口部的金屬掩模對金屬進行真空蒸鍍後，利用使用了絕緣膜或抗蝕劑膜等圖案掩模的溼式蝕刻或等離子體離子處理和噴砂等乾式蝕刻等，對金屬的表面進行粗糙化處理，由此能夠形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7。還有，在通過鍍層法形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的情況下，與第二實施方式相同，在形成鍍層後，利用使用了絕緣膜或抗蝕劑膜等圖案掩模的溼式蝕刻或等離子體離子處理和噴砂等乾式蝕刻等，對金屬的表面進行粗糙化處理，由此能夠形成第一導電型用電極6及第二導電型用電極7。另外，為了恰好頂開絕緣樹脂16而提高背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線連接的穩定性，優選第一導電型用電極6及第二導電型用電極7各自的厚度在IOnm以上1000 μ m以下的範圍內。以下參照圖17(a) 圖17(c)的示意性剖面放大圖，針對圖15及圖16所示的太陽能電池模塊中所使用的附配線基板的太陽能電池單元的製造方法的一例進行說明。首先，如圖17(a)所示，在配線基板10的表面上塗布絕緣樹脂16。在此，絕緣樹脂 16也塗布在配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的表面上。如果在配線基板10的表面上塗布絕緣樹脂16，那麼例如可以在包括配線基板10的第一導電型用配線12的表面和/或第二導電型用配線13的表面的配線基板10的表面上塗布絕緣樹脂16。另外，絕緣樹脂16也可塗布在背面電極型太陽能電池單元8的表面上。如果在背面電極型太陽能電池單元8的表面上塗布絕緣樹脂16，那麼例如可以在包括背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6的表面和/或第二導電型用電極7的表面的背面電極型太陽能電池單元8的表面上塗布絕緣樹脂16。接著，如圖17(b)所示，在配線基板10上設置背面電極型太陽能電池單元8。在此，如圖17(c)所示，背面電極型太陽能電池單元8設置在配線基板10上，以在配線基板10的第一導電型用配線12上設置背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6。另外，雖未圖示，但在配線基板10的第二導電型用配線13上設置有背面電極型太陽能電池單元8的第二導電型用電極7。由此，連接背面電極型太陽能電池單元8與配線基板10。此時，背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6的凸部36及第二導電型用電極7的凸部37分別頂開配線基板10上的絕緣樹脂16。但被這些電極的凸部頂開的絕緣樹脂16分別被收容在作為樹脂流動部的第一導電型用電極6的凹部沈及第二導電型用電極7的凹部27中。即液狀材料狀態的未固化的絕緣樹脂16在第一導電型用電極6-第一導電型用配線12之間及第二導電型用電極7-第二導電型用配線13之間流動，使第一導電型用電極6的凸部36與第一導電型用配線12對接，並且使第二導電型用電極7的凸部 37與第二導電型用配線13對接。在此，如果流動的絕緣樹脂16被收容在樹脂流動部(第一導電型用電極6的凹部沈及第二導電型用電極7的凹部27)而固化，那麼在樹脂流動部中，第一導電型用電極6與第一導電型用配線12接合，並且第二導電型用電極7與第二導電型用配線13接合。因此，第一導電型用電極6的凸部36與第一導電型用配線12接觸而確保電連接； 並且第二導電型用電極7的凸部37與配線基板10的第二導電型用配線13也接觸而確保電連接。在絕緣樹脂16被固化的狀態下，背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7與配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13 這兩者之間，局部地通過樹脂流動部中的絕緣樹脂接合，並且在該樹脂流動部以外的凸部頂部對接，由此形成電連接。因此，在使用上述結構的背面電極型太陽能電池單元8的情況下，在背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線之間嵌入絕緣樹脂16，可以減少不能實現電連接背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線這種問題的發生，所以能夠提高附配線基板的太陽能電池單元及太陽能電池模塊的特性。而且，絕緣樹脂16填充在背面電極型太陽能電池單元8的電極的樹脂流動部中， 覆蓋電極的周圍，對電極進行保護，所以能夠提高附配線基板的太陽能電池單元及太陽能電池模塊的長期可靠性。另外，在上述說明中，雖然在背面電極型太陽能電池單元8的所有第一導電型用電極6及第二導電型用電極7都設有樹脂流動部，但在本發明中，只要在第一導電型用電極 6及第二導電型用電極7的至少一種電極上設有樹脂流動部即可。而且，在上述說明中，雖然將背面電極型太陽能電池單元8的第一導電型用電極6 的凹部26及第二導電型用電極7的凹部27分別作為樹脂流動部，但在本發明中，例如如圖 18的示意性剖面放大圖所示，也可在配線基板10的第一導電型用配線12的表面沿第一導電型用配線12的延伸方向及與其延伸方向正交的方向設有凹部112和凸部212，並且在第二導電型用配線13的表面沿第二導電型用配線13的延伸方向及與其延伸方向正交的方向設有凹部113和凸部213。在該情況下，第一導電型用配線12上的凹部112及第二導電型用配線13上的凹部113分別為樹脂流動部。第一導電型用配線12的凹部112優選與第一導電型用配線12的端部連接而形成於多個凸部212之間，而且，第二導電型用配線13的凹部113優選與第二導電型用配線13 的端部連接而形成於多個凸部213之間。在第一導電型配線12的凹部112與第一導電型用配線12的端部連接的情況下，具有能夠將被第一導電型用配線12的凸部212頂開而流入第一導電型用配線12的凹部112的絕緣樹脂16從第一導電型用配線12的端部向第一導電型用配線12的外部排出的傾向；在第二導電型配線13的凹部113與第二導電型用配線13的端部連接的情況下，具有能夠將被第二導電型用配線13的凸部213頂開而流入第二導電型用配線13的凹部113的絕緣樹脂16從第二導電型用配線13的端部向第二導電型用配線13的外部排出的傾向。另外，作為第一導電型用配線12的端部，例如可以例舉第一導電型用配線12的延伸方向上的端部和/或與第一導電型用配線12的延伸方向正交的方向上的端部；作為第二導電型用配線13的端部，例如可以例舉第二導電型用配線13的延伸方向上的端部和/或與第二導電型用配線13的延伸方向正交的方向上的端部。在此，作為形成具有凹部112和凸部212的第一導電型用配線12及具有凹部113 和凸部213的第二導電型用配線13的方法，雖然也可以通過例如上述的絲網印刷法、真空蒸鍍法或鍍層法等形成，但也可使用通過金屬箔的蝕刻來形成的方法。在通過金屬箔的蝕刻分別形成配線基板10的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的情況下，例如，首先在絕緣基體材料11的表面上形成通過軋制或電鍍法等形成的金屬箔。然後，在金屬箔的表面上對抗蝕劑膜進行構圖而形成為具有主開口部和副開口部，之後通過酸等對金屬箔進行蝕刻，根據第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的圖案對金屬箔進行構圖，由此分別形成由構圖後的金屬箔構成的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13。最後，利用使用了絕緣膜或抗蝕劑膜等圖案掩模的溼式蝕刻或等離子體離子處理和噴砂等乾式蝕刻等，對金屬的表面進行粗糙化處理，由此能夠形成第一導電型用配線12及第二導電型用配線13。還有，在圖18所示的結構中，雖然配線基板10的所有第一導電型用配線12及第二導電型用配線13都設有樹脂流動部，但在本發明中，只要在第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的至少一種配線上設有樹脂流動部即可。而且，為了恰好頂開絕緣樹脂16 而提高背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線連接的穩定性，優選第一導電型用配線12及第二導電型用配線13各自的厚度在IOnm以上1000 μ m以下的範圍內。還有，在本發明中，例如如圖19的示意性剖面放大圖所示，也可在背面電極型太陽能電池單元8的各自的第一導電型用電極6及第二導電型用電極7上設有樹脂流動部 (凹部)，並且在配線基板10的絕緣基體材料11的表面上各自的第一導電型用配線12及第二導電型用配線13上設有樹脂流動部(凹部)。在圖19所示的結構中，為了恰好頂開絕緣樹脂16而提高背面電極型太陽能電池單元8的電極與配線基板10的配線連接的穩定性，第一導電型用電極6、第二導電型用電極7、第一導電型用配線12及第二導電型用配線 13的厚度分別與上述相同，優選在IOnm以上1000 μ m以下的範圍內。在此，第一導電型用電極6的凹部優選與第一導電型用電極6的端部連接而形成於多個凸部之間。而且第二導電型用電極7的凹部優選與第二導電型用電極7的端部連接而形成於多個凸部之間。在第一導電型用電極6的凹部與第一導電型用電極6的端部連接的情況下，具有能夠將被第一導電型用電極6的凸部頂開而流入第一導電型用電極6的凹部的絕緣樹脂16從第一導電型用電極6的端部向第一導電型用電極6的外部排出的傾向。 而且，在第二導電型用電極7的凹部與第二導電型用電極7的端部連接的情況下，具有能夠將被第二導電型用電極7的凸部頂開而流入第二導電型用電極7的凹部的絕緣樹脂16從第二導電型用電極7的端部向第二導電型用電極7的外部排出的傾向。另外，作為第一導電型用電極6的端部，例如可以例舉第一導電型用電極6的延伸方向上的端部和/或與第一導電型用電極6的延伸方向正交的方向上的端部；作為第二導電型用電極7的端部，例如可以例舉第二導電型用電極7的延伸方向上的端部和/或與第二導電型用電極7的延伸方向正交的方向上的端部。第一導電型用配線12的凹部優選與第一導電型用配線12的端部連接而形成於多個凸部之間，而且第二導電型用配線13的凹部優選與第二導電型用配線13的端部連接而形成於多個凸部之間。在第一導電型用配線12的凹部與第一導電型用配線12的端部連接的情況下，具有能夠將被第一導電型用配線12的凸部頂開而流入第一導電型用配線12的凹部的絕緣樹脂16從第一導電型用配線12的端部向第一導電型用配線12的外部排出的傾向。而且，在第二導電型用配線13的凹部與第二導電型用配線13的端部連接的情況下， 具有能夠將被第二導電型用配線13的凸部頂開而流入第二導電型用配線13的凹部的絕緣樹脂16從第二導電型用配線13的端部向第二導電型用配線13的外部排出的傾向。另外， 作為第一導電型用配線12的端部，例如可以例舉第一導電型用配線12的延伸方向上的端部和/或與第一導電型用配線12的延伸方向正交的方向上的端部；作為第二導電型用配線 13的端部，例如可以例舉第二導電型用配線13的延伸方向上的端部和/或與第二導電型用配線13的延伸方向正交的方向上的端部。本實施方式上述以外的其他說明因為與第一實施方式及第二實施方式相同，所以在此省略其說明。
實施例〈實施例〉在實施例中，製作了圖1所示結構的太陽能電池模塊。以下針對實施例的太陽能電池模塊的製造方法進行說明。首先，準備具有邊長分別為U6mm的準正方形狀的受光面及背面的、厚度為 200 μ m的η型矽基板作為半導體基板1，然後在η型矽基板的背面形成帶狀的η型雜質摻雜區域作為第一導電型雜質擴散區域2，並且交替地配列帶狀的ρ型雜質摻雜區域作為第二導電型雜質擴散區域3。之後，在η型矽基板的背面的整個面上通過等離子體CVD法形成氮化矽膜作為鈍化膜4，在η型矽基板的受光面的整個面上形成紋理結構等凹凸結構，然後，在該凹凸結構上通過等離子體CVD法形成氮化膜作為防止反射膜5。接著，通過除去η型矽基板背面的氮化膜的一部分形成接觸孔後，在通過接觸孔而露出的η型雜質擴散區域上形成延伸成帶狀、外表面如圓柱的側面般彎曲的曲面銀電極作為第一導電型用電極6，並且在從接觸孔露出的ρ型雜質擴散區域上形成延伸成帶狀、外表面如圓柱的側面般彎曲的曲面銀電極作為第二導電型用電極7。在此，銀電極的厚度分別在IOym 15μπι的範圍內，相鄰的銀電極之間的間距為0. 75mm左右。而且，作為第一導電型用電極6及第二導電型用電極7的銀電極分別使用絲網，該絲網使用了形成為具有對應電極圖案而構圖的開口部的乳劑，通過從絲網側的按壓，慢慢地從絲網的開口部向η型矽基板背面的η型雜質擴散區域或P型雜質擴散區域擠出銀膏， 之後，在100°C左右的溫度下使銀膏乾燥後，在600°C左右的溫度燒制而形成。通過以上步驟，製作出實施例的背面電極型太陽能電池單元。然後，如圖6所示，作為配線基板10，準備在作為絕緣基體材料11的聚醯亞胺膜的表面上形成作為第一導電型用配線12及第二導電型用配線13的、分別如圖6所示構圖的銅配線結構的配線基板。該配線基板的銅配線的圖案為能夠串聯地電連接16塊按照上述說明製作出的背面電極型太陽能電池單元的圖案。接著，如圖7(a) 圖7(c)所示，在按照上述說明製作出的配線基板的表面上塗布作為絕緣樹脂16的熱固化性樹脂後，設置按照上述說明製作出的背面電極型太陽能電池單元。之後，加熱熱固化性樹脂，使之固化，由此連接背面電極型太陽能電池單元與配線基板，從而製作出附配線基板的太陽能電池單元。在此，背面電極型太陽能電池單元通過提前形成於背面電極型太陽能電池單元的定位標記而設置在配線基板上。然後，如圖1所示，通過真空壓接，密封在作為密封材料18的乙酸-醋酸乙烯酯樹脂中，該密封材料18位於作為透明基板17的玻璃基板與用PET膜夾住作為背膜19的鋁箔兩面而構成的薄膜之間。在此，真空壓接通過真空排氣、並且在130°C溫度下維持5分鐘而進行。接著，在真空壓接後，通過在145°C溫度下加熱40分鐘，熱固化乙酸-醋酸乙烯酸樹脂，從而完成圖1所示結構的實施例的太陽能電池模塊。圖20中表示實施例的太陽能電池模塊的EL發光圖像。如圖20所示，在實施例的太陽能電池模塊中，因為幾乎看不到表示背面電極型太陽能電池單元的電極與配線基板的配線連接不良的黑色部分，基本確認在整個面上為均勻發光，所以能夠確認背面電極型太陽能電池單元的電極與配線基板的配線連接良好。〈比較仿Ij>在比較例中，使用具有邊長分別為90mm的準正方形狀的受光面及背面的η型矽基板，使銀電極間的間距為0. 6mm，除了背面電極型太陽能電池單元的電極的表面與配線基板的配線的表面分別是平坦的以外，其他都與實施例相同，由此製作出圖7(c)所示結構的比較例的太陽能電池模塊。圖21表示比較例的太陽能電池模塊的EL發光圖像。如圖21所示，在比較例的太陽能電池模塊中，因為可確認表示背面電極型太陽能電池單元的電極與配線基板的配線連接不良的黑色部分存在於整個面上的廣泛區域中，所以能夠確認背面電極型太陽能電池單元的電極與配線基板的配線的連接不如實施例的太陽能電池模塊良好。本次公開的實施方式及實施例在所有方面都是例示而不應該認為是限制。本發明的範圍不是由上述的說明而是由權利要求範圍來表示的，目的在於包括與權利要求範圍等同含義和範圍內的所有變更。工業上實用性本發明能夠應用於背面電極型太陽能電池單元、配線基板、附配線基板的太陽能電池單元、太陽能電池模塊、附配線基板的太陽能電池單元的製造方法及太陽能電池模塊的製造方法。
權利要求
1.一種背面電極型太陽能電池單元(8)，其特徵在於，具有形成有第一導電型雜質擴散區域( 及第二導電型雜質擴散區域(3)的半導體基板(1)；形成於所述半導體基板(1)的一個表面側的、分別對應所述第一導電型雜質擴散區域 (2)及所述第二導電型雜質擴散區域(3)的第一導電型用電極(6)及第二導電型用電極 (7)；所述第一導電型用電極(6)及所述第二導電型用電極(7)的至少一種電極隨著逐漸離開所述半導體基板(1)、寬度連續地減小而從所述半導體基板(1)的相反側突出。
2.一種附配線基板的太陽能電池單元，其特徵在於，具有如權利要求1所述的背面電極型太陽能電池單元⑶；具有絕緣基體材料(11)和設置於所述絕緣基體材料(11)上的第一導電型用配線(12) 及第二導電型用配線(13)的配線基板(10)；在所述配線基板(10)上設置所述背面電極型太陽能電池單元(8)，使所述背面電極型太陽能電池單元⑶的所述第一導電型用電極(6)與所述配線基板(10)的所述第一導電型用配線(1 對接、並且使所述背面電極型太陽能電池單元(8)的所述第二導電型用電極 (7)與所述配線基板(10)的所述第二導電型用配線(13)對接；除所述背面電極型太陽能電池單元(8)的所述第一導電型用電極(6)與所述配線基板 (10)的所述第一導電型用配線(1 對接而形成電連接的區域以及所述背面電極型太陽能電池單元⑶的所述第二導電型用電極(7)與所述配線基板(10)的所述第二導電型用配線(1 對接而形成電連接的區域以外，所述背面電極型太陽能電池單元(8)與所述配線基板(10)之間的至少一部分區域通過絕緣樹脂(16)接合。
3.一種太陽能電池模塊，其特徵在於，如權利要求2所述的附配線基板的太陽能電池單元通過密封材料密封於透明基板上。
4.一種背面電極型太陽能電池單元(8)，其特徵在於，具有形成有第一導電型雜質擴散區域( 及第二導電型雜質擴散區域(3)的半導體基板(1)；形成於所述半導體基板(1)的一個表面側的、分別對應所述第一導電型雜質擴散區域 (2)及所述第二導電型雜質擴散區域(3)的第一導電型用電極(6)及第二導電型用電極 (7)；所述第一導電型用電極(6)及所述第二導電型用電極(7)的至少一種電極在表面上具有多個凸部和在所述凸部之間形成且與電極端部連接的凹部。
5.一種附配線基板的太陽能電池單元，其特徵在於，具有如權利要求4所述的背面電極型太陽能電池單元⑶；具有絕緣基體材料(11)和設置於所述絕緣基體材料(11)上的第一導電型用配線(12) 及第二導電型用配線(13)的配線基板(10)；在所述配線基板(10)上設置所述背面電極型太陽能電池單元(8)，使所述背面電極型太陽能電池單元⑶的所述第一導電型用電極(6)與所述配線基板(10)的所述第一導電型用配線(1 對接、並且使所述背面電極型太陽能電池單元(8)的所述第二導電型用電極 (7)與所述配線基板(10)的所述第二導電型用配線(13)對接；除所述背面電極型太陽能電池單元(8)的所述第一導電型用電極(6)與所述配線基板 (10)的所述第一導電型用配線(1 對接而形成電連接的區域以及所述背面電極型太陽能電池單元⑶的所述第二導電型用電極(7)與所述配線基板(10)的所述第二導電型用配線(1 對接而形成電連接的區域以外，所述背面電極型太陽能電池單元(8)與所述配線基板(10)之間的至少一部分區域通過絕緣樹脂(16)接合。
6.一種太陽能電池模塊，其特徵在於，如權利要求5所述的附配線基板的太陽能電池單元通過密封材料密封於透明基板上。
7.—種配線基板(10)，其特徵在於，具有 絕緣基體材料(11)；為連接背面電極型太陽能電池單元(8)的電極(6，7)而在所述絕緣基體材料(11)上設置的第一導電型用配線(12)和第二導電型用配線(13)；所述第一導電型用配線(12)及所述第二導電型用配線(13)的至少一種配線隨著逐漸離開所述絕緣基體材料(11)、寬度連續地減小從所述絕緣基體材料(11)的相反側突出。
8.—種附配線基板的太陽能電池單元，其特徵在於，具有 如權利要求7所述的配線基板(10)；在形成有第一導電型雜質擴散區域( 及第二導電型雜質擴散區域C3)的半導體基板 (1)的一個表面側形成分別對應所述第一導電型雜質擴散區域( 及所述第二導電型雜質擴散區域⑶的第一導電型用電極(6)及第二導電型用電極(7)的背面電極型太陽能電池單元⑶；在所述配線基板(10)上設置所述背面電極型太陽能電池單元(8)，使所述背面電極型太陽能電池單元⑶的所述第一導電型用電極(6)與所述配線基板(10)的所述第一導電型用配線(1 對接、並且使所述背面電極型太陽能電池單元(8)的所述第二導電型用電極 (7)與所述配線基板(10)的所述第二導電型用配線(13)對接；除所述背面電極型太陽能電池單元(8)的所述第一導電型用電極(6)與所述配線基板 (10)的所述第一導電型用配線(1 對接而形成電連接的區域以及所述背面電極型太陽能電池單元⑶的所述第二導電型用電極(7)與所述配線基板(10)的所述第二導電型用配線(1 對接而形成電連接的區域以外，所述背面電極型太陽能電池單元(8)與所述配線基板(10)之間的至少一部分區域通過絕緣樹脂(16)接合。
9.一種太陽能電池模塊，其特徵在於，如權利要求8所述的附配線基板的太陽能電池單元通過密封材料密封於透明基板上。
10.一種配線基板(10)，其特徵在於，具有 絕緣基體材料(11)；為連接背面電極型太陽能電池單元(8)的電極(6，7)而在所述絕緣基體材料(11)上設置的第一導電型用配線(12)和第二導電型用配線(13)；所述第一導電型用配線(12)及所述第二導電型用配線(13)的至少一種配線在表面上具有多個凸部和形成於所述凸部之間且與配線端部連接的凹部。
11.一種附配線基板的太陽能電池單元，其特徵在於，具有 如權利要求10所述的配線基板(10)；在形成有第一導電型雜質擴散區域( 及第二導電型雜質擴散區域C3)的半導體基板 (1)的一個表面側形成分別對應所述第一導電型雜質擴散區域( 及所述第二導電型雜質擴散區域⑶的第一導電型用電極(6)及第二導電型用電極(7)的背面電極型太陽能電池單元⑶；在所述配線基板(10)上設置所述背面電極型太陽能電池單元(8)，使所述背面電極型太陽能電池單元⑶的所述第一導電型用電極(6)與所述配線基板(10)的所述第一導電型用配線(1 對接、並且使所述背面電極型太陽能電池單元(8)的所述第二導電型用電極 (7)與所述配線基板(10)的所述第二導電型用配線(13)對接；除所述背面電極型太陽能電池單元(8)的所述第一導電型用電極(6)與所述配線基板 (10)的所述第一導電型用配線(1 對接而形成電連接的區域以及所述背面電極型太陽能電池單元⑶的所述第二導電型用電極(7)與所述配線基板(10)的所述第二導電型用配線(1 對接而形成電連接的區域以外，所述背面電極型太陽能電池單元(8)與所述配線基板(10)之間的至少一部分區域通過絕緣樹脂(16)接合。
12.—種太陽能電池模塊，其特徵在於，如權利要求11所述的附配線基板的太陽能電池單元通過密封材料密封於透明基板上。
13.—種製造附配線基板的太陽能電池單元的方法，該附配線基板的太陽能電池單元具有在形成有第一導電型雜質擴散區域( 及第二導電型雜質擴散區域C3)的半導體基板 (1)的一個表面側形成分別對應所述第一導電型雜質擴散區域( 及所述第二導電型雜質擴散區域⑶的第一導電型用電極(6)及第二導電型用電極(7)的背面電極型太陽能電池單元⑶；具有絕緣基體材料(11)和設置於所述絕緣基體材料(11)上的第一導電型用配線(12) 和第二導電型用配線(13)的配線基板(10)；該製造方法的特徵在於，包括在包括所述第一導電型用配線(1 的表面和/或所述第二導電型用配線(1 的表面的所述配線基板(10)的表面上塗布絕緣樹脂(16)的工序；在所述配線基板(10)上設置所述背面電極型太陽能電池單元(8)的工序。
14.一種太陽能電池模塊的製造方法，其特徵在於，包括將按照如權利要求13所述的附配線基板的太陽能電池單元的製造方法製造出的附配線基板的太陽能電池單元通過密封材料密封於透明基板上的工序。
15.一種附配線基板的太陽能電池單元的製造方法，該附配線基板的太陽能電池單元具有在形成有第一導電型雜質擴散區域( 及第二導電型雜質擴散區域C3)的半導體基板 (1)的一個表面側形成分別對應所述第一導電型雜質擴散區域( 及所述第二導電型雜質擴散區域⑶的第一導電型用電極(6)及第二導電型用電極(7)的背面電極型太陽能電池單元⑶；具有絕緣基體材料(11)和設置於所述絕緣基體材料(11)上的第一導電型用配線(12) 和第二導電型用配線(13)的配線基板(10)；該製造方法的特徵在於，包括在包括所述第一導電型用電極(6)的表面和/或所述第二導電型用電極(7)的表面的所述背面電極型太陽能電池單元(8)的表面上塗布絕緣樹脂(16)的工序；在所述配線基板(10)上設置所述背面電極型太陽能電池單元(8)的工序。
16. 一種太陽能電池模塊的製造方法，其特徵在於，包括將按照如權利要求15所述的附配線基板的太陽能電池單元的製造方法製造出的附配線基板的太陽能電池單元通過密封材料密封於透明基板上的工序。
全文摘要
本發明提供了背面電極型太陽能電池單元、配線基板、附配線基板的太陽能電池單元、太陽能電池模塊、附配線基板的太陽能電池單元的製造方法及太陽能電池模塊的製造方法。本發明包括在第一導電型用電極(6)及第二導電型用電極(7)的至少一種電極上形成液狀材料的可流動形狀的背面電極型太陽能電池單元(8)、在第一導電型用配線(12)及第二導電型用配線(13)的至少一種配線上形成液狀材料的可流動形狀的配線基板(10)、以及使用上述的背面電極型太陽能電池單元(8)和/或配線基板(10)的附配線基板的太陽能電池單元、太陽能電池模塊、附配線基板的太陽能電池單元的製造方法及太陽能電池模塊的製造方法。
文檔編號H01L31/042GK102414835SQ20108001811
公開日2012年4月11日 申請日期2010年3月11日 優先權日2009年3月25日
發明者安彥義哉 申請人:夏普株式會社