硬度試驗機的製作方法
2023-05-27 18:07:11
專利名稱：硬度試驗機的製作方法
技術領域：
本發明涉及硬度試驗機。
背景技術：
在典型的硬度試驗機中，將壓頭向樣品的表面推壓以形成壓痕，並基於壓痕的尺寸來確定樣品的硬度。例如，為了利用維氏硬度試驗機確定樣品的硬度，將樣品在水平方向上定位使得樣品的表面上待壓的點位於壓頭正下方，同時在該點在豎直方向上定位(調焦)。然後轉動旋轉臺以使得壓頭面對樣品，並且將預定的測試力通過壓頭施加到樣品表面以形成壓痕。然後測量壓痕的對角線長度，並且基於測量的壓痕的對角線長度來計算樣品的硬度。 對於使用硬度試驗機的該定位，監視器顯示由相機捕獲並出現於主屏幕的樣品的表面圖像和用於調整出現於主屏幕的表面圖像的水平位置和豎直位置的操作杆(operational bar)。使用者在觀察主屏幕上的表面圖像的同時利用鍵盤或滑鼠通過操作杆的操作來調整樣品的位置。不幸的是，該試驗機涉及獨立於主屏幕設置的操作杆的操作；因此，對於操作杆的每一個操作，使用者必須將其目光從主屏幕轉到操作杆上。這降低了試驗機的可操作性。為解決該問題，例如已經提出了使用於顯微鏡的臺面或車床的工作檯的技術(見日本特開平8-262327號公報)，在該技術中通過滑鼠操作而將開始點和停止點設定在屏幕上，檢測開始點和停止點的各X-Y坐標，基於坐標值設定在X-Y臺面的X方向和Y方向上的移動距離，由此X-Y臺面可以自動地移動到目標位置。根據該技術，能夠僅通過開始點和停止點的設定而在任意方向上將X-Y臺面簡單地、精確地移動到適當的位置。不幸的是，由於日本特開平8-262327號公報中說明的技術僅僅涉及通過滑鼠操作在屏幕上設定開始點和停止點，圖像不能夠連續地在屏幕上移動，導致精微地位置調整的困難。結果，該技術不能夠應用到用於精確測量的需要精微的位置調整的硬度試驗機，導致試驗機的低的可操作性。此外，日本特開平8-262327沒有對豎直位置調整作出說明；因此，該技術不能夠解決豎直位置的調整的低的可操作性的問題。
發明內容
考慮到上述情況而做出本發明，本發明的一個主要目的是提供一種硬度試驗機，該硬度試驗機對於樣品在水平方向和豎直方向上的位置的調整均是高度可操作的。為了實現上述優勢中的任意一個，根據本發明的一個方面，提供一種硬度試驗機，所述硬度試驗機通過壓頭向放置在樣品臺上的樣品的表面施加預定的測試力來形成壓痕並測量所述壓痕的尺寸來確定所述樣品的硬度，所述硬度試驗機包括成像單元，所述成像單元通過物鏡攝取所述樣品的表面的圖像；
顯示單元，所述顯示單元顯示由所述成像單元攝取的所述樣品的表面圖像和光標；指向裝置，所述指向裝置能夠接收通過所述光標的移動而指示出現於所述顯示單元的所述樣品的表面圖像的移動的第一指令和通過所述光標的移動而指示所述樣品臺的高度的改變的第二指令；和位置調整單元，所述位置調整單元響應於來自使用者的所述第一指令根據所述光標的移動而使所述樣品臺在水平方向上移動，以及響應於來自使用者的所述第二指令根據所述光標的移動而使所述樣品臺在豎直方向上移動。
從下述結合附圖的詳細說明中，會更完全地理解本發明以及本發明的上述目的、特徵和優勢。在附圖中，圖I是示出本發明的硬度試驗機的整體構造的示意圖；·圖2是示出圖I中示出的硬度試驗機的主單元的示意圖；圖3是示出圖I中示出的硬度試驗機的測量單元的示意圖；圖4是示出圖I中示出的硬度試驗機的控制結構的框圖； 圖5A和圖5B是本發明的硬度試驗機的操作的示意性說明圖；圖6A和圖6B是本發明的硬度試驗機的另一操作的示意性說明圖；圖7A和圖7B是本發明的硬度試驗機的另一操作的示意性說明圖；圖8A和圖8B是本發明的硬度試驗機的另一操作的示意性說明圖。
具體實施例方式現在參照附圖詳細地說明根據實施方式的硬度試驗機。說明本實施方式的硬度試驗機100的構造。如圖I所示，在下述說明中，將硬度試驗機100的左右方向限定為X方向，將硬度試驗機100的前後方向限定為Y方向，將上下方向限定為Z方向。圖I中示出的硬度試驗機100是例如維氏硬度試驗機，該維氏硬度試驗機包括主單元10、控制器6、操作單元7和監視器8。參照圖2，主單元10例如包括測定單元1，該測定單元I測定樣品S的硬度；樣品臺2，在該樣品臺2上放置樣品S ；XY定位臺(XY stage) 3，該XY定位臺在水平方向(XY方向)上移動樣品臺2 ；自動調焦(AF) (Z)臺4,該自動調焦臺4將焦點調整到樣品S的表面；和升降機構5，該升降機構5豎直地移動樣品臺2以及XY定位臺3和AF (Z)臺4。參照圖3，測定單元I例如包括照明裝置11，該照明裝置11對樣品S的表面進行照明；相機12，該相機12攝取樣品S的表面的圖像；具有壓頭14a的壓頭軸14 ;物鏡15和旋轉臺(turret) 16,該旋轉臺16是可旋轉的以使得壓頭軸14和其中一個物鏡15相互切換。照明裝置11是利用光來對樣品S的表面進行照明的照明單元。照明裝置11輸出的光經由透鏡la、半反射鏡(half mirror) Id、反射鏡Ie和物鏡15到達樣品S的表面。相機12是成像單元。例如，如圖3所示，相機12基於其接收的從樣品S的表面經由物鏡15、反射鏡le、半反射鏡Id、反射鏡Ig和透鏡Ih傳來的反射光來攝取樣品S的表面的圖像和由壓頭14a形成在樣品S的表面的圖像，因此獲得圖像數據並將圖像數據輸出至控制器6。壓頭軸14由加載機構(未示出)移動到放置在樣品臺2上的樣品S，並以預定的力向樣品S的表面推壓壓頭軸14端部的壓頭14a。其中,所述加載機構響應於控制器6輸出的控制信號而被驅動。物鏡15包括多個具有不同放大倍數的聚光透鏡，該多個聚光透鏡保持於旋轉臺16的底面。通過旋轉臺16的旋轉而將各聚光透鏡定位於樣品S上方，以將來自照明裝置11的光均勻地施於樣品S的表面。具體地，物鏡15包括高倍透鏡15a和低倍透鏡15b，低倍透鏡15b的放大倍數小於高倍透鏡15a的放大倍數。 優選地，高倍透鏡15a的放大倍數例如為20倍以上。具有該放大倍數的透鏡具有淺的焦深，該焦深不超過樣品S的壓痕的允許高度，導致樣品S的豎直定位精度的改善。相反，優選地，低倍透鏡15b的放大倍數例如為5倍以下。具有該放大倍數的透鏡能夠獲得寬視野的圖像，因此能夠容易地獲得寬範圍的圖像。旋轉臺16通過旋轉臺驅動機構16A繞沿著Z軸方向的軸線轉動,該旋轉臺驅動機構16A響應於控制器6輸出的控制信號而進行操作。旋轉臺16的底面具有壓頭軸14和物鏡15 (高倍透鏡15a和低倍透鏡15b)，並且旋轉臺16繞沿著Z軸方向的軸線轉動以使得壓頭軸14和物鏡15之一以可切換的方式定位於樣品S上方。具體地，壓頭軸14定位於樣品S上方，然後被降低以在樣品S的表面形成壓痕，然後其中一個物鏡15定位於樣品S上方以觀察形成的壓痕。樣品臺2具有將布直於樣品臺2頂面的樣品S固定的樣品固定部2a。XY定位臺3由響應於控制器6輸出的控制信號而進行操作的驅動機構3A驅動，並且在與壓頭14a的移動方向(Z方向)垂直的X方向和Y方向上移動樣品臺2。AF臺4響應於控制器6輸出的控制信號而被驅動，並且基於由相機12攝取的圖像數據而精微地上下移動樣品臺2，以將焦點調整到樣品S的表面。升降機構5響應於控制器6輸出的控制信號而被驅動，並且豎直地移動樣品臺2以及XY定位臺3和AF (Z)臺4，以改變樣品臺2和物鏡15之間的相對距離。監視器8是諸如液晶顯示器(IXD)等的顯示單元，該顯示單元例如顯示由相機12攝取的樣品S的表面圖像和形成於樣品S的表面的壓痕的圖像。除了圖像之外，監視器8也能夠顯示通過滑鼠72 (下面將說明)的操作而在監視器8上移動的光標K。監視器8還顯示來自操作單元7的硬度測試的設定條件以及硬度測試的結果。操作單元I包括鍵盤71和滑鼠72。如圖5A所示，滑鼠72包括左鍵(第一按鍵)72a、右鍵(第二按鍵)72b和中鍵(第三按鍵)72c,並且是接受使用者的拖動操作和其他操作的指向裝置。具體地，滑鼠72接收來自使用者的下述第一指令到第四指令，並且響應於第一指令到第四指令向控制器6輸出操作信號。第一指令是通過光標K的移動來移動顯示在監視器8上的樣品S的圖像，並且例如通過在按住左鍵72a的情況下滑鼠72的在適當方向上的拖動操作來執行(見圖5A)。第二指令是通過光標K的移動來改變樣品臺2的高度，並且例如通過在按住右鍵72b的情況下滑鼠72的在預定的第一方向(這裡為Y方向)上的拖動操作來執行，其中預定的第一方向是預先設定的(見圖6A)。第三指令是通過光標K的移動來改變監視器8的屏幕的亮度，並且例如通過在按住右鍵72b的情況下滑鼠72的在預定的第二方向(這裡為X方向)上的拖動操作來執行，其中預定的第二方向是預先設定的(見圖7A)。第四指令是改變物鏡15的放大倍數，並且例如通過按住中鍵72c來執行(見圖8A)。滑鼠72的執行第一到第四指令的具體操作可以非限制地適當地設定。 圖5A、6A和7A中的箭頭是用於說明拖動操作的虛擬圖像，不在實際的監視器8出現。操作單元7用於諸如設定利用硬度試驗機100進行硬度測試的各種條件的其他使用者操作。具體地，通過接收使用者的預定的操作，操作單元7向控制器6發送與操作對應的預定信號。各種條件例如包括諸如樣品S的材料、從壓頭14a施加到樣品S的負荷(N)和各物鏡15的放大倍數等測試條件；測試起始點；行數和列數；以及節距(pitch)等。如圖4所示，控制器6包括中央處理器(CPU)61、隨機存取存儲器(RAM)62和存儲單元63，並且通過執行存儲於存儲單元63中的程序來控制用於預定的硬度測試的操作。CPU 61讀取包括存儲於存儲單元63中的處理程序的程序，在RAM 62中展開程序，並執行程序以控制整個硬度試驗機100。RAM 62在它的程序存儲區域展開由CPU 61執行的處理程序和其他程序，並在它的數據存儲區域存儲輸入的數據和處理程序的執行過程中的處理結果。存儲單元63例如具有包括用於存儲程序和數據的半導體存儲器的記錄介質(未示出)，並且存儲允許CPU 61控制整個硬度試驗機100的各種類型的數據、各種處理程序和程序執行過程中處理的數據。具體地，存儲單元63例如存儲XY定位臺控制程序631、自動調焦程序632、位置調整程序633、光量調整程序634、旋轉臺轉動程序635和測量單元控制程序636。CPU 61執行XY定位臺控制程序631以控制XY定位臺3的位置，例如使得樣品S在放直於樣品臺2上之後面對相機12。具體地，CPU 61執行XY定位臺控制程序631並起動驅動機構3A以移動XY定位臺3，使得樣品S的表面的預定區域位於相機12的正下方。例如，CPU 61執行自動調焦程序632以自動地將焦點調整到樣品S的表面。具體地，CPU 61執行自動調焦程序632並豎直地移動AF (Z)臺4，以基於來自測量單元I的相機12的圖像信息而將焦點調整到樣品S的表面。例如，在執行過XY定位臺控制程序631和自動調焦程序632之後，如果滑鼠72接收到來自使用者的第一指令，那麼CPU 61執行位置調整程序633以根據光標K的移動在水平方向(X方向和Y方向)上移動樣品臺2。如果滑鼠72接收到來自使用者的第二指令，那麼CPU 61執行位置調整程序633以根據光標K的移動在豎直方向(Z方向)上移動樣品臺2。具體地，如果滑鼠72接收到來自使用者的第一指令或第二指令，那麼滑鼠72向CPU 61發送包括關於光標K的移動方向和移動距離的信息的操作信號。如果滑鼠72接收到第一指令,則CPU 61執行位置調整程序633並起動驅動機構3A以在與光標K的移動方向對應的方向上以與光標K的移動距離對應的距離移動XY定位臺3，使得根據光標K的移動在水平方向上移動樣品臺2。如果滑鼠72接收到第二指令，則CPU 61執行位置調整程序633並在與光標K的移動方向對應的方向上以與光標K的移動距離對應的距離移動AF (Z)臺4，使得根據光標K的移動在豎直方向上移動樣品臺2。結果，監視器8上的圖像根據光標K的移動而移動。
在該操作過程中，CPU 61讀取面對樣品臺2的物鏡15的放大倍數並控制各組件， 使得物鏡15的放大倍數的增大減小樣品臺2在水平方向和豎直方向上的與光標K的移動距離對應的移動距離。具體地，如果光標K的移動距離為屏幕的大約一半尺寸，那麼對於放大倍數為50X的高倍物鏡15a，樣品臺2在水平方向和豎直方向上與光標K的移動距離對應的移動距離為50 u m,而對於放大倍數為IOX的低倍物鏡15b為，樣品臺2在水平方向和豎直方向上與光標K的移動距離對應的移動距離為250 u m。結果，即使在物鏡15的放大倍數切換之後圖像的範圍改變，也能夠以適合圖像的節距移動樣品臺2。通過位置調整程序633的執行，CPU 61與驅動機構3A和AF (Z)臺4 一起用作位置調整部件。例如，如果滑鼠72接收到來自使用者的第三指令，則CPU61執行光量調整程序634以根據光標K的移動改變來自照明裝置11的光量。具體地，如果滑鼠72接收到來自使用者的第三指令，那麼滑鼠72向CPU 61發送包括關於光標K的移動方向和移動距離的信息的操作信號。然後CPU 61執行光量調整程序634,以基於來自滑鼠72的操作信號以與光標K的移動距離對應的量增大或減小來自照明裝置11的光量。通過光量調整程序634的執行，CPU 61用作光量調整部件。例如，如果滑鼠72接收到來自使用者的第四指令，那麼CPU61執行旋轉臺轉動程序635以轉動旋轉臺16。具體地，如果滑鼠72接收到來自使用者的第四指令，那麼滑鼠72向CPU 61發送包括關於中鍵72c的按住時間的信息和其他信息的操作信號。然後CPU 61執行旋轉臺轉動程序635，使得如果CPU 61確定按住時間超過預定長度，那麼CPU 61控制旋轉臺驅動機構16A以啟動旋轉臺16的轉動並持續該轉動直到按住
操作停止。在特定的構造中，如果在按住中鍵72c的情況下滑鼠72被向右拖動，那麼旋轉臺16沿順時針方向轉動，如果在按住中鍵72c的情況下滑鼠72被向左拖動，那麼旋轉臺16沿逆時針方向轉動。通過旋轉臺轉動程序635的執行,CPU 61和旋轉臺驅動程序16A —起用作旋轉臺轉動部件。 例如，CPU 61執行測量單元控制程序636，使得測量單元I執行預定的操作。具體地，CPU 61執行測量單元控制程序636，因此使得以預定的測試力向樣品S的表面推壓壓頭14a以在表面上形成壓痕，基於來自相機12的樣品S的表面的圖像信息測量壓痕的對角線長度，並由測量的壓痕的對角線長度來計算樣品S的硬度。本實施方式的硬度試驗機100可以不包括XY定位臺控制程序631和自動調焦程序 632。現在說明本實施方式的硬度試驗機100的功能。在具有上述構造的硬度試驗機100中，XY定位臺3、AF (Z)臺4、照明裝置11、旋轉臺16等可以通過滑鼠72的操作來控制。例如，如圖5A和圖5B所示，如果響應於第一指令在按住左鍵72a的情況下在適應的方向上拖動滑鼠72，那麼XY定位臺3在水平方向上被移動，使得監視器8上的圖像根據光標K的移動而移動。此外，如圖6A和圖6B所示，如果響應於第二指令在按住右鍵72b的情況下在預定的第一方向(這裡為Y方向)上拖動滑鼠72，那麼AF (Z)臺4根據監視器8上光標K的移動而在豎直方向上移動。此外，如圖7A和圖7B所示，如果響應於第三指令在按住右鍵72b的情況下在預定的第二方向(這時為X方向)上拖動滑鼠72，那麼出現於監視器8的圖像的亮度根據監視器8上光標K的移動而被適當地控制。此外，如圖8A和圖8B所示，如果響應於第四指令按信中鍵72c，那麼旋轉臺16被轉動以切換物鏡15。如上所述，本實施方式的硬度試驗機100包括相機12，該相機12通過物鏡15攝取樣品S的表面的圖像；監視器8，該監視器8顯示由相機12攝取的樣品S的表面的圖像；光標K ；滑鼠72，該滑鼠72接收通過光標K的移動而指示出現於監視器8的樣品S的表面圖像的水平移動的第一指令和通過光標K的移動而指示樣品臺2的高度的改變的第二指令；和位置調整部件，該位置調整部件包括CPU 61和位置調整程序633，該位置調整部件響應於來自使用者的第一指令根據光標K的移動而在水平方向上移動樣品臺2，並響應於來自使用者的第二指令根據光標K的移而在豎直方向上移動樣品臺2。滑鼠72具有左鍵72a和右鍵72b，並且接受使用者的拖動操作。通過在按住左鍵72a的情況下拖動滑鼠72的操作來執行第一指令。通過在按住右鍵72b的情況下在預定的第一方向(Y方向)上拖動滑鼠72的操作來執行第二指令。結果，僅通過滑鼠72的操作而在水平方向和豎直方向上移動樣品臺2。此外，使用者可以在觀察出現於監視器8的圖像的同時在水平方向和豎直方向上容易地、精微地調整樣品S的位置。此外，除了顯示樣品S的表面圖像的屏幕之外，用於位置調整和其他操作的操作杆不需要顯示在監視器8上，因此簡化了監視器8的屏幕構造。結果，能夠改善測量的可操作性。此外，本實施方式的硬度試驗機100包括滑鼠72，該滑鼠72可以接受通過光標K的移動而改變出現於監視器8的屏幕的亮度的第三指令；照明裝置11，該照明裝置11利用光對樣品S的表面進行照明；和光量調整部件，該光量調整部件包括CPU61和光量調整程序634，該光量調整部件響應於來自使用者的第三指令根據光標K的移動改變來自照明裝置11的光量。通過由使用者在按住右鍵72b的情況下在預定的第二方向(X方向)上拖動滑鼠72的操作來執行第三指令。結果，僅通過滑鼠72的操作來改變從照明裝置11到樣品S的表面的光量，由此使用者能夠在觀察出現於監視器8的圖像的同時調整監視器的亮度。結果，能夠進一步改善測量的可操作性。此外，本實施方式的硬度試驗機100包括滑鼠72，該滑鼠72接受第四指令以切換物鏡15的放大倍數；旋轉臺16，該旋轉臺16具有位於旋轉臺16上的壓頭14a和多個物鏡15 ;和旋轉臺轉動部件，該旋轉臺轉動部件包括CPU 61和旋轉臺轉動程序635，該旋轉臺轉動部件響應於來自使用者的第四指令而轉動旋轉臺16。滑鼠72具有中鍵72c，並且通過使用者按住中鍵72c來執行第四指令。結果，通過滑鼠72的操作能夠彼此切換物鏡15，導致測量的可操作性的進一步的改善。根據本實施方式的硬度試驗機100，位置調整部件控制各組件使得物鏡15的放大倍數的增大減小與光標K在水平方向和豎直方向上的移動距離對應的樣品臺2的移動距 離。結果，即使硬度試驗機100具有放大倍數不同的多個物鏡15並且物鏡15彼此切換，也以與相關的放大倍數相應的節距移動樣品臺2，導致測量的可操作性的進一步的改
盡
口 o儘管已經說明了具有典型的構造的實施方式，在該典型的構造中XY定位臺3或AF(Z)臺4 (樣品臺2)通過滑鼠操作響應於第一指令或第二指令而被移動，可以改為相機12(物鏡15的位置)在水平方向和豎直方向二者上被移動。此外，方向可以顯示在出現於監視器8的光標K的周圍以引導滑鼠72的指令操作和硬度試驗機100的組件的相應的操作。根據本發明的優選的實施方式的一個方面，提供一種硬度試驗機，所述硬度試驗機通過壓頭向放置在樣品臺上的樣品的表面施加預定的測試力來形成壓痕並測量所述壓痕的尺寸來確定所述樣品的硬度，所述硬度試驗機包括成像單元，所述成像單元通過物鏡攝取所述樣品的表面的圖像；顯示單元，所述顯示單元顯示由所述成像單元攝取的所述樣品的表面圖像和光標；指向裝置，所述指向裝置能夠接收通過所述光標的移動而指示出現於所述顯示單元的所述樣品的表面圖像的移動的第一指令和通過所述光標的移動而指示所述樣品臺的高度的改變的第二指令；和位置調整單元，所述位置調整單元響應於來自使用者的所述第一指令根據所述光標的移動而使所述樣品臺在水平方向上移動，以及響應於來自使用者的所述第二指令根據所述光標的移動而使所述樣品臺在豎直方向上移動。根據本發明，顯示單元顯示樣品的表面圖像和光標，而樣品臺通過指向裝置基於來自使用者的預定指令與顯示單元上的光標的移動相關聯地在水平方向或豎直方向上移動。因此，能夠僅通過指向裝置的操作而在水平方向和豎直方向上移動樣品臺。此外，使用者能夠在觀察出現於顯示單元的圖像的同時在水平方向和豎直方向二者上容易地、精微地調整樣品的位置。此外，除了顯示樣品的表面圖像的屏幕之外，用於位置調整和其他操作的操作杆不需要顯示於顯示單元，簡化了顯示單元的屏幕構造。結果，能夠改善測量的可操作性。優選地，在所述硬度試驗機中，所述指向裝置具有第一按鍵和第二按鍵，並接受使用者的拖動操作； 當由使用者按住所述第一按鍵同時拖動所述指向裝置的時候執行所述第一指令；和當由使用者按住所述第二按鍵同時在預定的第一方向上拖動所述指向裝置的時候執行所述第二指令。優選地，在所述硬度試驗機中，所述指向裝置能夠接受第三指令，所述第三指令用於通過所述光標的移動而改變在所述顯示單元上出現的屏幕的亮度；並且所述硬度試驗機包括照明裝置，所述照明裝置向所述樣品的表面供給光；和光量調整單元，所述光量調整單元響應於來自使用者的所述第三指令根據所述光標的移動而改變來自所述照明單元的光量。優選地，在所述硬度試驗機中，當由使用者按住所述第二按鍵同時在不同於所述第一方向的預定的第二方向上拖動所述指向裝置的時候執行所述第三指令。優選地，在所述硬度試驗機中，所述指向裝置能夠接受第四指令，所述第四指令用於切換所述物鏡的放大倍數，並且所述硬度試驗機包括旋轉臺，所述旋轉臺上具有壓頭和多個所述物鏡；和旋轉臺轉動單元,所述旋轉臺轉動單元響應於來自使用者的所述第四指令而使所述旋轉臺轉動。優選地，在所述硬度試驗機中，所述指向裝置具有第三按鍵；和在由使用者按住所述第三按鍵時執行所述第四指令。優選地，在所述硬度試驗機中，在所述物鏡的放大倍數增大的情況下，所述位置調整單元減小與所述光標的移動距離對應的所述樣品臺在水平方向和豎直方向二者上的移動距離。雖然示出和說明了各種典型的實施方式，但是本發明不限於示出的實施方式。因此，本發明的範圍意圖僅由所附的權利要求的範圍來限定，而並非由上述說明限定，並且本發明意圖涵蓋落入所附權利要求和它們的等同表示的範圍內變型和改變。
權利要求
1.一種硬度試驗機，所述硬度試驗機通過壓頭向放置在樣品臺上的樣品的表面施加預定的測試力來形成壓痕並測量所述壓痕的尺寸來確定所述樣品的硬度，所述硬度試驗機包括 成像單元，所述成像單元通過物鏡攝取所述樣品的表面的圖像； 顯示單元，所述顯示單元顯示由所述成像單元攝取的所述樣品的表面圖像和光標； 指向裝置，所述指向裝置能夠接收通過所述光標的移動而指示出現於所述顯示單元的所述樣品的表面圖像的移動的第一指令和通過所述光標的移動而指示所述樣品臺的高度的改變的第二指令；和 位置調整單元，所述位置調整單元響應於來自使用者的所述第一指令根據所述光標的移動而使所述樣品臺在水平方向上移動，以及響應於來自使用者的所述第二指令根據所述光標的移動而使所述樣品臺在豎直方向上移動。
2.根據權利要求I所述的硬度試驗機，其特徵在於，所述指向裝置具有第一按鍵和第二按鍵，並接受使用者的拖動操作； 當由使用者按住所述第一按鍵同時拖動所述指向裝置的時候執行所述第一指令；和當由使用者按住所述第二按鍵同時在預定的第一方向上拖動所述指向裝置的時候執行所述第二指令。
3.根據權利要求I所述的硬度試驗機，其特徵在於， 所述指向裝置能夠接受第三指令，所述第三指令用於通過所述光標的移動而改變在所述顯示單元上出現的屏幕的亮度；並且所述硬度試驗機包括 照明裝置，所述照明裝置向所述樣品的表面供給光；和 光量調整單元，所述光量調整單元響應於來自使用者的所述第三指令根據所述光標的移動而改變來自所述照明單元的光量。
4.根據權利要求3所述的硬度試驗機，其特徵在於，當由使用者按住所述第二按鍵同時在不同於所述第一方向的預定的第二方向上拖動所述指向裝置的時候執行所述第三指令。
5.根據權利要求I所述的硬度試驗機，其特徵在於， 所述指向裝置能夠接受第四指令，所述第四指令用於切換所述物鏡的放大倍數，並且所述硬度試驗機包括 旋轉臺，所述旋轉臺上具有壓頭和多個所述物鏡；和 旋轉臺轉動單元，所述旋轉臺轉動單元響應於來自使用者的所述第四指令而使所述旋轉臺轉動。
6.根據權利要求5所述的硬度試驗機，其特徵在於， 所述指向裝置具有第三按鍵；和 在由使用者按住所述第三按鍵時執行所述第四指令。
7.根據權利要求I所述的硬度試驗機，其特徵在於，在所述物鏡的放大倍數增大的情況下，所述位置調整單元減小與所述光標的移動距離對應的所述樣品臺在水平方向和豎直方向二者上的移動距離。
全文摘要
一種硬度試驗機，該硬度試驗機測量壓痕的尺寸以確定樣品的硬度。該硬度試驗機包括成像單元、顯示單元、指向裝置和位置調整單元。成像單元攝取樣品的表面的圖像。顯示單元顯示樣品的表面圖像和光標。指向裝置接收通過光標的移動而指示出現於顯示單元的樣品的表面圖像的移動的第一指令和通過光標的移動而指示樣品臺的高度的改變的第二指令。位置調整單元在水平方向上和豎直方向上移動樣品臺。
文檔編號G01N3/42GK102967518SQ20121015025
公開日2013年3月13日 申請日期2012年5月15日 優先權日2011年8月31日
發明者有我幸三, 川添勝 申請人:株式會社三豐