振動片、振子、振蕩器、以及電子儀器的製造方法
2023-06-08 10:25:51
振動片、振子、振蕩器、以及電子儀器的製造方法
【專利摘要】本發明提供耐衝擊性較高的小型振動片。水晶振動片(20)具備：基部(21)；一對振動臂(22)，其從該基部(21)的一端側分成兩段且互相平行延伸。在基部(21)中，沿著一條直線的相反方向上形成一對切口(41A)、(41B)，以此在該兩個主面上出現被縮窄的形狀。一對支承臂(30)被設置為，基部(21)中的與一對振動臂(22)的延伸方向交叉的方向上的兩個端部，分別在相反的方向延伸後，在彎曲部(31)處彎曲，並與一對振動臂(22)平行延伸。在支承臂(30)的前端側上設置有承接部(35)，其被配置在相鄰振動臂(22)的通常振動時的振幅範圍之外，且在相鄰振動臂(22)的位移超過通常振幅範圍時與該振動臂(22)抵接的位置上。
【專利說明】振動片、振子、振蕩器、以及電子儀器
[0001]本申請為，申請號為201010286678.2、申請日為2010年9月17日、發明名稱為振動片、振子、振蕩器、以及電子儀器的發明專利申請的分案申請。
【技術領域】
[0002]本發明涉及一種例如由壓電材料所組成的壓電振動片等振動片、振子、振蕩器和使用這些元件的電子儀器。
【背景技術】
[0003]以前，在利用彎曲振動模式和其他振動模式進行振動的振動片中，廣泛使用一種音叉型壓電振動片，該音叉型壓電振動片將一對振動臂從例如由水晶等壓電材料所組成的基材的基部平行延伸，並且使其在水平方向上朝著相互接近或者遠離的方向進行振動。安裝了這種振動片的振動裝置的各種產品，例如HDD(硬碟驅動器)、移動電腦、或1C卡等小型的情報儀器；和行動電話、車載電話、或呼叫系統等移動通信儀器；以及振動式陀螺傳感器等，這些產品的小型化正在日益進步，隨之也需要振動裝置、和收容在該振動裝置中的振動片更加小型化。
[0004]而且，小型化的其他課題還包括:在使振動片的振動臂進行振動時，會產生振動能量的損失，這是導致CI (晶體阻抗Crystal Impedance)值增大和Q值下降等振動片的性能下降的原因。因此，為了實現振動片小型化的同時，更進一步防止或者減少振動能量的損失，一直以來人們想出了各種各樣的方法。例如已知有一種音叉型水晶振動片(例如參照專利文獻1)，該音叉型水晶振動片在振動臂的主面上設置長槽，並且在振動臂延伸出的基部的兩側部分上形成切口部或具有一定深度的切口(切口槽)。
[0005]對專利文獻1所記載的音叉型水晶振動片，參照附圖進行具體說明。圖8為，表示作為現有振動片之一例的音叉型水晶振動片的俯視圖。
[0006]在圖8中，首叉型水晶振動片100具有:基部121,其由水晶形成；一對振動臂122,其從該基部121的一端部分相互平行延伸。各個振動臂122具有該振動臂122的兩個主面以及與所述兩個主面相連接的兩個側面，並且在各個振動臂122上，沿著該振動臂122的長邊方向還設置了具有底部的長槽126，該長槽126在兩個主面中的至少一個主面上具有開口部。另外，雖然沒有圖示，但在包括長槽126的區域中，設有用於使振動臂122振動的激勵電極。
[0007]並且，在與基部121的延伸出振動臂122的一端側垂直的方向的另一端側(兩邊)上，沿著一條直線且在對置的方向上形成一對切口 141AU41B，以此在該基部121的兩個主面上出現被縮窄的形狀。基部121包括:第一部分121a以及第二部分121b，所述第一部分121a和第二部分121b隔著一對切口 141AU41B並位於其兩側；連接部分121c，其用於在一對切口 141AU41B之間對第一部分121a及第二部分121b進行連接。在第二部分121b中，設置有與外殼等外部基板進行電連接的未圖示的外部連接電極。音叉型水晶振動片100是將其基部121的第二部分121b作為固定部，並被結合固定在例如外殼等外部基板上，同時與外部基板實現電連接。
[0008]由於這種音叉型水晶振動片100，通過在各個振動臂122中設置長槽126，從而使振動臂122易于振動以進行有效的振動，所以具有能使振動損失降低並將Cl值抑制在較低水平的特性。
[0009]並且，在振動臂122的振動還包括垂直方向的成分的情況下，由於通過設置在基部121上的一對切口 141AU41B，來切斷各個振動臂122的振動傳播，所以可以抑制振動通過基部121而向外部傳播的所謂振動洩漏，在具有防止Cl值上升的效果的同時，防止各個振動臂122之間的Cl值的偏差。
[0010]現有技術
[0011]專利文獻1:日本特開2002-280870號公報。
【發明內容】
[0012]發明所要解決的課題
[0013]但是，在專利文獻I所記載的音叉型水晶振動片100中，具有以下的問題，S卩、因形成在基部121上的切口 141AU41B，而使基部121的剛性下降並導致耐衝擊性下降的問題。
[0014]具體來說，在圖8所示的音叉型水晶振動片100中，當對激勵電極施加預定的驅動電壓時，各個振動臂122，在圖中箭頭所示的水平方向上朝著相互接近或者遠離的方向進行振動。在與該振動方向相同的方向上，對音叉型水晶振動片100施加能使振動臂122產生較大位移的衝擊時，在基部121 —側的局部產生較大的應力。即、當將基部121的第二部分121b作為固定端而使各個振動臂122的前端側產生較大位移時，在一對切口 141AU41B中，應力集中在與振動臂122的位移方向相反一側的切口 141A的前端部142A、或者切口 141B的前端部142B處。特別是在水晶的情況下，由於對拉伸應力的機械強度較弱，所以例如對音叉型水晶振動片100施加能使振動臂122在圖中箭頭的+X方向(左方向)產生較大位移的衝擊的情況下，對基部121在圖中一 X方向(右方向)的切口 141B的前端部142B會受到較大的拉伸應力，從而可能會產生裂縫或破損。
[0015]用於解決課題的方法
[0016]本發明是為了解決上述至少一部分的課題而完成的，並可以通過以下的實施方式或者應用例來實現。
[0017][應用例I]
[0018]本應用例所涉及的振動片的特徵在於，其具備:基部；振動臂，其從所述基部延伸；支承臂，其從所述基部延伸，且至少一部分與所述振動臂並行延伸；承接部，其以使所述支承臂與所述振動臂之間的間隔變窄的方式，由所述支承臂的一部分以突起狀延伸而形成。
[0019]根據該結構，因為由支承臂的一部分延伸而呈突起狀的承接部，以與振動臂之間的間隔變窄的方式設置，所以在對振動片施加衝擊等從而使振動臂的位移超過通常振動的振幅範圍時，振動臂前端側的位移被承接部限制，所以能夠抑制對振動臂基部的根部所施加的應力的增大，並能夠防止裂縫和破損等故障的發生。
[0020][應用例2]
[0021]上述應用例所涉及的振動片的特徵在於，所述承接部與所述振動臂相面對，並被設置在由從外部施加的電場引起所述振動臂振動時的振幅範圍之外，且在所述振動臂的位移超過所述振幅範圍時與所述振動臂接觸的位置上。
[0022]根據該結構，當對振動片施加衝擊等從而使振動臂的位移超過通常振動的振幅範圍時，由于振動臂前端側的位移被承接部限制，所以抑制被施加于振動臂和基部之間的根部的應力的增大，能夠防止裂縫和破損等故障的產生。
[0023][應用例3]
[0024]上述應用例所涉及的振動片的特徵在於，所述承接部被設置在所述支承臂的前端側上。
[0025]根據該結構，當對振動片施加衝擊等從而使振動臂的位移超過通常振動的振幅範圍時，由于振動臂前端側的位移被承接部限制，所以能夠抑制被施加于振動臂和基部之間的根部的應力的增大，並能夠防止裂縫和破損等故障的產生。並且，因為具備在前端設有承接部的支承臂，所以通過使用該支承臂將振動片與外殼等外部進行接合，從而能夠使振動臂和基部以浮動狀態而被保持在外部，因此能夠防止因振動臂的振動傳播到基部而發生洩漏，或不需要的振動通過基部向振動臂傳播而導致振動特性不穩定的現象。因此，能夠提供一種具有穩定的振動特性的同時，還具有良好耐衝擊性的振動片。
[0026][應用例4]
[0027]上述應用例所涉及的振動片的特徵在於，在所述支承臂上設置有多個所述承接部，所述承接部被構成為，當所述振動臂產生所述彎曲變形時與所述振動臂的長度方向上的多個位置相接觸。
[0028]根據該結構，在振動臂產生彎曲變形時，設置在支承臂上的多個承接部，與振動臂在多個位置相接觸。因此，能夠防止或者緩和振動臂和承接部相接觸時對振動臂的局部施加衝擊。
[0029][應用例5]
[0030]上述應用例所涉及的振動片的特徵在於，所述振動臂具有兩個主面和兩個側面，所述兩個側面連接所述兩個主面並向所述振動臂的長度方向延伸，並且，在所述振動臂上沿著所述振動臂的所述長度方向設置有具有底部的長槽，所述長槽在所述兩個主面中的至少一個主面上具有開口部，所述承接部被設置為，當所述振動臂產生超過通常振動時的所述振幅範圍的位移而導致所述振動臂與所述承接部相接觸時，所述承接部中與所述振動臂的抵接部分，位於比形成有所述長槽的區域更靠前端側的位置上。
[0031]根據該結構，由於通過長槽而使振動臂易於移動而進行有效的振動，從而抑制了CI值的增大，並且在振動臂的位移被承接部限制時的振動臂與承接部的抵接部分，被配置在位於比形成振動臂長槽的區域更靠前端側的剛性較高的部分，所以能夠抑制振動臂的破損。
[0032][應用例6]
[0033]上述應用例所涉及的振動片的特徵在於，在所述振動臂的前端側上，設置有寬度比所述振動臂的所述基部側更寬的錘部，當所述振動臂上產生超過通常振動時的所述振幅範圍的位移而導致所述振動臂與所述承接部相接觸時，所述承接部中與所述振動臂的抵接部分被配置成，與所述錘部進行接觸。
[0034]根據該結構，由於作為振動臂的寬度較寬的部分且具有較高強度的錘部的側面成為與承接部的抵接部分，所以能夠抑制振動臂的損傷並能提高振動片的耐衝擊性。
[0035][應用例7]
[0036]上述應用例所涉及的振動片的特徵在於，所述承接部的所述抵接部分被配置為，與所述振動臂的所述錘部的側面進行面接觸。
[0037]例如，在被配置為由錘部形成的振動臂的角部與承接部的抵接部分相接觸的情況下，能夠防止因角部引起的衝擊壓力集中從而導致角部和承接部的一部分產生破損，並能夠提高振動片的耐衝擊性。
[0038][應用例8]
[0039]上述應用例所涉及的振動片的特徵在於，所述支承臂具有比所述振動臂的所述兩個側面之間最細部分的寬度更細的部分。
[0040]根據該結構，由於支承臂比振動臂更容易彎曲，在振動臂與支承臂的承接部碰撞時能夠緩和對振動臂所施加的損傷，所以可以提供一種既防止振動臂破損又具有較高的耐衝擊性的振動片。
[0041][應用例9]
[0042]上述應用例所涉及的振動片的特徵在於，所述承接部被形成為，其寬度小於所述支承臂的所述基部側的寬度。
[0043]根據該結構，由於具有承接部的支承臂的前端側，比支承臂的基部側更容易彎曲，在振動臂與支承臂的承接部碰撞時能夠緩和對振動臂所施加的損傷，所以能夠防止振動臂的破損，並且能夠提高振動片的耐衝擊性。
[0044][應用例10]
[0045]上述應用例所涉及的振動片的特徵在於，所述振動片是由壓電材料形成的壓電振動片。
[0046]根據該結構，能夠提供一種耐衝擊性較高且具有優良的振動特性的水晶振動片等壓電振動片。
[0047][應用例11]
[0048]上述應用例所涉及的振動片的特徵在於，作為所述壓電材料使用水晶，在所述基部上具有一對切口，該一對切口分別被設置在，所述水晶的由X軸、Y軸以及Z軸所組成的正交坐標系中沿著X軸方向的一條直線的相反方向上，以此在該基部的兩個主面上出現被縮窄的形狀，所述振動臂從所述基部的Y軸方向的一端部向Y軸方向延伸，至少在所述振動臂的+X —側上，設置有具備所述承接部的所述支承臂。
[0049]雖然水晶被廣泛用於壓電振動片的壓電材料，但是如上述的結構所示，當通過腐蝕而在晶軸的正交坐標系中沿著X軸方向形成切口時，因相對於水晶晶軸的腐蝕各向異性，在從一 X—側進行切口加工所形成的切口的內壁的前端部(角部)上，將會產生不希望的孔部和腐蝕殘留部、即形成所謂的鰭部。在對振動片施加衝擊時，該切口的鰭部能夠引起龜裂、折斷，特別是在對鰭部施加拉伸應力時，該切口的鰭部是導致強度顯著劣化的主要原因。
[0050]根據上述應用例的結構，在由水晶形成的振動片中，從產生鰭部的一 X方向上的切口的相反側(+X方向)基部的端部中延伸出支承臂，在該支承臂的前端具有承接部。因此，由於形成有承接部，該承接部用於限制在對鰭部施加拉伸應力的方向上產生位移的振動臂的移動，所以尤其是能夠提高對於在耐衝擊性較弱的位移方向上的耐衝擊性。而且，與從另一側的端部形成支承臂，並且進一步在該支承臂上形成承接部的結構相比，僅從基部的一側端部形成具有承接部的支承臂的結構，能夠達到振動片的更加小型化。
[0051][應用例12]
[0052]上述應用例所涉及的振動片的特徵在於，在所述抵接部分上設置有衝擊緩衝構件。
[0053]根據該結構，因為在振動臂與承接部碰撞時能通過衝擊緩衝構件來減少衝擊，所以可以抑制振動臂產生缺口、破損。
[0054][應用例13]
[0055]本應用例所涉及的振子的特徵在於，其具備:上述應用例中任意一項所述的振動片；外殼，其用於收納所述振動片。
[0056]根據該結構，因為具備上述應用例所述的振動片，所以能夠提供一種具有穩定的振動特性，且耐衝擊性較高的振子。
[0057][應用例14]
[0058]本應用例所涉及的振蕩器的特徵在於，具備:上述應用例中任意一項所述的振動片；電路元件，其具有用於使所述振動片振蕩的振蕩電路；外殼，其用於收納所述振動片以及所述電路元件。
[0059]根據該結構，因為具備上述應用例所述的振動片，所以能夠提供一種具有穩定的振動特性，且耐衝擊性較高的振蕩器。
[0060][應用例15]
[0061]本應用例所涉及的電子儀器的特徵在於，其具備:上述應用例中任意一項所述的振動片、上述應用例所述的振子、或上述應用例所述的振蕩器中的任意一種。
[0062]根據該結構，能夠提供一種特性穩定，且可以確保耐衝擊性的電子儀器。
[0063][應用例16]
[0064]本應用例所涉及的振動片的特徵在於，其具備:基部；振動臂，其從所述基部的一端部分延伸；支承臂，其從所述基部的另一端部分延伸，且至少一部分與所述振動臂並行延伸；還具備設置在所述支承臂的前端側上的承接部，所述承接部被配置在所述振動臂的通常振動時的振幅範圍之外，且被配置在所述振動臂的位移超過所述通常振動的所述振幅範圍時與所述振動臂接觸的位置上。
[0065]根據該結構，當對振動片施加衝擊等從而使振動臂的位移超過通常振動的振幅範圍時，因為振動臂的前端側的變形被承接部限制，所以能夠抑制被施加到振動臂與基部之間的根部部分的應力增大，並能夠防止裂縫和破損等故障的產生。而且，因為具備在其前端具有承接部的支承臂，所以通過利用該支承臂而使振動片與外殼等外部進行接合，由於能夠使振動臂和基部以浮動狀態而被保持在外部，所以能夠防止因振動臂的振動向基部傳播而發生洩漏，或不需要的振動通過基部向振動臂傳播而導致的振動特性不穩定。因此，能夠提供一種具有穩定的振動特性的同時，還具有良好的耐衝擊性的振動片。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0066]圖1為，用於模式化地說明從一方的主面一側觀察作為第一實施方式的振動片的水晶振動片的俯視圖。
[0067]圖2為，用於模式化地說明水晶振動片的各部分的截面的示意圖，(a)為圖1的a-a線的剖視圖，(b)為圖1的c-c線的剖視圖，(C)為圖1的b_b線的剖視圖。
[0068]圖3為，從圖1的箭頭E方向觀察振動臂側面的一部分的局部放大圖。
[0069]圖4為，用於模式化地說明作為振動片的水晶振動片的改變例的俯視圖。
[0070]圖5為，用於模式化地說明作為第二實施方式的振動片的水晶振動片的俯視圖。
[0071]圖6為,表不第三實施方式的振子的概略結構的不意圖，圖6(a)為俯視圖，圖6(b)為沿圖6(a)的F-F線的剖視圖。
[0072]圖7為，表示第四實施方式的振蕩器的概略結構的示意圖，圖7(a)為俯視圖，圖7(b)為沿圖7(a)的G-G線的剖視圖。
[0073]圖8為，模式化地表示作為現有振動片的音叉型水晶振動片的俯視圖。
[0074]符號說明
[0075]20,50作為振動片的水晶振動片
[0076]21、121 基部
[0077]21a、121a 第一部分
[0078]21b、121b 第二部分
[0079]21c、121c 連接部分
[0080]22、122 振動臂
[0081]26a、26b、126 長槽
[0082]27 角部
[0083]29 錘部
[0084]30、30b 支承臂
[0085]31、31b 彎曲部
[0086]32 寬部
[0087]33 窄部
[0088]35承接部
[0089]35a折回部
[0090]38衝擊緩衝構件
[0091]39固定部
[0092]41A、41B、141A、141B 切口
[0093]42A、42B、142A、142B (切口的)前端部
[0094]43、44激勵電極
[0095]100作為現有振動片的音叉型水晶振動片
【具體實施方式】
[0096]以下參照附圖，對將本發明的振動片具體化的實施方式進行說明。
[0097](第一實施方式)
[0098]圖1為，用於模式化地說明從一方的主面一側觀察作為第一實施方式的振動片的水晶振動片的俯視圖。而且，圖2為，用於模式化地說明水晶振動片的各部分截面的圖，(a)為圖1的a-a線的剖視圖，(b)為圖1的c_c線的剖視圖，(c)為圖1的b_b線的剖視圖。
[0099]在本例中，作為壓電材料使用水晶為例進行說明。
[0100]在圖1中，水晶振動片20是由水晶組成的壓電振動片。並且，作為構成本實施方式的水晶振動片20的水晶原形的水晶晶片(水晶基材)，使用了以下所得的水晶晶片，即、在由X軸、Y軸以及Z軸所組成的正交坐標系中，對於在以Z軸為中心順時針旋轉0度-5度的範圍內切割而成的水晶Z板，進行切割研磨加工成預定的厚度。本實施方式的水晶振動片20被形成為，具有由基部21和一對振動臂22所組成的所謂音叉型的外型，所述基部21通過對該水晶Z板進行加工而成；所述一對振動臂22從該基部21的一端側(圖中的上端偵D分成兩段，並且互相平行延伸。
[0101]在基部21中，形成了沿著一條直線的相反方向上的一對切口 41A、41B，以此在該基部21的兩個主面上出現被縮窄的形狀。基部21具有:第一部分21a和第二部分21b，所述第一部分21a和第二部分21b隔著一對切口 41A、41B並位於其兩側；連接部分21c，其用於在一對切口 41A、41B之間對第一部分21a和第二部分21b進行連接。
[0102]在本實施方式的水晶振動片20中，由於通過該切口 41A、41B，來切斷各個振動臂22的振動傳播，所以能夠抑制振動通過基部21和下述的支承臂30而向外部傳播的所謂振動洩漏，並能夠防止CI值的上升。
[0103]另外，一對切口 41A、41B的寬度(連接部分21c的寬度)，可以比與一對振動臂22相對的側面的間隔更小或更大，並且，也可以比一對振動臂22的互相相反的側面的距離更小或者更大。
[0104]一對振動臂22，從基部21的第一部分21a向兩個主面(紙面上向外和向裡)平行延伸。並且，各個振動臂22具有所述兩個主面和兩個側面，所述兩個側面在兩側連接兩個主面。
[0105]而且，在各個振動臂22的前端側上，分別設置了寬度比振動臂22的基部21側更寬的錘部29。於是，通過使各個振動臂22的前端部分的錘部29發揮錘的功能，從而無需使振動臂22的長度增大就能夠降低頻率。
[0106]另外，雖然圖示了本實施方式的振動臂22的除了錘部29以外的部分，具有一定寬度的結構，但並不僅限於此，可以使振動臂22的主要部分(與錘部29不同的部分)為前端變細的形狀，例如，通過形成從振動臂22的基部21 —側向前端變細的錐體，從而能夠使振動臂22容易振動。
[0107]如圖1所示，在各個振動臂22的一個主面上，沿著各自的長度方向分別設置有一條具有底部的長槽26a。而且，如圖2(a)所示，在振動臂22的另一個主面上，也沿著振動臂22的長度方向設置有一條長槽26b。
[0108]通過設置在各個振動臂22上的長槽26a、26b，而使振動臂22容易移動並進行有效的振動，從而能夠降低CI值。
[0109]另外，如圖1所示，在本實施方式的振動臂22中，長槽26a(以及26b)的一端側(振動臂22的前端側)，被形成在位於比其與振動臂22的錘部29的邊界更靠前端側(錘部29—側)的位置上。通過這種方式，由於可以將振動臂22振動時所產生的應力的集中區域分散在振動臂22的延長方向上，所以能夠避免應力集中在振動臂22的錘部29的根部而導致的破損產生等故障。
[0110]與此相反，長槽26a、26b的一端側(振動臂22的前端側)，也可以被形成在位於比其與振動臂22的錘部29的邊界更靠基部21 —側的位置上，通過這種方式也可以獲得上述效果。即、由於通過將振動臂22振動時所產生的應力的集中區域分散在振動臂22的延長方向上，從而能夠避免應力集中在振動臂22的錘部29的根部而導致的破損產生等故障，並且，各個振動臂22上的錘部29的質量付加效果也會增大，所以無需使水晶振動片20的尺寸增大就能夠實現低頻率化。
[0111]但是，在各個振動臂22中，即使將長槽26a、26b的一端側(振動臂22的前端側)設置在位於其與振動臂22的錘部29的邊界處的位置時，也不會因應力集中在振動臂22的錘部29的根部而導致產生破損等情況，例如當在振動臂22具有滿足足夠剛性的寬度的情況下、以及從振動臂22的基部21 —側向錘部29方向形成了寬度較寬的形狀(例如錐體形狀等)的情況等，也可以將長槽26a、26b的一端側(振動臂22的前端側)設置在其與振動臂22的錘部29的邊界處的位置上。
[0112]水晶振動片20具有:從基部21的第二部分21b延伸出的一對支承臂30。一對支承臂30，可以從基部21中的與一對振動臂22的延伸方向交差的方向上的兩個端部，分別沿著相反的方向進行延伸之後，在彎曲部31處沿著一對振動臂22的延伸方向進行彎曲並延伸。通過使其進行彎曲，從而使支承臂30變得小型化。支承臂30是例如安裝於外殼(未圖示)等外部基板時所使用的部分，通過粘合劑等將圖中所示的固定部39和外部基板的固定部進行粘合、固定，從而被安裝在外部基板上。因此，在安裝於外部基板上的水晶振動片20中，能夠使振動臂22和基部21處於浮動狀態。
[0113]如圖2所示，在包括各個振動臂22的各個長槽26a、26b的表面上形成有激勵電極44，並且在包括兩個側面的各個表面上形成有激勵電極43(在圖1中省略圖示)。在其中一個振動臂22中，通過向激勵電極43、44之間施加電壓，使振動臂22的兩個側面進行伸縮，從而使振動臂22振動。激勵電極43、44可以通過以下的方法而形成，S卩、對水晶進行腐蝕而形成水晶振動片20的包括長槽26a、26b的外形之後，例如將鎳(Ni)或鉻(Cr)作為底層，在其上面通過蒸鍍或者濺射，成膜為例如金(Au)的電極層，之後使用光刻法形成圖案。在這裡，眾所周知鉻與水晶之間的附著力較高，並且，金因電阻低而難以氧化。
[0114]在各個支承臂30的前端側上，設置有與振動臂22的振動方向相同方向的厚度被縮小的部分，並在其中的一部分上設置了承接部35，所述承接部35以使支承臂30和振動臂22之間的間隔變窄的方式，朝向振動臂22的方向進行彎曲而形成。換句話說，承接部35，是支承臂30的一部分從支承臂30的延伸方向朝向振動臂22所形成的突起狀的凸部。該承接部35被配置在相鄰的振動臂22的通常振動時的振幅範圍之外，並且被配置在相鄰的振動臂22的位移超過規定量的通常振幅範圍時與該振動臂22抵接的位置上。另外，所述振動臂22的通常振動時的振幅範圍是指，通過向水晶振動片20的激勵電極43、44施加驅動電壓(電場)，而以規定的共振頻率進行振動的振動臂22的振幅達到最大時的振動臂22的振動區域。也就是說，被設置為，即使在以規定的共振頻率進行振動的振動臂22的振幅達到最大時，相鄰的振動臂22與支承臂30的承接部35之間不會發生接觸。而且，振動臂22的位移超過規定量的通常振幅範圍的情況是指，因掉落等對水晶振動片20施加衝擊從而導致振動臂22產生較大位移的情況等。
[0115]如圖1所示，在水晶振動片20中，各個支承臂30被形成為，其具有比相鄰的振動臂22的兩個側面之間最細部分的寬度更細的部分。
[0116]並且，在支承臂30中，承接部35和承接部35的基部21 —側的寬度，均小於支承臂30的基部21側的寬度。
[0117]詳細地說，在圖1中，從基部21中沿著相反方向延伸並在彎曲部31處進行彎曲的、且沿著與振動臂22平行的方向進行延伸的一對支承臂30，在基部21—側具有寬度較寬的寬部32，在該寬部32的前端側上形成有寬度被縮小的窄部33，該窄部33的更靠前端側為承接部35。S卩、圖2(b)所示的支承臂30的窄部33的寬度t2，與圖2(c)所示的支承臂30的寬部32的寬度t3之間，具有t2〈t3的關係。另外，支承臂30的寬部32和窄部33的截面，均不是如本實施方式所示的方形，例如在設置具有底部的槽的情況下、以及具有相對於截面的假想中心線而非線性對稱的截面形狀的情況下，圖2(b)所示的支承臂30的窄部33的截面面積S2，與圖2(c)所示的支承臂30的寬部32的截面面積S3之間，具有S2〈S3的關係。
[0118]而且，在圖2(a)所示的振動臂22的兩個側面之間的寬度tl，與支承臂30在同一方向上的寬度之間的關係中，至少與圖2(b)所示的支承臂30的窄部33的寬度t2之間，具有tl>t2的關係。並且，在本實施方式中，振動臂22的寬度tl，與圖2(c)所示的支承臂30的寬部32的寬度t3之間，也具有tl>t3的關係。另外，圖2(a)所示的振動臂22的截面面積S1，至少與圖2(b)所示的支承臂30的窄部33的截面面積S2之間，具有S1>S2的關係。並且，振動臂22的截面面積S1，與圖2 (c)所示的支承臂30的寬部32的截面面積S3之間，也可具有S1>S3的關係。
[0119]這樣，在水晶振動片20中，通過使各個支承臂30具有比相鄰的振動臂22的兩個側面之間最細部分的寬度更細的窄部33 (以及寬部32)，從而使支承臂30呈現比振動臂22更容易彎曲的彈性。因此，由於當振動臂22向支承臂30 —側產生較大位移而與承接部35進行碰撞時，能夠減輕對振動臂22所施加的損傷，所以在防止振動臂22產生破損的同時，對振動臂22的過度位移進行限制，從而能夠提高水晶振動片20的耐衝擊性。
[0120]而且，由於通過使承接部35和承接部35的基部21側的窄部33的寬度t2，小於支承臂30的基部21側的寬部32的寬度t3，具有承接部35的支承臂30的前端側(窄部33一側)，呈現出比支承臂30的基部21—側(寬部32側)更容易彎曲的彈性，所以當振動臂22向支承臂30 —側產生較大位移並與承接部35碰撞時，可以減輕對振動臂22所施加的損傷，在防止振動臂22破損的同時，提高水晶振動片20的耐衝擊性。
[0121]此外，在本實施方式中，各個支承臂30的寬度被縮小的窄部33，在前端側上向靠近相鄰的振動臂22的方向進行彎曲之後，再在前端側上以與相鄰的振動臂22平行的方式進行彎曲，從而形成承接部35。
[0122]並且，在本實施方式中，在比支承臂30的承接部35更靠前端的一側上，形成有折回部35a，所述折回部35a沿著遠離相鄰的振動臂22的方向被彎曲，從而避免包括支承臂30的最前端部的角部的折回部35a與振動臂22抵接，從而可以防止在支承臂30和振動臂22上產生裂縫和破損。
[0123]另外，在具有所述承接部35的支承臂30的結構中，用於將水晶振動片20與外殼等外部基板進行固定的固定部39，是支承臂30的寬部32，並且被配置在比承接部35更靠近基部21的一側。因此，承接部35能夠以固定部39作為支點對振動臂22的位移進行限制，從而能夠緩和衝擊。
[0124]並且，參照圖1和圖3，對水晶振動片20中的承接部35的配置進行說明。在這裡，新參照的圖3為，用於模式化地說明在振動臂22中的支承臂30的承接部35的抵接部分的配置圖，並且是從圖1的箭頭E方向，來觀察一個振動臂22的一部分側面的局部放大圖。
[0125]在圖1和圖3所示的水晶振動片20中，當振動臂22向相鄰的支承臂30 —側產生較大位移而與支承臂30的承接部35進行接觸時，承接部35被配置為，該承接部35與振動臂22的抵接部分位於如下所示的位置處。
[0126]S卩、在振動臂22產生較大位移時，支承臂30的承接部35被配置在比形成長槽26a、26b的區域更靠前端的一側上。因此，由於當振動臂22產生較大位移從而與相鄰的支承臂30的承接部35接觸時，振動臂22與承接部35的抵接部分被配置為，位於比形成有長槽26a、26b的區域更靠前端側的剛性較高的部分上，所以能防止振動臂22出現破損等故障，並且能獲得提高水晶振動片20的耐衝擊性的效果。
[0127]而且，在振動臂22產生較大位移時，支承臂30的承接部35被配置為，位於與作為振動臂22前端側的寬部、即錘部29進行接觸的位置上。並且，承接部35被配置為，與振動臂22的錘部29的兩個側面中承接部35 —側的側面進行面接觸。換句話說，在水晶振動片20中，支承臂30的承接部35被配置成避開角部27，所述角部27形成在振動臂22的錘部29的一端。因此，由於作為振動臂22的寬部且具有較高強度的錘部29的側面，與承接部35進行面接觸，所以可以抑制振動臂22的損傷。而且，通過配置成避開由錘部29形成的振動臂22的角部27，從而能夠防止當與承接部35的抵接部分接觸時因角部27和承接部35的一部分接觸而產生破損的情況，並且能夠提高水晶振動片20的耐衝擊性。
[0128]並且，在本實施方式的水晶振動片20中，將衝擊緩衝構件38設置在作為承接部35中與相鄰振動臂22的抵接部分的面上。優選為，衝擊緩衝構件38由振動臂22產生較大位移而與承接部35接觸時能夠緩和該衝擊的材料所構成，並且與振動臂22的抵接部分的面平行且具有一定的面積，以便在振動臂22的抵接部分上確保儘可能大的接觸面積並與其進行面接觸。
[0129]雖然用於衝擊緩衝構件38的材料，可以使用橡膠和樹脂等高彈性的材料，但並不僅限於這些材料，也可以使用金等比較柔軟的金屬膜。在由金屬膜形成衝擊緩衝構件38時，通過在例如水晶振動片20的激勵電極43、44(參考圖2(a))等電極製備工序中同時形成該衝擊緩衝構件38，從而能夠不增加製造工序就可以設置衝擊緩衝構件38。
[0130]於是，通過在承接部35中的與相鄰振動臂22的抵接部分上設置衝擊緩衝構件38，從而能夠緩和振動臂22與承接部35碰撞時的衝擊，並能夠抑制振動臂22和支承臂30的承接部35產生缺口和破損的現象。
[0131]如以上說明，根據上述實施方式的水晶振動片20，因其具備切口 41A、41B、長槽26a、26b、錘部29等，所以能夠抑制振動洩漏、Cl值的上升、或者Q值的下降，並且因為具有在因水晶振動片20掉落等衝擊而使振動臂22產生較大位移時，用於緩和衝擊且對振動臂22的位移進行限制的承接部35，所以能夠提供一種具有穩定的振動特性、且耐衝擊性較高的水晶振動片20。
[0132]作為用上述實施方式所說明的振動片的水晶振動片20(壓電振動片)，也可以用以下的改變例來實施。
[0133](第一實施方式的改變例)
[0134]在上述實施方式中，對於在一對振動臂22的兩側設置了具有承接部35的支承臂30的水晶振動片20進行了說明。除此以外，若考慮到構成水晶振動片的水晶材料(壓電材料)的晶軸方向，則通過在振動臂的振動方向中的任意一側設置承接部，從而能夠提高耐衝擊性。
[0135]圖4為，用於模式化地說明僅在振動臂的振動方向的一側，配置了具有承接部的支承臂的水晶振動片的改變例的俯視圖。在用於說明本改變例的圖4中，對於與上述實施方式相同的結構，標記相同的符號，並省略其說明。
[0136]在圖4中，水晶振動片50是以規定的厚度對水晶Z板進行切割研磨加工所得的水晶基材，其具有:基部21 ;—對振動臂22，其從該基部21的一端側(在圖中朝上(Y—方向)的一端側)分成兩段且互相平行延伸。在基部21上形成有一對切口 41A、41B，該一對切口41A、41B被設置在由水晶的X軸、Y軸以及Z軸所組成的正交坐標系中沿著X軸方向的一條直線的相反方向上，以此在該基部21的兩個主面上出現被縮窄的形狀。基部21具有:第一部分21a和第二部分21b，其用於隔著一對切口 41A、41B並位於其兩側；連接部分21c，其用於在一對切口 41A、41B之間對第一部分21a和第二部分21b進行連接。
[0137]在一對振動臂22的前端一側，分別設置作為寬部的錘部29。而且，在各個振動臂22的主面上，沿著各自的長度方向分別設置有一條具有底部的長槽26a。另外，雖然沒有圖示，但是在包括各個振動臂22的各個長槽26a和兩個側面的表面上，形成有激勵電極。
[0138]水晶振動片50具有:從基部21的第二部分21b中延伸出的一對支承臂30、30b。各個支承臂30、30b，是從基部21中的與一對振動臂22的延伸方向交叉方向上的兩個端部，分別相互沿著相反的方向延伸後，在彎曲部31、31b處沿著一對振動臂22的延伸方向彎曲、再進行延伸。
[0139]在一對支承臂30、30b中，支承臂30的前端側上具有承接部35，所述支承臂30從水晶正交坐標系中的一 X方向切入所形成的切口 41B的相反一側的基部21的端部(+X —偵D延伸。與此相對，從水晶的所述正交坐標系中的一 X方向的切口 41B—側的基部21的端部中延伸出的另一個支承臂30b，比具有所述承接部35的支承臂30更短，該支承臂30b不具有承接部，但具有固定部39。
[0140]在由水晶Z板所形成的水晶振動片50中，在從基部21的X軸方向的兩個方向上切入而形成的一對切口 41A、41B中，通過腐蝕，形成沿著晶軸正交坐標系中的一 X方向上的切口 41B時，根據水晶Z板的腐蝕各向異性，在切口 41B內壁的前端部(角部)42B上，將會產生不希望的孔部和腐蝕殘留部、即形成所謂的鰭部。當因掉落等對水晶振動片50施加衝擊時，在該切口 41B中所產生的鰭部，能夠引起龜裂和折斷，特別是對鰭部施加拉伸應力時，即、振動臂22沿著+X方向產生較大位移時，該鰭部是導致強度顯著劣化的主要原因。
[0141]根據本改變例的水晶振動片50的結構，在一個支承臂30的前端側上具有承接部35，所述支承臂30是從發生鰭部的沿一 X方向切口的相反側的基部21端部(+X方向)中延伸而出。而另一個支承臂30b具有:作為水晶振動片50的支承結構而發揮功能的固定部39，所述支承臂30b的結構為，比支承臂30更短、且在前端側上不具有承接部。因此，當振動臂22沿著作為對鰭部所施加拉伸應力的方向即+X方向上產生較大位移時，該振動臂22的位移被承接部35限制，從而能夠防止在耐衝擊性特別弱的鰭部上產生龜裂折斷等。
[0142]在這裡，由於在與造成鰭部的一 X—側的切口 41B成對的、切口 41A的內壁的角部42A處不會產生鰭部、且難以引起強度下降，因此可以在設於基部21的一 X —側的另一個支承臂30b上不設置承接部，也可以縮短支承臂30b的長度。因而，與在振動臂22的兩側上設置承接部35的支承臂30的結構相比，能夠製成小型且具有良好耐衝擊性的水晶振動片50。
[0143]以上對發明人所完成的本發明的實施方式進行了具體說明，但是本發明並不僅限於上述實施方式，在不脫離本發明要旨的範圍內，可以施加各種變形。
[0144]例如，在上述實施方式和改變例中，作為能明顯發揮本發明效果的實施方式，對在基部21上設置了具有抑制振動洩漏效果的切口 41A、41B的水晶振動片20、50進行了說明。但並不僅限於所述結構，在基部上不設置切口的結構中，例如在基部的與振動臂的振動方向相同方向上的寬度較窄、且剛性較小的振動片中，也能夠提高耐衝擊性。
[0145]另外，雖然在上述實施方式及改變例中，以具有長槽26a、26b和錘部29的振動臂22的水晶振動片20、50為例進行了說明，但即使在不具有這些結構的振動片中，也可以獲得本發明的效果。
[0146]而且，在上述實施方式及改變例中，在具有承接部35的支承臂30中，對於在承接部35中的與振動臂22的抵接部分上設置衝擊緩衝構件38的結構進行了說明。但並不僅限於該結構，即使是沒有設置衝擊緩衝構件38的結構，也比不具有承接部35的振動片，具有更高的提高耐衝擊性的效果。
[0147]並且，關於在比支承臂30的承接部35更靠前端的一側上所設置的折回部35a，也可以米用不設置該折回部35a的結構。
[0148]而且，在上述實施方式中，以彎曲振動模式的水晶振動片20為例進行了說明。但並不僅限於此，在扭轉振動模式和切變振動模式等，彎曲振動模式以外的振動模式的振動片中，通過使其具備本發明特徵的結構，也能夠獲得與上述實施方式和改變例相同的提高耐衝擊性的效果。
[0149]並且，在上述實施方式和改變例中，對所謂音叉型的水晶振動片20、50的本發明的實施方式和改變例進行了說明，所述音叉型的水晶振動片20、50是從基部21中，兩個振動臂22相互平行延伸而形成的。但不僅限於此，即使是具有作為固定端的基部的僅由一個振動臂所構成的所謂梁式振動片等，或者是具有三個以上的振動臂的振動片，也能夠獲得與上述實施方式和改變例相同的效果。
[0150]雖然在上述實施方式和改變例中，對於由壓電材料之一的水晶所組成的水晶振動片20、50進行了說明，但並不僅限於此，也可以由鉭酸鋰、鈮酸鋰等水晶以外的壓電材料所組成。並且，即使是由壓電材料以外的、例如矽半導體所組成的振動片，也能夠獲得與上述實施方式和改變例相同的效果。
[0151]上述實施方式和改變例所說明的水晶振動片20、50，可以用於壓電儀器、以及壓電儀器以外的各種電子儀器。特別是，當一種振蕩器中，所述水晶振動片20、50中的任意一個壓電振動片以其支承臂30作為固定部而被接合在外殼內，並且至少安裝有用於使該水晶振動片20、50進行振蕩的振蕩電路元件，這種振蕩器可以抑制CI值上升、Q值下降、或者振動洩漏，在實現高性能化的同時，還能夠實現小型化。
[0152](第二實施方式)
[0153]以下，對作為第二實施方式的振動片的水晶振動片進行說明。圖5為，表示第二實施方式的振動片的俯視圖。
[0154]關於以下所要說明的第二實施方式的水晶振動片，將重點說明與上述實施方式的不同點，對於相同的情況，省略其說明。
[0155]本實施方式的水晶振動片70設有:兩個振動臂78、79，其從基部77的端部中延伸；一對(兩個)支承臂(外側臂部)74B、75B，其相對于振動臂78、79在X軸方向的兩個外側上與振動臂78、79平行。在兩個振動臂78、79中，分別設置有在主面上具有開口部的有底的長槽72、73。兩個支承臂74B、75B被設置為，從基部77中分別沿Y軸方向延伸，並且排列在X軸方向上。
[0156]在本實施方式中，支承臂74B、75B被設定為，其前端部具有與振動臂78、79的前端部相對的長度。
[0157]而且，支承臂74B、75B相互之間的間隔距離，在其前端側比基端側更寬。
[0158]並且，在支承臂74B的前端部上，設置了具有吸收衝擊性能的承接部(緩衝部)241B，在支承臂74B的中途，也設置了具有吸收衝擊性能的承接部(緩衝部)242B。同樣在支承臂75B的前端部上，設置了具有吸收衝擊性能的承接部(緩衝部)251B，在支承臂75B的中途，也設置了具有吸收衝擊性能的承接部(緩衝部)252B。
[0159]承接部(緩衝部)241B.242B被形成為，使支承臂74B的寬度尺寸變大，並使支承臂74B和振動臂78之間的間隔變窄。換句話說，承接部(緩衝部)241B.242B上形成有凸部，所述凸部被設置在支承臂74B中的從支承臂74B朝向振動臂78的方向、且呈突起狀。同樣，承接部(緩衝部)251B、252B被形成為，使支承臂75B的寬度尺寸變大，並使支承臂75B和振動臂79之間的間隔變窄。換句話說，承接部(緩衝部)251B、252B上形成有凸部，所述凸部被設置在支承臂75B中的從支承臂75B朝向振動臂79的方向、且呈突起狀。此外，雖然本例的承接部(緩衝部)241B、242B、251B、252B，是在與從所述支承臂74B、75B向振動臂78、79的方向相反的方向上也設置了凸部的結構，但如上所述，也可以是僅在從支承臂74B、75B朝向振動臂78、79的方向上設置了凸部的結構。
[0160]在這裡，支承臂74B、75B的前端部分的承接部(緩衝部)241B、251B以及中途部分的承接部242B、252B與各個振動臂78、79相分離，並構成了阻止部(限制部)，當各個振動臂78、79沿著X軸方向產生彎曲變形時，所述阻止部(限制部)與振動臂78、79中的至少一個振動臂進行接觸，從而阻止(限制)過度的彎曲變形。
[0161]換句話說，承接部241B、251B、242B、252B被配置在相鄰的振動臂78、79的通常振動時的振幅範圍之外，並且，承接部241B、251B、242B、252B，被設置在相鄰的振動臂78、79的位移超過規定量的通常振幅範圍時與振動臂78、79抵接的位置上。
[0162]此外，上述振動臂78、79的通常振動時的振幅範圍是指，與上述實施方式相同，通過從外部施加驅動電壓(電場)，以規定的共振頻率進行振動的振動臂78、79的振幅達到最大時的振動臂78、79的振動區域。即被設置為，即使在以規定的共振頻率進行振動的振動臂78、79的振幅達到最大時，相鄰的振動臂78、79與承接部241B、251B、242B、252B之間也不會發生接觸。
[0163]當振動臂78超過通常振動的振幅範圍而在支承臂74B —側上產生X軸方向的彎曲變形時，設置在支承臂74B的前端部上的承接部241B中的振動臂78 —側部分2411B，與振動臂78進行接觸。與此同時，當振動臂78在支承臂74B —側上產生X軸方向的彎曲變形時，設置在支承臂74B中途的承接部242B的振動臂78 —側部分2421B，與振動臂78進行接觸。
[0164]同樣，當振動臂79超過通常振動的振幅範圍而在支承臂75B —側上產生X軸方向的彎曲變形時，設置在支承臂75B的前端部上的承接部251B中的振動臂79 —側部分2511B,與振動臂79進行接觸。與此同時，當振動臂79在支承臂75B —側上產生X軸方向的彎曲變形時，設置在支承臂75B中途的承接部252B的振動臂79 —側部分2521B，與振動臂79進行接觸。
[0165]於是，支承臂74B、75B的部分2411B、2421B、2511B、2521B (阻止部)被構成為，由於如上所述的振動臂78、79的彎曲變形，而與振動臂78、79的長度方向上的多個位置相接觸。因此，當振動臂78,79與支承臂74B、75B的部分2411B、2421B、2511B、2521B(阻止部)進行接觸時，能夠防止或者緩和對振動臂78、79的施加局部衝擊的現象。
[0166]而且，支承臂74B、75B的中途(阻止部)的部分2421B、2521B，分別形成了向振動臂78、79 —側凸起的彎曲凸面。因此，支承臂74B的中途(阻止部)的部分2421B，由於所述振動臂78的彎曲變形而與振動臂78進行面接觸。同樣，支承臂75B的中途(阻止部)的部分2521B，由於所述振動臂79的彎曲變形而與振動臂79進行面接觸。因此，當振動臂78、79與支承臂74B、75B的中途(阻止部)的部分2421B、2521B進行接觸時，能夠防止或者緩和對振動臂78、79施加局部衝擊的現象。
[0167]根據以上說明的第二實施方式，可以發揮與所述第一實施方式相同的效果。
[0168](第三實施方式)
[0169]以下，對作為第三實施方式，具有作為所述實施方式中的振動片的水晶振動片的振子進行說明。
[0170]圖6為,表不第三實施方式的振子的概略結構的不意圖，圖6 (a)為俯視圖，圖6(b)為圖6(a)的F-F線的剖視圖。另外，在本實施方式中，以作為在所述第一實施方式中已經說明的振動片的水晶振動片20為例，說明其結構。
[0171]如圖6所示，作為振子的水晶振子5具備:第一實施方式的水晶振動片20和用於收納水晶振動片20的外殼80。外殼80由外殼基座81、接縫圈82、蓋體85等所組成。在外殼基座81上，形成有能夠收納水晶振動片20的凹部，在該凹部上設置有兩個連接墊88，所述連接墊88連接在水晶振動片20的未圖示的貼裝電極(mounting electrode)。連接墊88被構成為，其連接在外殼基座81內的配線，且能夠與設置在外殼基座81的外周部上的外部接線端子83進行導通。
[0172]在外殼基座81的凹部周圍上，設置有接縫圈82。並且，在外殼基座81的底部上，設置有貫通孔86。水晶振動片20通過導電性粘合劑84而被粘合固定在外殼基座81的連接墊88上。而且，外殼80中，蓋體85和接縫圈82被縫焊，所述蓋體85用於覆蓋外殼基座81的凹部。在外殼基座81的貫通孔86中，填充了由金屬材料等組成的密封材料87。該密封材料87在減壓環境內熔融後並被固化，從而對貫通孔86進行氣密封裝，以便能夠維持外殼基座81內是減壓狀態。通過外部接線端子83的來自外部的驅動信號，對水晶振動片20進行激勵，使水晶振子5以規定頻率(例如32kHz)進行振蕩(共振)。
[0173]如上所述，由於水晶振子5具有在所述實施方式中進行說明的水晶振動片20，所以能夠提供一種具有穩定的振動特性且耐衝擊性較高的水晶振子5。
[0174]另外，即使水晶振子5使用例如水晶振動片70等其他方式的振動片，來代替水晶振動片20，也可以獲得同樣的效果。
[0175]並且，雖然在本實施方式中，說明了將水晶振動片20固定在設於兩處的連接墊88上的結構，但連接墊88並不僅限於兩處，也可以設置所需要的個數，並且與水晶振動片20之間的連接也可在所希望的連接位置上進行。
[0176](第四實施方式)
[0177]其次，對作為第四實施方式，具有作為上述已說明的振動片的水晶振動片的振蕩器進行說明。
[0178]圖7為，表不第四實施方式的振蕩器的概略結構的不意圖，圖7 (a)為俯視圖，圖7(b)為圖7(a)的G-G線的剖視圖。另外，在本實施方式中，以在所述第一實施方式中已經說明的作為振動片的水晶振動片20為例，說明其結構。
[0179]作為振蕩器的水晶振蕩器6的結構為，在上述水晶振子5的結構中還具有電路元件。並且，對於與水晶振子5的共通部分，標記相同的符號，並省略詳細的說明。
[0180]如圖7所示，水晶振蕩器6具備:第一實施方式的水晶振動片20 ;作為電路元件的1C晶片91，其具有使水晶振動片20振蕩的振蕩電路；外殼80，其用於收納水晶振動片20及1C晶片91。1C晶片91被固定在外殼基座81的底部，且通過金線等金屬導線92而被連接在其他的配線上。通過來自1C晶片91的振蕩電路的驅動信號，對水晶振動片20進行激勵，使水晶振蕩器6以規定的頻率(例如32kHz)進行振蕩(共振)。
[0181]如上所述，由於水晶振蕩器6具備在所述實施方式中說明的水晶振動片20，所以能夠提供一種具有穩定的振動特性且耐衝擊性較高的水晶振蕩器6。
[0182]另外，即使水晶振蕩器6使用水晶振動片70來代替水晶振動片20，也能夠獲得同樣的效果。
[0183]並且，雖然在本實施方式中，已經說明了將水晶振動片20固定在設於兩處的連接墊88上的結構，但連接墊88並不僅限於兩處，也可以設置所需要的個數，並且與水晶振動片20之間的連接也可在所希望的連接位置上進行。
[0184](產業上的可利用性)
[0185]當作為所述振動片的水晶振動片20、70因掉落等衝擊而使振動臂產生較大位移時，由於具有能夠緩和衝擊並對振動臂的位移進行限制的承接部，所以能夠確保耐衝擊性，並且能夠維持穩定的振動特性。
[0186]因此，安裝了該水晶振動片20、70的水晶振子5或者水晶振蕩器6，作為計時設備等，而廣泛用於數字行動電話、個人電腦、電子表、錄像機、電視機等電子儀器。並且，能夠適合用於這些電子儀器的小型化等，特別是用於需要耐衝擊性的攜帶式儀器等。
【權利要求】
1.一種振動片，其特徵在於，包括: 基部; 一對振動臂，其從所述基部延伸； 一對臂部，其具有固定部，在俯視觀察時，在所述一對臂部之間夾有所述一對振動臂，並且所述一對臂部與所述一對振動臂分離配置，該一對臂部沿著所述延伸方向從所述固定部延伸， 所述振動臂包括寬部，所述寬部在俯視觀察時位於所述振動臂的與基部側相反的一側的前端側，並且與所述基部側相比沿著與所述延伸方向正交的方向的寬度較寬， 所述臂部與所述寬部對置。
2.如權利要求1所述的振動片，其特徵在於， 所述臂部的前端區域具有緩衝作用。
3.如權利要求1或2所述的振動片，其特徵在於， 所述一對振動臂以交替地反覆進行相互接近和遠離的動作的方式而進行彎曲振動。
4.如權利要求3所述的振動片，其特徵在於， 所述臂部的前端區域被設置在，所述振動臂的所述彎曲振動的振幅的範圍之外，且在所述振動臂的位移超過所述振幅的範圍時與所述振動臂接觸的位置上。
5.如權利要求1至4中任一項所述的振動片，其特徵在於， 在所述振動臂的互為表背關係的第一主面及第二主面中的至少一個主面側，沿著所述延伸方向而設置有槽。
6.如權利要求1至5中任一項所述的振動片，其特徵在於， 所述臂部的側面包括向所述振動臂的所述前端部側突出的部分。
7.一種振子，其特徵在於，具備: 權利要求1至6中任一項所述的振動片； 基板，其上配置有所述振動片，並且安裝有所述固定部。
8.—種振蕩器,其特徵在於,具備: 權利要求1至6中任一項所述的振動片。
9.一種陀螺傳感器，其特徵在於，具備: 權利要求1至6中任一項所述的振動片。
10.一種電子儀器，其特徵在於，具備: 權利要求1至6中任一項所述的振動片。
【文檔編號】H03H9/215GK104410382SQ201410659202
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2010年9月17日 優先權日:2009年9月18日
【發明者】山田明法, 吉田周平 申請人:精工愛普生株式會社