測量儀器和方法

2023-06-08 00:10:21

專利名稱：測量儀器和方法
測量儀器和方法
背景
示範實施例的領域 本文所^^開的示範實施例涉及測量4義器，並且更具體來
說，涉及有多個傳感器的測量儀器。 相關發展簡述 許多不同類型的傳感器已被用於測量各種物理量，如氣 體的壓力或密度。由於不同類型的傳感器可具有不同的操作範圍，因 此已期望將不同類型的傳感器組合成單個壓力儀器，該單個壓力儀器 具有擴展的操作範圍。例如，當氣壓被抽至真空，該儀器的輸出可首 先對應傳感器中的一個的讀數。接著，當輸出達到某一閾值時，輸出 可切換至對應另一個傳感器的讀數，該傳感器在4支低的壓力下具有更 高的準確性。雖然這種布置類型在擴展壓力或密度範圍方面具有優 勢，在所述壓力或密度範圍上儀器可以合適的準確性操作，但也存在 缺點。最值得注意的是，在兩個傳感器之間切換時可能會出現問題。 如果在閾值處這兩個傳感器沒有產生相同的讀數，那麼當儀器在傳感 器之間切換時，儀器的輸出可能存在突變。即使這兩個傳感器之間的 讀數差異不大，突變也能導致不希望的滯後歲文應。例如，如果輸出用 作設計為控制壓力的反饋迴路的一部分，則可能會出現問題。如果輸 出的導數用作反饋環路中的反饋信號，麻煩可能會更顯著，因為該導 數在轉變閾值處將會很高。因此，可能期望的是提供一種壓力儀器， 該壓力儀器組合來自兩個或多個傳感器的讀數，並且允許讀數之間的 平滑轉變。
6概要 在一個示範實施例中，提供了一種測量儀器，該測量儀 器具有處理器、第一傳感器和第二傳感器。處理器適於輸出包含物理 量的測量的測量信號。第一傳感器和第二傳感器與處理器相連，並且 可操作成分別生成物理量的第一和第二測量。處理器定義第一測量範 圍，在第一測量範圍內測量信號取決於第一測量而不是第二測量。處 理器定義第二測量範圍，在第二測量範圍內測量信號取決於第二測量 而不是第一測量。第一和第二範圍在預定轉變處相交(meet)。在該轉 變處，第一和第二測量是不同的，並且測量信號中包含的測量穿過 (cross)轉變而無突變。 在另一個示範實施例中，壓力計包括壓力指示器。第一 壓力傳感器連接至壓力指示器，並且可操作成生成第一壓力讀數。第 二壓力傳感器連接至壓力指示器，並且可操作成生成第二壓力讀數。 當第一壓力讀數高於預定壓力閾值並且正在下降時，壓力指示器配置 成響應第一壓力讀數而指示壓力，而不是響應於第二壓力讀數。當第 一壓力讀數低於預定壓力閾值並且正在下降時，壓力指示器配置成響 應第二壓力讀數而指示壓力，而不是響應於第一壓力讀數。壓力指示
器配置成將壓力指示為在包括閾值壓力的指示壓力範圍上的連續函 數，其中在第一壓力讀數實質上等於預定壓力闊值時，第二壓力讀數 不同於第一壓力讀數。 在仍有的另一個示範實施例，壓力計包括壓力指示器。 第一壓力傳感器連接至壓力指示器，並且可操作成生成第一壓力讀 數。第二壓力傳感器連接至壓力指示器，並且可操作成生成笫二壓力 讀數。當第一壓力讀數低於預定閾值壓力並且正在上升時，壓力指示 器配置成響應第一壓力讀數而指示壓力，而不是響應於第二壓力讀 數。當第一壓力讀數高於預定闊值並且正在上升時，壓力指示器配置 成響應第二壓力讀數而指示壓力，而不是響應於第一壓力讀數。壓力 指示器配置成將壓力指示為在包括闊值壓力的指示壓力範圍上的連續函數，其中在第一壓力讀數實質上等於預定壓力閾值時，第二壓力 讀數與第一壓力讀數不同。
在還有的另一個示範實施例中，方法包括用第一傳感器
產生可計量的物理屬性的第 一讀數。該方法還包括用第二傳感器產生 可計量的物理屬性的第二讀數。該方法又包括在物理量的第一範圍上 僅響應第一讀數而指示物理屬性量度。該方法仍包括在物理量的第二 範圍上僅響應第二讀數而指示物理屬性量度，物理量的第二範圍與第
一範圍在物理屬性的轉變量度處毗鄰(adjoin)。該方法還包括在第一或 第二區域中的至少一個中調整所指示的物理屬性量度，使得所指示的 量度在第一和第二範圍之間轉變中不會突然地改變，第一和第二讀數 在轉變量度處不同。
圖表簡述
結合附圖，在下面的描述中對示範實施例作了說明，其


圖1是結合測量儀器的示範實施例的基板處理設備的
圖2是圖1的示範實施例測量儀器的示意圖； 圖3是系統圖，示出了圖1的處理設備的各部件之間
圖4a是信號圖，示出了示範實施例中的傳感器信號； 圖4b是另一張信號圖，示出了示範實施例中的傳感器
圖5另L對應於示範實施例的流程圖； 圖6是另一張對應於示範實施例的信號圖。
示範實施例的詳細描述 圖1示出了示範基板處理設備100。該設備可具有壓力
中
俯視示意圖
的連4妻性;
信號；
測量儀器400的示範實施例，如下進一步所述。作為壓力測量儀器400 的實例應用來描述基板處理設備。應理解，壓力測量儀器可用於任何 合適的應用，如用於在任何合適的壓力或真空室內測量壓力或氣體密 度，或可獨立於任何壓力或真空室而操作。雖然示範實施例將參考圖 表中所示和下面所述的實施例來描述，^旦應理解，這些方面可包含在 實施例的許多替換形式中。另外，可使用任何合適的大小、形狀或類 型的元件或材料。圖1中，為方便起見，設備100可描述為具有前 端200和後端300。前端200可具有框架(frame)230，並可包括在例如 控制環境105內操作的基板傳輸設備210。傳輸設備210可具有臂215 和可操作成移動臂的驅動機械裝置220。臂215可具有用於支撐基板 的末端執行器(end effector)250。 實例設備100的前端200也可包括加載埠 120， 125(示 出這兩個埠用於實例用途)。加載埠設有與基板盒(substrate cassette)130的接口。每個基板盒適於容納若千基板，並且可將它們容 納在密封外殼內。加載埠 120， 125可拆卸地固定(hold)盒130，並 可包括打開盒門、允許從前端200的控制環境105內部使用位於盒中 的基板的機械裝置(未示出)。控制環境105可由殼體包含(contain)，並 且可連接到壓力計470，用於測量控制環境105的壓力。與傳輸設備 210相對遠離加載埠 120, 125的是加載閘135, 140。加載閘135, 140將前端200與後端300連接。各個加載閘135， 140具有將它連接 到前端200的控制環境105的閥405， 410以及將它連接到後端300 的傳輸室305中包含的隔離環境310的另外的閥415, 420。例如，傳 輸室305的隔離環境310可以是真空、惰性氣體(如氮氣)，或其他流 體。前端200的控制環境105可以是處於大氣壓力下的清潔空氣，顆 粒汙染物保持在非常低的水平。因此，加載閘135, 140允許在前端 200和後端300之間通過基板，同時維持兩種環境105, 310的隔離。 在圖1中，加載閘140被示出連接到用於對加載閘增壓的進給閥480 和用於對加載閘減壓的真空泵465 。
在實例設備100中，後端300包括定義傳輸室305的框 架315。如上所指出，傳輸室305可容納隔離環境310，如真空。壓 力計475可連接到傳輸室305以讀取隔離環境310的壓力。基板傳輸 設備320可位於傳輸室305內。傳輸設備320可包括連接到框架315 的驅動機械裝置325和連接到末端執行器365的一對相對臂335,340。 在圖1的實例設備100中，若干處理模塊370位於傳輸 室305的外圍。處理才莫塊370可通過各種沉積、蝕刻、拋光、清洗或 其他類型的處理對基板進行操作以在基板上形成電路或其他所期望 的結構，或執行度量(metrological)或其他功能。處理模塊370連接到 室305以允許基板從傳輸室傳遞到處理才莫塊，並且反之亦然。在示範 實施例中，處理模塊可與傳輸室隔離(例如，經由槽閥或其他合適的 門)，因此， 一個或多個處理模塊可能能夠容納與傳輸室305中的氣氛 或真空隔離的氣氛，例如惰性氣體(如氮氣、氬氣)。 一個或多個處理 才莫塊可經受變化的壓力，例如在工件處理期間的操作壓力(如低真空)、 加載壓力(如加載/卸載工件期間的高真空)、入口壓力(access pressure)(如用於模塊的維持的環境氣壓)。類似地，傳輸室305也可經 受不同的壓力。在示範實施例中， 一個或多個處理it塊可具有能夠測 量處理才莫塊中的壓力的壓力計或測量儀器400，如下文將進一步描述。 加載閘140也可連接到壓力測量4義器400。加載閘135 還可連接到類似的壓力測量儀器。壓力測量儀器400可測量設備100 的所期望的部分(諸如加載閘140、傳輸室305或處理^^塊)內的氣氛 450的絕對壓力。在替4奐實施例中，測量4義器可測量相對壓力或差壓， 或者兩者。在其它實施例中，儀器400可測量氣體密度或可充當壓力 測量的代理的其他物理特性。在仍有的其它實施例中，測量儀器可測 量任何合適的物理特性。 圖2是根據示範實施例的測量儀器400的示意圖。在所 示示範實施例中，測量儀器400可以是集成儀器，容納在例如箱體或 殼體400C中。相應地，在示範實施例中，測量儀器400可以才莫塊的形式安裝到處理設備100的所期望部分的任何一個或多個，諸如(例如) 傳輸室、處理沖莫塊或加載閘等。在替換實施例中，測量儀器可^L安裝
以測量任何所期望的設備中的氣氛的所期望物理特性。在其它替換實 施例中，正如下文將進一步描述的測量儀器可集成在容納由儀器所測
量的氣氛的設備或工具內。由圖2可見，在示範實施例中，箱體400C 可配置成定義與容納在設備100的所測量部分(例如，加載閘140或處 理模塊370)內的氣氛450連通的壓力封套425。因此，壓力封套425 內的壓力與加載閘140內的壓力實質上相同(如下文所引用，加載閘 140隻^^殳備100的代表性部分)。在示範實施例中，壓力封套示為位 於殼體內部，僅用於示例用途(例如，在帶有氣氛450的設備的內部和 壓力封套425之間可設有孔口(port)以便於連通)。在替換實施例中， 測量儀器的壓力封套可隨意地(as desired)放置，包括在儀器殼體的外 部。在所示的示範實施例中，三個壓力傳感器可連接至壓力封套，並 可操作成測量該封套內的壓力。在替換實施例中，更多或更少的壓力 傳感器可被連接以感測壓力封套中的壓力。其它替換實施例可能有或 者可能沒有壓力封套，並且可具有任何合適數量的傳感器。在示範實 施例中，壓力傳感器435可包括壓阻式膜片(PRD)。該膜片的一側可 連接至壓力封套425。該膜片的另一側可採用高真空密封，使得PRD 是絕對膜片傳感器。PRD傳感器435可操作成檢測壓力封套425中壓 力封套425的絕對壓力。例如，壓力的變化會造成壓阻式膜片內的應 力、應力變化或張力，從而影響膜片的電阻率。因此，傳感器435可 通過測量膜片中電阻的變化來感測封套425中的壓力或壓力變化。傳 感器440也可連接到壓力封套425。例如，傳感器440可以是熱損失 傳感器。熱損失傳感器440可操作成通過感測電導體的熱損失來感測 壓力封套425內的絕對壓力。熱損失可對應於壓力封套425內的壓 力，並因此對應於例如加載閘140內的壓力。傳感器445也可連接到 壓力封套425。例如，傳感器445可以是電離傳感器。電離傳感器445 可發射出與所測量氣體中的氣粒相碰撞的電子。碰撞會產生傳導電流的離子。電流量可對應於壓力封套425內的氣體密度和氣體壓力， 並因此可對應於加載閘140內的壓力。 在示範實施例中，各個傳感器435， 440， 445可具有不 同的操作壓力範圍。例如，電離計(IG)445可最準確地測量高真空(如 10A-10託至10八-2託)。熱損失(HL)傳感器可最準確地測量中真空(如 10A-3至1000託)。PRD傳感器435可用於測量低真空至大氣壓力， 如圖2實際所示。儀器400可包括信號處理器455,它可傳達地連接 到各個傳感器435， 440, 445。總的來說，信號處理器能夠接收傳感 器信號並將其轉換以輸出所期望的測量信號。正如可以意識到的一 樣，測量儀器400可用於在處理設備100的一個或多個所期望的室或 模塊內測量瞬態和穩態壓力，該瞬態或穩態壓力的範圍可從大氣壓力 至高真空(如13個十倍程)。處理器455能夠〗吏用來自傳感器435， 440, 445的信號以生成指示範圍從大約l(KMO託至大約IOOO託的所測量 的壓力(或其它所測量的特性)的輸出測量信號，正如下面將描述的一 樣。圖3示意性地示出測量儀器400與基板處理設備100的 各種連接。如之前所指出，示範實施例中的測量儀器(另見圖2)可以 是集成組件(package)，該組件可以才莫塊的形式安裝或從設備100移除。 測量儀器模塊可機械地連接到設備100的所期望的部分(如傳輸室 325、處理模塊370、加載閘135， 140)，使得儀器模塊的壓力封套425 與設備內所期望的氣氛450相連通(in communication with)。例如，儀 器殼體400C可通過合適的扣件(如螺釘、快拆座等)附接(attach)到設備 100的框架。儀器模塊400還可例如經由有線(如USB)或無線耦合458 而電連4婁到設備100進行供電和通訊(communication)。信號處理器 455可經由耦合458與設備100的控制系統460連接。在示範實施例 中，信號處理器可操作成使用來自傳感器435, 440和445的多個讀 數來生成輸出測量信號，該信號^皮傳遞給控制系統460。在示範實施 例中，控制系統460也可連接到處理設備100的其他裝置，如基板傳輸設備210和320。例如，控制系統也可連接到加載埠 135， 140、 處理模塊370、設備100的任何其它合適的裝置以及設備100外的任 何裝置。控制系統460可連接到用於調節設備的傳輸室305、模塊和 加載閘140內壓力的真空泵或系統465。在示範實施例中，控制系統 還可連接到用於監控前端200的控制氣氛105內壓力的絕對壓力傳感 器470。控制系統460可連接到用於使加載閘140通風的通風閥(vent valve)480,並且可連接到過程模塊和加載閘(load lock)的加載閥 (loading valve)410, 420。因此，控制系統460可操作成協調設備100 的操作，諸如通過加載閘135， 140和其他過程模塊進行的基板傳輸。 儀器才莫塊的處理器455和/或控制系統460還可直接地或遠程地連接到 合適的I/O裝置510(見圖3)，該裝置能夠向控制系統460和處理器 455輸入信息，並且也能夠顯示信息，如從處理器455輸出的所指示 的壓力測量(或其他測量特性)。 在處理設備100的一個實例操作中，可由傳輸設備210 將基板從在加載埠 125處"對接"(dock)的基板盒130中移除。壓 力傳感器470可測量控制環境105內的壓力，並將所測量的壓力傳遞 糹會控制系統460。控制系統460也可識別和監控設備100所期望部分 的操作狀態。例如，控制系統460可使用測量儀器400來確定或確認 傳輸室305和過程才莫塊中是否存在所期望的壓力或真空條件。正如可 以意識到的一樣，如果條件與所期望的協議不符，控制系統可生成故 障信號，並且可例如(自動地或通過操作員輸入)發起補救程序。舉例 來說，如果控制系統根據測量儀器400的輸出而記錄(register)傳輸室 不處於所期望的真空條件，則控制系統可啟動真空泵以建立所期望的 真空。在從測量儀器400接收所期望的真空已在傳輸室305中建立的 指示時，控制系統可自動使真空泵不活動(deactivate)。在i殳備100的 任何所期望的部分或才莫塊中，可類似地實施所期望的大氣條件的生成 或保持。控制系統460也可使用連接到加載埠的測量儀器來確定加 栽閘135, 140的狀態以及控制加載閘135, 140的操作。舉例來說，
13測量儀器400可使用壓力傳感器435, 440和445來測量加載閘140 內的壓力，並向控制系統460發送測量的指示(來自信號處理器455)。 控制系統可比較加載閘140和控制環境之間的壓力測量指示，並操作 真空泵465以控制加載閘140內的壓力，以^便使加載閘氣氛450與控 制環境105之間的壓力均;街。由於壓力^皮均衡，可密封加載閘140的 兩個閥410, 420。在使壓力均衡中，控制系統可使用來自信號處理器 455的統一輸出以提供用於控制真空泵465的反饋信號。如上所指出 並且如下也將更詳細描述的一樣，加載閘140中的壓力變化(例如，與 傳輸室和環境前端的匹配氣氛之間)或設備的任何其他所期望的室的 壓力變化可以是這樣的(例如，幾個十倍程(decades))，使得各個傳感 器435， 440， 445的測量範圍可能不足以準確測量整個壓力變化範圍 內的壓力。因此，來自測量加載閘中壓力的測量儀器的壓力指示可基 於傳感器435， 440, 445中的兩個或多個。例如，當加載閘或任何其 它室/才莫塊處於高真空時，儀器指示的壓力可基於IG傳感器445,處 於低真空時，指示可基於HL傳感器440，處於大氣壓力時，指示可 基於PRD傳感器435。正如從圖1和圖3可意識到的一樣，在從允 許控制系統確定閥400兩端的壓力是平衡的處理器455接收合適的壓 力指示時，可由控制系統460打開加載閘140和控制環境105之間的 閥410。來自傳感器的壓力指示也可顯示在I/O裝置510上(見圖3)。 由於加載閘氣氛450和控制環境105之間的壓力實質上相等，因此在 打開閥410時不會出現氣噴(mshofgas)，氣噴可能導致汙染物散布到 基板上。接著，控制系統460可引導基板傳輸設備210在加載閘140 和前端之間傳輸基板。在完成基板傳輸時，閥410可關閉，使加載閘 氣氛被密封，與前端的控制環境105以及後端300的隔離環境310隔 離。控制系統可通過使用真空泵465抽吸降低(pump down)加載閘內的 壓力來使加載閘氣氛450與隔離環境310之間的壓力均衡。測量儀器 400可向控制系統460提供可用於控制真空泵465的反饋信號。控制 系統還可使用壓力傳感器475監控隔離環境310內的壓力。當控制系統已確定在加載閘氣氛450與傳輸室305的隔離環境310之間壓力3皮 實質上平衡時，控制系統可打開加載閘140與傳輸室305之間的閥， 以在加載閘與傳輸室之間傳輸基板。這個過程可根據需要(as desired) 來重複進行，以便在設備100的前端和後端之間加載和卸載基板。類 似地，安裝在過程模塊和傳輸室中的一個或多個上的測量儀器400可 促進在傳輸室和處理期間與傳輸室隔離的過程模塊之間基板的加載/ 卸載。正如可以意識到的一樣，上述實例操作只用於示出示範實施例 測量儀器400的應用。測量儀器400可用於任何合適的應用，如其中 測量氣體壓力或氣體密度的任何合適應用。在替換實施例中，測量儀 器可測量任何合適的物理量。 如上所指出，在示範實施例中，壓力儀器400可設置成 使用三個傳感器435, 440， 445測量所期望的室/才莫塊中整個壓力變化 (如13個十倍程；從10"g至10-3託)內的壓力(雖然在替換實施例中， 可使用更多或更少的傳感器，這取決於室內壓力變化的範圍)。同樣如 上所指出，在示範實施例中，各傳感器435， 440， 445可具有不同的 壓力範圍，將三個壓力範圍不同的傳感器一起使用，以提供儀器400 所期望的整個測量範圍。在示範實施例中，處理器455(見圖2-3)可進 行編程，使得它測量的壓力輸出(即來自儀器的指示壓力)是基於來自 傳感器435， 440, 445的最佳數據。相應地，在示範實施例中，在給 定壓力下，處理器445編程使用來自傳感器的測量數據，該測量數據 對於給定壓力具有最高的準確性(即最佳數據)，正如下文所述。在示 範實施例中，各傳感器435， 440, 445的壓力範圍，或換言之，其中 各傳感器相對於儀器的其它傳感器具有最高的準確性的壓力範圍可 在處理器455中編程。舉例來說，處理器455(或處理器455可訪問的 合適存儲器位置)可具有諸如合適的算法或查找表等編程456以便為 各傳感器識別和選擇壓力範圍。例如，處理器可直接或間接將校準線 和實際壓力配合使用，該校準線與來自各個傳感器的指示壓力相關(例 如，輸出信號是實際壓力的函數)，以便建立計示壓力範圍(gagepressure range)。各特別的傳感器435， 440， 445的校準信息可例如通 過全球或本地網絡下載，或者另外以任何其它合適的方式輸入到處理 器455。在替換實施例中，傳感器校準信息可存儲在遠程位置處(如儀 器生產廠處的PC處)，並且可由處理器根據需要經由合適的雙向通信 路徑訪問。在其它替換實施例中，校準信息可由處理器455生成，其 中儀器安裝在適當的位置並使用已知傳感器校準技術。圖6以圖表形 式示出了兩個傳感器435, 440， 445的代表性校準線(例如增益)PS1、 PS2。正如可以意識到的一樣， 一些不同類型的傳感器(如IG傳感器 445或HL傳感器440)的校準圖或校準線可對於不同的氣體種類(如控 制氣體、N2、氬氣)而發生變化。在示範實施例中，處理器455的編程 可設置成實施對應於期望在室中測量的氣體種類的傳感器校準信息 的選擇。例如，對於不同的氣體種類，各傳感器的校準線可存儲在處 理器455的程序456中。處理器程序456可為各傳感器將各條校準線 關聯到對應的氣體種類，並在接收輸入(如來自1/O裝置510或任何其 它所期望的部件)時選擇適當的校準線，該輸入識別室中氣體種類，室 的壓力將用儀器400來測量。在替換實施例中，處理器455可在接收 識別室中氣體種類的輸入後從遠程位置讀取或下載適當的校準線。 正如還可以意識到的一樣，對於給定類型(如IG、 HL或 PRD)的傳感器，校準線也可隨傳感器不同而不同。圖6中示出的校 準線PS1、 PS1，和PS2、 PS2，以圖表形式示出了可存在於相同類型 的不同傳感器的校準線或增益中的變化。如上所指出，圖6中所示的 圖僅是示範性的。在所示的實例中，線PS2， PS2，可對應於不同的 PRD傳感器，並且線PSl, PS1，可對應於不同的HL傳感器。線PS2， PS1可分別對應於4義器400的PRD和HL傳感器435, 440。線PS1，
PS1， ， PS2， PS2，的特性僅是示範性的，並且在替換實施例中，傳
感器的校準線可具有任何其它所期望的特性。例如，不同PRD傳感器 的校準線PS2， PS2，僅示為具有比校準線PS1， PS1，相對更高的增 益，校準線PS1， PS1，標示出不同HL傳感器的性能。在替換實施例中，不同類型的傳感器的相對增益可不同。IG傳感器的校準線(未示
出)可具有與圖6所示的校準線大體(generally)相似的特性，並且例如， IG傳感器(如傳感器445)和HL傳感器(如傳感器440)的校準線之間的 關係可與圖6中為校準線PS2， PS2， ， PS1， PS1，而示出的關係大 體相似。在一個示範實施例中，例如，處理器455可糹皮編程為對於給 定氣體種類、根據對應傳感器435， 440, 445的校準線PS1， PS1，， PS2, PS2，計算或以其它方式識別各傳感器提供最佳數據的壓力(或 其他所測量的特性)範圍。舉例來說，對於處理器所記錄的氣體種類(如 上所指出)，(儀器400的)特定傳感器435， 440， 445的校準線可與所 期望的閾值進行比較，以對於給定氣體種類建立各傳感器435， 440, 445的最佳數據壓力範圍(或者以下將稱作為壓力範圍)。在替換示範實 施例中，傳感器的壓力範圍可輸入到處理器或者由處理器從遠程位置 下載。正如從上文可意識到的一樣，處理器中記錄的壓力範圍可以是 傳感器特定的和種類特定的。舉例來說，處理器編程456可包括定義 各種氣體種類所對應各傳感器435， 440， 445的範圍信息的信息(如算 法或表格)。如上所指出，在各傳感器435， 440, 445的壓力範圍由處 理器記錄的情況下，示範實施例中的處理器455在傳感器測量室中的 壓力改變時可使用帶有適當壓力範圍的傳感器的壓力讀數。此外，正 如可在示範實施例中意識到的一樣，當所測量的壓力超過給定傳感器 的壓力範圍時，處理器455可在傳感器之間進行轉變。 為了防止儀器400測量範圍產生間斷，可為傳感器435， 440， 445建立壓力範圍以提供所期望的重疊。因此，例如，PRD傳感 器435的壓力範圍可重疊HL傳感器440的壓力範圍，而HL傳感器 440的壓力範圍又可重疊IG傳感器445的壓力範圍。在圖4a中以圖 表形式示出了兩個傳感器435， 440， 445之間的代表性重疊區域，圖 4a示出了線501, 502，所述線501， 502描繪了對應傳感器壓力範圍 內的傳感器的傳感器讀數。正如可以意識到的一樣，圖4a中的傳感器 性能線501, 502(即對於各個傳感器，使傳感器讀數與實際壓力相關)實質上類似於圖6所示的傳感器校準線PS1, PS2的部分。進一步，在示範實施例中，線501, 502也可表示來自處理器的指示壓力(&一(與實際壓力相關)。因此，並且正如將在下文更詳細描述的一樣，在示範實施例中，即使在重疊區域，來自處理器455的指示壓力可以是僅僅一個傳感器435, 440， 445的當前值(即壓力讀數)的函數。相應地，正如可從圖4a中意識到的一樣，重疊的量可減至最小，且比常規系統的所期望的範圍重疊小得多。例如，並且正如也將在下文中進一步描述的一樣，重疊可以如下當一個傳感器435, 440, 445處於其範圍的末端時，來自其它傳感器的讀數是有效的，因此允許處理器在傳感器之間切換。但是，如上所指出，傳感器壓力範圍，並因此該範圍的端點可在(相同類型的)計之間以及在氣體種類之間變化。在示範實施例中，處理器可設置成為傳感器選擇或允許選擇壓力範圍的端點，並因此允許選擇處理器在傳感器之間切換的切換壓力(Pmd)，例如使得來自儀器400的壓力指示可基於使用來自僅僅一個傳感器435, 440， 445的當前壓力讀數(值)的最佳數據。在替換實施例中，壓力指示切換傳感器的切換壓力(Psw)可由操作員例如經由I/O裝置510(參見圖3)而輸入到處理器，或者可由處理器從遠程位置下載。 再次參考圖4a，如上所指出，圖4a示出來自兩個傳感器的壓力讀數可如何相應於實際壓力而變化的實例。在圖4a中，例如，線501可表示來自電離傳感器445的壓力讀數。例如，線502可表示來自熱損失傳感器440的壓力讀數。如上所述，熱損失傳感器440和電離傳感器445可具有不同的操作範圍。因此，可能所期望的是在壓力低於切換壓力Psw處，將來自電離傳感器445的壓力讀數作為來自儀器400的指示壓力的基礎來使用，以及在壓力高於閾值壓力Psw處，將來自熱損失傳感器440的壓力讀數作為指示壓力的基礎來使用。如圖4a中清楚所示，在來自兩個傳感器的讀數之間存在變化(也可見圖6)。因此，由於在閾值壓力Psw處傳感器440， 445可能不產生相同的壓力讀數，所以在切換壓力處兩個傳感器讀數之間的切換將導致儀器指示壓力的突然跳3夭(abmpt jump)或不連續性。可能經受某種處理的 數據流中不連續性的存在是非常不希望有的。例如，處於或接近閾值 壓力Psw處使指示壓力產生差別(differentiate)可能隨後導致壓力變化 率的高量度值，這能引入壓力控制反饋系統的滯後，或在處理系統中 生成故障。例如，在監控下降壓力的環境時，來自熱損失傳感器440 的讀數可首先用於確定指示壓力Pind。這將遵循線502。當來自熱損 失傳感器440的讀數達到閾值壓力Psw時，來自電離傳感器445的讀 數可隨後用於確定指示壓力Pind。這將遵循線501。然而，如圖4a中 例示，當熱損失傳感器440壓力讀數等於Psw時，實際壓力將是Pc， 而電離傳感器445的壓力讀數將為PB。由於Pb不等於Psw，指示壓力 Pind的急劇改變將會發生。壓力的這種急劇改變將不反映實際物理壓 力的改變，而將只是測量儀器引入的假象(artifact)。類似的現象可在 上升的壓力環境中發生，其中P腸首先遵循傳感器445的線501讀數， 然後轉到遵循傳感器440的線502讀數。當來自傳感器445的讀數達 到閾值壓力Psw時，實際壓力將是Po，而傳感器440的壓力讀數將為
Pa。由於Pa是與Psw不同的值，所以僅從一個傳感器讀數切換到另一 個可產生指示壓力Pnro的急劇跳i 天或不連續性。 如圖4b所示，當處理器正從一個傳感器的讀數切換到另 一個傳感器時，可在某個範圍內調整指示壓力P歸，以逐漸轉變 (transition)兩個傳感器壓力讀數的差異。在示範實施例中，在轉變中， 信號處理器455可使用來自(為便於描述)可被稱作為"切換自"傳感 器(例如，處理器正從其切換的傳感器)的先前壓力讀數以調整來自"切 換至"傳感器(例如，處理器正切換至的傳感器)的當前讀數，以便產 生輸出信號。在一個實例中，圖4b示出了在傳感器之間的轉變中，
輸出信號PlND可如何相應於實際壓力而變化。可以看出，當實際壓力 較高且正在下降時，指示壓力PiND可直接對應於並且實質上等於來自
熱損失傳感器440的讀數，並因此可遵循線502。當來自傳感器440 的壓力讀數下降到閾值壓力Psw以下時，則P腸可由來自傳感器445的讀數確定。然而，PiND相對於來自傳感器445("切換至，，傳感器) 的讀數進行調整以補償某點處來自兩個傳感器的讀數的差異，在該點
處，PjND從由傳感器440("切換自"傳感器)讀數確定切換至由傳感器 445讀數確定。因此，當實際壓力持續下降時，PiND遵從(follow along) 曲線504。在某個點處，曲線504和線501相交，並且P腸等於傳感 器445的壓力讀數。低於這個壓力時，P腸可直接對應於並實質上等 於傳感器445的讀數。在示範實施例中，可能不存在PiND根據兩個傳 感器435， 440， 445的當前讀數確定的任何時間。相反地，指示壓力 P膨在儀器400的整個累積(cumulative)壓力範圍內可僅根據一個傳感 器讀數來確定。圖4b也示出了曲線505，曲線505可表示在升壓環 境中PlND的轉變。當壓力較低並且正在上升時，P歸可根據來自傳感 器445的壓力讀數確定，且可實質上等於該壓力讀數，直至PiND達到 Psw以及處理器例如從傳感器445切換至傳感器440。隨後，P腸可在 壓力持續上升時遵循轉變曲線505,並且可由傳感器440的當前壓力 讀數來確定。遵循曲線505時，PwD是相對於傳感器440的讀數的調
整值。這可防止在從PiND根據傳感器445確定的狀態轉變到Pind根據
傳感器440確定的另 一個狀態時P腸值的突變。隨著壓力持續上升， 曲線505與線502相交，並且PiND等於傳感器440的讀數。對於更高 的壓力，PiND可直接對應於並且可實質等於傳感器440的壓力讀數。圖5是流程圖，該流程圖示出了在根據儀器傳感器435, 440， 445的壓力讀數來生成指示壓力(諸如設備100的室的指示壓力) 中，由信號處理器455執行的處理的一個範例。通過根據流程圖來操 作信號處理器455而產生的實例結果在圖6中示出。在圖5所示的示 範實施例中，標記為PS1和PS2的塊600和605可表示來自傳感器之 一(諸如來自熱損失壓力傳感器440)的壓力讀數PS1(之前描述過，請 參閱圖6)。壓力讀數PS2(同樣之前描述過)可以是來自另一個傳感器 (諸如來自壓阻式膜片壓力傳感器435)的壓力讀數。類似地，PS2和 PS1可以是來自HL和IG傳感器440， 445的相應讀數。在塊6001中，系統可被初始化。正如可以意識到的 一樣，可在任何時間執行系統初
始化，諸如在儀器400的處理器455的啟動/引導時。例如，處理器可 執行所期望的初始化例行程序(routine)，該例行程序可確認儀器組件 (包括傳感器435， 440， 445)的正確操作。處理器可選擇操作參數，諸 如對於對應傳感器的要由處理器利用的相應壓力範圍和處理器要切 換傳感器讀數的轉變點(即Psw)，以及在傳感器之間轉變時，將用於調 整對應傳感器的閥的程序算法(或表)。處理器455例如可通過記錄室 中的氣體種類塊600A來選擇操作參數(如上所指出，傳感器壓力範圍 並因此轉變壓力可隨氣體種類而變化)。氣體種類(例如空氣、N2、氬 氣)可例如通過經由1/O裝置510(見圖3)或能夠將氣體種類傳遞給處理 器的任何其它系統或裝置的操作員輸入來記錄。在氣體種類被記錄的 情況下，處理器可在塊600B中為所記錄的氣體種類選擇各傳感器 435， 440， 445的對應壓力範圍。處理器可例如通過從將傳感器的壓 力範圍與氣體種類關聯的內存儲器456訪問查找表來實施選擇。如上 所指出，處理器可例如從遠程傳感器訪問關聯或建立針對所記錄的氣 體種類的傳感器的壓力範圍的信息。在替換實施例中，各傳感器435， 440, 445的壓力範圍可通過操作員經由1/0裝置或任何其它選擇器而 輸入各傳感器的相應範圍來選擇。轉變壓力Psw可通過選擇傳感器的 壓力範圍來定義。例如，如圖4a， 4b所示，轉變壓力P柳可在如之前 所述傳感器壓力範圍被確定時設置，以對應於傳感器壓力範圍的末端 (例如，Psw可設置成等於分別以曲線502， 501表示的傳感器壓力範圍 的末端Pc， PD處的指示壓力)。轉變壓力Psw值可例如在處理器存儲 器456中預設以及存儲，或者在備選實施例中，可在處理器可訪問的 任何存儲器位置預設以及存儲，使得在選擇傳感器的壓力範圍時，對
應於該選擇的Psw的值變得可由處理器識別。換言之，處理器被給定 用於壓力範圍選擇的Psw的值。在替換的實施例中，處理器可被編程 為確定Psw的值，以便利用來自傳感器的最佳數據。如上所指出，(相 同類型的)不同傳感器的準確性和範圍可不同(例如參見圖6)。因此，
21圍。這在圖4a中通過延伸線502a而示出，延伸線502a在端壓Pc1處 終止，該延伸線顯示了相比於線502所指示的傳感器的範圍的增加的 範圍。考慮到傳感器增加的操作範圍，可能所期望的是將圖4a中所識
別的轉變壓力建立為Psw，，以利用傳感器的更大範圍，並因此將Psw， 的值設為比(具有更小壓力範圍的傳感器的)Psw更低。舉例來說，具有
於4義器的一個或多個其他傳感器435， 440， 445(例如更快的響應、更 高的準確性、讀數實質上與種類無關)，並因此可能所期望的是在其較 大的範圍上釆用這種傳感器。舉例來說，PRD傳感器435可具有比 HL傳感器更快的響應。相應地，可能所期望的是儘可能最大程度地 使用PRD傳感器，並因此將切換壓力Psw，(對於在PRD和HL傳感 器之間切換)實質上設在PRD傳感器的極限/末端Pc'處。因此，可用 上述選擇標準或因素對處理器455進行編程，將(諸如PRD和HL傳 感器之間的)切換壓力Psw、Psw，的值設為PRD傳感器範圍的較低端， 並將HL傳感器所識別的壓力範圍調整為在對應於所設的切換壓力 Psw，(如上所指出)的壓力Pd，處結束，處理器455可編程為或可能能 夠訪問數據，用於計算值Psw、 Psw，(例如，根據所識別的端點Pc、 Pc，和傳感器校準值)以及類似地用於調整HL傳感器的壓力範圍。處 理器455可用其它所期望的因素來編程，用於選擇傳感器之間的切換 壓力Psw,諸如將切換壓力的值設為對應於具有較高準確性或任何其 它所期望的選擇因素的傳感器。
各個絕對讀數PS1、 PS2經由塊620充當輸入。此外， 在塊610中， 一開始設置啟動才莫式。在塊610中，模式設置為PS2-。 該模式指示處理器455當前正使用的傳感器讀數以確定指示壓力Pind 以及壓力是正在上升還是下降。在此實例中，壓力一開始為高並且正 在下降，因此才莫式i殳置為PS2-，以指示Pind應 一開始根據PS2確定(即， 例如基於PRD傳感器，而不是熱損失或電離傳感器)，以及壓力正在下降。同樣，在塊610中，處理器也可訪問選定的轉變參數，以及將
變量KS1的值設為等於1,而將變量KS2的值設為等於0。這些變量 可結合轉變參數來用於確定其它塊中的PiND，如下所述。在塊625中， 就PS1讀數(例如，在傳感器壓力範圍內)是否有效作出確定。在此實 例中，如果PS1讀數小於預定值P朋，則它被確定為有效。P冊可以 是熱損失傳感器440操作範圍的上端點，高於該上端點，熱損失傳感 器讀數PS1可能不夠準確。在塊630中，讀回當前模式以確定壓力是 在上升還是下降。如果正在下降，則執行塊635。在塊635中，PS2 與選定的值Psw進行比較。如果PS2小於Psw,則執行塊640。否貝'J， 執行塊690,如下所述。在塊640中，沖莫式設置為PSl-，以指示P腸 當前響應於來自熱損失傳感器的PS1讀數。在塊645中，PS1與閾值
PL進行比較，該閾值PL是其中PlND直接對應於來自熱損失傳感器的
讀數PS1的區域上端點的值。如果PS1小於Pl，則執行塊650。否貝'J， 執行塊705以產生PjND的值，如下所述。在塊650中，PS1與闊值Pix 進行比較，該閾值Pix可以是PDR傳感器43 5操作壓力範圍的下端點， 在該下端點之下，PRD傳感器可能不能操作成產生足夠準確的讀數。 如果PS1小於Plx，則執行塊655。否則，執行塊665。在塊665中， 模式被設置為PS1+,以指示Pind當前響應於來自熱損失傳感器440 的壓力讀數PS1以及壓力正在下降。在塊660中，KS2 ^皮設置為 PS2-PS1。換言之，KS2被設置為從PRD傳感器435生成的壓力讀數 和來自熱損失傳感器440的壓力讀數之間的差。在步驟665中，P腸 被設置為等於PS1(來自熱損失傳感器440的讀數)，並且塊620被重 新執行。
如果在塊630處模式被確定為正，指示上升的壓力，則 執行塊670。在塊670中，PSl與Psw進行比較。如果Psw小於PSl, 則執行塊675。否則，執行塊655。在塊675中，模式被設置為PS2+, 指示所指示的壓力P腦響應於用PRD傳感器435生成的壓力讀數 PS2,以及壓力正在上升。在塊680中，PS2與PH進行比較，Ph可以是壓力區域的端點，在該壓力區域內所指示的壓力PiND直接對應於用
PRD傳感器435生成的壓力讀數PS2。如果PS2大於PH，則執行塊 685。否則，執行塊710以生成P歸的值。在塊685中，PS2與P冊 進行比較，PnH可以是熱損失傳感器440範圍的上端點，在該上端點 之上，傳感器440可能不夠準確。如果PS2大於Phh,則執行塊690。 否則，執行塊700。在塊690, KS1 一皮設置為等於PS2與PS1的比。 在塊695中，才莫式^皮設置為PS2-,以指示P腸響應於PS2以及它正在 下降。在塊700中，P!m^皮設置為等於PS2。隨後，塊620被重新執 行。
當壓力正在下降，從PRD傳感器435生成的讀數PS2 低於閾值Psw，且來自熱損失傳感器440的讀數PS1高於闊值PL時， 執行塊705。這是其中PiND響應於PSl而不響應於PS2的範圍，並且
其中，PlND是PSl的調整值，調整使PlND曲線平滑並避免不連續性、
跳躍和高量度差別。塊705根據以下公式定義了 P脂的值
formula see original document page 24
當壓力正在上升，從熱損失傳感器440生成的讀數PS1 大於閾值Psw，且從PRD傳感器435生成的讀數PS2低於闊值PH時， ，執行塊710。這是其中P腸響應於PS2而不響應於PS1的範圍，並且 其中P腦是PS2的調整值，調整使P膽曲線平滑並避免不連續性、跳 躍和高量度差別。塊710根據以下公式定義了 P歸的值
formula see original document page 24
再次參考圖6，還示出有PjND的值的實例圖表，Pjnd可
從圖5的流程圖所示出的過程得出。可以看出，不管壓力是在上升還
是在下降，在閾值Psw處的指示值PjND無不連續性。因為不存在如果 在閾值壓力Psw處PiND簡單地在PlND=PS2和PlND=PSl之間進行切換 而將發生的PiND的突變，所以在閾值Psw處或附近(或在P腸曲線上 的別處)計算PrND的導數或斜率可能不會產生高量度的值。因此，可能 的是使用PiND的導數作為反饋以控制壓力，諸如(例如)加載閘氣氛450 的壓力。 如上所指出，除了 PDR傳感器435和熱損失傳感器440 外，示範測量儀器還可具有電離傳感器445。來自所有這三個傳感器 的讀數可用於產生可在擴展的範圍上操作的指示壓力輸出。例如，在 低於熱損失傳感器440的操作壓力範圍的壓力處，指示壓力可根據電 離傳感器445的讀數確定，電離傳感器445可操作在比傳感器440更 低的壓力範圍。其中指示壓力根據傳感器440的讀數來確定的狀態和 其中指示壓力根據傳感器445的讀數來確定的狀態之間的轉變可以與 之前所述(參考圖5和6,對於使用傳感器435的讀數和使用傳感器440 的讀數之間的轉變)實質類似的方式處理。因此，測量儀器可操作成在 擴展的操作範圍上指示壓力，該擴展的操作範圍包括電離傳感器445 的操作範圍以及熱損失傳感器440和PRD傳感器435的操作範圍。在 測量儀器400的整個擴展的操作範圍內，指示壓力常可根據僅僅一個 傳感器的讀數來確定，但是可指示壓力而沒有通過從一個傳感器讀數 轉變到另 一個所引起的指示壓力的任何跳躍或不連續性。在其他實施 例中，測量儀器可具有例如兩個傳感器，或可具有任何其它合適數量 的傳感器。在其他實施例中，任何合適的物理特性可由傳感器測量以 及由儀器指示(例如質量、力、光強度、磁場強度或其他物理量或特性)。 應理解，前面的描述僅示出本發明。在不背離本發明的 情況下，本領域技術人員可設計各種替換和變型。相應地，本發明旨 在包含落在所附權利要求書範圍內的所有此類替換、變型和變化。
權利要求
1.一種測量儀器，包括處理器，適於輸出包含物理特性的測量的測量信號；第一傳感器，連接到所述處理器並且可操作成生成所述物理特性的第一測量；第二傳感器，連接到所述處理器並且可操作成生成所述物理特性的第二測量；以及轉變選擇器，連接到所述處理器並且設置成實施所述第一和第二傳感器之間的預定轉變的選擇；其中，所述處理器定義第一測量範圍，在所述第一測量範圍內所述測量信號取決於所述第一測量而不取決於所述第二測量；以及定義第二測量範圍，在所述第二測量範圍內，所述測量信號取決於所述第二測量而不取決於所述第一測量，第一和第二範圍在其中包含在所述測量信號中的測量在所述第一和第二範圍之間轉變的預定轉變處相交，所述第一和第二測量在所述轉變處不同，並且包含在所述測量信號中的測量穿過所述轉變而實質上無突變。
2. 如權利要求1所述的測量儀器，其中，包含在所述測量信號中的測量在所述第二範圍的至少 一部分上相對於所述第二測量進行調整，使得所述測量在穿過從所述第一到所述第二範圍的轉變時不突然地改變。
3. 如權利要求1所述的測量儀器，其中所述物理特性是壓力。
4. 如權利要求1所述的測量儀器，其中所述物理特性是氣體密度。
5. 如權利要求1所述的測量儀器，其中包含在所述測量信號中的測量在所述第一範圍的至少一部分上實質上等於所述第一測量，並且其中包含在所述測量信號中的測量在所述第二範圍的至少 一部分上實質上等於所述第二測量。
6. —種工件處理設備，包括其中具有氣氛的至少一個^f莫塊，以及權利要求1所述的測量儀器，該測量儀器連接到所述至少一個一莫塊，用於測量所述才莫塊中的所迷氣氛的物理特性。
7. —種壓力計，包括壓力指示器；第一壓力傳感器，連接到所述壓力指示器並且可操作成生成第一壓力讀數；和第二壓力傳感器，連接到所述壓力指示器並且可操作成生成第二壓力讀悽丈；其中，當所述第一壓力讀數高於可選擇的預定壓力值並且正在下降時，所述壓力指示器配置成響應所述第一壓力讀數而指示壓力，而不響應於所述第二壓力讀數；其中，當所述第一壓力讀數低於所述可選擇的預定壓力值並且正在下降時，所述壓力指示器配置成響應所述第二壓力讀數而指示壓力，而不響應於所述笫一壓力讀數；以及其中所述壓力指示器配置成在包括所述預定壓力值的指示壓力範圍上將壓力指示為實質連續的函數，其中在所述第一壓力讀數實質上等於所述預定壓力值時，所述第二壓力讀數與所述第 一壓力讀數不同。
8. 如權利要求7所述的壓力計，其中當所述第一壓力讀數高於所述可選擇的預定壓力值時，所述壓力指示器配置成指示實質上等於所述第一壓力讀數的壓力。
9. 如權利要求8所述的壓力計，其中當所述第一壓力讀數小於低於所述預定壓力值的第二預定壓力值時，所述壓力器還配置成指示實質上等於所述第二壓力讀數的壓力。
10. 如權利要求9所述的壓力計，其中所述第二預定壓力值可從許多不同的預定壓力值中選擇，並且其中所述壓力指示器具有用於選擇所述可選擇的預定壓力值和第二預定壓力值的選擇器。
11. 如權利要求9所述的壓力計，其中所述壓力指示器配置成將壓力指示為在包括所述第二預定壓力閾值的範圍上的連續可微的函數。
12. 如權利要求11所述的壓力計，其中所述指示壓力在所述預定 壓力值之間沒有拐點。
13. 如權利要求9所述的壓力計，其中所述預定壓力值定義轉變 壓力範圍的端點，並且其中所述壓力指示器配置成在所述轉變壓力範 圍內指示已調整壓力讀數，所述已調整壓力讀數響應於第二壓力並且 相對於所述第二壓力讀數進行調整，使得所述已調整壓力讀數在預定 壓力處等於所述第一壓力讀數。
14. 一種壓力計，包括 壓力指示器；第一壓力傳感器，連接到所述壓力指示器並且可操作成生成第一 壓力讀數；和第二壓力傳感器，連接到所述壓力指示器並且可操作成生成第二 壓力讀數；其中當所述第一壓力讀數低於可選擇的預定壓力值並且正在上 升時，所述壓力指示器配置成響應所述第一壓力讀數而指示壓力，而 不響應於所述第二壓力讀數；其中當所述第一壓力讀數高於所述可選擇的預定壓力值並且正 在上升時，所述壓力指示器配置成響應所述第二壓力讀數而指示壓 力，而不響應於所述第一壓力讀數；以及其中所述壓力指示器配置成將壓力指示為在包括所述預定壓力 值的指示壓力範圍上的連續函數，其中在所述第一壓力讀數實質上等 於所述預定壓力值時，所述第二壓力讀數與所述第一壓力讀數不同。
15. 如權利要求14所述的壓力計，其中當所述笫一壓力讀數低於 預定壓力值並且正在上升時，所述壓力指示器配置成指示實質上等於 所述第一壓力讀數的壓力。
16. 如權利要求15所述的壓力計，其中當所述第一壓力讀數小於 低於所述預定壓力值的第二預定壓力值時，壓力指示器還配置成指示 實質上等於所述第二壓力讀數的壓力。
17. 如權利要求16所述的壓力計，其中所述壓力指示器配置成將 壓力指示為在包括所述第二預定壓力值的範圍上的連續可微函數。
18. —種方法，包括用第一傳感器產生可計量的物理屬性的第一讀數； 用第二傳感器產生所述可計量的物理屬性的第二讀數； 用處理器從許多不同可選擇的轉變量度中選擇轉變量度； 在物理特性的第一範圍上只響應所述第一讀數而指示所述物理 屬性的量度；在所述物理特性的第二範圍上只響應所述第二讀數而指示所述 物理屬性的量度，所述物理特性的第二範圍與所述第 一 範圍在所述物 理屬性的轉變量度處毗鄰；在第一或第二區域的至少一個中調整所述物理屬性的指示量度， 使得指示量度在所述第一和第二範圍之間轉變中不突然地改變，所述 第 一和第二讀數在所述轉變量度處不同。
19. 如權利要求18所述的方法，其中在所述物理屬性正在下降 時，所述指示量度僅在所述第二範圍中進行調整。
20. 如權利要求19所述的方法，其中在所述物理屬性正在上升 時，所述指示量度僅在所述第一範圍中進行調整。
21. 如權利要求1所述的測量儀器，其中所述第一傳感器和所述 第二傳感器中的至少一個從壓阻式膜片(PRD)傳感器、熱損失(HL)傳 感器和電離傳感器中的至少一個中選擇。
22. 如權利要求1所述的測量儀器，還包括第三傳感器，所述第 三傳感器連接到所述處理器並且可操作成生成所述物理特性的第三 測量，所述轉變選擇器設置成實施在所述第一、第二和第三傳感器之 間的預定轉變的選擇。
全文摘要
測量儀器具有處理器、第一傳感器和第二傳感器。處理器適於輸出測量信號，該測量信號包含物理量的測量。第一傳感器和第二傳感器連接到處理器並且可操作成分別生成物理量的第一和第二測量。處理器定義第一測量範圍，在第一測量範圍內，測量信號取決於第一測量，而不是第二測量。處理器定義第二測量範圍，在第二測量範圍內，測量信號取決於第二測量，而不是第一測量。第一和第二範圍在預定轉變處相交。第一和第二測量在轉變處不同，並且包含在測量信號中的測量穿過轉變而沒有突變。
文檔編號G01L7/00GK101688813SQ200880021480
公開日2010年3月31日 申請日期2008年4月24日 優先權日2007年4月25日
發明者M·博倫斯坦 申請人:布魯克斯自動化公司