一種塗層刀片生產用裝載舟皿的製作方法

2023-09-20 10:11:25

專利名稱：一種塗層刀片生產用裝載舟皿的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及塗層刀片生產技術領域，尤其涉及化學氣相沉積法生產塗層刀片的裝載工具。
背景技術：
塗層技術廣泛應用於硬質合金數控刀具，是金屬切削領域繼硬質合金應用後的又一次技術革命。其中化學氣相沉積法是廣泛使用的刀具塗層技術，其中在刀具上塗覆塗層的過程在熱室中完成，其加工原理是將刀具置於熱室中，熱室內所充滿的含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物、單質氣體進行化學反應，在刀具表面上沉積生成一定厚度、具有所需特性的固體薄膜。該生產工藝中，熱室內反應氣體的濃度、配比以及總流量對沉積生成的塗層性能影響明顯，研究發現，在前驅反應氣體進入熱室流速不變的前提下，刀具與其裝載工具的位置關係、體積比、表面積比對刀具塗層質量的控制至關重要，嚴重影響塗層的塗覆效果。另一方面，所採用的裝載工具也制約單爐裝料量，進而影響塗層刀片的生產成本。以 現有技術中用於生產CVD塗層數控刀片的塗層爐為例，說明該類裝置的結構採用下裝料井式爐生產帶孔刀片，帶孔刀片以墊裝方式進行裝舟，然後將裝料後的舟皿堆垛起來在爐內進行塗層。所採有的裝料舟皿多為石墨材料的整體式圓盤結構，上表面內加工切割銑削、孔加工有若干個裝載刀片的墊錐錐體、鑽若干個用於送入反應氣體的通氣孔，墊錐與舟皿為一體式結構，如圖I、圖2所示，在刀片塗層生產過程中，刀片裝料完成後，塗層氣氛氣體從中心氣氛輸送管輸送到各層裝料盤，然後經氣氛噴射孔進入反應區後，一部分沿徑向通過刀片表面後流出，一部分通過料盤通氣孔輸送到上一層料盤，從而實現對刀片的均勻塗覆。因此裝料盤上通氣孔與錐體的分布位置、錐體高度以及體積大小應按氣體分配工藝要求設計，保證爐內氣體的流向以及分布滿足工藝要求。上述整體石墨裝料舟皿除加工難度大、本體強度難以滿足要求、造價昂貴、不能回收利用等缺點外，在實際生產過程中其結構方面還存在以下問題I、這種裝料舟皿盤體過厚，墊錐與舟皿盤體固定為一體，且錐體體積大、表面積大、底面積大、用料多、重量大，因此該整體舟皿在爐內所佔空間大。因為錐體底面積大，單位面積內的錐體數量和通氣孔的開孔率以及孔徑均減少，既降低了單層舟皿的裝載量，又影響爐內上下盤氣氛的輸送、以及均勻性，造成塗層生成過程中氣氛的無效損耗，從而影響氣體反應物在刀片塗層生成過程的利用率。2、裝料過程中，刀片以中心孔套於錐體上的形式擱置，二者高度疊加後總體高度較高，既影響氣氛的流通，又使同樣的爐內容積前提下所裝舟皿的層數減少，降低產能。3、由於墊錐與料盤是用整塊石墨通過銑削加工而成，因此錐體位置與通氣孔位置搭配不合理，刀片裝載於其上後，刀尖位置很難恰好落到通氣孔上方。同時刀片裝載於墊錐上以後，由於錐體體積大，刀片下表面被錐體遮擋了一部分，在塗覆過程中，在刀片下表面存在氣氛盲區，使塗層在刀片的上下表面產生厚度、顏色差異。4、由於裝料後墊錐與刀片為線接觸，接觸面大，容易產生塗覆層與墊錐粘結的現象，卸料困難，甚至造成產品報廢，合格率較低。綜上所述，現有技術中的化學氣相沉積法生產塗層刀片的裝載工具及其生產方法
需進一步改進。

實用新型內容本實用新型的目的在於提供一種塗層刀片生產用裝載舟皿，它能滿足化學氣相沉積法生產塗層刀片的裝載需要，具有裝載容量大、加工簡單、可重複利用、損耗小的優點，提高刀具塗層加工設備的生產效率和產能。本實用新型的另一目的在於提供於上述裝載舟皿在塗層刀片生產中的應用，可使裝載舟皿在塗層刀片生產對塗層生成反應影響小、產品質量穩定。本實用新型的技術方案是一種塗層刀片生產用裝載舟皿，其特徵在於所述裝載舟皿包括盤形料盤和插接於料盤上表面的若干墊錐；所述的料盤上表面設置有供各墊錐插接的若干墊錐定位孔和分布於定位孔間隙的貫穿通氣孔。上述塗層刀片生產用裝載舟皿的使用方法是將各個墊錐按規則排列的方式插入料盤的各定位孔中固定，料盤上布滿墊錐後，將各個待加工的刀片擱置於各墊錐上，裝載好所有的刀片後按常規步驟將料盤整體送入爐內，進行塗層生成加工。本實用新型的有益效果在於由於本實用新型所提供的塗層刀片生產用裝料舟皿為分體的料盤和墊錐，克服了現有技術中一體式裝載舟皿所存在的缺陷，這種組合式結構可實現墊錐的重複利用，避免因部分墊錐損壞而影響舟皿的整體裝載量。料盤和墊錐的插接結構可使墊錐整體體積減小，最大限度的消除因裝載工具佔用爐內空間過大而在化學氣相沉積反應過程中對氣氛分配、消耗、流動所造成的影響；通過減小錐體底面積，可增大單層料盤上墊錐的裝載量，通過降低墊錐裝載刀具後的總體高度可實現增加爐內裝舟層數，充分利用了爐內空間，增加了設備的產能。同時錐體底面積的大大減小也可增加料盤的開孔率，改善了爐內的氣體的流動性，提高了刀片塗覆的均勻性以及厚度一致性。本實用新型的裝載舟皿應用於採用化學氣相沉積法在塗層爐中生產塗層刀片，實現了料盤上表面所裝刀片數量最多化、爐內裝舟最大化，氣氛連通最優化；優化刀片的墊裝高度，提高氣氛流通性。克服了整體裝料舟皿造價過於昂貴等缺點，實現產品質量提升、產能提高以及生產成本的降低。作為對本實用新型的進一步改進，所述墊錐為對稱的立體形十字結構，所述墊錐上部直立柱為刀片穿插立柱，所述墊錐向左右伸出的水平杆體為刀片承載體，所述墊錐下部直立柱為用於與料盤插接的定位楔。作為對本實用新型的進一步改進，所述的水平杆體在垂直方向的厚度自遠端向中心逐漸線性加大，使左右兩邊的刀片承載體上表面分別對稱地與垂直線成α夾角；所述刀片穿插立柱在水平方向的寬度自上而下逐漸線性加大，使兩側面的上段對稱地與垂直線成β夾角。作為對本實用新型的進一步改進，所述墊錐的寬度A為5mm < A < 20mm,所述墊錐的高度B為8mm < B < 20mm,所述墊錐的厚度D為Imm < D < 5mm,所述夾角α為50° ( α <90°，所述夾角β為O。( β <45°，所述刀片穿插立柱根部寬度C為Imm ^ C ^ 5mm,所述刀片穿插立柱斜面下邊線與所述墊錐底部的高度E為3mm ^ E ^ 6mm,所述水平杆體8遠端頂部與墊錐2底部的高度F為4_ ^ F ^ IOmm,所述墊錐定位楔的高度G為2_ ^ G ^ 5mm,所述定位楔的底面積H*D為Imm2 ^ H*D ^ 5mm2。作為對本實用新型的進一步改進，所述墊錐的材質為硬質合金。作為對本實用新型的進一步改進,所述料盤的厚度為3mm—6mm,所述料盤的直徑為375mm時，所述定位孔的數量為200——500個。作為對本實用新型的進一步改進，所述200—500個定位孔在料盤I表面的坐標X、Y方向上成行成列排列，任意定位孔在X方向上與相鄰定位孔的中心距為15mm—29mm,在Y方向上與相鄰定位孔的中心距為20—35mm ；所述通氣孔均勻分布於各定位孔的間隙，所述通氣孔在X方向和/或Y方向上均位於兩相鄰定位孔的對稱中心，所述通氣孔是直徑為10mm-15mm的圓孔。作為對本實用新型的進一步改進，所述200— 500個定位孔在料盤表面的坐標X、Y方向上成行成列排列，任意定位孔在X方向上與相鄰定位孔的中心距為Ilmm — 22mm，在Y方向上與相鄰定位孔的中心距為25mm—40mm ；所述通氣孔均勻分布於各定位孔的間隙，所述通氣孔在X方向和/或Y方向上均位於兩相鄰定位孔的對稱中心，所述通氣孔是長軸為IOmm—15mm、短軸為5mm—8mm的橢圓孔。作為對本實用新型的進一步改進，所述200— 500個定位孔在料盤表面規則排列，任意定位孔與相鄰二個定位孔呈中心距為IOmm—15mm的正三角形排列，所述通氣孔均勻分布於各定位孔的間隙，所述通氣孔是直徑為9_一 13_的圓形通氣孔，各通氣孔和與鄰近定位孔的中心距為8mm—12_。

圖I是現有技術的舟皿結構示意主視圖；圖2是現有技術的舟皿結構示意A-A剖視圖；圖3為本實用新型墊錐的結構示意立體圖；圖4為本實用新型墊錐的結構示意主視圖；圖5為本實用新型墊錐的結構示意左視圖；圖6為本實用新型實施例I料盤結構示意主視圖；圖7為本實用新型實施例I裝載舟皿使用狀態結構示意圖；圖8為圖7的0-0剖視圖；圖9是本實用新型實施例2裝載舟皿結構示意圖10為本實用新型實施例2裝載舟皿使用狀態結構示意圖；圖11為本實用新型實施例3的裝載舟皿的結構示意圖；圖12為本實用新型實施例3的裝載舟皿使用狀態結構示意圖。圖中I-料盤，2-墊錐，3-定位孔，4-通氣孔，5-待塗層刀片，6_氣氛輸送管通道，7-刀片穿插立柱，8-水平杆體，9-定位模。
具體實施方式
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。本實用新型提供了一種塗層刀片生產用裝載舟皿，主要用於生產中心孔直徑為
2.8mm一7. 94_、刃長為6_—19mmCVD塗層硬質合金數控刀片,包括盤形料盤I和插接於料盤I上表面的墊錐2 ;墊錐2為硬質合金材質，料盤的材質可以是現有技術中的常用材質，如等靜壓石墨，只要強度滿足承載裝滿墊錐和刀片要求即可。本實施例中，墊錐2的結構如圖3、4、5所示，為前後面平行、左右面對稱的立體形十字結構，墊錐2上部直立柱為刀片穿插立柱7，墊錐2向左右伸出的水平杆體8的上表面為刀片承載面；墊錐2的下部直立柱為用於與料盤I插接的定位楔9。水平杆體8在垂直方向的厚度自遠端向中心逐漸線性加大，使左右水平杆體的上表面分別對稱地與垂直線成α夾角；刀片穿插立柱7在水平方向的寬度自上而下逐漸線性加大，使兩側面的上段對稱地與垂直線成β夾角。墊錐2的定位楔9的截面為正方形或長方形，與定位孔3的形狀相匹配。 墊錐2的寬度A優選為5_彡A彡20mm,墊錐2的高度B優選為8_彡B彡20mm,墊錐2的厚度D優選為Imm彡D彡5mm，夾角α優選為50°彡α彡90°，夾角β優選為50°彡β彡90°，刀片穿插立柱7根部寬度C為Imm彡C彡5mm，刀片穿插立柱7斜面下邊線與墊錐2底部的高度E優選為3mm < E < 6mm。所述水平杆體8遠端頂部與墊錐2底部的高度即裝載臺高度F為4mm彡F彡IOmm,墊錐2的定位楔9的高度G優選為2mm彡G彡5mm,定位楔9的底面積H *D優選為Imm2 ( H*D ( 5mm2。本實施例中，料盤I中心設置有氣氛輸送管通道6，用於墊錐2插接的墊錐定位孔3圍繞氣氛輸送管通道6均勻排列，料盤I的直徑為375mm時，定位孔的數量為200— 500個。所述200— 500個定位孔3的均勻排列的規則是在料盤I表面的坐標X、Y方向上成行成列排列，任意定位孔3在X方向上與相鄰定位孔3的中心距為9mm—22mm,在Y方向上與相鄰定位孔3的中心距為20mm—40mm ；所述通氣孔4均勻分布於各定位孔3的間隙，所述通氣孔4的分布規則是所述通氣孔4在X方向和/或Y方向上均位於兩相鄰定位孔3的對稱中心。所述通氣孔4為圓孔或橢圓孔,所述通氣孔4為圓孔時的直徑為10mm-15mm,通氣孑L 4為捕圓孔時長軸為IOmm—15mm、短軸為5mm—8mm。所述料盤的厚度優選為3mm—6mm。本實施例中，由於塗層刀片生產用裝料舟皿為分體的料盤和墊錐，克服了現有技術中一體式裝載舟皿所存在的缺陷，這種組合式結構可實現墊錐的重複利用，避免因部分墊錐損壞而影響舟皿的整體裝載量。料盤和墊錐的插接結構可使墊錐整體體積減小，最大限度的消除因裝載工具佔用爐內空間過大而在化學氣相沉積反應過程中對氣氛分配、消耗、流動所造成的影響；通過減小錐體底面積，可增大單層料盤上墊錐的裝載量，通過降低墊錐裝載刀具後的總體高度可實現增加爐內裝舟層數，充分利用了爐內空間，增加了設備的產能。同時錐體底面積的大大減小也可增加料盤的開孔率，改善了爐內的氣體的流動性，提高了刀片塗覆的均勻性以及厚度一致性。上述裝載舟皿應用於採用化學氣相沉積法在塗層爐中生產塗層刀片，可根據不同刀片的形狀，合理安排刀片的排列方式，在刀片之間互不接觸的前提下，實現了料盤上表面所裝刀片數量最多化、爐內裝舟最大化，氣氛連通最優化；優化刀片的墊裝高度，提高氣氛流通性；刀片與墊錐接觸為點接觸，保證產品塗覆後，卸料容易，極大的降低了粘結廢品率。克服了整體裝料舟皿造價過於昂貴等缺點，實現產品質量提升、產能提高以及生產成本的降低。本實施例中，墊錐具有以下優點由於供刀片穿入的直立柱為變截面設計，刀片可不與其接觸，刀片裝載容易，卸料容易，裝舟效率高，同時克服了刀片中心孔與墊錐粘接的問題。 由於承載刀片的承載支點為水平杆體的上表面邊沿，其四點支承結構解決了刀片裝載後的穩定性問題，刀片承載體平緩的坡度大大降低了刀片裝載後發生傾翻的可能性。本實用新型通過優化墊錐的高度，既保證了刀片各表面塗覆的充裕性，又保證了刀片裝舟高度，最大限度的提高了塗層氣氛的流通性。本實用新型進一步地優化墊錐材質，如選用與刀片同質的硬質合金材質，可避免塗層生產過程中，由於石墨墊錐引起的塗層剝落造成的降落物問題，提高產品性能穩定性。本實施例中，料盤具有以下優點本實用新型料盤上的通氣孔與定位孔的分布方式及孔形可選擇，通過同步選擇合適的墊錐形狀規格，可以適應不同型號、不同刃長的刀片裝載要求，使各種形狀、不同刃長刀片周邊的刀尖儘可能地處於通氣孔的上方，最大限度地保證了刀片上下表面與氣體接觸，並保證爐內氣體的充分流通與分配，從而使反應氣體損耗過大、塗覆產品顏色差別大、厚度不均勻等技術難題均得以解決。實施例I一種塗層刀片生產用裝載舟皿，用於生產刃長為16mm的C型、S型刀片，該類刀片為正方形，料盤I和墊錐2組裝後的裝載舟皿的結構如圖6所示。本實施例中，墊維2的尺寸規格為A=13謹，Β=13· 2謹，D=3謹，H=L 3謹，Ε=7· 7謹，F=4. 6mm，G=2mm，C=3mm，α=5°，β =70°。本實施例中，料盤I是厚度為3. 5mm、直徑為375mm的圓盤。料盤I中心設置有氣氛輸送管通道6，料盤I表面均勻分布有240個用於墊錐2插接的圓形墊錐定位孔3，定位孔3的內徑為3. 3mm，滿足與底面積H *D為I. 3*3 mm的墊錐定位楔9外接需要。240個定位孔3圍繞氣氛輸送管通道6均勻排列,布滿料盤I表面。240個定位孔3的均勻排列規則是240個定位孔3在料盤I表面的坐標X、Y方向上成行、成列排列，兩行之間、兩列之間的定位孔3錯位排列，任意定位孔3在X方向上與相鄰定位孔3的中心距為24. 6mmm,在Y方向上與相鄰定位孔3的中心距為29. 4mm ；240個定位孔3的間隙中均勻分布有直徑為IOmm的圓形通氣孔4,各通氣孔4與鄰近定位孔3的中心距為10. 5mm,按此規則排列,任意通氣孔4在X方向和Y方向上均位於兩相鄰定位孔3的對稱中心。按此排列規則，除邊沿區和中心區外，每個定位孔3的周邊均布有四個通氣孔4，每個通氣孔4周邊均布有四個定位孔3。墊錐2插接並裝載待塗層刀片5後的使用情況如圖7和圖8所示，每個待塗層刀片5的四個角均位於通氣孔4上方。實施例2一種塗層刀片生產用裝載舟皿，用於刃長為15mm的D型、V型刀片塗層生產，該類刀片為菱形，料盤I和墊錐2組裝後的裝載舟皿的結構如圖9所示。本實施例中，墊維2 的尺寸規格為 A=7. 2mm, B=IO. 6mm, D=2. 3mm, H=2. 3mm,E=7. 3mm，E=5mm，G=2. 8mm，C =2mm，a =5°，β =70° 0本實施例中，料盤I是厚度為4_、直徑為375_的圓盤。料盤I中心設置有氣氛輸送管通道6，料盤I表面均勻分布有260個用於墊錐2插接的墊錐定位孔3，定位孔3的內徑為3. 3mm，滿足與底面積H *D為2. 3*2. 3 mm的墊錐定位楔9外接需要，260個定位孔3圍繞氣氛輸送管通道6均勻排列,布滿料盤I表面。260個定位孔3的均勻排列規則是260個定位孔3在料盤I表面的坐標X、Y方向上成行、成列排列，任意定位孔3在X方向上與相鄰定位孔3的中心距為17. 7mmm,在Y方向上與相鄰定位孔3的中心距為34mm ；260個定位孔3的間隙中均勻分布有橢圓形通氣孔4,通氣孔4按與定位孔3中心距在X軸方向上為12. 3mm，在Y軸方向上中心距為14. 68mm分布於各定位孔3之間。橢圓形通氣孔4的長軸為IOmm—15mm、短軸為5mm—8mm。各通氣孔4與定位孔3中心距為
10.5mm,按此規則排列,任意通氣孔4在X方向和Y方向上均位於兩相鄰定位孔3的對稱中心。按此排列規則，除邊沿區和中心區外，每個定位孔3的周邊均布有四個通氣孔4，每個通氣孔4周邊均布有四個定位孔3。墊錐2插接並裝載待塗層刀片5後的使用情況如圖10所示，每個待塗層刀片5的四個角均位於橢圓形通氣孔4上方，每個橢圓形通氣孔4的上方均分布有四個刀尖。實施例3一種塗層刀片生產用裝載舟皿，用於刃長為16mm的T型刀片或刃長為6mm的W型刀片塗層生產，上述兩類刀片為三角形，料盤I和墊錐2組裝後的裝載舟皿的結構如圖11所示。本實施例中，墊維2的尺寸規格為A=8mm, B=IO. 7謹，D=L 3謹，H=3謹，E=7. 5謹，F=4. 5mm, G=2. 5mm, C=L 5mm, a =5° , β=70°本實施例中，料盤I是厚度為3. 5_、直徑為375mm的圓盤。料盤I中心設置有氣氛輸送管通道6，料盤I表面均勻分布有490個用於墊錐2插接的墊錐定位孔3,圓形定位孔3的內徑為3. 3mm,滿足與底面積H *D為I. 3*3 mm的墊錐定位楔9外接需要，490個定位孔3圍繞氣氛輸送管通道6均勻排列，布滿料盤I表面。490個定位孔3的均勻排列規則是490個定位孔3在料盤I表面有規則排布，以任意定位孔3為中心,與其最近相鄰的三個定位孔3中心距為12. 5mm呈正三角形排列,490個定位孔3的間隙中均勻分布有圓形通氣孔4，圓形通氣孔4的直徑為11_。各通氣孔4和與其最近相鄰的定位孔3中心距為10. 5mm,按此規則排列，以任意通氣孔4為中心，與其最近相鄰的六個定位孔呈正六邊形排列。按此排列規則，除邊沿區和中心區外，每個定位孔3的周邊均布有三個通氣孔4，每個通氣孔4周邊均布有六個定位孔3。墊錐2插接並裝載待塗層刀片5後的使用情況如圖12所示，每個待塗層刀片5的三個角均位於圓形通氣孔4上方，每個圓形通氣孔4的上方均分布有六個刀尖。本實施例中，塗層刀片生產用裝載舟皿是這樣使用的將各墊錐2的定位楔9配套插入料盤I的各定位孔3中固定後，保持各墊錐2水平杆體9同向規則排列，料盤I上布滿墊錐2後，將各個待塗層刀片5以中心孔套入刀片穿插立柱7的方式擱置於墊錐2上，此時待塗層刀片5的中心孔的下邊沿與兩水平杆體8的上表面角邊形成四點接觸的支承結構，裝載待塗層刀片5後，舟皿的整體高度仍未高於墊錐2和料盤I的總體高度，之後按常規步驟裝舟、送入爐內，進行塗層生成加工。本實施例中，料盤I與墊錐2為分體式結構，方便加工，長期使用過程中也可以對多次循規使用後的墊錐2進行更換，廢棄的墊錐2可以回收再利用，大大的降低了裝料舟皿的製造成本和使用成本。待塗層刀片5得到了墊錐2的四點支承，即使其刃長較長，也不會在塗覆過程中發生傾覆或與相鄰刀片接觸，具有良好的定位效果；同時避免了刀片中心孔、端面與墊錐粘接的問題，減少了粘結廢品的產生；料盤I的厚度範圍既可以保證強度，也避免總體高度過高，墊錐2所裝載的刀片未突出於墊錐2表面，因此整體高度仍未高於氣氛輸送孔的高度，給塗層氣氛的徑向輸送留出空間，實現塗覆均勻性；由於刀片穿插立柱7上段為斜面，使刀片裝載容易，裝舟效率高；料盤定位孔3與通氣孔4的大小及排列位置根據刀片的形狀選用，增加了通氣孔4的開孔率，在充分利用料盤I表面積的同時，提高了刀片裝舟量；降低了塗層刀片下端面的氣氛遮擋區，保證了爐內氣體的充分流通與分配，從而使反應氣體損耗過大、塗覆產品顏色差別大、厚度不均勻等技術難題均得以解決；墊錐2與料盤I總體聞度降低，提聞了刀片的裝爐層數，提聞了廣能。以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對於本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護範圍。
權利要求1.一種塗層刀片生產用裝載舟皿，其特徵在於所述裝載舟皿包括盤形料盤和插接於料盤上表面的若干墊錐；所述的料盤上表面設置有供各墊錐插接的若干墊錐定位孔和分布於定位孔間隙的貫穿通氣孔。
2.根據權利要求I所述的塗層刀片生產用裝載舟皿，其特徵在於所述墊錐為對稱的立體形十字結構，所述墊錐上部直立柱為刀片穿插立柱，所述墊錐向左右伸出的水平杆體為刀片承載體，所述墊錐下部直立柱為用於與料盤插接的定位楔。
3.根據權利要求2所述的塗層刀片生產用裝載舟皿，其特徵在於所述的水平杆體在垂直方向的厚度自遠端向中心逐漸線性加大，使左右兩邊的刀片承載體上表面分別對稱地與垂直線成α夾角；所述刀片穿插立柱在水平方向的寬度自上而下逐漸線性加大，使兩側面的上段對稱地與垂直線成β夾角。
4.根據權利要求3所述的塗層刀片生產用裝載舟皿，其特徵在於所述墊錐的寬度A為5mm彡A彡20mm，所述墊錐的高度B為8mm彡B彡20mm，所述墊錐的厚度D為Imm彡D彡5_，所述夾角α為50° ( α彡90°，所述夾角β為0°彡β彡45°，所述刀片穿插立柱根部寬度C為Imm < C < 5mm，所述刀片穿插立柱斜面下邊線與所述墊錐底部的高度E為3mm ^ E ^ 6mm,所述水平杆體8遠端頂部與墊錐2底部的高度F為4mm ^ F ^ 10mm,所述墊錐定位楔的高度G為2mm < 5mm,所述定位楔的底面積H*D為Imm2 < H*D < 5mm2。
5.根據權利要求4所述的塗層刀片生產用裝載舟皿，其特徵在於所述墊錐的材質為硬質合金。
6.根據權利要求I所述的塗層刀片生產用裝載舟皿，其特徵在於所述料盤的厚度為3mm — 6mm，所述料盤的直徑為375mm時，所述定位孔的數量為200——500個。
7.根據權利要求6所述的塗層刀片生產用裝載舟皿，其特徵在於所述200—500個定位孔在料盤I表面的坐標X、Y方向上成行成列排列，任意定位孔在X方向上與相鄰定位孔的中心距為15mm—29mm,在Y方向上與相鄰定位孔的中心距為20—35mm ； 所述通氣孔均勻分布於各定位孔的間隙，所述通氣孔在X方向和/或Y方向上均位於兩相鄰定位孔的對稱中心，所述通氣孔是直徑為10mm-15mm的圓孔。
8.根據權利要求6所述的塗層刀片生產用裝載舟皿，其特徵在於所述200—500個定位孔在料盤表面的坐標X、Y方向上成行成列排列，任意定位孔在X方向上與相鄰定位孔的中心距為Ilmm—22mm,在Y方向上與相鄰定位孔的中心距為25mm—40mm ； 所述通氣孔均勻分布於各定位孔的間隙，所述通氣孔在X方向和/或Y方向上均位於兩相鄰定位孔的對稱中心，所述通氣孔是長軸為IOmm—15mm、短軸為5mm—8mm的橢圓孔。
9.根據權利要求6所述的塗層刀片生產用裝載舟皿，其特徵在於所述200—500個定位孔在料盤表面規則排列，任意定位孔與相鄰二個定位孔呈中心距為IOmm—15mm的正三角形排列，所述通氣孔均勻分布於各定位孔的間隙，所述通氣孔是直徑為9_一 13_的圓形通氣孔，各通氣孔和與鄰近定位孔的中心距為8mm — 12mm。
專利摘要一種塗層刀片裝載舟皿,裝載舟皿包括盤形料盤和插接於料盤上表面的若干墊錐;料盤上表面設置有供各墊錐插接的若干墊錐定位孔和分布於定位孔間隙的貫穿通氣孔。分體式的料盤和墊錐可使墊錐整體體積減小，最大限度的消除因裝載工具佔用爐內空間過大而在化學氣相沉積反應過程中對氣氛分配、消耗、流動所造成的影響；減小錐體底面積後可增大單層料盤上墊錐的裝載量，降低墊錐裝載刀片後的總體高度可實現增加爐內裝舟層數，充分利用了爐內空間，增加了設備的產能。錐體底面積減小還可增加料盤開孔率，改善了爐內氣體的流動性，提高了刀片塗覆的均勻性、厚度一致性。上述裝載舟皿應用在塗層刀片生產中時對塗層生成反應影響小、產品質量穩定。
文檔編號C23C16/458GK202658229SQ201220110909
公開日2013年1月9日 申請日期2012年3月22日 優先權日2012年3月22日
發明者王以任, 尹江華, 鄧劍, 袁美和, 譚文清, 黃立, 熊平 申請人:株洲歐科億硬質合金有限公司