處理液再生方法及含於處理液的金屬的回收方法
2023-09-21 17:36:35
專利名稱：處理液再生方法及含於處理液的金屬的回收方法
技術領域：
本發明涉及使用內部填充有吸附金屬離子的吸附材料的可移式容器， 再生由於基板處理而含有金屬成分的處理液的方法、及回收由於基板處理 而在處理液中含有的金屬成分的方法。
背景技術：
例如，在製造半導體、(矽)晶片、液晶玻璃基板、光掩模用玻璃基 板、光碟用基板等各種基板的工序中，有向這些基板供給蝕刻液或顯影液、 清洗液等各種處理液而處理該基板的工序。
作為使用蝕刻液的處理(蝕刻處理)的一例，可以舉出通過如下所述 的蝕刻裝置實施該蝕刻處理，即具備貯存蝕刻液的貯存槽、蝕刻基板的 基板處理機構、將貯存槽內的蝕刻液向基板處理機構供給，並將供給的蝕 刻液從該基板處理機構回收，使蝕刻液在貯存槽和基板處理機構之間循環
的蝕刻液循環機構(參照特開2000—96264號公報)。
所述基板處理機構包括具備閉塞空間的處理腔室、配設於處理腔室 內且將基板水平輸送的多個輸送輥、和配設於處理腔室內且朝向基板的上 表面噴出蝕刻液的多個噴嘴體，所述蝕刻液循環機構包括連接貯存槽和
各噴嘴體的供給管、經由供給管向各噴嘴體供給蝕刻液的供給泵、和連接 處理腔室的底部和貯存槽的回收管。
根據該蝕刻裝置可知，通過輸送輥使基板在規定方向上輸送，並且， 將通過供給泵經由供給管供給於各噴嘴體的貯存槽內的蝕刻液從這些各 噴嘴體向基板的上表面噴出，利用所述蝕刻液蝕刻基板。然後，通過回收
管，將噴出在基板的上表面的蝕刻液從處理腔室內回收至jC存槽內。
然而，例如，若對形成於基板的上表面的氧化銦錫膜等金屬膜進行蝕 刻，則構成該金屬膜的所謂銦或錫等金屬溶解於蝕刻液中，因此，在使蝕刻液在貯存槽和基板處理機構之間循環地構成的上述蝕刻裝置中，貯存槽 內的含於蝕刻液的金屬成分逐漸增加，導致不能有效地實施蝕刻處理的問 題、或發生得不到精度良好的蝕刻形狀的問題。
從而，在上述蝕刻裝置中，不得不定期更換貯存槽內的蝕刻液，由於 蝕刻液的更換所花費的費用(更換的蝕刻液的廢棄處理費用或更換的蝕刻 液的購入費用)而導致處理成本增加。
因此，如特開2005 — 325082號公報中的記載，提出了使用離子交換 樹脂從貯存槽內的蝕刻液分離金屬成分，將其除去後，再利用該蝕刻液的 方法。
專利文獻1特開2000—96264號公報專利文獻2特開2005—325082號公報
然而，上述方法中，僅通過利用離子交換樹脂分離蝕刻液中的金屬成 分、將其除去時，導致沒有回收分離的金屬成分的問題。有時所述金屬膜 例如使用銦等非常高價的金屬，此時，優選回收溶解於蝕刻液的金屬。
另外，進行從蝕刻液分離、除去金屬成分的處理需要相應的設備，因 此，基板製造人員不能容易地實施。另一方面，在廢液處理人員等實施的 情況下，也不得不通過油罐車將使用後的蝕刻液從基板製造人員側向廢液 處理人員側輸送，並通過油罐車將處理後的廢液(能夠再利用的蝕刻液) 從廢液處理人員側向基板製造人員側輸送，導致輸送成本高的問題或不夠 有效的問題。
另外，進而，在廢液處理人員回收溶解於蝕刻液中的金屬的情況下， 除了上述問題外，由於含於蝕刻液的金屬的濃度低，因此，回收該蝕刻液 中的金屬成分並不容易，導致非常花費勞力的問題。
發明內容
本發明是鑑於以上的實際情況而做成的，其目的在於提供能夠以低成 本有效除去含於基板處理用處理液的金屬成分，並將該處理液再生，對環 境保護起到貢獻作用的處理液再生方法、及能夠以低成本有效回收含於基 板處理用處理液的金屬成分的含於處理液的金屬的回收方法。
為了實現上述目的，本發明涉及，使用內部填充有吸附金屬離子的吸附材料的可移式容器， 在進行基板處理的處理區域、和從該處理區域隔離的區域即再生吸附 了處理液中的金屬成分的吸附材料的吸附材料再生區域或回收吸附於吸 附材料的金屬的回收區域之間，輸送所述可移式容器而進行的處理液再生 方法或含於處理液中的金屬的回收方法。
還有，所述處理液再生方法包括在所述處理區域中，使由於基板處 理而含有金屬成分的處理液通過所述可移式容器內，將該處理液中的金屬 成分吸附於所述吸附材料而分離、除去的處理液再生工序；將所述處理液 通過的可移式容器(使用後的可移式容器即在吸附材料上吸附有金屬的可 移式容器)從所述處理區域輸送至所述吸附材料再生區域的第一輸送工 序；在所述吸附材料再生區域中，使洗提液通過從所述處理區域輸送的可 移式容器內，洗提吸附於所述吸附材料的金屬，再生該吸附材料的吸附材 料再生工序；將再生了所述吸附材料的可移式容器(再生後的可移式容器
即在吸附材料上未吸附金屬的可移式容器)從所述吸附材料再生區域回送 至所述處理區域的第二輸送工序，在所述處理液再生工序中，使用吸附材 料再生後的可移式容器。還有，根據需要，從通過可移式容器內的洗提液 回收洗提的金屬也可。
從而，根據本發明的處理液再生方法可知，在處理區域中將處理液中 的金屬成分吸附於可移式容器內的吸附材料而除去，將使用後的可移式容 器輸送至吸附材料再生區域而再生吸附材料，將再生後的可移式容器回送 至處理區域而再使用，因此，在處理區域側僅設置使處理液通過可移式容 器內，且將該處理液中的金屬成分吸附於吸附材料的設備即可，能夠以簡 單且廉價的設備再生處理液(形成為能夠再利用狀態)。
另外，輸送對象不是處理液自身，而是可移式容器，因此，重量輕且 容易操作，而且輸送成本與油罐車相比為非常低，能夠以通常的卡車輸送。 另外，進而，將再生後的可移式容器回送至處理區域而再使用，因此，能 夠反覆使用可移式容器(吸附材料)。由於這些原因，能夠以低成本有效 地再生由於基板處理而含有金屬成分的處理液。
另外，通過這樣再生處理液，實現處理液的壽命延長化，能夠延長其 更換周期，因此，節省新的處理液的購入費用或已使用的處理液的廢棄費用等，抑制處理液所花費的費用，或能夠在沒有為了更換處理液而停止的 情況下連續地進行基板處理，能夠將基板處理所花費的成本抑制為低的成 本。另外，能夠設為只需要相當於廢棄處置的處理液的減少引起的，或由 於基板處理而減少的量的新的處理液，因此，還能夠對環境保護起到貢獻 作用。
另一方面，在含於所述處理液的金屬的回收方法中，在所述處理區域 中，使由於基板處理而含有金屬成分的處理液通過所述可移式容器內，將 該處理液中的金屬成分吸附於所述吸附材料，接著，將所述可移式容器(吸 附後的可移式容器即在吸附材料上吸附有金屬的可移式容器)輸送至所述 回收區域，然後，在所述回收區域中，使洗提液通過所述可移式容器(從 處理區域輸送的可移式容器)，進行洗提吸附於所述吸附材料的處理、和 從通過的洗提液回收洗提的金屬的處理，然後，將所述可移式容器(回收 後的可移式容器即在吸附材料上未吸附金屬的可移式容器)回送至所述處 理區域而再使用。
從而，根據本發明的處理液中含有的金屬的回收方法可知，在處理區 域中將處理液中的金屬成分吸附於可移式容器內的吸附材料上，將吸附後 的可移式容器輸送至回收區域，回收在吸附材料上吸附的金屬，將回收後 的可移式容器回送至處理區域而再使用，因此，能夠有效地回收由於基板 處理而溶解於處理液的金屬。
另外，僅在處理區域側使處理液通過可移式容器內，將該處理液中的 金屬成分吸附於吸附材料上即可，因此，能夠以簡單且廉價的設備應對。 另外，通過在可移式容器內的吸附材料上吸附處理液中的金屬成分，能夠 將該金屬成分以濃縮的狀態集聚在可移式容器內，能夠容易地回收溶解於 處理液的金屬。另外，輸送對象不是處理液自身，而是可移式容器，因此， 重量輕且容易操作，而且輸送成本與油罐車相比為非常低，能夠以通常的 卡車輸送。另外，進而，將回收後的可移式容器回送至處理區域而再使用， 因此，能夠反覆使用可移式容器(吸附材料)。由於這些原因，能夠以低 成本有效地再生由於基板處理而溶解於處理液的金屬。
還有，在所述處理液再生方法或處理液中含有的金屬的回收方法中， 在所述吸附材料再生工序或回收區域中，使所述洗提液通過後，使清洗液通過所述可移式容器內，清洗該可移式容器的內部也可。
若可移式容器的內部殘留有洗提液，則在處理區域中使處理液通過 時，處理液和洗提液混合，可能對使用該處理液的基板處理產生壞的影響， 但使洗提液通過後，使清洗液通過，由此能夠防止殘留於可移式容器內的 洗提液流出而發生如上所述的不妥善情況的情況。
另外，在所述處理液再生方法或含於處理液的金屬的回收方法中，在 所述吸附材料再生工序或回收區域使清洗液不通過可移式容器內的情況 下，也可以在該可移式容器形成用於向內部供給所述處理液及洗提液的 供給部、和用於向外部排出從該供給部供給於內部的處理液及洗提液的排 出部，
在所述處理液再生工序或處理區域中，使用第一通液裝置，所述第一 通液裝置具備以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的供給部，供給 所述處理液的處理液供給管；和以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器 的排出部，回收所述處理液的處理液回收管，
並且，使所述處理液供給管與所述供給部連接，使所述處理液回收管 與所述排出部連接後，使所述處理液以從所述供給部流入所述可移式容器 的內部而從所述排出部排出的方式通液，然後，從所述供給部卸下所述處 理液供給管，從所述排出部卸下所述處理液回收管，
在所述吸附材料再生工序或回收區域中，使用第二通液裝置，所述第 二通液裝置具備以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的供給部，供 給所述洗提液的洗提液供給管；和以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容 器的排出部，回收所述洗提液的洗提液回收管，
並且，使所述洗提液供給管與所述供給部連接，使所述洗提液回收管 與所述排出部連接後，使所述洗提液以從所述供給部流入所述可移式容器 的內部而從所述排出部排出的方式通液，然後，從所述供給部卸下所述洗 提液供給管，從所述排出部卸下所述洗提液回收管，然後，可以從所述供 給部卸下所述洗提液供給管，從所述排出部卸下所述洗提液回收管。
通過這樣設置，能夠利用第一通液裝置實施使含有金屬成分的處理液 通過可移式容器內的處理，利用第二通液裝置實施使洗提液通過在吸附材 料上吸附了金屬的可移式容器內的處理，從而是有效的。另一方面，在所述處理液再生方法或含於處理液的金屬的回收方法 中，在所述吸附材料再生工序或回收區域不使清洗液通過可移式容器內的 情況下，也可以在所述可移式容器形成用於向內部供給所述處理液、洗 提液及清洗液的供給部、和用於向外部排出從該供給部供給於內部的處理 液、洗提液及清洗液的排出部，
在所述處理液再生工序或處理區域中，使用第二通液裝置，所述第二 通液裝置具備以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的供給部，供給 所述洗提液及清洗液的供給管；和以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容 器的排出部，回收所述洗提液及清洗液的回收管，
並且，使所述供給管與所述供給部連接，使所述回收管與所述排出部 連接後，使所述洗提液以從所述供給部流入所述可移式容器的內部而從所 述排出部排出的方式通液，接著，使所述清洗液以從所述供給部流入所述 可移式容器的內部而從所述排出部排出方式通液，然後，從所述供給部卸 下所述供給管，從所述排出部卸下所述回收管，
或者，使用第二通液裝置，所述第二通液裝置具備以能夠裝卸的方 式連接於所述可移式容器的供給部，供給所述洗提液的洗提液供給管；和 以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的排出部，回收所述洗提液的洗 提液回收管，
及第三通液裝置，第三通液裝置具備以能夠裝卸的方式連接於所述 可移式容器的供給部，供給所述清洗液的清洗液供給管；和以能夠裝卸的 方式連接於所述可移式容器的排出部，回收所述清洗液的清洗液回收管，
首先，使所述洗提液供給管與所述供給部連接，使所述洗提液回收管 與所述排出部連接後，使所述洗提液以從所述供給部流入所述可移式容器 的內部而從所述排出部排出的方式通液，然後，從所述供給部卸下所述洗 提液供給管，從所述排出部卸下所述洗提液回收管，接著，使所述清洗液 供給管與所述供給部連接，使所述清洗液回收管與所述排出部連接，使所 述清洗液以從所述供給部流入內部而從所述排出部排出的方式通液後，從 所述供給部卸下所述清洗液供給管，從所述排出部卸下所述清洗液回收 管。
還有，作為所述處理液，例如，可以舉出蝕刻液、顯影液及清洗液等，但不限定於這些。另外，作為吸附於可移式容器內的吸附材料的金屬，例 如，可以舉出銦等，不限定於此。另外，作為所述吸附材料，例如，可以 舉出螯合材料或離子交換樹脂等，但不限定於這些。另外，作為吸附材料， 使用螯合材料時，所述洗提液可以採用鹽酸或硫酸或氫氧化鈉等，所述清 洗液可以採用純水等，作為吸附材料使用離子交換樹脂時，所述洗提液可 以採用鹽酸或氫氧化鈉等，所述清洗液可以採用純水等。
如上所述，根據本發明的處理液再生方法可知，使用內部填充有吸附 材料的可移式容器，將該可移式容器在回收區域和吸附材料再生區域之間 輸送，因此，能夠以低成本有效地除去基板處理用處理液中含有的金屬成 分，再生該處理液，能夠對環境保護起到貢獻作用。另外，根據本發明的 處理液中含有的金屬的回收方法可知，使用內部填充有吸附材料的可移式 容器，將該可移式容器在回收區域和吸附材料再生區域之間輸送，因此， 能夠以低成本有效地回收含於基板處理用處理液中的金屬成分。
圖1是用於說明本發明的第一實施方式的蝕刻液再生方法的說明圖。
圖2是用於說明第一實施方式的蝕刻液再生方法的流程圖。
圖3是表示第一實施方式中的基板處理裝置等的概略結構的說明圖。
圖4是表示第一實施方式中的吸附材料再生裝置等的概略結構的說明圖。
圖5是表示本發明的其他實施方式中的吸附材料再生裝置(金屬回收 裝置)等的概略結構的說明圖。
圖6是用於說明本發明的第二實施方式的金屬回收方法的說明圖。 圖7是用於說明第二實施方式的金屬回收方法的流程圖。 圖中l一可移式容器；IO—基板處理裝置；ll一貯存槽；12 —基板處 理機構；13 —處理腔室；14一輸送輥；15 —流通管；16 —噴嘴體；20 —蝕 刻液循環機構；21—供給管；22 —供給泵；23 —回收管；25 —控制裝置； 30 —蝕刻液通液機構；31 —第一安裝部；32—第二安裝部；33 —蝕刻液供 給管；34 —蝕刻液回收管；40 —吸附材料再生裝置；41一安裝部；42 —洗 提液通液機構；43 —洗提液供給機構；44一洗提液貯存罐；45 —洗提液供給管；46 —供給泵；48 —洗提液回收機構；49一洗提液回收罐；50 —洗提 液回收管；52 —清洗液通液機構；53 —清洗液供給機構；54 —清洗液貯存 罐；55 —清洗液供給管；56 —供給泵；58—清洗液回收機構；59 —清洗液 回收罐；60 —清洗液回收管；65 —控制裝置；K一基板；L一蝕刻液。
具體實施例方式
(第一實施方式)
首先，基於附圖，對本發明的第一實施方式的蝕刻液再生方法進行說 明。在該第一實施方式中，說明使由於蝕刻基板而含有金屬成分的蝕刻液 再生的方式。另外，圖l是用於說明本發明的第一實施方式的蝕刻液再生
方法的說明圖，圖2是用於說明第一實施方式的蝕刻液再生方法的流程圖， 圖3是表示第一實施方式中的基板處理裝置等的概略結構的說明圖，圖4
是表示第一實施方式中的吸附材料再生裝置等的概略結構的說明圖。
首先，基於圖l、圖3及圖4，對用於吸附蝕刻液L中的金屬成分的
可移式容器1進行說明。該可移式容器1在內部填充有吸附金屬離子(如 後所述，銦離子或錫離子)的、作為吸附材料的螯合材料(未圖示)，具
有移動性。另外，可移式容器1構成為能夠相對於利用蝕刻液L處理基板 K的基板處理裝置10、及再生螯合材料(未圖示)的吸附材料再生裝置 40進行裝卸。進而，在可移式容器1的上端部形成有用於將蝕刻液L
或後述的洗提液或清洗液向內部供給的供給部(未圖示)、和將從該供給
部(未圖示)供給於內部的蝕刻液L或洗提液、清洗液向外部排出的排出 部(未圖示)。
所述螯合材料(未圖示)通常為有機系的氨基羧酸鹽的總稱，具備吸 附金屬離子，利用特定的溶液洗提被吸附的金屬的性質。具體來說，作為 一例，可以舉出EDTA (乙二胺四醋酸)、NTA (次氮基三醋酸)、DTPA (二亞乙基三胺五醋酸)、GLDA (L—穀氨酸二醋酸)、HEDTA (羥基乙 基亞乙基二胺三醋酸)、GEDTA (二醇醚二胺四醋酸)、TTHA (三亞乙基 四胺六醋酸)、HIDA (羥基乙基亞氨基二醋酸)、及DHEG (羥基乙基甘 氨酸)等，但不限定於這些。
然後，基於圖3，對所述基板處理裝置10進行說明。該基板處理裝置10如相同圖3所示，例如，包括貯存草酸濃度(重量％)為約3%的蝕 刻液L的貯存槽11;利用蝕刻液L蝕刻基板K的基板處理機構12;使蝕 刻液L在貯存槽11和基板處理機構12之間循環的蝕刻液循環機構20;使 貯存於貯存槽11的蝕刻液L通過可移式容器1內的蝕刻液通液機構30;
控制基板處理機構12、蝕刻液循環機構20、及蝕刻液通液機構30的運行 的控制裝置25等，配置於處理區域(參照圖1)。
所述基板處理機構12包括具備閉塞空間的處理腔室13;配設於處 理腔室13的下部，例如將上表面形成有氧化銦錫膜(金屬膜)的基板K
水平支撐並在規定方向(箭頭方向)上輸送的多個輸送輥14;配設於處理
腔室13的上部，且使由蝕刻液循環機構20供給的蝕刻液L流通的流通管 15;固定設置於流通管15，且朝向由輸送輥14輸送的基板K的上表面噴 出蝕刻液L的多個噴嘴體16等，處理腔室13內的蝕刻液L從形成於該處 理腔室13的底面的排出孔13a向外部排出。
所述蝕刻液循環機構20包括 一端側與貯存槽ll連接，且另一端側 與流通管15連接的供給管21;經由供給管21向流通管15內供給蝕刻液 L的供給泵22; —端側與處理腔室13的排出口 13a連接，且另一端側與 貯存槽11連接的回收管23等。
所述蝕刻液通液機構30包括將可移式容器1以能夠裝卸的方式安 裝的第一安裝部31及第二安裝部32; —端側與貯存槽11連接，且另一端 側能夠分支而與各可移式容器1的供給部(未圖示)連接的蝕刻液供給管 33; —端側與貯存槽11連接，且另一端側能夠分支而與各可移式容器1 的排出部(未圖示)連接的蝕刻液回收管34;經由蝕刻液供給管33向可 移式容器1的內部供給蝕刻液L的供給泵35;分別設置於蝕刻液供給管 33的另一端側的第一供給側切換閥36及第二供給側切換閥37;分別設置 於蝕刻液回收管34的另一端側的第一排出側切換閥38及第二排出側切換 閥39等，在將可移式容器1安裝於各安裝部31、 32時，蝕刻液供給管33 的另一端側與各可移式容器1的供給部(未圖示)連接，蝕刻液回收管34 的另一端側與各可移式容器l的排出部(未圖示)連接。
所述各切換閥36、 37、 38、 39被控制裝置25控制如下，g卩在第一 供給側切換閥36及第一排出側切換閥38打開時，關閉第二供給側切換閥37及第二排出側切換閥39，在第二供給側切換閥37及第二排出側切換閥 39打開時，關閉第一供給側切換閥36及第一排出側切換閥38。
在該蝕刻液通液機構30中，利用供給泵35經由蝕刻液供給管33向 可移式容器1的任一方供給貯存槽11內的蝕刻液L。 g卩，在第一供給側切 換閥36打開，且第二供給側切換閥37關閉時，向第一安裝部31側的可 移式容器1供給蝕刻液L，在第一供給側切換閥36關閉，且第二供給側 切換閥37打開時，向第二安裝部32側的可移式容器1供給蝕刻液L。
還有，被供給於可移式容器I的任一方，且在該可移式容器1內流通 的蝕刻液L通過蝕刻液回收管34被回收在貯存槽11內。這樣，蝕刻液L 在貯存槽11和可移式容器1的任一方之間循環。
所述控制裝置25進行控制供給泵22，使蝕刻液L在貯存槽11和基 板處理機構12之間循環的處理；在運行供給泵22的情況下，控制供給泵 35及各切換閥36、 37、 38、 39，以預先設定的時間間隔即推斷可移式容 器l內的螯合材料(未圖示)達到大致飽和的時間間隔，交替切換被供給 蝕刻液L的可移式容器1的同時，進行向可移式容器1的任一方通過貯存 槽11內的蝕刻液L的處理(參照圖l)。
根據這樣構成的基板處理裝置IO可知，利用供給泵22將貯存於貯存 槽11的蝕刻液L經由供給管21及流通管15向各噴嘴體16供給，從這些 各噴嘴體16向基板K的上表面噴出。噴出在基板K的上表面的蝕刻液L 從處理腔室13的排出口 13a向回收管23內流通而被回收在貯存槽11內。
所述基板K通過輸送輥14在規定方向上被輸送，並被由各噴嘴體16 噴出的蝕刻液L蝕刻。還有，由於該蝕刻處理，基板K的氧化銦錫膜溶解 於蝕刻液L，導致銦離子或錫離子含於該蝕刻液L中。
另外，通過供給泵35、各切換閥36、 37、 38、 39、蝕刻液供給管33 及蝕刻液回收管34，以預先設定的時間間隔交替切換作為通液對象的可移 式容器1，同時，使貯存於貯存槽11的蝕刻液L有選擇地通過可移式容器 1的任一方，由此，利用可移式容器l內的螯合材料(未圖示)吸附蝕刻 液L中的作為金屬成分的銦離子或錫離子。
接著，基於圖4，說明所述吸附材料再生裝置40。該吸附材料再生裝 置40如相同圖4所示，包括可移式容器1以能夠裝卸的方式安裝的安裝部41;使洗提液通過可移式容器1內的洗提液通液機構42;使清洗液 通過可移式容器1內的清洗液通液機構52;從在可移式容器1內流通的洗 提液取出銦或錫而回收的金屬回收部(未圖示)；控制洗提液通液機構42、 清洗液通液機構52及金屬回收部(未圖示)的運行的控制裝置65等，並 且吸附材料再生裝置40配置在從所述處理區域隔離的吸附材料再生區域 (參照圖l)。還有，安裝部41、洗提液通液機構42、清洗液通液機構52 及控制裝置65發揮作為專利請求的範圍中所述的第二通液裝置的作用。
所述洗提液通液機構42具備供給用於洗提吸附於可移式容器1內 的螯合材料(未圖示)的銦或錫的洗提液的洗提液供給機構43;從可移式 容器1內回收洗提液的洗提液回收機構48。還有，洗提液例如由鹽酸或硫 酸或氫氧化鈉構成。
所述洗提液供給機構43包括貯存所述洗提液的洗提液貯存罐44; 一端側與洗提液貯存罐44連接，且另一端側能夠與可移式容器1的供給 部(未圖示)連接的洗提液供給管45;經由洗提液供給管45向可移式容 器1的內部供給洗提液的供給泵46;設置於洗提液供給管45的一端側即 供給泵46的下遊側的洗提液供給閥47等，在可移式容器1安裝於安裝部 41時，洗提液供給管45的另一端側與可移式容器1的供給部(未圖示) 連接。
所述洗提液回收機構48包括貯存回收的洗提液的洗提液回收罐49; 一端側與洗提液回收罐49連接，且另一端側能夠與可移式容器1的排出 部(未圖示)連接的洗提液回收管50;設置於洗提液回收管50的一端側 的洗提液回收閥51等，在可移式容器1安裝於安裝部41時，洗提液回收 管50的另一端側與可移式容器1的排出部(未圖示)連接。
在該洗提液供給機構43及洗提液回收機構48中，通過供給泵46，將 貯存於洗提液貯存罐44的洗提液經由洗提液供給管45向可移式容器1內 供給。還有，利用洗提液回收管50將被供給於可移式容器1內且在該可 移式容器1內流通的洗提液回收於洗提液回收罐49內。還有，此時，洗 提液供給閥47及洗提液回收閥51控制為打開的狀態，後述的清洗液供給 閥57及清洗液回收閥61控制為關閉的狀態。
所述清洗液通液機構52具備供給用於清洗可移式容器1的內部的清洗液的清洗液供給機構53;從可移式容器1內回收清洗液的清洗液回收 機構58。還有，清洗液例如由純水構成。
所述洗提液供給機構53包括貯存所述清洗液的清洗液貯存罐54;
一端側與清洗液貯存罐54連接，且另一端側在洗提液供給閥47的下遊側 與洗提液供給管45連接，經由該洗提液供給管45，能夠與可移式容器l 的供給部(未圖示)連接的清洗液供給管55;經由清洗液供給管55向可 移式容器1的內部供給清洗液的供給泵56;設置於清洗液供給管55的供 給泵56的下遊側的清洗液供給閥57等，在可移式容器1安裝於安裝部41 時，清洗液供給管55的另一端側經由洗提液供給管45與可移式容器1的 供給部(未圖示)連接。
所述清洗液回收機構58包括貯存回收的清洗液的清洗液回收罐59; 一端側與清洗液回收罐59連接，且另一端側在洗提液回收閥51的上遊側 與洗提液回收管50連接，經由該洗提液回收管50，能夠與可移式容器1 的排出部(未圖示)連接的清洗液回收管60;設置於清洗液回收管60的 清洗液回收閥61等，在可移式容器1安裝於安裝部41時，清洗液回收管 60的另一端側經由洗提液回收管50與可移式容器1的排出部(未圖示) 連接。
在該清洗液供給機構53及清洗液回收機構58中，利用供給泵56，經 由清洗液供給管55及洗提液供給管45，向可移式容器l內供給貯存於清 洗液貯存罐54的清洗液。還有，利用洗提液回收管50及清洗液回收管60 將被供給於可移式容器l，且在該可移式容器l內流通的清洗液回收在清 洗液回收罐59內。還有，此時，清洗液供給閥57及清洗液回收閥61控 制為打開的狀態，洗提液供給閥47及洗提液回收閥51控制為關閉的狀態。
所述金屬回收部(未圖示)構成為從貯存於洗提液回收罐49內的洗 提液取出銦或錫而將其回收。
所述控制裝置65進行控制供給泵46、洗提液供給閥47及洗提液回 收閥51，使洗提液貯存罐44內的洗提液向可移式容器1內通過規定時間 的處理；在洗提液的通液處理後，控制供給泵56、清洗液供給閥57及清 洗液回收閥61，使清洗液貯存罐54內的清洗液向可移式容器1內通過規 定時間的處理；利用金屬回收部(未圖示)，從洗提液回收罐49內的洗提液取出銦或錫而將其回收的處理。
根據這樣構成的吸附材料再生裝置40可知，首先，利用供給泵46、
洗提液供給閥47、洗提液回收閥51、洗提液供給管45及洗提液回收管50， 使貯存於洗提液貯存罐44的洗提液通過可移式容器1內。由此，吸附於 螯合材料(未圖示)的銦或錫被該洗提液洗提，含有洗提的銦離子或錫離 子的洗提液被回收在洗提液回收罐49內。
然後，通過供給泵56、清洗液供給閥57、清洗液回收閥61、清洗液 供給管55、洗提液供給管45、清洗液回收管60及洗提液回收管50，使貯 存於清洗液貯存罐54的洗提液通過可移式容器1內。由此，通過該清洗 液衝洗殘留於可移式容器1的內部的洗提液，將含有殘留的洗提液的清洗 液回收於清洗液回收罐59內。
另外，通過金屬回收部(未圖示)，從貯存於洗提液回收罐49內的含 有銦離子或錫離子的洗提液取出銦或錫，將其回收。由此，回收吸附於可 移式容器1的螯合材料,(未圖示)的銦或錫即由於基板處理機構12中的 蝕刻處理而溶解於蝕刻kL的銦或錫。
還有，最後，基於圖1 圖4，對再生由於蝕刻處理而溶解並含有所 謂銦或錫等金屬的蝕刻液L的方法進行說明。
在基板處理機構12中，在利用貯存槽11內的蝕刻液L對基板K進行 蝕刻處理的期間，以預先設定的時間間隔交替切換作為通液對象的可移式 容器1，同時，使貯存槽11內的蝕刻液L有選擇地通過安裝於第一安裝部 31的可移式容器1或安裝於第二安裝部32的可移式容器1的任一方(步 驟S1)。由此，在可移式容器l內的螯合材料(未圖示)吸附蝕刻液L中 的金屬成分(銦離子或錫離子)而除去，再生該蝕刻液L。還有，在第一 安裝部31及第二安裝部32預先安裝有未使用的填充容器1 (在螯合材料 (未圖示)上未吸附銦或錫的可移式容器l)。
若切換作為通液對象的可移式容器1，則將使用後的可移式容器1 (在 螯合材料(未圖示)上吸附有銦或錫的可移式容器1)更換為未使用的可 移式容器l (步驟S2)。即，在從第一安裝部31的可移式容器l切換為第 二安裝部32的可移式容器1時，從第一安裝部31卸下使用後的可移式容 器l，安裝未使用的可移式容器l，在從第二安裝部32的可移式容器1切換為第一安裝部31的可移式容器1時，從第二安裝部32卸下使用後的可
移式容器l，安裝未使用的可移式容器1。還有，上述步驟S1及S2相當
於專利請求的範圍中所述的處理液再生工序。
然後，例如，利用卡車2等輸送機構，將從第一安裝部31或第二安 裝部32卸下的使用後的可移式容器1從處理區域側向吸附材料再生區域 側輸送(步驟S3)。
還有，在將輸送至吸附材料再生區域側的使用後的可移式容器1安裝 於安裝部41後，使洗提液通過可移式容器l內(步驟S4)。由此，將吸附 於螯合材料(未圖示)的銦或錫洗提，再生該螯合材料(未圖示)，並且， 將含有洗提的銦離子或錫離子的洗提液回收於洗提液回收罐49內。
然後，從洗提液回收罐49內的洗提液取出銦或錫而回收(步驟S5)。 由此，回收可移式容器1的螯合材料(未圖示)上吸附的(在基板處理機 構12中的蝕刻處理中溶解於蝕刻液L的)銦或錫。
另外，在洗提液通過後，使清洗液通過可移式容器l內，從安裝部41 卸下(步驟S6)。由此，利用該清洗液衝洗殘留於可移式容器1的內部的 洗提液，將含有殘留的洗提液的清洗液回收於清洗液回收罐59內。還有， 上述步驟S4及S6的處理相當於專利請求的範圍中所述的吸附材料再生工 序。
還有，例如，利用卡車2等輸送機構，將經過了步驟S4及S6的再生 後的可移式容器1 (在螯合材料(未圖示)上未吸附銦或錫的可移式容器 1)從吸附材料再生區域側向處理區域側回送(步驟S7)，在處理區域側保 管(步驟S8)。還有，在步驟S8中保管的再生後(未使用)的可移式容 器1在步驟S2中與使用後的可移式容器1更換。
如以上詳述，根據本例的蝕刻液再生方法可知，在處理區域中，在可 移式容器l內的螯合材料(未圖示)上吸附蝕刻液L中的銦或錫而除去， 將使用後的可移式容器1向吸附材料再生區域輸送而再生螯合材料(未圖 示)，將再生後的可移式容器1向處理區域回送而再使用，因此，在處理 區域側僅設置使蝕刻液L通過可移式容器1內且將該蝕刻液L中的銦或錫 吸附於螯合材料(未圖示)的設備即可，能夠以簡單且廉價的設備再生蝕 刻液L (形成為能夠再利用狀態)。另外，輸送對象不是蝕刻液L自身，而是可移式容器l，因此，重量 輕且容易操作，而且輸送成本與油罐車相比為非常低，能夠以通常的卡車 輸送。另外，進而，將再生後的可移式容器1回送至處理區域而再使用， 因此，能夠反覆使用可移式容器l (螯合材料(未圖示))。由於這些原因， 能夠以低成本有效地再生由於蝕刻處理而含有銦或錫的蝕刻液L。
另外，通過這樣再生蝕刻液L，實現蝕刻液L的壽命延長化，能夠延
長其更換周期，因此，節省新的蝕刻液L的購入費用或已使用的蝕刻液L 的廢棄費用等，抑制蝕刻液L所花費的費用，或能夠在沒有為了更換蝕刻 液L而停止的情況下連續地進行蝕刻處理，能夠將基板處理所花費的成本 抑制為低的成本。另外，能夠設為只需要相當於廢棄處置的蝕刻液L的減 少引起的，或由於蝕刻處理而減少的量的新的蝕刻液L，因此，還能夠對 環境保護起到貢獻作用。進而在進行蝕刻處理的期間，使蝕刻液L總是通 過可移式容器1內，因此，能夠將貯存槽11內的蝕刻液L中含有的銦離 子的濃度或錫離子的濃度時常維持在一定水平以下的狀態，能夠將蝕刻液 L時常保持為與新品相同的狀態。
另外，在洗提液通過後使清洗液通過，並衝洗殘留於可移式容器1的 內部的洗提液，因此，能夠有效防止在基板處理裝置10中使蝕刻液L 通過時，蝕刻液L和洗提液混合而導致蝕刻液L的成分變化，對蝕刻處理 產生壞的影響的情況。
另外，通過在可移式容器l內的螯合材料(未圖示)上吸附蝕刻液L 中的銦或錫，能夠將該銦或錫集聚為濃縮於可移式容器l內的狀態，能夠 容易地回收溶解於蝕刻液L的銦或錫。 (第二實施方式)
然後，基於附圖，對本發明的第二實施方式的金屬回收方法進行說明。 在該第二實施方式中，利用蝕刻液蝕刻基板，回收含於該蝕刻液的金屬成 分，對此進行說明。圖6是用於說明本發明的第二實施方式的金屬回收方 法的說明圖，圖7是用於說明第二實施方式的金屬回收方法的流程圖。
還有，如圖3及圖4及圖6及圖7所示，所述可移式容器l構成為能 夠相對於所述基板處理裝置10、及回收溶解於蝕刻液L的金屬的金屬回 收裝置70進行裝卸以外，具備與上述相同的結構。另外，所述金屬回收裝置70具備與如圖4所示的所述吸附材料再生裝置40相同的結構，但在
配置於從處理區域隔離的回收區域這一點上不同(參照圖6)。
在基板處理機構12中，利用貯存槽ll內的蝕刻液L，對基板K進行 蝕刻處理的期間，以預先設定的時間間隔，交替切換作為通液對象的可移 式容器1，同時，使貯存槽11內的蝕刻液L有選擇地通過安裝於第一安裝 部31的可移式容器1或安裝於第二安裝部32的可移式容器1的任一方(步 驟Sll)。由此，利用可移式容器1內的螯合材料(未圖示)吸附蝕刻液L 中的金屬成分(銦離子或錫離子)。還有，在第一安裝部31及第二安裝部 32預先安裝有未吸附的填充容器1 (在螯合材料(未圖示)上未吸附銦或 錫的可移式容器l)。
若切換作為通液對象的可移式容器1，則將吸附後的可移式容器1 (在 螯合材料(未圖示)上吸附有銦或錫的可移式容器1)更換為未吸附的可 移式容器1 (步驟S12)。 g卩，在從第一安裝部31的可移式容器1切換為 第二安裝部32的可移式容器1時，從第一安裝部31卸下吸附後的可移式 容器1，安裝未吸附的可移式容器1，在從第二安裝部32的可移式容器1 切換為第一安裝部31的可移式容器1時，從第二安裝部32卸下吸附後的 可移式容器l，安裝未吸附的可移式容器l。
然後，例如，利用卡車2等輸送機構將從第一安裝部31或第二安裝 部32卸下的吸附後的可移式容器1從處理區域側向回收區域側輸送(步 驟S13)。
還有，將輸送至回收區域側的吸附後的可移式容器1安裝於安裝部41 後，使洗提液通過可移式容器l內(步驟S14)。由此，洗提吸附於螯合材 料(未圖示)的銦或錫，將含有洗提的銦離子或錫離子的洗提液回收在洗 提液回收罐49內。
然後，從洗提液回收罐49內的洗提液取出銦或錫而回收(步驟S15)。 由此，回收吸附於可移式容器1的螯合材料(未圖示)的(基板處理機構 12中的蝕刻處理中溶解於蝕刻液L的)銦或錫。
另外，在洗提液通過後，使清洗液通過可移式容器l內，從安裝部41 卸下(步驟S16)。由此，利用該清洗液衝洗殘留於可移式容器1的內部的 洗提液，將含有殘留的洗提液的清洗液回收於清洗液回收罐59內。還有，例如，利用卡車2等輸送機構，將經過了步驟S14及S16的處 理的回收後的可移式容器1 (在螯合材料(未圖示)上未吸附銦或錫的可
移式容器l)從回收區域側向處理區域側回送(步驟S17)，在處理區域側 保管(步驟S18)。還有，將在步驟S18中保管的回收後(未吸附)的可 移式容器1在步驟S12中與吸附後的可移式容器1更換。
如以上詳述，根據本例的金屬回收方法可知，在處理區域中將蝕刻液 L中的銦或錫吸附於可移式容器l內的螯合材料(未圖示)上，將吸附後 的可移式容器1輸送至回收區域，回收吸附於螯合材料(未圖示)上的銦 或錫，將回收後的可移式容器l回送至處理區域而再使用，因此，能夠有 效地回收由於蝕刻處理而溶解於蝕刻液L的銦或錫。
另外，僅在處理區域側使蝕刻液L通過可移式容器1內，將該蝕刻液 L中的銦或錫吸附於螯合材料(未圖示)上即可，因此，能夠以簡單且廉 價的設備應對。另外，通過在可移式容器l內的螯合材料(未圖示)上吸 附蝕刻液L中的銦或錫，能夠將該銦或錫集聚為濃縮於可移式容器1內的 狀態，能夠容易地回收溶解於蝕刻液L的銦或錫。另外，輸送對象不是蝕 刻液L自身，而是可移式容器l，因此，重量輕且容易操作，而且輸送成 本與油罐車相比為非常低，能夠以通常的卡車輸送。另外，進而，將回收
後的可移式容器l回送至處理區域而再使用，因此，能夠反覆使用可移式 容器1 (螯合材料(未圖示))。由於這些原因，能夠以低成本有效地再生 由於蝕刻處理而溶解於蝕刻液L的銦或錫。
另外，通過在可移式容器1內的螯合材料(未圖示)上吸附蝕刻液L 中的銦或錫，能夠將該銦或錫集聚為濃縮於可移式容器l內的狀態，能夠 容易地回收溶解於蝕刻液L的銦或錫。
另外，在洗提液通過後使清洗液通過，並衝洗殘留於可移式容器1的 內部的洗提液，因此，能夠有效防止在基板處理裝置10中使蝕刻液L 通過時，蝕刻液L和洗提液混合而導致蝕刻液L的成分變化，對蝕刻處理 產生壞的影響的情況。
在進行蝕刻處理的期間，使蝕刻液L總是通過可移式容器1內，因此， 能夠將貯存槽11內的蝕刻液L中含有的銦離子的濃度或錫離子的濃度時 常維持在一定水平以下的狀態，能夠將蝕刻液L時常保持為與新品相同的狀態。
以上，對本發明的一例進行了說明，但本發明可採用的具體的方式並 不限定於這些。
在上例中，在洗提液通過後，使清洗液通過可移式容器l內，但省略 該處理也可。但是，在這種情況下，殘留於可移式容器l的內部的洗提液 可能導致貯存槽11內的蝕刻液L的成分變化。
另外，在上述步驟S3或步驟S13中輸送可移式容器1時，若適當抽 出可移式容器1內的蝕刻液L，則減輕可移式容器1的重量，能夠容易輸 送。
另外，所述吸附材料再生裝置40及金屬回收裝置70還可以構成為如 圖5所示的吸附材料再生裝置66及金屬回收裝置71，該吸附材料再生裝 置66及金屬回收裝置71具備在洗提液通過時，可移式容器1以能夠裝 卸的方式安裝的安裝部67;在洗提液通過時，可移式容器l以能夠裝卸的 方式安裝的安裝部68。
在這種情況下，洗提液供給機構43及洗提液回收機構48在可移式容 器1安裝於安裝部67時，洗提液供給管45的另一端側及洗提液回收管50 的另一端側分別與可移式容器1的供給部(未圖示)及排出部(未圖示) 連接。另外，洗提液供給機構53及清洗液回收機構58在可移式容器1安 裝於安裝部68時，清洗液供給管55的另一端側及清洗液回收管60的另 一端側分別與可移式容器1的供給部(未圖示)及排出部(未圖示)連接。 另外，可以省略洗提液供給闊47、洗提液回收閥51、清洗液供給閥57及 清洗液回收閥61。另外，安裝部67、洗提液通液機構42及控制裝置65 作為專利請求的範圍中所述的第二通液裝置發揮作用，安裝部68、清洗液 通液機構52及控制裝置65作為專利請求的範圍中所述的第三通液裝置發 揮作用。
還有，在上述步驟S4或步驟S14中，在將從處理區域輸送的可移式 容器1安裝於安裝部67後，使洗提液通過可移式容器1內，從安裝部67 卸下。另外，在上述步驟S6或步驟S16中，在安裝部68安裝使洗提液通 過的可移式容器1後，使洗提液通過可移式容器1內，從安裝部68卸下。
另外，在上例中，將控制裝置25構成為，以預先設定的時間間隔交替更換可移式容器l，同時，使貯存槽ll內的蝕刻液L通過可移式容器1 的任一方，但不限定於此，例如，基於在基板處理機構12中蝕刻的基板K 的片數或在貯存槽ll內的蝕刻液L中含有的銦離子或錫離子的濃度，切
換使蝕刻液L通過的可移式容器1也可。
在基於基板K的蝕刻片數進行切換控制的情況下，所述基板處理機構
12還具備例如配設於處理腔室13的外部或內部等適當位置，且檢測輸
入處理腔室13內的基板K或從處理腔室13輸出的基板K的傳感器(未 圖示)，所述控制裝置25基於從所述傳感器(未圖示)得到的輸出信號， 將輸入處理腔室13內的基板K的片數或從處理腔室13輸出的基板K的 片數即在基板處理機構12中計數蝕刻的基板K的片數，並且在計數的片 數達到預先設定的片數時，交替切換作為通液對象的可移式容器l，同時， 使貯存槽11內的蝕刻液L通過可移式容器1的任一方。還有，控制裝置 25在計數的片數達到預先設定的片數時，重置計數值，再次計數至預先設 定的片數。
若這樣設置，則在計數的片數達到預先設定的片數時，即蝕刻片數達 到規定片數，從而蝕刻片數達到規定片數而達到推斷為螯合材料(未圖示) 成為大致飽和狀態的片數時，切換各切換閥36、 37、 38、 39，切換蝕刻液 L通過的可移式容器1。
從而，即使這樣，也將可移式容器l的吸附能力維持為恆定，將蝕刻 液L中含有的銦離子或錫離子的濃度抑制為一定水平以下。
另一方面，在基於銦離子濃度或錫離子濃度進行切換控制的情況下， 所述基板處理裝置IO還具備檢測貯存槽11內的蝕刻液L中含有的銦離 子的濃度及/或錫離子的濃度的金屬離子濃度檢測傳感器(未圖示)，所述 控制裝置25在由金屬離子濃度檢測傳感器(未圖示)檢測出的銦離子濃 度及/或錫離子濃度比預先設定的基準值高時，交替切換作為通液對象的可 移式容器1，同時，使貯存槽11內的蝕刻液L通過可移式容器1的任一方。
若這樣設置，則在螯合材料(未圖示)達到大致包含狀態，導致銦離 子或錫離子的吸附能力降低，貯存槽11內的蝕刻液L中含有的銦離子或 錫離子的濃度上升，利用金屬離子濃度檢測傳感器(未圖示)檢測的銦離 子濃度及/或錫離子濃度大於規定的基準值時，切換各切換閥36、 37、 38、39，切換使蝕刻液L通過的可移式容器1。
從而，即使這樣，也將可移式容器l的吸附能力維持為恆定，將蝕刻 液L中含有的銦離子或錫離子的濃度抑制為一定水平以下。另外，在利用 經過時間或蝕刻片數進行可移式容器l的切換控制的情況下，根據基板處
理機構12中的蝕刻條件或作為蝕刻對象的基板K的種類等而溶解於蝕刻 液L的銦或錫的溶解量不同，因此，難以設定可移式容器1的螯合材料(未 圖示)達到大致飽和狀態為止的時間或蝕刻片數，但通過基於貯存槽11 內的蝕刻液L中含有的銦離子的濃度及/或錫離子的濃度進行可移式容器1 的切換控制，能夠高精度地實施該切換控制。
另外，使蝕刻液L通過的可移式容器1不是僅任一方通液，而是可以 在安裝於第一安裝部31的可移式容器1、和安裝於第二安裝部32的可移 式容器1兩者同時通液。
另外，在上例中，在基板處理機構12中蝕刻基板K的期間，使蝕刻 液L不斷通過可移式容器1，但不限定於此，例如，在開始蝕刻處理後的 經過時間達到規定時間時、或基板K的蝕刻片數成為規定片數時、貯存槽 11內的蝕刻液L中含有的銦離子或錫離子的濃度超過規定濃度時，使蝕刻 液L通過應吸附銦離子或錫離子的可移式容器1也可。另外，基板處理裝 置IO構成為能夠安裝三個以上可移式容器1的裝置也可。
另外，在上例中，可移式容器1以能夠裝卸的方式安裝於基板處理裝 置10，但不限定於此，將可移式容器l以能夠裝卸的方式安裝於包括所述 貯存槽11、蝕刻液通液機構30及控制裝置25等的蝕刻液處理裝置也可。 在該蝕刻液裝置中，使用於蝕刻處理的蝕刻液L從多個適當罐集聚於貯存 槽11內後，吸附該貯存槽ll內的蝕刻液L中的金屬成分。還有，金屬成 分吸附後的蝕刻液L返回所述各罐內。
權利要求
1. 一種處理液再生方法，其是再生由於基板處理而含有金屬成分的處理液的方法，其特徵在於，包括在進行所述基板處理的處理區域中，使所述處理液通過內部填充有吸附金屬離子的吸附材料的可移式容器內，將該處理液中的金屬成分吸附於所述吸附材料而進行分離、除去的處理液再生工序；將使所述處理液通過的可移式容器輸送至從所述處理區域隔離的區域即再生所述吸附材料的吸附材料再生區域的第一輸送工序；在所述吸附材料再生區域中，使洗提液通過從所述處理區域輸送的可移式容器內，洗提吸附於所述吸附材料的金屬，再生該吸附材料的吸附材料再生工序；將再生了所述吸附材料的可移式容器從所述吸附材料再生區域回送至所述處理區域的第二輸送工序，在所述處理液再生工序中，使用吸附材料再生後的可移式容器。
2. 根據權利要求1所述的處理液再生方法，其特徵在於， 在所述吸附材料再生工序中，使所述洗提液通過後，使清洗液通過所述可移式容器內而清洗其內部。
3. 根據權利要求1所述的處理液再生方法，其特徵在於， 在所述可移式容器形成用於向內部供給所述處理液及洗提液的供給部，和用於向外部排出從該供給部供給於內部的處理液及洗提液的排出 部，在所述處理液再生工序中，使用第一通液裝置，所述第一通液裝置具 備以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的供給部，供給所述處理液 的處理液供給管；和以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的排出部， 回收所述處理液的處理液回收管，並且，使所述處理液供給管與所述供給部連接，使所述處理液回收管 與所述排出部連接後，使所述處理液以從所述供給部向所述可移式容器的 內部流入而從所述排出部排出的方式通液，然後，從所述供給部卸下所述處理液供給管，從所述排出部卸下所述處理液回收管，在所述吸附材料再生工序中，使用第二通液裝置，所述第二通液裝置 具備以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的供給部，供給所述洗提 液的洗提液供給管；和以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的排出 部，回收所述洗提液的洗提液回收管，並且，使所述洗提液供給管與所述供給部連接，使所述洗提液回收管 與所述排出部連接後，使所述洗提液以從所述供給部向所述可移式容器的 內部流入而從所述排出部排出方式通液，然後，從所述供給部卸下所述洗 提液供給管，從所述排出部卸下所述洗提液回收管。
4.根據權利要求2所述的處理液再生方法，其特徵在於，在所述可移式容器形成用於向內部供給所述處理液、洗提液及清洗 液的供給部，和用於向外部排出從該供給部供給於內部的處理液、洗提液 及清洗液的排出部，在所述處理液再生工序中，使用第一通液裝置，所述第一通液裝置具 備以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的供給部，供給所述處理液 的處理液供給管；和以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的排出部， 回收所述處理液的處理液回收管，並且，使所述處理液供給管與所述供給部連接，使所述處理液回收管 與所述排出部連接後，使所述處理液以從所述供給部向所述可移式容器的 內部流入而從所述排出部排出的方式通液，然後，從所述供給部卸下所述 處理液供給管，從所述排出部卸下所述處理液回收管，在所述吸附材料再生工序中，使用第二通液裝置，所述第二通液裝置 具備以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的供給部，供給所述洗提 液及清洗液的供給管；和以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的排出部，回收所述洗提液及清洗液的回收管，並且，使所述供給管與所述供給部連接，使所述回收管與所述排出部 連接後，使所述洗提液以從所述供給部向所述可移式容器的內部流入而從 所述排出部排出的方式通液，接著，使所述清洗液以從所述供給部向所述 可移式容器的內部流入而從所述排出部排出的方式通液，然後，從所述供 給部卸下所述供給管，從所述排出部卸下所述回收管。
5. 根據權利要求2所述的處理液再生方法，其特徵在於， 在所述可移式容器形成用於向內部供給所述處理液、洗提液及清洗液的供給部，和用於向外部排出從該供給部供給於內部的處理液、洗提液 及清洗液的排出部，在所述處理液再生工序中，使用第一通液裝置，所述第一通液裝置具 備以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的供給部，供給所述處理液 的處理液供給管；和以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的排出部， 回收所述處理液的處理液回收管，並且，使所述處理液供給管與所述供給部連接，使所述處理液回收管 與所述排出部連接後，使所述處理液以從所述供給部向所述可移式容器的 內部流入而從所述排出部排出的方式通液，然後，從所述供給部卸下所述 處理液供給管，從所述排出部卸下所述處理液回收管，在所述吸附材料再生工序中，使用第二通液裝置，所述第二通液裝置 具備以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的供給部，供給所述洗提 液的洗提液供給管；和以能夠裝卸的方式連接於所述可移式容器的排出 部，回收所述洗提液的洗提液回收管，以及第三通液裝置，第三通液裝置具備以能夠裝卸的方式連接於所述可 移式容器的供給部，供給所述清洗液的清洗液供給管；和以能夠裝卸的方 式連接於所述可移式容器的排出部，回收所述清洗液的清洗液回收管，首先，使所述洗提液供給管與所述供給部連接，使所述洗提液回收管 與所述排出部連接，使所述洗提液以從所述供給部向所述可移式容器的內 部流入而從所述排出部排出的方式通液，然後，從所述供給部卸下所述洗 提液供給管，從所述排出部卸下所述洗提液回收管，接著，使所述清洗液 供給管與所述供給部連接，使所述清洗液回收管與所述排出部連接，使所 述清洗液以從所述供給部向內部流入而從所述排出部排出的方式通液後， 從所述供給部卸下所述清洗液供給管，從所述排出部卸下所述清洗液回收 管。
6. —種金屬的回收方法，其是回收由於基板處理而在處理液中含有 的金屬成分的方法，其特徵在於，使用內部填充有吸附金屬離子的吸附材料的可移式容器，在進行所述基板處理的處理區域中，使所述處理液通過所述可移式容 器內，將該處理液中的金屬成分吸附於所述吸附材料，接著，將所述可移式容器輸送至從所述處理區域隔離的回收所述金屬 成分的回收區域，接著，在所述回收區域中，進行使洗提液通過所述可移式容器內並洗 提吸附於所述吸附材料的金屬的處理、和從通過的洗提液回收洗提的金屬 的處理，然後，將所述可移式容器從所述回收區域回送至所述處理區域而再使用。
全文摘要
本發明提供能夠以低成本有效地除去基板處理用處理液中含有的金屬成分，再生該處理液的處理液再生方法等。包括在進行基板處理的處理區域中，使處理液通過內部填充有吸附金屬離子的吸附材料的可移式容器(1)內，將該處理液中的金屬成分吸附於吸附材料而分離、除去的處理液再生工序；將使處理液通過的可移式容器(1)輸送至從處理區域隔離的區域即再生吸附材料的吸附材料再生區域的第一輸送工序；在吸附材料再生區域中，使洗提液通過從處理區域輸送的可移式容器(1)內，洗提吸附於吸附材料的金屬，再生該吸附材料的吸附材料再生工序；將再生了吸附材料的可移式容器(1)從吸附材料再生區域回送至處理區域的第二輸送工序，在處理液再生工序中，使用吸附材料再生後的可移式容器(1)。
文檔編號C22B3/00GK101302581SQ20081009674
公開日2008年11月12日 申請日期2008年5月9日 優先權日2007年5月10日
發明者中田勝利, 柏井俊彥, 田中幸雄 申請人:住友精密工業株式會社