四軸位移調整裝置製造方法

2023-09-11 14:31:40

四軸位移調整裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種四軸位移調整裝置，主要包括：第一方向位移模塊、第二方向位移模塊、立向位移模塊以及旋轉位移模塊。其中，第二方向位移模塊設置於第一方向位移模塊的上方，可提供一水平面上二軸向的位移；再者，立向位移模塊設置於第二方向位移模塊的上方，可提供三維空間上第三軸的升降位移；此外，旋轉位移模塊設置於立向位移模塊的上方，可通過旋轉位移模塊進行水平旋轉角度的調整。據此，本實用新型除能提供三維立體空間內三軸向上的直線位移外，還能進行水平旋轉角度的調整。
【專利說明】四軸位移調整裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種四軸位移調整裝置，特別涉及一種適用於半導體測試領域中定位檢測裝置用的四軸位移調整裝置。
【背景技術】
[0002]在眾多的【技術領域】中均可見到位移調整裝置，例如工具機中工件或刀具的夾治具、或檢測設備中檢測裝置的微調機構，甚至日常生活常見用品也都有一維、二維或三維不等的調整機構。其中，位移調整裝置或機構常見用於定位，即其主要目的在於提供其所附著的標的物(如探針、待測物、工件、或刀具等)在某一方向或某些特定方向上的位移。
[0003]然而，常見的位移調整裝置多屬於二維或三維的調整，即提供平面的X軸、Y軸方向、或者三維空間的X軸、Y軸、Z軸上的位移調整，而很少有提供水平旋轉的第四軸向上的位移的調整裝置。
[0004]再者，公知的多軸向位移調整裝置也多半單靠螺杆、螺帽的內外螺紋刻度調整的方式，而此方式雖然簡單、可靠，但並無提供復位的相關機制，一旦螺帽脫離螺杆，將導致組件分離。此外，公知單靠螺杆、螺帽的內外螺紋刻度調整的方式，因加工精度的關係，內外螺紋間難免形成有餘隙，由此將影響定位精度。
實用新型內容
[0005]本實用新型的主要目的在於提供一種四軸位移調整裝置，除能提供三維立體空間中三軸向上的直線位移外，更具備進行水平旋轉角度的調整。
[0006]為實現上述目的，本實用新型的四軸位移調整裝置，主要包括:第一方向位移模塊、第二方向位移模塊、立向位移模塊以及旋轉位移模塊。其中，第一方向位移模塊包括底板、第一方向滑塊以及第一方向調整杆，第一方向滑塊可滑動地I禹合於底板，第一方向調整杆組裝於底板和第一方向滑塊之間，且第一方向調整杆用於調整第一方向滑塊在第一方向上的滑移；第二方向位移模塊包括第二方向滑塊以及第二方向調整杆，第二方向滑塊可滑動地I禹合於第一方向滑塊上，而第二方向調整杆組裝於第一方向滑塊和第二方向滑塊之間，且第二方向調整杆用於調整第二方向滑塊在第二方向上的滑移；立向位移模塊包括支撐座、立向滑塊以及立向調整杆，支撐座組裝於該第二方向滑塊上，而立向滑塊能直立滑動地耦合於支撐座上，且立向調整杆組裝於支撐座和立向滑塊之間，立向調整杆用於調整立向滑塊在直立方向上的滑移；旋轉位移模塊包括固定座、水平旋板以及旋轉調整杆，固定座組裝於立向滑塊上，水平旋板樞接於固定座上，而旋轉調整杆組裝於固定座和水平旋板之間，旋轉調整杆用於調整水平旋板在水平方向上的旋移。
[0007]據此，本實用新型通過第一方向位移模塊和第二方向位移模塊可提供一水平面上二軸向的位移，並通過立向位移模塊可提供三維空間上第三軸的升降位移，又通過旋轉位移模塊可提供水平的旋轉角度的調整。
[0008]較優選的是，本實用新型的第一方向位移模塊可包括第一導軌和第一導槽，第一方向位移模塊通過所述第一導軌和所述第一導槽的I禹合而能相對滑移；第二方向位移模塊可包括第二導軌和第二導槽，第二方向位移模塊通過所述第二導軌和所述第二導槽的耦合而能相對滑移；以及立向位移模塊可包括第三導軌和第三導槽，而立向位移模塊通過所述第三導軌和所述第三導槽的耦合而可相對滑移。換言之，本實用新型的第一方向位移模塊、第二方向位移模塊、以及立向位移模塊可通過導軌嵌合於導槽的方式，引導三軸向的位移。此外，上述這些導軌可分別設於底板的上表面上、第一方向滑塊的上表面上以及支撐座的一側面上，而導槽可分別設於第一方向滑塊的下表面上、支撐座的下表面上以及立向滑塊的一側面上。
[0009]再者，本實用新型的四軸位移調整裝置的底板可凸伸有第一螺合塊，而第一方向滑塊可凸伸有第一擋止塊，第一方向調整杆以平行於底板的第一導軌的方式螺合於第一螺合塊並推抵第一擋止塊。同樣地，第一方向滑塊可凸伸有第二螺合塊，第二方向滑塊可凸伸有第二擋止塊，而第二方向調整杆可以平行於第一方向滑塊的第二導軌的方式螺合於第二螺合塊並推抵第二擋止塊。又，立向滑塊可凸伸有第三螺合塊，支撐座可凸伸有第三擋止塊，而立向調整杆可以平行於立向滑塊的第三導槽的方式螺合於第三螺合塊並推抵第三擋止塊。此外，本實用新型的固定座可凸伸有第四螺合塊，而水平旋板上相對於樞接處的一側可凸伸有第四擋止塊，且旋轉調整杆可螺合於第四螺合塊並推抵第四擋止塊。據此，本實用新型的位移調整可通過各自調整杆推抵擋止塊的方式進行。
[0010]另外，本實用新型的第一方向位移模塊包括至少一個第一彈簧，其組裝於該底板和該第一方向滑塊之間；第二方向位移模塊包括至少一個第二彈簧，其組裝於該第一方向滑塊和該第二方向滑塊之間；立向位移模塊包括至少一個第三彈簧，其組裝於該支撐座和該立向滑塊之間；旋轉位移模塊包括第四彈簧，其組裝於固定座和水平旋板之間。據此，本實用新型可以通過彈簧的彈力作用，促使各方向上的位移復位，且可緊固地固定底板、各滑塊、支撐座以及水平旋板，使其不會因為晃動而偏移或移位，更可避免各組件彼此脫離。此夕卜，本實用新型的第一方向與第二方向水平正交。
[0011]再者，本實用新型的第一彈簧和第二彈簧可分別設置於第一導槽和第二導槽內。其中，第一彈簧的一端可固定於底板的上表面，而另一端可固定於第一方向滑塊的下表面；又，第二彈簧的一端可固定於第一方向滑塊的上表面，另一端可固定於第二方向滑塊的下表面。此外，本實用新型的第三彈簧的兩端可分別設置於支撐座的一側壁和立向滑塊的一下表面上；又，第四彈簧的兩端可分別設置於固定座的一側壁和水平旋板的一下表面上。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型一優選實施例的立體組合圖。
[0013]圖2為本實用新型一優選實施例的第一方向位移模塊和第二方向位移模塊的分解圖。
[0014]圖3為本實用新型一優選實施例的立向位移模塊的分解圖。
[0015]圖4為本實用新型一優選實施例的旋轉位移模塊的分解圖。
【具體實施方式】
[0016]本實用新型的四軸位移調整裝置在本實施例中被詳細描述之前，要特別注意的是，在以下的說明中，類似的組件將以相同的組件符號來表示。
[0017]請參考圖1，圖1為本實用新型的四軸位移調整裝置一優選實施例的立體組合圖。如圖中所示，本實施例的四軸位移調整裝置主要包括第一方向位移模塊11、第二方向位移模塊12、立向位移模塊13以及旋轉位移模塊14,並通過第一方向位移模塊11和第二方向位移模塊12提供一水平面上二軸向的位移，通過立向位移模塊13可提供三維空間上第三軸的升降位移，又通過旋轉位移模塊14可提供水平的旋轉角度調整。
[0018]請再一併參考圖1?圖2,圖2為本實用新型一優選實施例的第一方向位移模塊11和第二方向位移模塊12的分解圖。如圖2所不，第一方向位移模塊11包括底板2、第一方向滑塊3以及第一方向調整杆21,而底板2的上表面上設置有第一導軌22,第一方向滑塊3的下表面上設置有第一導槽31，並通過第一導軌22和第一導槽31的耦合，而使第一方向滑塊3可相對底板2在第一方向上滑移。在本實施例中,第一方向即X軸向。另外，兩個第一彈簧SI設置於第一導槽31內且分設於第一導軌22的兩側，每個第一彈簧SI的一端固定於底板2的上表面,另一端固定於第一方向滑塊3的下表面上。
[0019]另外，底板2的一側面凸伸有第一螺合塊20，第一方向滑塊3的一側面凸伸有第一擋止塊23,而第一方向調整杆21以平行於底板2的第一導軌22的方式螺合於第一螺合塊20並推抵第一擋止塊23。由此，當轉動第一方向調整杆21時，即可促使第一方向滑塊3相對底板2在X軸向上滑移，且第一彈簧SI可促使X軸向上的位移復位，並可緊固地固定第一方向滑塊3與底板2,使之不會因為晃動而偏移或甚至移位。
[0020]再如圖2所示，第二方向位移模塊12包括第二方向滑塊4、及第二方向調整杆34，而第一方向滑塊3的上表面上設置有第二導軌32，第二方向滑塊4的下表面上設置有第二導槽41，並通過第二導軌32和第二導槽41的耦合，而使第二方向滑塊4可相對第一方向滑塊3在第二方向上滑移。在本實施例中，第二方向即Y軸向。另外，兩個第二彈簧S2設置於第二導槽41內且分設於第二導軌32的兩側，每個第二彈簧S2的一端固定於第一方向滑塊3的上表面，另一端固定於第二方向滑塊4的下表面上。
[0021]再者，第一方向滑塊3的另一側面凸伸有第二螺合塊30，第二方向滑塊4的一側面凸伸有第二擋止塊33,而第二方向調整杆34以平行於第一方向滑塊3的第二導軌32的方式螺合於第二螺合塊30並推抵第二擋止塊33。據此，當轉動第二方向調整杆34時，即可促使第二方向滑塊4相對第一方向滑塊3在Y軸向上滑移，且第二彈簧S2可促使Y軸向上的位移復位，且可緊固地固定第一方向滑塊3和第二方向滑塊4，使之不會因為晃動而偏移或甚至移位。
[0022]請參考圖3，圖3為本實用新型一優選實施例的立向位移模塊的分解圖。如圖所示，立向位移模塊13包括支撐座40、立向滑塊5以及立向調整杆51，而支撐座40的一側面上設置有第三導軌42，立向滑塊5的相對側面上設置有第三導槽52，並通過第三導軌42與第三導槽52的耦合，而使立向滑塊5可相對支撐座40在立向上滑移。在本實施例中，立向即Z軸向。另外，兩個第三彈簧S3設置於支撐座40和立向滑塊5之間，每個第三彈簧S3的一端固定於支撐座40的一立向側面上,另一端固定於滑塊5的下表面上。
[0023]再者，立向滑塊5的一立向側面上凸伸有第三螺合塊50，支撐座40在相對應的立向側面也凸伸有第三擋止塊43，而立向調整杆51以平行於立向滑塊5的第三導槽52的方式螺合於第三螺合塊50並推抵第三擋止塊43。由此，當轉動立向調整杆51時，即可促使立向滑塊5相對支撐座40在Z軸向上滑移，且第三彈簧S3可促使Z軸向上的位移復位，且可緊固地固定支撐座40和立向滑塊5，使之不會因為晃動而偏移或甚至移位。
[0024]請參考圖4，圖4為本實用新型一較佳實施例的旋轉位移模塊的分解圖。如圖所示，旋轉位移模塊14包括固定座6、水平旋板7以及旋轉調整杆61，固定座6組裝於立向滑塊5上，而水平旋板7樞接於固定座6上。其中，在本實施例中，水平旋板7的下表面的一角凸設有樞接軸72，固定座6的上表面上凹設有一軸孔62，而水平旋板7的樞接軸72插設於固定座6的軸孔62，由此使水平旋板7可水平旋轉。另外，第四彈簧S4設置於固定座6與水平旋板7之間，第四彈簧S4的兩端分別設置於固定座6的一側壁與水平旋板7的一下表面上。
[0025]此外，固定座6的一側壁上凸伸有第四螺合塊60，而水平旋板7的下表面上且相對於樞接處的一側凸伸有第四擋止塊71，旋轉調整杆61螺合於第四螺合塊60並推抵第四擋止塊71。據此，當轉動旋轉調整杆61時，即可促使水平旋板7相對固定座6沿水平旋移，且第四彈簧S4可促使水平旋移的復位，且可使固定座6與水平旋板7緊固，使之不會因為晃動而偏移或甚至移位。
[0026]上述實施例僅為了方便說明而舉例而已，本實用新型所主張的保護範圍自應以權利要求所述為準，而非僅限於上述實施例。
[0027]符號說明 [0028]11第一方向位移模塊
[0029]12第二方向位移模塊
[0030]13立向位移模塊
[0031]14旋轉位移模塊
[0032]2底板
[0033]20第一螺合塊
[0034]21第一方向調整杆
[0035]22第一導軌
[0036]23第一擋止塊
[0037]3第一方向滑塊
[0038]30第二螺合塊
[0039]31第一導槽
[0040]32第二導軌
[0041]33第二擋止塊
[0042]34第二方向調整杆
[0043]4第二方向滑塊
[0044]40支撐座
[0045]41第二導槽
[0046]42第三導軌
[0047]43第三擋止塊
[0048]5立向滑塊
[0049]50第三螺合塊[0050]51立向調整杆[0051]52第三導槽
[0052]6固定座
[0053]60第四螺合塊
[0054]61旋轉調整杆
[0055]62軸孔
[0056]7水平旋板
[0057]71第四擋止塊
[0058]72樞接軸
[0059]SI第一彈簧
[0060]S2第二彈簧
[0061]S3第三彈簧
[0062]S4第四彈簧
【權利要求】
1.一種四軸位移調整裝置，包括: 第一方向位移模塊，其包括底板、第一方向滑塊以及第一方向調整杆，該第一方向滑塊為可滑動地耦合於該底板，該第一方向調整杆組裝於該底板和該第一方向滑塊之間，該第一方向調整杆用於調整該第一方向滑塊在第一方向上的滑移； 第二方向位移模塊，其包括第二方向滑塊以及第二方向調整杆，該第二方向滑塊可滑動地I禹合於該第一方向滑塊上，該第二方向調整杆組裝於該第一方向滑塊和該第二方向滑塊之間，該第二方向調整杆用於調整該第二方向滑塊在第二方向上的滑移； 立向位移模塊，其包括支撐座、立向滑塊以及立向調整杆，該支撐座組裝於該第二方向滑塊上，該立向滑塊能直立滑動地耦合於該支撐座上，該立向調整杆組裝於該支撐座和該立向滑塊之間，該立向調整杆用於調整該立向滑塊在直立方向上的滑移；以及 旋轉位移模塊，其包括固定座、水平旋板以及旋轉調整杆，該固定座組裝於該立向滑塊上，該水平旋板樞接於該固定座上，該旋轉調整杆組裝於該固定座和該水平旋板之間，該旋轉調整杆用於調整該水平旋板在水平方向上的旋移。
2.如權利要求1所述的四軸位移調整裝置，其中，該第一方向位移模塊包括第一導軌和第一導槽，該第一方向位移模塊通過所述第一導軌和所述第一導槽的耦合而能相對滑移；該第二方向位移模塊包括第二導軌和第二導槽，該第二方向位移模塊通過所述第二導軌和所述第二導槽的耦合而能相對滑移；該立向位移模塊包括第三導軌和第三導槽，該立向位移模塊通過所述第三導軌和所述第三導槽的耦合而能相對滑移。
3.如權利要 求2所述的四軸位移調整裝置，其中，所述第一導軌、所述第二導軌、所述第三導軌分別設於該底板的上表面上、該第一方向滑塊的上表面上以及該支撐座的一側面上，所述第一導槽、所述第二導槽、所述第三導槽分別設於該第一方向滑塊的下表面上、該支撐座的下表面上以及該立向滑塊的一側面上。
4.如權利要求3所述的四軸位移調整裝置，其中，該底板凸伸有第一螺合塊，該第一方向滑塊凸伸有第一擋止塊，該第一方向調整杆以平行於該底板的該第一導軌的方式螺合於該第一螺合塊並推抵該第一擋止塊。
5.如權利要求3所述的四軸位移調整裝置，其中，該第一方向滑塊凸伸有第二螺合塊，該第二方向滑塊凸伸有第二擋止塊，該第二方向調整杆以平行於該第一方向滑塊的該第二導軌的方式螺合於該第二螺合塊並推抵該第二擋止塊。
6.如權利要求3所述的四軸位移調整裝置，其中，該立向滑塊凸伸有第三螺合塊，該支撐座凸伸有第三擋止塊，該立向調整杆以平行於該立向滑塊的該第三導槽的方式螺合於該第三螺合塊並推抵該第三擋止塊。
7.如權利要求1所述的四軸位移調整裝置，其中，該第一方向與該第二方向水平正交。
8.如權利要求3所述的四軸位移調整裝置，其中，該第一方向位移模塊包括至少一個第一彈簧，其組裝於該底板和該第一方向滑塊之間；該第二方向位移模塊包括至少一個第二彈簧，其組裝於該第一方向滑塊和該第二方向滑塊之間；該立向位移模塊包括至少一個第三彈簧，其組裝於該支撐座和該立向滑塊之間；該旋轉位移模塊包括一個第四彈簧，其組裝於該固定座和該水平旋板之間。
9.如權利要求8所述的四軸位移調整裝置，其中，該至少一個第一彈簧以及該至少一個第二彈簧分別設置於該第一導槽和該第二導槽內；該至少一個第一彈簧的一端固定於該底板的上表面，另一端固定於該第一方向滑塊的下表面；該至少一個第二彈簧的彈簧的一端固定於該第一方向滑塊的上表面，另一端固定於該第二方向滑塊的下表面。
10.如權利要求8所述的四軸位移調整裝置，其中，該至少一個第三彈簧的兩端分別設置於該支撐座的一側壁和該立向滑塊的一下表面上。
11.如權利要求8所述的四軸位移調整裝置，其中，該第四彈簧的兩端分別設置於該固定座的一側壁和該水平旋板的一下表面上。
12.如權利要求1所述的四軸位移調整裝置，其中，該固定座凸伸有第四螺合塊，該水平旋板上相對於樞接處 的一側凸伸有第四擋止塊，該旋轉調整杆螺合於該第四螺合塊並推抵該第四擋止塊。
【文檔編號】G05D3/00GK203705953SQ201320794261
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2013年12月4日 優先權日:2013年11月5日
【發明者】黃瑞楠 申請人:致茂電子股份有限公司