一種掩膜版倒邊磨邊機的掩膜版支撐平臺裝置的製作方法
2023-10-08 17:07:59 2
專利名稱：一種掩膜版倒邊磨邊機的掩膜版支撐平臺裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種為在對掩膜版進行倒邊和磨邊加工過程中支撐掩模版，並在
加工前對其進行調整定位的掩膜版支撐平臺裝置。
背景技術：
掩膜版是廣泛應用在電子行業的重要加工工具之一，掩膜版的倒邊和磨邊是掩膜版加工製造過程中的重要加工環節，其加工質量好壞，直接影響到掩膜版的質量。目前，掩膜版的倒邊和磨邊工序都是靠人工手動完成，這種加工方式不僅勞動強度大、生產效率低，更重要的是倒邊和磨邊的質量難以保證，並且加工精度都比較低，很難將經手動倒邊和磨邊的掩膜版應用到高端產品中，特別是大尺寸掩膜版的倒邊和磨邊，其加工質量就更難保證。
實用新型內容本實用新型的一個目的是針對現有的對掩膜版進行倒邊和磨邊加工的現狀，提供一種在對掩膜版進行倒邊和磨邊加工過程中支撐掩模版，並在加工前對其進行調整定位的掩膜版支撐平臺裝置。 為實現上述目的，本實用新型採用如下技術方案一種掩膜版倒邊磨邊機的掩膜版支撐平臺裝置，包括掩膜版支撐板，和對放置在所述掩膜版支撐板上的掩膜版進行調整定位的定位調整組件；所述定位調整組件包括一定位調整擋邊，所述定位調整擋邊的左端安裝有左定位塊，定位調整擋邊上設置有可在其上滑動的右定位塊，所述右定位塊通過一鎖緊手柄進行鎖緊定位。 優選地，還包括一蓋在所述掩膜版支撐板上的防靜電膠皮墊；所述掩膜版支撐板
的正面開有若干組非穿透性的溝槽，每組溝槽以所述掩膜版支撐板的一個端點為基準，將
其劃分為佔據不同面積的方形支撐區域，以適應不同規格的掩膜版；所述掩膜版支撐板的
背面開有若干組與所述若干組溝槽一一對應的沉槽，每組沉槽中的每個沉槽的中心線均與
位於其上方的一組溝槽相對應，每個沉槽內設置有與位於其上方的一組溝槽相通的真空通
氣孔，每個沉槽中均安裝有一真空氣路塊；每個真空氣路塊均通過一真空氣接頭與一真空
室連通；所述防靜電膠皮墊通過真空氣路塊的作用吸附在所述掩膜版支撐板上。 優選地，所述定位調整擋邊的兩端分別固定安裝有滾輪安裝架，兩端的滾輪安裝
架上均安裝有使定位調整組件在掩膜版支撐板上前後滑動的支撐滾，所述滾輪安裝架上還
安裝有在掩膜版支撐板上滾動的側滾；所述定位調整擋邊的兩側設置有用於定位的鎖緊螺釘。 優選地，還包括大理石支撐架，其上固定安裝有大理石，所述掩膜版支撐板安裝在大理石上；在所述掩膜版支撐板的兩側設置有容置所述支撐滾的直角槽，支撐滾支撐在所述大理石上，所述直角槽的外邊緣為支撐所述側滾的側滾支撐面。[0008] 優選地，所述大理石的厚度大於等於10cm。[0009] 優選地，所述掩膜版支撐板的正面開有四組非穿透性的溝槽；所述掩膜版支撐板 的背面開有四組與所述四組溝槽一一對應的沉槽，每組沉槽包括彼此垂直設置的兩個沉 槽。 本實用新型的有益之處是通過設置定位調整組件，可以調整掩膜版的位置，並在 位置調整後，對掩膜版進行定位，以保證在對掩膜版進行倒邊和磨邊加工過程中，掩膜版不 會發生偏移，即可以保證加工質量。通過在掩膜版支撐板的上面開有若干組非穿透性溝槽， 在掩膜版支承板的背面開有若干組沉槽，可以使一防靜電膠皮墊吸附在掩膜版支撐板上， 可以避免在調整掩膜版的過程中損壞掩膜版，另外，還可以針對不同規格的掩膜版，開啟相 對應的真空氣路塊，避免浪費能源。大理石選擇10cm厚，約佔整個支承平臺厚度的三分之 二，可以保證置於其上方的掩膜版不會有任何變形。
圖1為本實用新型所述掩膜版支撐平臺裝置的透視圖； 圖2為圖1所示掩膜版支撐平臺裝置的爆炸圖； 圖3為圖1所示掩膜版支撐板的正面結構示意圖； 圖4為圖1所示掩膜版支撐板的背面結構示意圖； 圖5為圖1所示定位調整組件的結構示意圖。
具體實施方式—種掩膜版倒邊磨邊機，包括支撐掩膜版，並對其進行調整定位的掩模版支撐平 臺裝置。 如圖1至5所示，所述掩膜版支撐平臺裝置1包括大理石支撐架11，其上固定安裝 有大理石12。所述掩膜版支撐板16，優選為鋁合金材質，其正面開有若干組非穿透性的溝 槽161，每組溝槽161以掩膜版支撐板16的一個端點為基準，將其劃分為佔據不同面積的方 形支撐區域，以適應不同規格的掩膜版，本實施例中設置有四組溝槽161。 所述掩膜版支撐板16的背面開有若干組與所述若干組溝槽161 —一對應的沉槽， 每組沉槽可以包括兩個彼此垂直設置的沉槽18，其中，每個沉槽18的中心線與位於其上方 的一組溝槽161相對應，每個沉槽18內設置有與位於其上方的一組溝槽161相通的真空通 氣孔(圖中未示出)，其中，真空通氣孔優選為沿著沉槽18的中心線設置。所述沉槽18，在 其兩側邊上設置有連接螺孔19，每個沉槽18中均安裝有一個真空氣路塊14，所述真空氣路 塊14優選在其四周墊上密封片後通過螺栓與所述連接螺孔19的配合將各個真空氣路塊14 固定在與各自相對應的沉槽18中。與真空室連通的每個真空氣接頭17可以從掩膜版支撐 板16的側邊旋入與各自相對應的真空氣路塊14，使其與真空氣路塊14連通。只有當各個 沉槽18均安裝好真空氣路塊14後，掩膜版支撐板16才能固定安裝在大理石12上。 所述掩膜版支撐板16上可以蓋有一張防靜電膠皮墊13，以防止對掩膜版調整找 正時損傷掩膜版。所述大理石12的厚度優選為大於等於10cm，約佔整個掩膜版支撐平臺裝 置1的厚度的2/3，以保證置於其上方的掩膜版不會有任何變形。所述掩膜版支撐平臺裝 置1工作時，電控系統控制真空氣路接通，由於各個真空氣路塊14通過真空通氣孔與各組 溝槽161連通，因此可以將膠皮墊13緊緊地吸附在掩膜版支撐板16上。[0020] 待加工的掩膜版由人工放置在所述膠皮墊13上，通過定位調整組件15調整掩膜版在掩膜版支撐板16上的位置，並在調整好後進行定位，所述定位調整組件15包括定位調整擋邊155，其兩端分別固定安裝有滾輪安裝架，兩端的滾輪安裝架上均安裝有使定位調整組件15在掩膜版支撐板16上前後滑動的支撐滾156，支撐滾156在大理石12的支撐滾支撐面121上滾動，所述滾輪安裝架上還安裝有在掩膜版支撐板16的側滾支撐面162上滾動的側滾153，所述掩膜版支撐板16，在兩側設置有容置支撐滾156的直角槽，直角槽的外邊緣即為所述的側滾支撐面162 ;所述定位調整擋邊155的兩側設置有用於定位的鎖緊螺釘154 ;在定位調整擋邊155的左端安裝有左定位塊151，定位調整擋邊155上設置有可在其上滑動的右定位塊152，右定位塊152可以通過在機械領域內慣常使用的鎖緊手柄158進行鎖緊定位。因此，可以通過定位調整組件15的定位調整擋邊155、左定位塊151和右定位塊152，推動掩膜版找正定位，並藉助於鎖緊螺釘154和鎖緊手柄158對掩膜版進行定位，以在下一步對其進行倒邊和磨邊加工。 綜上所述僅為本實用新型較佳的實施例，並非用來限定本實用新型的實施範圍。即凡依本實用新型申請專利範圍的內容所作的等效變化及修飾，皆應屬於本實用新型的技術範疇。
權利要求一種掩膜版倒邊磨邊機的掩膜版支撐平臺裝置，其特徵在於包括掩膜版支撐板，和對放置在所述掩膜版支撐板上的掩膜版進行調整定位的定位調整組件；所述定位調整組件包括一定位調整擋邊，所述定位調整擋邊的左端安裝有左定位塊，定位調整擋邊上設置有可在其上滑動的右定位塊，所述右定位塊通過一鎖緊手柄進行鎖緊定位。
2. 根據權利要求1所述的一種掩膜版倒邊磨邊機的掩膜版支撐平臺裝置，其特徵在 於還包括一蓋在所述掩膜版支撐板上的防靜電膠皮墊；所述掩膜版支撐板的正面開有若 幹組非穿透性的溝槽，每組溝槽以所述掩膜版支撐板的一個端點為基準，將其劃分為佔據 不同面積的方形支撐區域，以適應不同規格的掩膜版；所述掩膜版支撐板的背面開有若干 組與所述若干組溝槽一一對應的沉槽，每組沉槽中的每個沉槽的中心線均與位於其上方的 一組溝槽相對應，每個沉槽內設置有與位於其上方的一組溝槽相通的真空通氣孔，每個沉 槽中均安裝有一真空氣路塊；每個真空氣路塊均通過一真空氣接頭與一真空室連通；所述 防靜電膠皮墊通過真空氣路塊的作用吸附在所述掩膜版支撐板上。
3. 根據權利要求1或2所述的一種掩膜版倒邊磨邊機的掩膜版支撐平臺裝置，其特徵 在於所述定位調整擋邊的兩端分別固定安裝有滾輪安裝架，兩端的滾輪安裝架上均安裝 有使定位調整組件在掩膜版支撐板上前後滑動的支撐滾，所述滾輪安裝架上還安裝有在掩 膜版支撐板上滾動的側滾；所述定位調整擋邊的兩側設置有用於定位的鎖緊螺釘。
4. 根據權利要求3所述的一種掩膜版倒邊磨邊機的掩膜版支撐平臺裝置，其特徵在 於還包括大理石支撐架，其上固定安裝有大理石，所述掩膜版支撐板安裝在大理石上；在 所述掩膜版支撐板的兩側設置有容置所述支撐滾的直角槽，支撐滾支撐在所述大理石上， 所述直角槽的外邊緣為支撐所述側滾的側滾支撐面。
5. 根據權利要求4所述的一種掩膜版倒邊磨邊機的掩膜版支撐平臺裝置，其特徵在 於所述大理石的厚度大於等於10cm。
6. 根據權利要求2所述的一種掩膜版倒邊磨邊機的掩膜版支撐平臺裝置，其特徵在 於所述掩膜版支撐板的正面開有四組非穿透性的溝槽；所述掩膜版支撐板的背面開有四 組與所述四組溝槽一一對應的沉槽，每組沉槽包括彼此垂直設置的兩個沉槽。
專利摘要本實用新型公開了一種掩膜版倒邊磨邊機的掩膜版支撐平臺裝置，屬於對掩膜版進行倒邊和磨邊加工的領域；包括掩膜版支撐板，和對放置在所述掩膜版支撐板上的掩膜版進行調整定位的定位調整組件；所述定位調整組件包括一定位調整擋邊，所述定位調整擋邊的左端安裝有左定位塊，定位調整擋邊上設置有可在其上滑動的右定位塊，所述右定位塊通過一鎖緊手柄進行鎖緊定位；本實用新型所述掩膜版支撐平臺裝置可在倒邊裝置和磨邊裝置對掩膜版進行倒邊和磨邊加工過程中支撐掩模版，並在加工前對其進行調整定位。
文檔編號B24B9/02GK201439178SQ20092016683
公開日2010年4月21日 申請日期2009年7月20日 優先權日2009年7月20日
發明者周冠彬, 唐召來, 張松嶺, 林宜龍, 林建昌, 田亮 申請人:格蘭達技術(深圳)有限公司