缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置的製作方法

2023-10-28 23:05:52

專利名稱：缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及 一 種防止在對檢查對象物進行檢查時的過度的 檢查從而提高檢查效率的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置。
背景技術：
通常，在對檢查對象物進行自動檢查的自動檢查裝置中， 因在檢查中發生的接觸不良或灰塵的附著等而造成的缺陷未被 與檢查對象物的普通的缺陷區分開，而被直接判斷為缺陷。為 了消除這種情況，在不清楚所檢測出的缺陷是因接觸不良等而 造成的缺陷還是檢查對象物的普通的缺陷的情況下，反覆進行 檢查。有專利文獻l作為這種例子。
在該專利文獻l的平板畫質檢查裝置中，當檢測到線缺陷
時，啟動接觸重試(contact retry)裝置，例如反覆檢查三次。反 復檢查後，如果線缺陷沒有減少，則判斷為次品。 專利文獻l:日本特開2000-146756號/>才艮

發明內容
發明要解決的問題
但是，上述以往的檢查裝置作為次品檢測單元是一種有效 的裝置，但是，在連續檢查多個檢查對象物時，檢查效率較差。 即、存在如下問題如果對一個檢查對象物反覆檢查三次，則 對於 一 個檢查對象物進行了過度的檢查，從而導致檢查時間變 長，檢查效率變差。
本發明的目的在於提供一種抑制檢查對象物的過度的檢查 從而提高檢查效率的缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置。用於解決問題的方案
本發明所涉及的缺陷檢查方法是為了解決上述問題而完成 的，是一種檢查檢查對象物是否存在缺陷並且連續檢查多個檢 查對象物的缺陷檢查方法，其特徵在於，在被連續檢查的多個 檢查對象物中的同 一位置或者其附近位置上檢測出多個相同的 缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷 而進行排除。
本發明所涉及的缺陷檢查裝置的特徵在於，具備輸送單 元，其連續輸送上述4企查對象物；；險查部，其連續;險查由該輸 送單元輸送的上述檢查對象物；圖像處理部，其對由該檢查部 進行了連續檢查的檢查對象物的圖像進行處理從而檢測缺陷； 以及控制部，其在由該圖像處理部在^皮連續4全查的多個4全查對 象物中的同 一位置或者其附近位置上檢測出多個相同的缺陷的 情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷而進行 排除。
發明的效果
如上所述，根據本發明，在被進行了連續檢查的多個檢查 對象物中的相同或者近似位置上檢測出多個相同的缺陷的情況 下，將該缺陷判斷為不是因檢查對象物而引起的缺陷而進行排 除，因此，能夠抑制檢查對象物的過度的檢查，從而能夠提高 檢查效率。


圖l是表示本發明的實施方式所涉及的 制部中的處理功能的流程圖。
圖2是表示本發明的實施方式所涉及的 體圖。
點亮檢查裝置的控 點亮檢查裝置的立圖3是表示本發明的實施方式所涉及的點亮檢查裝置的檢
查單元的結構圖。
測出線缺陷的例子的示意圖。
圖5是表示用本發明的實施方式所涉及的點亮檢查裝置檢 測出因灰塵附著而造成的缺陷的例子的示意圖。 附圖標記j兌明
1:點亮檢查裝置；2:輸送單元；3:檢查單元；6:輸送 裝置；7:輥式輸送機(roller conveyer); 11:才聶像裝置；12:圖 像處理裝置；13:圖像顯示裝置；14:液晶面板；15:透鏡系 統；16:攝像元件；17:面板控制部；18:控制單元；19:暗 室；22: LCD面板用電源；23: LCD面板驅動信號發生器；24: 鍵盤；25:滑鼠；27:缺陷圖像用監視器；28:操作用監視器。
具體實施例方式
下面，參照附圖對本發明的實施方式所涉及的缺陷檢查方 法以及缺陷檢查裝置進行說明。在此，作為檢查對象物以液晶 面板為例進行說明。另外，作為用於實施缺陷才全查方法的缺陷 檢查裝置以點亮檢查裝置為例進行說明。
如圖2以及圖3所示，點亮檢查裝置l是一種如下的裝置通 過使未圖示的糹笨針(觸頭)與液晶面^反的各電招j妄觸來施加;險查 信號，並且點亮背景燈，從而檢查是否存在缺陷，並且連續檢 查多個液晶面4反。
點亮檢查裝置1主要具備輸送單元2和檢查單元3。
輸送單元2是用於連續輸送液晶面板的單元。該輸送單元2 構成為具備輸送裝置6和輸送用機器人(未圖示)。
輸送裝置6構成為具備輥式輸送機7。輥式輸送機7在其兩側分別連接有上流側傳送帶(未圖示)以及下流側傳送帶(未圖示)，
連續輸送多個液晶面板。由檢查單元3對通過該輸送裝置6從上 流側輸送過來的液晶面々反進行;險查，4企查結束後的液晶面拓j皮 輸送到下流側。
輸送用機器人(未圖示)是如下的裝置將被輥式輸送機7運 送過來的液晶面板搬入到檢查單元3中，並將檢查結束後的液晶 面板從檢查單元3送回到輥式輸送機7。能夠使用現有的裝置作 為該輸送用機器人。
檢查單元3是如下的裝置使探針與被搬入的液晶面板的各 電極接觸，點亮該液晶面板(或者從背後用背景燈進行照明)， 施加檢查信號來檢查是否存在缺陷。
如圖3所示，檢查單元3主要由攝像裝置11、圖像處理裝置 12以及圖像顯示裝置13構成。
攝像裝置ll是對顯示在作為檢查對象的液晶面板14上的圖 像進行攝影的攝像單元。該攝像裝置11由透鏡系統15、攝像元 件16、聚焦單元(未圖示)、面板控制部17以及控制單元18構成。 此外，液晶面板14、透鏡系統15以及攝像元件16被容納在暗室 19內，從而遮蔽外部光。另外，在暗室19內還i殳有支撐液晶面 板14並進行位置對準等的檢查臺、探針單元(都未圖示)等。
透鏡系統15是位於暗室19內的上述液晶面板14與攝像元件 16之間而用於調整焦點的光學裝置。透鏡系統15由一個透鏡構 成或者組合多個透鏡、濾光片等而構成。攝像元件16是用於從 上方拍攝液晶面板14的元件。具體地說，攝像元件16由使用了 CCD元件的照相才幾構成。
聚焦單元是使上述透鏡系統15和攝像元件16成一體地移動 而對上述液晶面板14的圖像進行聚焦的裝置。
面板控制部17由LCD面板用電源22、 LCD面板驅動信號發生器23構成。由LCD面;tl用電源22向液晶面才反14才是供電源，通 過由LCD面板驅動信號發生器23產生的驅動信號來驅動液晶面 板14。由此，液晶面板14發光，從而適當顯示4企查用的圖<象。
控制單元18是用於控制點亮檢查裝置1整體的裝置。具體地 說，控制單元18由具備控制功能的計算才幾構成。在本實施方式 中，由一臺計算機具有圖像處理裝置12和控制單元18的兩種功 能。此外，也可以由一臺計算機構成4空制單元18而由另 一臺計 算機構成圖像處理裝置12。另外，也可以是其它結構。
控制單元18具備聚焦處理功能、近攝處理功能以及圖1所示 的處理功能。
聚焦處理功能是如下的處理功能在從由上述攝像裝置ll 拍攝的圖像中檢查上述液晶面板14的缺陷時，通過控制上述攝 像裝置ll的上述聚焦單元來對上述液晶面板14進行聚焦。聚焦 單元使上述透鏡系統15移動，在對於普通間距的液晶面板的圖 像的普通攝影狀態或者對於窄像素間距的小型液晶面板的圖像 的微距攝影(macro photography)(近攝)狀態下進行聚焦之後，不 移動透鏡系統15，而將透鏡系統15與液晶面4反14之間的距離保 持為固定。
控制單元18控制攝影裝置11來取入圖像，將該圖像信息存 儲到後述的存儲單元中，並根據後述的圖l的處理功能適當地讀 出圖像信息並進行處理。
圖像處理裝置12是用於對由攝像裝置ll拍攝的圖像進行處 理而顯示在圖像顯示裝置13上的裝置。圖像處理裝置12具備存 儲由攝像裝置ll拍攝的圖像的存儲單元(未圖示)。適當地讀出 存儲在該存儲單元中的圖像信息並進行比較處理，以此檢測缺 陷。具體地說，圖像處理裝置12由具備圖像處理功能的計算機 構成。如上所述，在本實施方式中，由一臺計算機具有圖像處理裝置12和控制單元18的功能。另外，在圖像處理裝置12上適 當地連接有鍵盤24、滑鼠25。
圖像顯示裝置13是用於顯示由攝像裝置ll拍攝並由圖像處 理裝置12進行圖像處理得到的圖像數據的裝置。圖像顯示裝置 13由缺陷圖像用監視器27和操作用監視器28構成。缺陷圖像用 監視器27顯示由攝像裝置11拍攝並由圖像處理裝置12進行處理 得到的液晶面板14的表面的圖像。操作用監視器2 8在攝像裝置 11的聚焦等時顯示液晶面板14。操作員 一邊觀察該操作用監視 器2 8 —邊進行攝像裝置11的聚焦等操作，觀察缺陷圖像用監視 器27來檢查在液晶面板14上是否存在顯示不均。
控制單元18還控制液晶面板14的輸送。控制單元18控制輸 送裝置6、輸送用機器人等，並根據如下的一系列動作來控制各 裝置的驅動馬達等將液晶面板14從上流側開始輸送，搬入到 檢查單元3中，並將檢查結束後的液晶面板14從檢查單元3送回 到輸送裝置6側而輸送到下流。
控制單元18還進行如下控制等驅動檢查臺等而使探針與 液晶面板14的各電極接觸的控制；從該液晶面4反14的背後用背 景燈照明的控制；以及從探針對各電才及施加4企查信號的控制。 在檢查單元3中連續檢查由輸送單元2輸送的液晶面板"。
控制單元18還具有如下處理功能(圖l所示的處理功能)在 由檢查單元3進行了連續檢查的多個液晶面板14中在同 一 位置 或者近似位置上檢測出相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為 不是由液晶面板14引起的缺陷而進行排除，並不視為缺陷。
接著，對使用了以上結構的點亮檢查裝置l的缺陷檢查方法 進行說明。在此，根據圖l的流程圖以控制單元18的動作為中心 進行說明。
首先，搬入液晶面板14(步驟S1)。液晶面板14從上流側傳送帶被輸送到輥式輸送機7，通過輸送用機器人從輥式輸送機7 被搬入到片企查單元3內。衝般入的液晶面一反14^皮載置於4全查臺上。
接著，開始進行檢查(步驟S2)。對載置在檢查臺上的液晶 面板14一邊進行位置對準 一邊對其電極和#罙針單元的探針進行 匹配而<吏其相互"1妻觸。另外，用LCD面^反用電源22點亮液晶面 板14，用LCD面板驅動信號發生器23從探針對各電極施加驅動 信號，進行液晶面板14的點亮檢查。
接著，進行攝像處理(步驟S3)。通過攝像裝置ll取入被點 亮的液晶面板14的表面的圖像。取入的圖像信,包-被臨時存儲在 控制單元18的存儲單元中。
接著，進行圖像處理(步驟S4)。通過圖像處理裝置12對存 儲在上述存儲單元中的圖像信息進行處理來檢查是否存在缺 陷。
接著，獲取檢查結果(步驟S5),與其它檢查結果進行比較。 因此，/人上述存4諸單元讀出前後M個液晶面寺反14的衝企查結果， 對它們進行比較(步驟S6)。在此，雖然將比較對象個數設為M 個，但是，根據各種條件來設定具體的個數。例如，根據處理 總數或所要求的精確度等條件來設定具體的個數。在本實施方 式中設為10個。讀出前後10個液晶面4反14的衝全查結果來進行比 4交。即、對一皮連續4全查的IO個液晶面4反14進行比較。
由此，判斷在士A的範圍內是否存在地址一致的缺陷(步驟 S7)。即、判斷在同一位置或者其附近位置上是否存在相同的缺 陷。在此，根據各種條件來設定士A的範圍。具體地說，士A的範 圍是為了識別因探針與電極的接觸不良造成的線缺陷、因附著 在背景燈側的灰塵等而造成的不是由液晶面板14引起的缺陷的 缺陷(由外部引起的缺陷)而設定的值。因探針與電極的接觸不 良而造成的線缺陷等是即使改變液晶面板14也會發生在同 一位置上，但是，根據檢查臺的位置對準精確度或照相機的精確度 等的各種條件的不同，在所取入的圖像上，同一位置的缺陷在 多個圖像上存在略微的偏差。將士A的範圍設定為該偏差的範 圍。在檢查臺的位置對準精確度等較高的情況下士A的範圍變得 較小，在檢查臺的位置對準精確度等較低的情況下± A的範圍變 得較大。即，根據上述各精確度而適當地設定偏差的範圍。
在步驟S7中，在士A的範圍內不存在地址一致的缺陷的情況 下，將其圖像上的缺陷作為普通的缺陷進行處理(步驟S8)。作 為普通的缺陷，其位置信息被存儲在上述存儲單元中。
在步驟S7中，在士A的範圍內存在地址一致的缺陷的情況 下，判斷該缺陷在前後的M個(10個)液晶面^反14的4企查中是否 被檢測出N次以上(步驟S9)。在此，將N次設定為三次。雖然在 兩次的情況下也可能存在偶然 一 致的情況，但是在三次的情況 下，偶然的可能性較低，因此，設定為三次。只要不存在振動 或風等外部因素，因線缺陷或灰塵等而造成的缺陷幾乎不發生 變化。因此，只要探針的針壓的變化等檢測條件不發生變動， 一旦檢測出缺陷，該缺陷在相同地址上反覆被檢測。為了利用 該特徵來區分由面板引起的缺陷和除此以外的缺陷，判斷在土A 的範圍內是否三次以上^r測出地址一致的缺陷。此外，在上述 檢測條件等的變動幅度較大的情況下，也可能存在設定為兩次 或者四次以上的情況。
具體地說，以如圖4、 5所示的方式進行判斷。圖4是線缺陷 的檢測例。在此，第一次檢測出一條線缺陷，第二次檢測出兩 條線缺陷，第十次檢測出一條線缺陷。並且，第一次和第十次 的線缺陷的地址與第二次的兩條線缺陷中的 一條的地址一致， 因此，在圖4的例子中，將不是由液晶面板14引起的缺陷的缺陷 作為因失誤而檢測出的缺陷，而不視為缺陷並進行排除。另夕卜，
i圖5是因灰塵而造成的缺陷的檢測例。在此，第一次檢測出一個 點缺陷，第二次檢測出一個點缺陷，第三次檢測出兩個點缺陷， 第四次檢測出一個點缺陷。並且，第一次的點缺陷在畫面上的 右上部裙j全測出 一 個，第二次的點缺陷在畫面上的左上部糹皮才全 測出 一個，第三次的點缺陷在畫面上的左上部和靠近中央的部 分^皮才企測出兩個，第四次的點缺陷在畫面上的左上部^皮才企測出 一個。並且，第二次和第四次的點缺陷的地址與第三次的兩個
點缺陷中的一個地址一致，因此，在圖5的例子中，將不是由液 晶面板14引起的缺陷的缺陷作為因失誤而檢測出的缺陷，而不 視為缺陷並進行排除。
在步驟S9中未滿N次(三次)檢測出缺陷的情況下，將其圖像 上的缺陷作為普通的缺陷進行處理(步驟S8)。
在步驟S9中N次(三次)以上檢測出缺陷的情況下，其圖像上 的缺陷被當作因失誤而4企測出的如下的缺陷，乂人而不一見為缺陷 並進行排除，並將其位置信息記錄到存儲部14中(步驟S10):該 缺陷為因接觸不良而造成的線缺陷或因附著在背景燈側的灰塵 等而造成的不是由液晶面板14引起的缺陷的缺陷。另外，根據 需要在缺陷圖像用監視器27或者操作用監視器28上顯示警告顯 示、警報等來引起注意。操作員基於該警告顯示等，根據需要 確認原因，進行維修。
接著，結束檢查(步驟Sll),將液晶面板14排出到外部並與 新的液晶面板14進行交換(步驟12),返回到步驟S1重複上述處 理，連續地進行;險查。
如上所述，無需反覆檢查同一液晶面板14,而根據與其它 液晶面板14的檢查結果之間的比較，判斷所檢測出的缺陷是否 為由該液晶面々反14引起的缺陷，對判斷為不是由該液晶面4反14 引起的缺陷的缺陷進行排除而進行檢查，因此，能夠防止過度的檢查，能夠穩定地得到由液晶面板14引起的缺陷。其結果， 能夠提高檢查效率。 [變形例]
在上述實施方式中，作為缺陷檢查裝置以液晶面板14的點
亮檢查裝置為例進行了說明，但是，本發明並不限於點亮檢查 裝置，本發明也能夠適用於本申請人之前提出的聯機自動檢查
裝置(日本特願2007-41247)等其它檢查裝置。另外，也能夠適 用於除了液晶面板以外的檢查對象物。
在上述實施方式中，以探針與電極接觸的方式的檢查裝置 為例進行了說明，但是，本發明也能夠適用於以非接觸方式進 行檢查的檢查裝置的情況。
權利要求
1.一種缺陷檢查方法，該缺陷檢查方法檢查檢查對象物是否存在缺陷並且連續檢查多個檢查對象物，其特徵在於，在被連續檢查的多個檢查對象物中的同一位置或者其附近位置上檢測出多個相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷而進行排除。
2. 根據權利要求l所述的缺陷檢查方法，其特徵在於， 通過對多個檢查對象物的圖像進行比較處理來檢測是否存在上述相同的缺陷。
3. 根據權利要求2所述的缺陷檢查方法，其特徵在於， 在上述圖像的預先設定的範圍內檢測是否存在上述相同的缺陷。
4. 根據權利要求l所述的缺陷檢查方法，其特徵在於，在多次檢測出上述相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為 不是由檢查對象物引起的缺陷而進行排除。
5. —種缺陷檢查裝置，該缺陷檢查裝置檢查檢查對象物是 否存在缺陷並且連續檢查多個檢查對象物，其特徵在於，具備輸送單元，其連續輸送上述檢查對象物；檢查部，其連續檢查由該輸送單元輸送的上述檢查對象物；圖像處理部，其對由該檢查部進行了連續檢查的檢查對象 物的圖<象進行處理乂人而4全測缺陷；以及控制部，其在由該圖像處理部在被連續檢查的多個檢查對 象物中的同一位置或者其附近位置上檢測出多個相同的缺陷的 情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷而進行 排除。
6. 根據權利要求5所述的缺陷檢查裝置，其特徵在於， 上述控制部通過對多個檢查對象物的圖像進行比較處理來才企測是否存在上述相同的缺陷。
7. 根據權利要求5所述的缺陷檢查裝置，其特徵在於，上述控制部在上述圖像的預先設定的範圍內檢測是否存在 上述相同的缺陷。
8. 根據權利要求5所述的缺陷檢查裝置，其特徵在於，上述控制部在多次檢測出上述相同的缺陷的情況下，將該 缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷而進行排除。
全文摘要
本發明提供一種缺陷檢查方法以及缺陷檢查裝置，防止過度的檢查從而提高檢查效率。缺陷檢查裝置檢查檢查對象物是否存在缺陷並且連續檢查多個檢查對象物。缺陷檢查裝置具備輸送單元，連續輸送檢查對象物；檢查部，連續檢查由輸送單元輸送的檢查對象物；圖像處理部，對由檢查部連續檢查的檢查對象物的圖像進行處理而檢測缺陷；控制部，在由圖像處理部在被連續檢查的多個檢查對象物中的相同或近似位置上檢測出多個相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷而進行排除。缺陷檢查方法也同樣地在多個檢查對象物中的相同或近似位置上檢測出多個相同的缺陷的情況下，將該缺陷判斷為不是由檢查對象物引起的缺陷而進行排除。
文檔編號G01N21/88GK101620190SQ200910157228
公開日2010年1月6日 申請日期2009年7月1日 優先權日2008年7月1日
發明者藏所啟一, 鈴木孝治 申請人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司