微驅動器、含該微驅動器的磁頭折片組合及磁碟驅動單元的製作方法
2023-09-23 11:02:05 1
專利名稱：微驅動器、含該微驅動器的磁頭折片組合及磁碟驅動單元的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種磁碟驅動單元，更具體地涉及一種用於磁碟驅動單元的磁頭折片組合或其它類似裝置中的具有改良結構的微驅動器。
背景技術：
磁碟驅動單元通過將磁性讀/寫頭置於旋轉的磁性媒介，比如磁碟上而實現數據的存取。參考圖1a-1b，一種典型的磁碟驅動器包括驅動臂105及一組同心且高速旋轉的磁碟106。該驅動臂105用於驅動安裝有磁頭202的磁頭折片組合104(HGA)。所述磁碟106安裝在主軸馬達103上並由其驅動而旋轉。一個音圈馬達(voice coil motor，VCM)102控制驅動臂105的運動，進而驅動磁頭折片組合104，從而使得具有讀/寫傳感器的磁頭202在磁碟106表面上的磁軌之間移動，進而實現將數據寫入磁碟106或從磁碟106讀出數據。
然而，由於源自音圈馬達102的固有的存在於磁頭202的位移中的誤差及/或存在於驅動臂105內的製造誤差，使得磁頭202無法獲得精確的位置調整。
為解決上述問題，在磁碟驅動單元中使用一個附加的驅動器，如壓電微驅動器，來調整上述磁頭的位移。即，壓電微驅動器以更小的幅度來校正磁頭202的位移，以便補償上述音圈馬達產生的誤差及驅動臂內組件的製造誤差。這樣就可以獲得更小的磁軌記錄寬度，並增加磁碟驅動單元的TPI值(tracks per inch)(同時增加了表面記錄密度)，從而大大提高磁碟驅動單元的存儲容量。
參考圖1c-1e，傳統的磁頭折片組合104包括懸臂件904、具有讀/寫傳感器(圖未示)並安裝在上述懸臂件904末端的磁頭202及安裝在懸臂件904上用於微調磁頭202位移的微驅動器205。該懸臂件904包括互相組裝在一起的基板201、撓性件207、負載杆203及樞接件206。該磁頭折片組合104藉助懸臂件904上的安裝孔101而固定到前述驅動臂105上(參考圖1a)。該磁頭202位於所述微驅動器205的兩側臂2042、2044之間，其末端設有若干連接觸點(未標號)，這些連接觸點通過複數電連接球209(金球焊接或錫球焊接方式，GBB或SBB)與位於上述撓性件207兩側的外懸臂電纜108a(suspension trace)電性連接。所述撓性件207一端設有若干連接觸點107，所述連接觸點107一端和內外懸臂電纜108a、108b相連接，另一端與伺服控制系統(未圖示)相連接。該微驅動器205兩側臂上安裝有壓電片210，這些壓電片210通過若干電連接球208(金球焊接或錫球焊接方式)與位於撓性件207內側的內懸臂電纜108b電性連接，進而與撓性件207上的連接觸點107相連接。藉由上述電性連接，所述伺服控制系統可通過所述內外懸臂電纜108a、108b控制所述磁頭202和微驅動器205。所述微驅動器205由一個U形框架204及安裝在該框架兩側臂2042、2044上的壓電片210組成。通過在兩側臂2042、2044上的壓電片210上施加適當的電壓，使得這些壓電片210收縮或膨脹，從而導致框架204變形，所述框架204變形使得安裝在框架204兩側臂2042、2044之間的磁頭202在旋轉磁碟106表面(參圖1a)上的磁軌之間產生移動，進而實現磁頭202的位置微調。所述每個側臂2042、2044上均安裝有壓電片210，兩側臂2042、2044的一端通過底板2046相連接，另一端通過頂板2048而互相連接。該微驅動器205通過該底板2046而固定到撓性件207上，該頂板2048則用於保持上述磁頭202。該頂板2048在靠近兩側臂2042、2048的位置上形成的頸部2048a、2048b。該寬度較小的頸部與所述側臂2042、2048相連接。
然而，上述傳統技術中具有許多缺點。首先，由於微驅動器用於微調磁頭位移，因而屬於非常關鍵的部件，其精度對於改善磁碟的讀寫性能及提高磁碟的存儲容量具有舉足輕重的作用，因此須具有非常高的製造精度。特別是微驅動器頂板兩側的頸部須具有非常高的製造精度，這是由於頸部2048a、2048b的寬度越小，其衝程幅度性能(stroke amplitude performance)越好，但真實的製造能力或公差有限，所以該具有高衝程性能的關鍵尺寸的製造質量不容易控制，另外，頸部2048a、2048b的寬度太小使得其在受到衝擊時可能發生斷裂現象，因此其加工及組裝工藝複雜、成本較高；其次，由於這種微驅動器的U形框架在加工過程中存在不可避免的固有誤差，使得兩側臂的位置無法達到完全一致，即兩側臂並非理想地互相對稱，相應地，安裝在兩側臂上的壓電片也並非理想地互相對稱，這樣當施加電壓到壓電片時，兩側臂無法產生幅度一致的變形，進而使安裝於兩側臂之間的磁頭無法實現精確的位置調整；另外，當壓電微驅動器被激發時，由於微驅動器的U形框架的限制，所述磁頭將作單純的平動而無法獲得較大幅度的位移；另外，在傳統技術中，所述壓電微驅動器必須利用諸如環氧樹脂膠等粘結劑將其U形框架的底板物理粘結到懸臂件的撓性件上，因而裝配過程複雜且成本較高。
因此有必要提供一種改良的微驅動器、含有該微驅動器的磁頭折片組合及磁碟驅動單元，以克服現有技術的不足。
發明內容
本發明的主要目的在於提供一種易於製造及組裝、調整磁頭位置的能力強的微驅動器。
本發明的另一目的在於提供一種含有上述微驅動器的、裝配更加方便、磁頭位置調整能力更強的磁頭折片組合及磁碟驅動單元。
為達到上述目的，本發明一種用於磁頭折片組合的微驅動器，包括支撐框架以及至少一個壓電元件；其特徵在於該支撐框架包括一個橫梁以及設於所述橫梁一端的間隔體；所述壓電元件安裝在所述橫梁的側部；其中，所述橫梁當所述壓電元件被激發時產生旋轉運動。在本發明中，所述微驅動器還包括設於所述橫梁另一端的磁頭支撐板。其中，所述磁頭支撐板與所述間隔體分設於所述橫梁的相反兩側。
在一個實施例中，所述橫梁兩側均安裝有壓電元件。所述橫梁由金屬、合金或陶瓷材料製成。所述壓電元件為薄膜壓電片或陶瓷壓電片，其可具有多層結構或單層結構。
本發明一種磁頭折片組合，包括磁頭；微驅動器；及承載上述磁頭與微驅動器的懸臂件；其中該微驅動器包括支撐框架以及至少一個壓電元件；其特徵在於該支撐框架包括一個橫梁以及設於所述橫梁一端的間隔體；所述壓電元件安裝在所述橫梁的側部；其中，所述橫梁當所述壓電元件被激發時產生旋轉運動。其中，所述微驅動器通過其上的壓電元件與懸臂件的電性連接而同時實現所述微驅動器與懸臂件之間的物理連接。所述間隔體夾設於所述懸臂件與所述壓電元件之間。
一種磁碟驅動單元，包括磁頭折片組合；與該磁頭折片組合連接的驅動臂；磁碟；用於驅動該磁碟的主軸馬達，其中該磁頭折片組合包括磁頭；微驅動器；及承載上述磁頭與微驅動器的懸臂件；其中該微驅動器包括支撐框架以及至少一個壓電元件；其特徵在於該支撐框架包括一個橫梁以及設於所述橫梁一端的間隔體；所述壓電元件安裝在所述橫梁的側部；其中，所述橫梁當所述壓電元件被激發時產生旋轉運動。
與現有技術相比，本發明微驅動器採用單片式或橫梁式框架取代了傳統的U形框架，使得壓電元件可以精確的、以背靠背的形式安裝在所述單片式框架的兩側，從而提高了壓電元件的位置安裝精度；其次，本發明將磁頭安裝在單片式框架的末端，因而在相同的偏轉角度下，磁頭的偏移幅度更大，亦即磁頭的位置調整能力更強；另外，單片式框架結構相比U形框架，簡化了製造及裝配流程，並降低了成本。另外，所述微驅動器通過其上的壓電元件與磁頭折片組合的懸臂件的電性連接而同時實現所述微驅動器與懸臂件之間的物理連接。具體地講，所述間隔體夾設於所述懸臂件與所述壓電元件之間，由於所述懸臂件與所述壓電元件被電性連接，所述微驅動器就通過所述間隔體與所述磁頭折片組合的懸臂件物理連接起來。這樣，就不必再使用粘結劑或環氧樹脂膠等連接手段將微驅動器與懸臂件進行物理連接，從而簡化了裝配流程並節約了成本。
通過以下的描述並結合附圖，本發明將變得更加清晰，這些附圖用於解釋本發明的實施例。
圖1a為傳統磁碟驅動器的立體圖。
圖1b為圖1a的局部放大視圖。
圖1c為傳統磁頭折片組合的立體圖。
圖1d為圖1c所示磁頭折片組合的局部立體圖。
圖1e為傳統微驅動器與磁頭的立體分解圖，用於解釋傳統微驅動器的結構。
圖2為本發明磁頭折片組合一個實施例的立體圖。
圖2a為圖2所示磁頭折片組合的局部立體圖。
圖2b為圖2所示磁頭折片組合的側視圖。
圖2c為圖2a所示磁頭折片組合的立體分解圖。
圖3a為圖2a所示磁頭折片組合中的安裝有磁頭的微驅動器的立體圖。
圖3b為圖3a的立體分解圖。
圖3c為本發明壓電片的一個實施例的的立體圖。
圖3d為圖3c所示壓電片的內部結構圖。
圖3e為在圖3c所示的壓電片上施加適當電壓後，磁頭向左側偏移的情況。
圖3f為圖3c所示的壓電片上施加適當電壓後，磁頭向右側偏移的情況。
圖4為根據本發明另一個實施例的含有磁頭的微驅動器的立體分解圖。
圖5a為本發明微驅動器又一個實施例的的立體分解圖。
圖5b為圖5a所示微驅動器的立體組裝圖。
圖6為本發明微驅動器再一個實施例的的立體圖。
圖7為本發明微驅動器另一個實施例的的立體圖。
圖8a為本發明微驅動器的支撐框架的一個實施例的的立體圖。
圖8b為本發明微驅動器的支撐框架的另一個實施例的的立體圖。
圖9為本發明磁碟驅動單元一個實施例的立體圖。
具體實施例方式
現在參考附圖描述本發明的幾個較佳實施例，附圖中類似的元件標號代表類似的元件。如上所述，本發明提供的一種用於磁頭折片組合的微驅動器，包括支撐框架以及至少一個壓電元件；其中該支撐框架包括一個橫梁以及設於所述橫梁一端的間隔體；所述壓電元件安裝在所述橫梁的側部；其中，所述橫梁當所述壓電元件被激發時產生旋轉運動。本發明微驅動器採用單片式或橫梁式框架取代了傳統的U形框架，使得壓電元件可以精確的、以背靠背的形式安裝在所述單片式框架的兩側，從而提高了壓電元件的位置安裝精度；其次，本發明將磁頭安裝在單片式框架的末端，因而在相同的偏轉角度下，磁頭的偏移幅度更大，亦即磁頭的位置調整能力更強；另外，單片式框架結構相比U形框架，簡化了製造及裝配流程，並降低了成本。另外，所述微驅動器通過其上的壓電元件與磁頭折片組合的懸臂件的電性連接而同時實現所述微驅動器與懸臂件之間的物理連接。具體地講，所述間隔體夾設於所述懸臂件與所述壓電元件之間，由於所述懸臂件與所述壓電元件被電性連接，所述微驅動器就通過所述間隔體與所述磁頭折片組合的懸臂件物理連接起來。這樣，就不必再使用粘結劑或環氧樹脂膠等連接手段將微驅動器與懸臂件進行物理連接，從而簡化了裝配流程並節約了成本。
參考圖2，根據本發明的一個實施例，一種磁頭折片組合300包括磁頭302、微驅動器305及用於承載上述磁頭302與微驅動器305的懸臂件314。該磁頭302包括嵌設於其上的讀/寫傳感器(圖未示)及若干磁頭連接觸點(未標示)。該懸臂件314包括互相裝配在一起的基板301、樞接件320、撓性件(flexure)307及負載杆(load beam)303。該撓性件307上設有複數外懸臂電纜308a及內懸臂電纜308b。其中，所述外懸臂電纜308a一端與所述磁頭302電性連接，所述內懸臂電纜308b一端與微驅動器305電性連接，所述內外懸臂電纜308a、308b的另一端均與複數電連接觸點398電性連接。另外，所述電連接觸點398與外部伺服控制系統相連接(圖未示)，這樣，所述伺服控制系統就可通過所述電連接觸點398和內外懸臂電纜308a、308b對所述微驅動器305及磁頭302進行驅動及控制。
參考圖2a-2c，所述撓性件307的末端設有懸臂舌片3071，該懸臂舌片3071上形成若干電連接觸點，例如四個電連接觸點3072、3074、3076及3078，這些連接觸點與撓性件307上的內懸臂電纜308b電性相連。另外，該懸臂舌片3071對應於所述磁頭連接觸點還設有若干電連接觸點392，所述電連接觸點392與撓性件307上的外懸臂電纜308a電性相連。所述負載杆303上形成一個凸點3032，其抵靠於所述撓性件307上。當磁頭302飛行於磁碟的表面上時，所述凸點3032可將來自負載杆303的負載均勻地傳遞到該磁頭302的中心區域。
圖3a-3b為圖2所示磁頭折片組合300的微驅動器305的立體結構圖及相應的分解圖，該兩圖中均含有磁頭302。如圖所示，該微驅動器305包括橫梁316、貼設於其兩側的兩個壓電元件310，該橫梁316一端形成一個磁頭支撐板313，用於將磁頭302安裝於其上，該橫梁316另一端設有一個間隔體312，所述磁頭支撐板313與所述間隔體312分設於所述橫梁316的相反兩側。所述橫梁316、磁頭支撐板313和間隔體312構成支撐框架。其中，所述間隔體312可通過粘結劑或其他連接手段與所述橫梁316相連接。當壓電元件310安裝於橫梁316兩側時，所述間隔體312被壓在壓電元件310下。在本發明一個實施例中，所述壓電元件310可以為薄膜壓電片或陶瓷壓電片。在另一個實施例中，該壓電片可以是單層結構，也可以是多層結構。所述每個壓電元件310上形成有若干電連接觸點，比如兩個電連接觸點3102、3104。所述電連接觸點3102、3104對應所述懸臂舌片3071上的電連接觸點3072、、3074、3076及3078而設(參圖2c)。在本發明中，由於壓電元件310均安裝在所述橫梁316上，因而相對於傳統技術中壓電元件安裝在U型框架的兩個側臂上，本發明可以有效地避免由於U型框架的固有製造誤差而帶來的兩側臂位置偏差以及壓電元件安裝時的位置偏差。在該實施例中，所述每個壓電元件310從所述間隔體312延伸至靠近磁頭支撐板313的位置。另外，由於本發明將磁頭安裝在單片式框架的末端，即磁頭支撐板上，因而在相同的偏轉角度下，磁頭的偏移幅度更大，亦即磁頭的位置調整能力更強。
參考圖2a-3b，所述微驅動器305是這樣物理及電性連接到撓性件307上的首先將微驅動器305的間隔體312放置到撓性件307的懸臂舌片3071上，並使兩個壓電元件310的連接觸點3102、3104對準懸臂舌片3071上的連接觸點3072、3074、3076及3078，這樣，所述間隔體312就被夾在所述壓電元件310和懸臂舌片3071之間；然後，藉助複數電連接球(金球連接或錫球連接，圖未示)將上述電連接觸點對應連接起來，從而通過這些電連接觸點及位於撓性件307上的內懸臂電纜308b將該微驅動器305與上述外部伺服控制系統電性連接。由於本發明的微驅動器305僅包含一個橫梁316及間隔體312，因而與現有技術相比，其結構簡單，體積小巧。同時，由於所述間隔體312被夾在所述壓電元件310和懸臂舌片3071之間，當所述壓電元件310與所述懸臂舌片3071通過電連接球被電性連接時，所述間隔體312受到壓電元件310與所述懸臂舌片3071的雙重限制而無法移動，這樣，所述微驅動器就通過所述間隔體312被物理連接到撓性件307上，從而不必像傳統技術那樣利用額外的連接手段，例如環氧樹脂膠等將微驅動器305物理連接於所述撓性件307上。在本發明中，由於所述間隔體312的存在，當所述磁頭302和微驅動器305裝設於所述懸臂件314上時，在所述懸臂件314和微驅動器305間就形成了一個間隙382，該間隙382使得微驅動器305及安裝於其上的磁頭302在壓電元件310被激發時可以自由地移動。
在上述實施例中，所述磁頭支撐板313與橫梁316可以一體成型，可以使得製造流程得以簡化。當然，該磁頭支撐板313也可以是與橫梁316相分離的單獨結構，並通過任何合適的連接方式，比如粘結方式固定在所述橫梁316上。另外，所述間隔體312也可以固定於撓性件307的懸臂舌片3071上，或者在撓性件307的製造過程中直接形成在該撓性件307的懸臂舌片3071上。在本發明中，在某些情況下，所述支撐框架也可不另設磁頭支撐板313，而直接將磁頭安裝在橫梁316上。
圖3c-3d展示了所述壓電元件310的詳細結構，如圖所示，每個壓電元件310在其一側設有兩個連接觸點3102、3104，其由複數壓電層，例如三層壓電層3101，和複數導電層3103，例如4層導電層3103依次層疊而成，並且這些壓電層3101及導電層3103被合理地配置以使得相鄰的壓電層具有相反的極化方向607。另外，所述導電層3103具有共同的電壓輸入端601及共同的接地端602。下面具體闡述所述微驅動器305的工作原理。如圖3e-3f所示，在本實施例中，位於橫梁316兩側的壓電元件310具有不同的極化特性，當在所述兩個壓電元件310上施加適當的電壓時，一個壓電元件310收縮，同時另一個壓電元件310膨脹，這樣就使與壓電元件310連接的橫梁316彎曲，同時安裝在該橫梁316的磁頭支撐板313上的磁頭302將隨同該橫梁316的彎曲而發生偏轉，例如，相對於該磁頭302的初始位置偏轉一段距離s，從而實現磁頭302的位置微調，其中圖3e為向左偏轉的情況，圖3f為向右偏轉的情況。
圖4展示了本發明另一個實施例中描述的微驅動器405，該圖中含有磁頭302。該實施例與上述實施例結構類似，區別僅在於在該實施例中支撐框架805的連接結構不同。即，所述間隔體312與橫梁316一體成型，從而簡化了微驅動器405的製造及裝配過程。
圖5a-5b展示了本發明又一個實施例中描述的微驅動器505。該實施例與圖4所示實施例的結構類似，區別僅在於在該實施例中支撐框架905的結構不同。即，所述支撐框架905包括一個由部件513a及513b並列排列構成的兩片式磁頭支撐板513，同時所述支撐框架905的橫梁516由兩片板狀材料疊合而成。
圖6展示了本發明另一個實施例中描述的微驅動器605。該實施例與圖5a-5b所示實施例的結構類似，區別僅在於在該實施例中，所述壓電片410的長度與橫梁516的長度相同，對比圖5a-5b所示的實施例，由於壓電片410的長度較長，因而可以獲得更大的磁頭位置調整能力，進而改善磁碟驅動單元的整體性能。
圖7展示了本發明再一個實施例中描述的微驅動器705。該實施例與圖5a-5b所示實施例的結構類似，區別僅在於在該實施例中，所述橫梁516僅在其一側安裝壓電片310。在單獨一個壓電片310足以滿足磁頭位置調整的需要的情況下，採用一個壓電片可以簡化微驅動器的製造和組裝流程。
圖8a-8b展示了本發明微驅動器的支撐框架的若干相似的實施例。其中圖8a所示的支撐框架1005與圖5a-5b所示的支撐框架905類似，區別僅在於該支撐框架1005的磁頭支撐板713為由部件713a及713b交錯排列而構成的兩片式結構；而圖8b所示的支撐框架1105與圖5a-5b所示的支撐框架905類似，區別僅在於其橫梁1116包括沿縱向排列並相互連接的兩部分，即主體1116a及用於增強其強度的增強部1116b。
在上述關於微驅動器的實施例中，所述橫梁可以由金屬材料比如銅、不鏽鋼、矽等金屬材料形成，也可以由這些金屬元素形成的合金材料形成，或者由這些金屬材料與非金屬材料比如陶瓷形成的合金形成，或者由非金屬材料比如陶瓷來形成，只要其具有足夠的剛度及強度即可，其可以通過任何適當的成形方法，例如疊壓方式成形。
可以理解，本發明的磁頭折片組合併不局限於上述實施例所述的結構，而可以具有任何適當的適合安裝本發明的微驅動器的結構。
圖9為含有本發明磁頭折片組合300的範例性的磁碟驅動單元。根據本發明的一個實施例，一種磁碟驅動單元400包括相互組裝在一起的殼體1209、磁碟1206、主軸馬達1203、音圈馬達1202、驅動臂1205及本發明的磁頭折片組合300。該磁頭折片組合300內安裝有本發明的微驅動器。由於磁碟驅動單元的結構及/或使用本發明的磁頭折片組合的組裝工序為業界普通技術人員所熟悉，這裡省略更詳細的結構和裝配描述。可以理解，磁碟驅動單元可以包含根據本發明構建的其它磁頭折片組合。
以上結合較佳實施例對本發明進行了描述，但本發明並不局限於以上揭示的實施例，而應當涵蓋各種根據本發明的本質進行的等效組合。
權利要求
1.一種用於磁頭折片組合的微驅動器，包括支撐框架以及至少一個壓電元件；其特徵在於該支撐框架包括一個橫梁以及設於所述橫梁一端的間隔體；所述壓電元件安裝在所述橫梁的側部；其中，所述橫梁當所述壓電元件被激發時產生偏轉運動。
2.根據權利要求1所述的微驅動器，其特徵在於還包括設於所述橫梁另一端的磁頭支撐板。
3.根據權利要求2所述的微驅動器，其特徵在於所述磁頭支撐板與所述間隔體分設於所述橫梁的相反兩側。
4.根據權利要求1所述的微驅動器，其特徵在於所述橫梁兩側均安裝有壓電元件。
5.根據權利要求1所述的微驅動器，其特徵在於所述橫梁由金屬、合金或陶瓷材料製成。
6.根據權利要求1所述的微驅動器，其特徵在於該壓電元件為薄膜壓電片或陶瓷壓電片。
7.根據權利要求1所述的微驅動器，其特徵在於該壓電元件為多層結構或單層結構。
8.一種磁頭折片組合，包括磁頭；微驅動器；及承載上述磁頭與微驅動器的懸臂件；其中該微驅動器包括支撐框架以及至少一個壓電元件；其特徵在於該支撐框架包括一個橫梁以及設於所述橫梁一端的間隔體；所述壓電元件安裝在所述橫梁的側部；其中，所述橫梁當所述壓電元件被激發時產生偏轉運動。
9.根據權利要求8所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述微驅動器通過其上的壓電元件與懸臂件的電性連接而同時實現所述微驅動器與懸臂件之間的物理連接。
10.根據權利要求8所述的磁頭折片組合，其特徵在於所述間隔體夾設於所述懸臂件與所述壓電元件之間。
11.根據權利要求8所述的微驅動器，其特徵在於還包括設於所述橫梁另一端的磁頭支撐板。
12.根據權利要求11所述的微驅動器，其特徵在於所述磁頭支撐板與所述間隔體分設於所述橫梁的相反兩側。
13.根據權利要求8所述的微驅動器，其特徵在於所述橫梁兩側均安裝有壓電元件。
14.一種磁碟驅動單元，包括磁頭折片組合；與該磁頭折片組合連接的驅動臂；磁碟；用於驅動該磁碟的主軸馬達，其中該磁頭折片組合包括磁頭；微驅動器；及承載上述磁頭與微驅動器的懸臂件；其中該微驅動器包括支撐框架以及至少一個壓電元件；其特徵在於該支撐框架包括一個橫梁以及設於所述橫梁一端的間隔體；所述壓電元件安裝在所述橫梁的側部；其中，所述橫梁當所述壓電元件被激發時產生偏轉運動。
全文摘要
一種用於磁頭折片組合的微驅動器，包括支撐框架以及至少一個壓電元件；該支撐框架包括一個橫梁以及設於所述橫梁一端的間隔體；所述壓電元件安裝在所述橫梁的側部；其中，所述橫梁當所述壓電元件被激發時產生偏轉運動。本發明還揭露了安裝有該微驅動器的磁頭折片組合及磁碟驅動單元。
文檔編號G11B21/10GK1983394SQ200510133750
公開日2007年6月20日 申請日期2005年12月16日 優先權日2005年12月16日
發明者李漢輝 申請人:新科實業有限公司