超聲波噴嘴排風裝置製造方法
2023-10-27 04:36:37
超聲波噴嘴排風裝置製造方法
【專利摘要】本發明屬於半導體設備領域，具體地說是一種超聲波噴嘴排風裝置。包括排風罩組件及排風管路，其中排風罩組件安裝在超聲波噴嘴上，所述排風罩組件通過排風管路與設備的排風處連接。所述排風罩組件包括排風罩及卡套接頭，其中排風罩套設於超聲波噴嘴上，所述超聲波噴嘴容置在排風罩內，所述排風罩的下端為敞開式，上端設有兩個卡套接頭，所述卡套接頭位於超聲波噴嘴兩側、並對稱設置，所述兩個卡套接頭與排風管路連接。本發明不接觸任何化學藥劑，具有無能耗、無噪聲、壽命長、無潤滑、無化學汙染等優點，特別適用於全自動運轉設備、真空、超淨等特殊環境中。
【專利說明】超聲波噴嘴排風裝置
【技術領域】
[0001]本發明屬於半導體設備領域，具體地說是一種超聲波噴嘴排風裝置。
【背景技術】
[0002]目前，隨著半導體製程的多樣化，設備中很多的工藝處理越來越複雜，在製造過程中對所需化學品的精準供給的要求很高，在滿足製程中所必需化學藥劑供給的前提下，應儘可能節省相應化學藥劑。
[0003]超聲波霧化噴嘴是利用電子高頻震蕩，將液態的分子結構打散而產生自然飄散的霧狀，不需加熱或添加其它的化學藥劑，而形成的在空氣中飄浮的霧狀，在半導體噴膠工藝中是通過超聲波發生器及噴嘴，將光刻膠進行霧化，在晶圓上方形成霧狀，此時晶圓被真空吸附在上熱盤上，當熱盤表面加溫到70-80°C時，在霧狀的光刻膠顆粒落到晶圓表面上時，還未在晶圓表面散開(重力原因)，由於溫度原因光刻膠被瞬間固化在晶圓表面，從而在晶圓表面上形成一層均勻的光刻膠膠膜，完成相應的噴膠工藝。
[0004]雖然，噴膠工藝相對於傳統均膠工藝因為採用了噴嘴霧化技術能節省光刻膠。但是超聲波噴嘴的霧化效果不是很好，因而造成化學藥劑的浪費。
【發明內容】
[0005]針對上述問題，本發明的目的在於提供一種超聲波噴嘴排風裝置。該超聲波噴嘴排風裝置節省光刻膠，適用於進行塗敷液體的設備，尤其適用於半導體製程中化學藥劑塗敷處的排風。
[0006]為了實現上述目的，本發明採用以下技術方案:
[0007]一種超聲波噴嘴排風裝置，包括排風罩組件及排風管路，其中排風罩組件安裝在超聲波噴嘴上，所述排風罩組件通過排風管路與設備的排風處連接。
[0008]所述排風罩組件包括排風罩及卡套接頭，其中排風罩套設於超聲波噴嘴上，所述超聲波噴嘴容置在排風罩內，所述排風罩的下端為敞開式，上端設有兩個卡套接頭，所述卡套接頭位於超聲波噴嘴兩側、並對稱設置，所述兩個卡套接頭與排風管路連接。
[0009]所述排風管路包括連接軟管1、三通卡套接頭及兩個連接軟管II，所述兩個卡套接頭分別通過連接軟管II與三通卡套接頭的兩個接頭處連接，所述三通卡套接頭的第三個接頭處通過連接軟管I與設備的排風處連接。
[0010]本發明的優點及有益效果是:
[0011]1、本發明利用排風罩安裝在超聲波噴嘴上，相應排風管一端連接在排風的廠務接口上，一端連接排風罩上，結構簡單，拆卸方便。
[0012]2、本發明為通過機械形式安裝在超聲波噴嘴上的排風裝置，在此裝置使用時不接觸任何化學藥劑，具有無能耗、無噪聲、壽命長、無潤滑、無化學汙染等優點，特別適用於全自動運轉設備、真空、超淨等特殊環境中。
[0013]3、本發明結構合理性能穩定，維護及裝卸方便，可滿足多種工藝製程，適用於各種使用霧化噴嘴進行藥劑噴敷的場合。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1為本發明安裝在超聲波噴膠單元上的立體結構示意圖；
[0015]圖2為圖1中I處放大圖；
[0016]圖3為本發明安裝在超聲波噴嘴處的結構示意圖；
[0017]圖4為圖3的俯視圖；
[0018]其中:1為噴膠底板，2為電缸，3為熱盤，4為排風罩組件，5為超聲波噴嘴，6為排風罩，7為卡套接頭，8為三通卡套接頭,9為連接軟管1,10為連接軟管II。
【具體實施方式】
[0019]下面結合附圖對本發明作進一步描述。
[0020]如圖1-4所示，本發明包括排風罩組件4及排風管路，其中排風罩組件4包括排風罩6及卡套接頭7,其中排風罩6套設於超聲波噴嘴5上,超聲波噴嘴5容置在排風罩6內，排風罩6的下端為敞開式，上端設有兩個卡套接頭7，卡套接頭7位於超聲波噴嘴5兩側、並對稱設置，兩個卡套接頭7與排風管路連接。所述排風管路包括連接軟管I 9、三通卡套接頭8及兩個連接軟管1110，兩個卡套接頭7分別通過連接軟管II 10與三通卡套接頭8的兩個接頭處連接，三通卡套接頭8的第三個接頭處通過連接軟管I 9與設備的排風處連接，從而形成超聲波噴嘴5處的排風，以達到改善超聲波噴嘴5處氣流的分布。連接軟管I9採用柔性氟樹脂軟管，有較好的伸縮及柔韌性。
[0021]本發明的工作過程是:
[0022]在設備進行噴敷化學藥劑時，電缸I帶動超聲波噴嘴5及排風罩組件4進行橫向和縱向的移動，化學藥劑經過超聲波噴嘴5的霧化，噴敷在晶圓表面，此時在設備上打開排風罩6處的排風，則對超聲波噴嘴5上方的空氣氣流造成影響，使化學藥劑的霧化效果更加理想，因排風方向為超聲波噴嘴5噴射化學藥劑的反方向，使化學藥劑在晶圓上表面上的霧化面積有所加大，使化學品更均勻的噴敷在晶圓上，因在相同的情況下噴敷面積的增大，所以能同時能達到節省化學藥劑的作用。
[0023]通過調整超聲波噴嘴5處的空氣氣流，使晶圓上方的光刻膠形成更好的霧化效果，以達到更好的噴膠效果，且能節省相應化學藥劑的目的。
[0024]本實施例中超聲波噴嘴為市購產品，購置於SONO-TEK公司，型號為120-2-16-11-230-030 ;排風處連接軟管I選用柔性氟樹脂軟管，購置於MISUMI公司，型號為 H0JFRR9-2.2-LBS-RBS。
【權利要求】
1.一種超聲波噴嘴排風裝置，其特徵在於:包括排風罩組件(4)及排風管路，其中排風罩組件(4)安裝在超聲波噴嘴(5)上，所述排風罩組件(4)通過排風管路與設備的排風處連接。
2.按權利要求1所述的超聲波噴嘴排風裝置，其特徵在於:所述排風罩組件(4)包括排風罩(6)及卡套接頭(7)，其中排風罩(6)套設於超聲波噴嘴(5)上，所述超聲波噴嘴(5)容置在排風罩(6)內，所述排風罩(6)的下端為敞開式，上端設有兩個卡套接頭(7)，所述卡套接頭(7)位於超聲波噴嘴(5)兩側、並對稱設置，所述兩個卡套接頭(7)與排風管路連接。
3.按權利要求2所述的超聲波噴嘴排風裝置，其特徵在於:所述排風管路包括連接軟管1(9)、三通卡套接頭(8)及兩個連接軟管H (10)，所述兩個卡套接頭(7)分別通過連接軟管H(IO)與三通卡套接頭(8)的兩個接頭處連接，所述三通卡套接頭(8)的第三個接頭處通過連接軟管I (9)與設備的排風處連接。
【文檔編號】B05B17/06GK103801478SQ201210448427
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2012年11月9日 優先權日:2012年11月9日
【發明者】童宇波 申請人:瀋陽芯源微電子設備有限公司