薄板玻璃疊層體、使用了薄板玻璃疊層體的顯示裝置的製造方法及支持用玻璃基板的製作方法

2023-07-22 02:18:06 1

專利名稱：薄板玻璃疊層體、使用了薄板玻璃疊層體的顯示裝置的製造方法及支持用玻璃基板的製作方法
技術領域：
本發明涉及用於液晶顯示體、有機EL顯示體等顯示裝置的玻璃基板，更 具體地涉及使用薄板玻璃基板來製造顯示裝置的工序中使用的薄板玻璃基板 和支持用玻璃基板的疊層體及使用了該疊層體的顯示裝置的製造方法，以及薄 板玻璃疊層體用的支持用玻璃基板。
背景技術：
在液晶顯示裝置(LCD)、有機EL顯示裝置(OLED)、特別是在行動電話和便 攜式電話等的可攜式顯示裝置的領域內，顯示裝置的輕量化、薄型化正成為重 要的課題。
為應對該課題，進行了使顯示裝置所用的玻璃基板的板厚進一步變薄的研 究，但如果將玻璃基板的板厚變薄，則強度的下降成為問題，撓曲量也較大， 因此無法直接用於目前的製造流水線。
因此，為了補強板厚較薄的玻璃基板(下面稱為"薄板玻璃基板"。)的強
度，並確保可用於目前的製造流水線的板厚，提出了如下方法實施規定的處
理，該規定的處理用於在將薄板玻璃基板與其它的支持用玻璃基板貼合形成疊 層體(薄板玻璃疊層體)的狀態下製造顯示裝置，上述處理結束後，將薄板玻璃
基板和支持用玻璃基板分離，藉此製造顯示裝置(參照專利文獻1 6)。
這些製造顯示裝置的方法中，作為使薄板玻璃基板和支持用玻璃基板層疊 並固定的方法，提出了利用玻璃基板間產生的靜電吸附力或真空吸附力將兩者 固定的方法(例如參照專利文獻1)，利用玻璃料將玻璃基板的兩端固定的方法 (例如參照專利文獻2)，對周緣部的端面附近照射雷射、使2塊玻璃基板融合 的方法(例如參照專利文獻3)，或在玻璃基板間以覆蓋整個表面的狀態配置再 剝離性的粘著劑或粘著片、利用其粘著力將兩者固定的方法(例如參照專利文 獻4 6)等。這些方法具有可能會對所製造的顯示裝置造成惡劣影響的潛在的問題點。 艮口，利用玻璃基板間產生的靜電吸附力或真空吸附力進行固定的方法，利 用玻璃料將玻璃基板的兩端固定的方法，或對周緣部的端面附近照射雷射、使 2塊玻璃基板融合的方法中，在不間隔任何的中間層使玻璃基板層疊密合的過 程中，難以避免氣泡的混入和夾雜了塵垢等異物而產生的凸狀缺陷，很難得到 表面平滑的玻璃基板疊層體。
採用在玻璃基板間以覆蓋整個表面的狀態配置再剝離性的粘著劑或粘著 片的方法時，可認為與將玻璃基板直接層疊的情況相比，容易避免氣泡的混入， 且由異物導致的凸狀缺陷的產生也較少。然而，薄板玻璃基板和支持用玻璃基 板的分離變得困難，分離時薄板玻璃基板可能會破損。例如，可以向薄板玻璃 基板和支持用玻璃基板之間插入剃刀的刀刃，藉此作為分離的切入點，但此時， 剃刀的刀刃可能會損傷玻璃基板。此外，將兩玻璃基板分離時，板厚較薄的薄 板玻璃基板可能會碎裂。此外，也有分離後的薄板玻璃基板上殘存粘著劑的問 題。另外，如同絕緣膜和取向膜的燒成工序，顯示裝置的製造工序中包含需要 高溫處理的工序，因此粘著劑及粘著片被要求作為顯示裝置用材料時的耐熱 性，但是，未提出耐熱性和再剝離性並存的方法。
專利文獻l:日本專利特開2000 — 241804號公報 專利文獻2:日本專利特開昭58—54316號公報 專利文獻3:日本專利特開2003 — 216068號公報 專利文獻4:日本專利特開平8 — 86993號公報 專利文獻5:日本專利特開平9一105896號公報 專利文獻6:日本專利特開2000 — 252342號公報
發明的揭示
為解決上述現有技術的問題點，本發明的目的是提供抑制薄板玻璃基板和 支持用玻璃基板的氣泡的混入和異物導致的凸狀缺陷的產生、薄板玻璃基板和 支持用玻璃基板的分離容易、且耐熱性優異的薄板玻璃疊層體，及使用了該薄 板玻璃疊層體的顯示裝置的製造方法，以及該薄板玻璃疊層體用的支持用玻璃 基板。
為達成上述目的，本發明提供一種薄板玻璃疊層體，它是使薄板玻璃基板 和支持用玻璃基板層疊而成的薄板玻璃疊層體，其特徵在於，上述薄板玻璃基板和上述支持用玻璃基板隔著具有易剝離性及非粘著性的矽氧垸樹脂層
(silicone resin layer)層疊，且上述矽氧烷樹脂層和上述支持用玻璃基板上 設置有至少l個相互連通的孔(下面稱為本發明的薄板玻璃疊層體。)。
本發明的薄板玻璃疊層體中，上述支持用玻璃基板的孔的直徑較好為 0. lmm 10匪。
本發明的薄板玻璃疊層體中，上述矽氧垸樹脂層較好的是還具有低矽氧院
(silicone)轉移性。
本發明的薄板玻璃疊層體中，上述矽氧烷樹脂層較好的是由剝離紙用矽氧 烷的固化物構成的層。
本發明的薄板玻璃疊層體中，上述剝離紙用矽氧烷的固化物較好的是兩末 端、或兩末端及側鏈中具有乙烯基的直鏈狀聚有機矽氧烷與甲基氫聚矽氧烷 (methyl hydrogen polysiloxane)的交耳關反應物。
本發明的薄板玻璃疊層體中，較好的是上述薄板玻璃基板的厚度不足 0. 3mm，上述支持用玻璃基板和上述矽氧垸樹脂層的厚度的總和為0. 5mm以上。
本發明的薄板玻璃疊層體中，較好的是上述支持用玻璃基板的線膨脹係數 和上述薄板玻璃基板的線膨脹係數的差為15X10—7'C以下。
此外，本發明提供一種使用了薄板玻璃疊層體的顯示裝置的製造方法，它 是使用薄板玻璃基板的顯示裝置的製造方法，其特徵在於，具有
在具備至少l個孔的支持用玻璃基板上形成矽氧垸樹脂層的工序，該矽氧 烷樹脂層具有易剝離性及非粘著性，且具有至少1個與上述支持用玻璃基板所
具備的孔連通的孔，
在上述支持用玻璃基板的上述矽氧烷樹脂層形成面上層疊薄板玻璃基板 的工序，
為了在上述薄板玻璃基板上製造顯示裝置而實施處理的工序，和 從上述支持用玻璃基板所具備的孔向上述矽氧垸樹脂層和上述薄板玻璃 基板的界面注入壓縮氣體，將上述薄板玻璃基板和上述支持用玻璃基板分離的工序。
本發明的顯示裝置的製造方法中，上述矽氧垸樹脂層較好的是由剝離紙用 矽氧垸的固化物構成的層。
本發明的顯示裝置的製造方法中，上述剝離紙用矽氧烷的固化物較好的是 兩末端、或兩末端及側鏈中具有乙烯基的直鏈狀聚有機矽氧垸與甲基氫聚矽氧垸的交聯反應物。
本發明的顯示裝置的製造方法中，在支持用玻璃基板上形成上述矽氧烷樹 脂層的工序較好的是通過在上述支持用玻璃基板上塗布剝離紙用矽氧烷，之後 使上述剝離紙用矽氧烷固化來進行。
本發明的顯示裝置的製造方法中，上述剝離紙用矽氧垸較好的是含有兩末 端、或兩末端及側鏈中具有乙烯基的直鏈狀聚有機矽氧垸，甲基氫聚矽氧烷及 鉑系催化劑。
本發明的顯示裝置的製造方法中，上述剝離紙用矽氧烷較好的是不含非反 應性矽氧烷。
本發明的顯示裝置的製造方法中，上述剝離紙用矽氧垸的塗布較好的是使 用網版印刷法。
本發明的顯示裝置的製造方法中，較好的是塗布上述剝離紙用矽氧垸後，
使其在50 25(TC的溫度下加熱固化。
本發明的顯示裝置的製造方法中，在上述支持用玻璃基板的上述矽氧烷樹 脂層形成面上層疊薄板玻璃基板的工序較好的是使用真空加壓或真空層壓。
此外，本發明提供一種支持用玻璃基板，它是用於與薄板玻璃基板層疊的 支持用玻璃基板，其特徵在於，在上述支持用玻璃基板的一個面上形成有具有 易剝離性及非粘著性的矽氧烷樹脂層，上述支持用玻璃基板和上述矽氧烷樹脂 層上設置有至少1個相互連通的孔。
本發明的薄板玻璃疊層體是薄板玻璃基板和支持用玻璃基板隔著具有柔 軟性的矽氧垸樹脂層層疊而成的，因此具有層疊時難以混入氣泡、而且在混入 氣泡時也可通過使用軋輥或壓機等進行壓接來容易地除去該氣泡的優點。特別 是在使用真空層壓法或真空加壓法實施薄板玻璃基板和支持用玻璃基板的層 疊時，氣泡的混入被抑制，密合性也良好。此外，使用真空層壓法或真空加壓 法實施薄板玻璃基板和支持用玻璃基板的層疊時，也具有即使在殘存有少量的 氣泡的情況下、氣泡也不會因加熱而成長、難以引起薄板玻璃基板的凸狀缺陷 的優點。
此外，也具有即使在塵垢等異物混入層疊界面時、也可通過具有柔軟性的 矽氧烷樹脂層的形變使其難以引起薄板玻璃疊層體的凸狀缺陷的優點。
此外，介於薄板玻璃基板和支持用玻璃基板之間的層是耐熱性優異的矽氧 烷樹脂層，因此耐熱性也良好。本發明的薄板玻璃疊層體是薄板玻璃基板和支持用玻璃基板隔著具有易 剝離性及非粘著性的矽氧垸樹脂層層疊而成的，因此可容易地將薄板玻璃基板 和支持用玻璃基板分離，分離玻璃基板時，薄板玻璃基板不會破損。另外，將 薄板玻璃疊層體在大氣中以30(TC的溫度加熱1小時後，也同樣可以發揮該特 性。因此，適合在伴隨著加熱處理的顯示裝置的製造工序中使用。
本發明的薄板玻璃疊層體從設置於支持用玻璃基板上的孔向薄板玻璃基 板和矽氧垸樹脂層的界面注入壓縮氣體，藉此可在不施加會引起薄板玻璃的玻 璃破損的應力的情況下，將薄板玻璃基板和支持用玻璃基板分離。
此外，如果矽氧垸樹脂層具有低矽氧垸轉移性，則分離玻璃基板時，矽氧 烷樹脂層中的成分難以向薄板玻璃基板轉移。因此，分離後，形成有矽氧烷樹 脂層的支持用玻璃基板可在與其它薄板玻璃基板的層疊中反覆使用。此外，因 為矽氧垸樹脂層中的成分難以轉移至分離後的薄板玻璃基板的表面，所以在薄 板玻璃基板的表面貼附偏光板等時不會發生貼附不良等。
本發明的顯示裝置的製造方法通過使用本發明的薄板玻璃疊層體，可防止 薄板玻璃基板的撓曲的發生和製造時的薄板玻璃基板的破損，並且可防止薄板 玻璃基板和支持用玻璃基板分離時的薄板玻璃基板的破損，所以可提高所製造 的顯示裝置的原材料利用率。
本發明的顯示裝置的製造方法中，使用真空加壓或真空層壓來實施在支持 用玻璃基板的矽氧烷樹脂層形成面上層疊薄板玻璃基板的工序時，可抑制該矽
氧垸樹脂層中的氣泡的混入。結果，可抑制在真空下形成ITO等透明電極的工
序中由混入矽氧垸樹脂層的氣泡引起的缺陷的產生。
對附圖的簡單說明


圖1是表示本發明的薄板玻璃疊層體的一例的截面模式圖。
圖2是從下方觀察圖1所示的薄板玻璃疊層體的平面圖。 圖3是表示本發明所用的支持用玻璃基板的變形例的平面圖。 圖4是表示將圖1所示的薄板玻璃疊層體的薄板玻璃基板和支持用玻璃基 板分離的步驟的圖。
圖5(a)、 (b)是表示實施液晶陣列 濾色片貼合工序後的顯示裝置中，將
薄板玻璃基板和支持用玻璃基板分離的步驟的圖。
圖6是表示實施例1中，將薄板玻璃疊層體1的薄板玻璃基板和支持用玻璃基板分離的步驟的圖。
圖7是表示實施例1 3的剝離試驗的結果的圖。
圖8實施例4中使用的支持用玻璃基板的平面圖。
符號說明
1:薄板玻璃疊層體
11:薄板玻璃基板
12:支持用玻璃基板
13:矽氧烷樹脂層
14:孔
20:顯示裝置
21:封接材料
22:結構物
30:壓縮氣體(壓縮空氣)注入用的管子
40:密封材料
50:固定臺
實施發明的最佳方式
下面，參照附圖對本發明的薄板玻璃疊層體進行說明。圖l是表示本發明
的薄板玻璃疊層體的一例的截面模式圖。圖2是從下方觀察圖l所示的薄板玻 璃疊層體的平面圖。
如圖1所示，本發明的薄板玻璃疊層體1中，薄板玻璃基板11和支持用 玻璃基板12隔著具有易剝離性及非粘著性的矽氧垸樹脂層(下面，本說明書中 也有稱為"矽氧烷樹脂層"的情況。)13層疊。支持用玻璃基板12和矽氧烷樹 脂層13上設置有相互連通的孔14。下面，本說明書中，無特別敘述時，將呈 相互連通的關係的設置於支持用玻璃基板12上的孔、及形成於矽氧烷樹脂層 13上的孔一併記作孔14。如圖2所示，孔14形成於支持用玻璃基板12的中 心部。
詳細情況如後所述，但本發明的薄板玻璃疊層體1中，可通過孔14將壓 縮氣體注入矽氧烷樹脂層13和薄板玻璃基板11的界面，藉此容易地將薄板玻 璃基板11和支持用玻璃基板12分離。
下面，就本發明的薄板玻璃疊層體1的各個結構要素進行說明。薄板玻璃基板11是LCD、 OLED的顯示裝置用的玻璃基板，具有不足0.3mm 的厚度。薄板玻璃基板11的厚度較好為0. 2mm以下，更好為0. lmm以下。此 外，薄板玻璃基板11的厚度較好為0. 05誦以上。
另外，作為本發明的對象的顯示裝置主要是可攜式電話和PDA之類的移動 終端中使用的小型的顯示裝置。顯示裝置主要是LCD或OLED，作為LCD，包括 TN型、STN型、FE型、TFT型、MIM型。
熱收縮率、表面形狀、耐化學品性等薄板玻璃基板11所要求的特性根據 顯示裝置的種類的不同而不同。因此，薄板玻璃基板可以是鹼玻璃制的玻璃基 板。但是，因為熱收縮率較小，所以較好的是無鹼玻璃。
本發明中，薄板玻璃基板11較好的是熱收縮率較小的玻璃基板。對於玻 璃，使用JIS R3102(1995年)規定的線膨脹係數作為熱膨脹及熱收縮的指標。 薄板玻璃基板11的線膨脹係數較好為50X1(T廠C以下，更好為45X10—7'C以 下，進一步更好為40X10—7'C以下，再進一步好為30X10—7廠C以下，特好為 20X10—7。C以下。
支持用玻璃基板12是以補強薄板玻璃基板11的強度為目的而與薄板玻璃 基板ll層疊的支持用玻璃基板，因此必須比薄板玻璃基板11厚。支持用玻璃 基板12的厚度較好的是可使其與薄板玻璃基板11的疊層體在目前的製造流水 線上流動的厚度。例如，目前的製造流水線是設計為使厚度為0.5mm的基板流 動的流水線，薄板玻璃基板11的厚度為0. lmm時，支持用玻璃基板12的厚度 較好的是與矽氧垸樹脂層13的厚度相加為0. 4mm。
另外，如上所述，薄板玻璃基板11的厚度較好為0.2mm以下。目前的制 造流水線中最常見的是設計為使厚度為0. 7mm的玻璃基板流動的流水線。因此， 支持用玻璃基板12和矽氧烷樹脂層13的總計厚度較好為0. 5mm以上。但是， 製造流水線不限定於設計為使厚度為0.5mm或0. 7mm的玻璃基板流動的流水 線，也有設計為使除此以外的厚度的玻璃基板流動的情況。例如，有設計為使 厚度不足0. 5mra的玻璃基板流動的情況，也有設計為使厚度超過0. 7mm的玻璃 基板流動的情況。
如果考慮後述的矽氧垸樹脂層13的厚度，則支持用玻璃基板12的厚度較 好為0. 3 0. 8mm。此外，支持用玻璃基板12和矽氧烷樹脂層13的厚度的總和 較好為O. 5mm以上、l.Omm以下。
此外，因為支持用玻璃基板12是補強薄板玻璃基板11的強度的支持用玻璃基板，所以其材質無特別限制，可以是鹼玻璃或無鹼玻璃中的任一種。但是， 支持用玻璃基板12較好的是其線膨脹係數與薄板玻璃基板11的線膨脹係數沒 有很大不同。這是因為，支持用玻璃基板12的線膨脹係數大於薄板玻璃基板 11的線膨脹係數時，顯示裝置的製造工序中的加熱工序中，支持用玻璃基板 12的膨脹被薄板玻璃疊層體1抑制，因此薄板玻璃疊層體1產生翹曲；相反地， 支持用玻璃基板12的線膨脹係數小於薄板玻璃基板11的線膨脹係數時，會發 生由薄板玻璃基板11的膨脹導致薄板玻璃基板11從矽氧烷樹脂層13剝離的
不良情況。
如上所述，支持用玻璃基板12和薄板玻璃基板11的線膨脹係數只要沒有
很大不同即可，因此不要求兩者的線膨脹係數完全一致，可以稍有差別。薄板
玻璃基板11和支持用玻璃基板12的線膨脹係數的差較好為35X10—7廠C以下， 更好為25X1CT廠C以下，進一步更好為15X10—7"C以下。
另外，支持用玻璃基板12在補強薄板玻璃基板11的同時，也在薄板玻璃 疊層體1於製造流水線上移動時成為支承薄板玻璃基板11的基臺，因此，其 尺寸較好的是與薄板玻璃基板11的尺寸相等，或大於薄板玻璃基板11的尺寸。
支持用玻璃基板12及矽氧烷樹脂層13上設置有至少1個相互連通的孔14。
即，支持用玻璃基板12及矽氧烷樹脂層13上，在薄板玻璃疊層體1的狀態(使 支持用玻璃基板12和矽氧垸樹脂層13疊層的狀態)下相互一致的位置上分別 設置有至少l個的孔14。
將薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12分離時，如果通過孔14將壓縮 氣體注入矽氧垸樹脂層13和薄板玻璃基板11的界面，則矽氧垸樹脂層13和 薄板玻璃基板11剝離，可容易地將薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12分 離。
圖2中，在支持用玻璃基板12的中心部設置有1個孔14，但設置於支持 用玻璃基板12上的孔14的數量和其配置不限定於此，支持用玻璃基板12上 也可形成多個孔14。圖3是表示本發明所用的支持用玻璃基板的變形例的平面 圖。圖3所示的支持用玻璃基板12上以相互間等間隔設置有6個孔14。使用 圖3所示的支持用玻璃基板12時，在與該支持用玻璃基板12層疊的矽氧烷樹 脂層上設置6個孔，使它們與設置於支持用玻璃基板12上的孔14的位置一致。 此外，在支持用玻璃基板12上設置1個孔14時，設置孔14的位置不限定於 支持用玻璃基板12的中心部，也可以是支持用玻璃基板12的周緣部附近。設置於支持用玻璃基板12上的孔14的數量及其配置較好的是在通過孔14
將壓縮氣體注入矽氧垸樹脂層13和薄板玻璃基板11的界面時，使矽氧烷樹脂 層13和薄板玻璃基板11的剝離面積最大。
對設置於支持用玻璃基板12上的孔14的尺寸無特別限制，可根據設置於 支持用玻璃基板12上的孔14的數量及其配置、通過孔14注入的壓縮氣體的 壓力、矽氧垸樹脂層13和薄板玻璃基板11之間的剝離力等適當選擇。如後述 的實施例所示，孔14越大，就能使分離薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12 所需的壓縮氣體的壓力越小。然而，如果孔14過大，則在顯示裝置的製造工 序中實施清洗時，蝕刻液和清洗液通過該孔14侵入矽氧垸樹脂層13和薄板玻 璃基板11的界面，在原本不應該剝離的時刻矽氧烷樹脂層13和薄板玻璃基板 ll可能會剝離，矽氧烷樹脂層13所含的添加物可能會從孔14漏出。考慮到以 上問題點，設置於支持用玻璃基板12上的孔14的直徑較好為0. lmni 10腿， 特好為0. 5mm 2mm。
製造本發明的薄板玻璃疊層體時，在具備至少l個孔的支持用玻璃基板上 形成矽氧烷樹脂層，該矽氧垸樹脂層具有易剝離性及非粘著性，且具有至少1 個與該支持用玻璃基板所具備的孔連通的孔，之後，在支持用玻璃基板的矽氧 垸樹脂層形成面上層疊薄板玻璃基板。
具有易剝離性及非粘著性的矽氧烷樹脂層是指如下矽氧烷樹脂層具有適 度的柔軟性，不像粘著劑那樣利用粘著力來固定薄板玻璃基板，而是利用由非 常接近的相對的固體分子間的範德華力產生的力、即密合力來固定薄板玻璃基 板。具有易剝離性及非粘著性的矽氧烷樹脂層的具體形態如後所述。
具有易剝離性及非粘著性的矽氧烷樹脂層利用密合力來固定薄板玻璃基 板，因此對層疊界面上將薄板玻璃基板和支持用玻璃基板平行地錯開的力的耐 受力、即容許剪切力顯示出較高的值。因此，顯示裝置的製造工序中，薄板玻 璃基板不會與支持用玻璃基板錯位。所以，不會因錯位而導致基板分離。
另一方面，由於矽氧垸樹脂層所具有的易剝離性及非粘著性，與將薄板玻 璃基板從支持用玻璃基板上沿垂直方向剝離的力、即剝離力相對的粘著力顯著 較低。因此，為了在薄板玻璃基板上製造顯示裝置而實施規定的處理後，可容 易地將支持用玻璃基板從薄板玻璃基板上分離。
矽氧烷樹脂層的耐熱性優異，因此加熱處理後，例如在大氣中以30(TC的 溫度加熱l小時後，可發揮出容許剪切力較高、而與剝離力相對的粘著力顯著較低的上述特性。下面，本說明書中，將加熱處理後、例如在大氣中以300°C
的溫度加熱1小時後的矽氧垸樹脂層具有上述特性的情況，即容許剪切力較高、 而與剝離力相對的粘著力顯著較低的情況稱為"加熱處理後的剝離性優異"。
具有易剝離性及非粘著性的矽氧烷樹脂層具有適度的柔軟性，因此層疊時 氣泡難以混入，而且，混入氣泡時，也可通過使用軋輥和壓機等進行壓接來容 易地除去該氣泡。此外，塵垢等異物混入層疊界面時，也可通過具有柔軟性的 矽氧垸樹脂層的形變使其難以引起薄板玻璃疊層體的凸狀缺陷。
具有易剝離性及非粘著性的矽氧垸樹脂層較好的是剝離紙用矽氧垸的固 化物。剝離紙用矽氧烷以矽氧垸中的分子內含有脫模性特別優異的直鏈狀的二 甲基聚矽氧烷的矽氧垸作為主劑。剝離紙用矽氧烷含有上述主劑和交聯劑，使 用催化劑、光聚合引發劑等使其固化，藉此固定於基材表面。剝離紙用矽氧烷 的固化塗膜具有優異的脫模性和適度的柔軟性。如果使用具有上述特性的剝離 紙用矽氧烷作為矽氧垸樹脂層，則可得到具有適度的柔軟性、且具有易剝離性 及非粘著性的矽氧烷樹脂層。
剝離紙用矽氧烷根據其固化機制的不同，可分為縮合反應型矽氧烷、加成 反應型矽氧烷、紫外線固化型矽氧垸、電子束固化型矽氧烷。本發明中，可使 用它們中的任一種。但是，從固化反應的容易程度、形成固化皮膜時形成具有 易剝離性及非粘著性的矽氧烷樹脂層的容易程度、固化物的耐熱性的角度來 看，它們之中最好的是加成反應型矽氧垸。
加成反應型矽氧烷是含有由兩末端、或兩末端及側鏈中具有乙烯基的直鏈 狀聚有機矽氧烷構成的主劑和由甲基氫聚矽氧垸構成的交聯劑，在鉑系催化劑 的存在下發生加熱固化反應而得的矽氧烷。
兩末端、或兩末端及側鏈中具有乙烯基的直鏈狀聚有機矽氧垸是以下式表
示的化合物，式中的ra、 n表示整數，可以是0。 m為0時，是兩末端具有乙烯 基的直鏈狀聚有機矽氧垸。m為1以上的整數時，是兩末端及側鏈中具有乙烯 基的直鏈狀聚有機矽氧垸。
formula see original document page 13
甲基氫聚矽氧烷是以下式表示的化合物，式中的a表示整數，b表示l以 上的整數。formula see original document page 14
作為加熱固化反應中使用的催化劑，較好的是使用鉑系催化劑，作為鉑系
催化劑，可使用公知的鉑系催化劑。具體可例舉氯鉑(n)酸、氯鉬(IV)酸等氯
鉬酸，氯鉑酸的醇化合物、醛化合物或氯鉑酸和各種烯烴的絡合鹽等。另外，
鉬系催化劑相對於剝離紙用矽氧烷IOO質量份，較好的是使用0. 1 20質量份， 更好的是1 10質量份。
剝離紙用矽氧垸在形態上有溶劑型、乳液型、無溶劑型，可使用其中的任 一種。但是，在生產性、安全性、環境特性方面較好的是無溶劑型。使用無溶 劑型矽氧烷時，因為不含固化時、即加熱固化、紫外線固化或電子束固化時發 生發泡現象的溶劑，所以氣泡難以殘留在樹脂層中。
具有易剝離性及非粘著性的矽氧垸樹脂層可以僅由1種剝離紙用矽氧烷形 成，但也可以使用2種以上的剝離紙用矽氧烷形成。使用2種以上的剝離紙用 矽氧烷形成矽氧烷樹脂層時，可以製成2種以上的剝離紙用矽氧烷相互層疊而 成的多層結構的矽氧烷樹脂層，也可以製成在1層中包含2種以上的剝離紙用 矽氧烷的混合矽氧烷樹脂層。
具有易剝離性及非粘著性的矽氧烷樹脂層較好的是在分離玻璃基板時，矽 氧烷樹脂層中的成分難以向薄板玻璃基板轉移，即具有低矽氧垸轉移性。矽氧 垸樹脂層中的成分的轉移容易程度可將該矽氧垸樹脂層的殘留粘接率作為指 標進行判斷。矽氧烷樹脂層的殘留粘接率可用以下方法測定。
用人手的力將15mm寬的標準粘著帶(cellotape(註冊商標)CT405A—15(米 其邦(NICHIBAN)株式會社制))壓接於矽氧烷樹脂層的表面，在大氣中以70°C加 熱20小時。經過20小時後，將標準粘著帶從矽氧垸樹脂層剝離。將剝離的標 準粘著帶貼合於潔淨的玻璃基板(例如AN100(旭硝子株式會社制))表面後，測 定180°剝離強度(300mm/min)(剝離強度(A))。
用人手的力將與上述相同的標準粘著帶壓接於潔淨的玻璃基板(例如 認100(旭硝子株式會社制))表面後，在常溫大氣中放置20小時。經過20小時 後，將標準粘著帶從玻璃基板表面剝離。將剝離的標準粘著帶貼合於玻璃基板 (例如AN100(旭硝子株式會社制))表面後，測定180°剝離強度(300國/min)(剝離強度(B))。通過下式求出殘留粘接率。
殘留粘接率(％)=剝離強度(A) /剝離強度(B) X 100
具有易剝離性及非粘著性的矽氧烷樹脂層的由上述測定方法求得的殘留
粘接率較好為95%以上，更好為98%以上。如果殘留粘接率為95%以上，則 可認為從矽氧烷樹脂層向薄板玻璃基板表面的樹脂層中的成分的轉移極低。因 此，將玻璃基板分離後，形成有矽氧烷樹脂層的支持用玻璃基板可在與其它薄 板玻璃基板的層疊中反覆使用。此外，因為矽氧垸樹脂層中的成分難以轉移至 分離後的薄板玻璃基板的表面，所以在薄板玻璃基板的表面貼附偏光板等時不 會發生貼附不良等。
為得到具有低矽氧烷轉移性的矽氧烷樹脂層，只要使用不含轉移性高的成
分的剝離紙用矽氧烷即可。作為常用的方法，為使剝離紙用矽氧垸易剝離化， 有時會摻入非反應性的矽氧烷。此時，作為非反應性矽氧烷，使用因直鏈二甲 基聚矽氧烷而使分子量非常高的矽氧烷，或使用導入了苯基或高級垸基、降低 與固化皮膜的相溶性的分子量比較低的矽氧垸。上述非反應性矽氧烷是轉移性 高的成分，因此本發明所使用的剝離紙用矽氧垸較好的是非反應性的矽氧垸的 含量為5質量％以下，更好的是實質上不含非反應性的矽氧烷。
本發明中，作為合適的剝離紙用矽氧烷，具體可例舉KNS — 320A、 KS — 847(均為信越有機矽株式會社制)，TPR6700(GE東芝有機矽株式會社制)等。
具有易剝離性及非粘著性的矽氧垸樹脂層的厚度較好為1 100"m。矽氧 烷樹脂層的厚度不足lwm時，薄板玻璃基板與矽氧烷樹脂層的密合可能變得 不充分。此外，夾雜有異物時也容易引起薄板玻璃基板的凸狀缺陷。另一方面， 矽氧烷樹脂層的厚度超過100ym時，對作為具有易剝離性及非粘著性的矽氧 烷樹脂層的特性的貢獻很小，矽氧垸樹脂的固化需要時間，因此不經濟。矽氧 烷樹脂層的厚度更好為5 20um。如果矽氧垸樹脂層的厚度為5 20"m，則 可對廣泛的厚度範圍內的薄板玻璃基板發揮良好的密合性。
對在支持用玻璃基板上形成具有易剝離性及非粘著性的矽氧垸樹脂層的 方法無特別限制，可從公知的方法中適當選擇。使用剝離紙用矽氧烷作為矽氧 烷樹脂層時，在支持用玻璃基板表面塗布剝離紙用矽氧垸後，在層疊薄板玻璃 基板之前使剝離紙用矽氧垸固化。
這裡，為形成具有至少l個與支持用玻璃基板所具備的孔連通的孔的矽氧 烷樹脂層，只要在向預先設置有孔的支持用玻璃基板上塗布剝離紙用矽氧烷時，採用剝離紙用矽氧烷不會侵入設置於支持用玻璃基板上的孔的塗布方法即 可。具體地說，採用如下方法即可將密封劑封入設置於支持用玻璃基板上的 孔，或通過貼附膠帶等將孔密封，在此狀態下塗布剝離紙用矽氧烷，使剝離紙 用矽氧烷固化形成矽氧垸樹脂層，之後去除密封劑或膠帶等。
作為塗布剝離紙用矽氧烷的方法，可使用公知的方法，具體地說例如可例 舉噴塗法、模途法、旋塗法、浸塗法、輥塗法、刮棒塗布法、網版印刷法、凹 版塗布法等。這些塗布方法可根據剝離紙用矽氧烷的種類適當選擇。例如，剝 離紙用矽氧烷為無溶劑型時，較好的是模塗法、旋塗法及網版印刷法。其中， 釆用網版印刷法時，可在不實施上述塗布前的孔的密封的情況下，形成具有至 少1個與支持用玻璃基板所具備的孔連通的孔的矽氧烷樹脂層，所以特好。
剝離紙用矽氧烷為無溶劑型時，其塗布量較好為lg/m3 100g/m3，更好為 5g/m'! 20g/m3。
另外，也可在未預先設置孔的支持用玻璃基板的整個表面塗布剝離紙用矽 氧烷，使剝離紙用矽氧垸固化形成矽氧烷樹脂層，之後通過物理方法形成連通 矽氧烷樹脂層和支持用玻璃基板的孔，藉此形成連通支持用玻璃基板和矽氧垸 樹脂層的孔。
剝離紙用矽氧垸為加成反應型矽氧烷時，通過上述的任一種方法將含有主 劑及交聯劑的剝離紙用矽氧烷和催化劑的混合物塗布於支持用玻璃基板上，之 後加熱固化。加熱固化條件根據催化劑的摻合量的不同而不同，例如，相對於 剝離紙用矽氧烷100質量份摻合了 2質量份的鉑系催化劑時，在大氣中以50 。C 250。C、較好為10(TC 20(TC的溫度加熱固化1 10分鐘、較好為1 5分 鍾。
為製成具有低矽氧烷轉移性的矽氧垸樹脂層，較好的是儘可能地進行固化 反應，使矽氧烷樹脂層中不殘留未反應的矽氧烷成分。如果以上述條件加熱固 化，則可使矽氧烷樹脂層中不殘留未反應的矽氧垸成分。與上述條件相比，加 熱時間過長、或加熱溫度過高時，會同時引起矽氧烷樹脂的氧化分解，生成低 分子量的矽氧烷成分，因此矽氧垸轉移性提高。為使加熱處理後的剝離性良好， 較好的也是如上所述，儘可能地進行固化反應，使矽氧垸樹脂層中不殘留未反 應的矽氧烷成分。
通過使剝離紙用矽氧垸加熱固化，矽氧垸樹脂層與支持用玻璃基板化學結 合，此外，矽氧烷樹脂層與支持用玻璃基板通過錨定效果結合。通過這些作用，
16矽氧垸樹脂層被固定在支持用玻璃基板上。
另一方面，薄板玻璃基板藉由非常接近的相對的固體分子間的範德華力產 生的力、即密合力被固定在矽氧烷樹脂層上，所以將層積於支持用玻璃基板的 矽氧烷樹脂形成面上的薄板玻璃基板分離時，可防止矽氧烷樹脂層殘存於分離 後的薄板玻璃基板的表面。
也就是說，通過使用剝離紙用矽氧烷，可將支持用玻璃基板和薄板玻璃基 板保持在層疊狀態，並且也可在分離薄板玻璃基板時防止矽氧垸樹脂層殘存於 分離後的薄板玻璃基板的表面，結果可達到本發明的目的。
在支持用玻璃基板的矽氧烷樹脂形成面上層疊薄板玻璃基板的步驟可用 公知的方法實施，例如，在常壓環境下，在矽氧烷樹脂形成面上層疊薄板玻璃 基板後，可使用軋輥或壓機壓接疊層體。通過用軋輥或壓機壓接，矽氧烷樹脂 層和薄板玻璃基板更為密合。
此外，通過使用軋輥或壓機的壓接，混入疊層體中的氣泡被容易地除去。
從氣泡的混入的抑制和良好的密合的確保的角度來看，特好的是採用真空 層壓法、真空加壓法。也具有通過在真空下層疊、即使在殘存有少量的氣泡的 情況下、氣泡也不會因加熱而成長、難以引起薄板玻璃基板的凸狀缺陷的優點。
在支持用玻璃基板的矽氧垸樹脂層形成面上層疊薄板玻璃基板時，必須將 薄板玻璃基板的表面充分洗淨，在清潔度較高的環境下層疊。
這是因為，如果是極少量的異物，則它們的影響通過具有柔軟性的矽氧垸 樹脂層的形變被矽氧垸樹脂層吸收，不會對層疊後的薄板玻璃基板表面的平坦 性造成影響，但根據其量和尺寸的不同，也有引起層疊後的薄板玻璃基板表面 的凸狀缺陷的可能性。
本發明的薄板玻璃疊層體如圖4所示，通過設置於支持用玻璃基板12上 的孔14將壓縮氣體注入矽氧烷樹脂層13和薄板玻璃基板11的界面，藉此， 矽氧烷樹脂層13和薄板玻璃基板11剝離。這樣可容易地將薄板玻璃基板11 和支持用玻璃基板12分離。此時，為使壓縮氣體不會向周圍洩漏，通過用密 封劑40將壓縮氣體注入用的管子30和孔14的接合部分的周圍密封，可進行 高效的分離。
這裡，可以藉由選擇孔14的數量、配置及通過孔14注入的壓縮氣體的壓 力等，通過孔14向矽氧烷樹脂層13和薄板玻璃基板11的界面注入壓縮氣體， 僅藉此使矽氧垸樹脂層13和薄板玻璃基板11剝離，薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12分離，也可以並用用手剝離或用其它夾具剝離的方法，使矽氧 烷樹脂層13和薄板玻璃基板11剝離，薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12
分離。採用後者的方法時，通過將壓縮氣體注入矽氧垸樹脂層13和薄板玻璃 基板11的界面，賦予矽氧垸樹脂層13和薄板玻璃基板11剝離的切入口，所 以通過用手剝離或用其它夾具剝離，可使矽氧垸樹脂層13和薄板玻璃基板11 剝離，藉此可容易地將薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12分離。
通過孔14注入的壓縮氣體的種類只要不會對薄板玻璃基板11、支持用玻 璃基板12及矽氧烷樹脂層13造成惡劣影響即可，無特別限制。因為廉價，所 以可優選使用壓縮空氣、壓縮氮氣等。此外，通過孔14注入的壓縮氣體的壓 力也無特別限制，可在不會使薄板玻璃基板ll及支持用玻璃基板12破損的範 圍內適當選擇。
剝離的支持用玻璃基板呈形成有具有易剝離性及非粘著性的矽氧烷樹脂 層的狀態，所以可再次用於與別的薄板玻璃基板的層疊。
接著，就本發明的顯示裝置的製造方法進行說明。本發明的顯示裝置的制 造方法中，以上述步驟形成本發明的薄板玻璃疊層體後，為了在疊層體的薄板 玻璃基板上製造顯示裝置而實施規定的處理。本說明書中，提及為了製造顯示 裝置而作的規定的處理時，廣泛包括製造LCD或OLED的顯示裝置時在製造工 序中所實施的各種處理。作為這裡所實施的處理的具體示例，如果以製造LCD 時為例，則包括在薄板玻璃基板上形成陣列的工序、在與該薄板玻璃基板不同 的薄板玻璃基板上形成濾色片的工序、將形成有陣列的薄板玻璃基板與形成有 濾色片的薄板玻璃基板貼合的工序(陣列 濾色片貼合工序)等各種工序；作為 在這些工序中實施的處理，具體地說例如可例舉純水清洗、乾燥、成膜、保護 層塗布、曝光、顯影、蝕刻及保護層除去等。另外，作為在實施陣列…濾色片 貼合工序後進行的工序，有液晶注入工序及在實施該處理後進行的注入口的密 封工序，也包括在這些工序中實施的處理。但是，這些處理不必全部都在疊層 體的狀態下實施。例如，從強度及操作性的角度來看，較好的是在疊層體的狀 態下實施到陣列 濾色片貼合工序為止的工序，之後將薄板玻璃基板和支持用 玻璃基板分離，然後實施液晶注入處理。
另外，本發明的顯示裝置的製造方法中，形成陣列的玻璃基板及形成濾色 片的玻璃基板可以不都是薄板玻璃基板。例如，可以將形成有陣列的薄板玻璃 基板與形成有濾色片的普通厚度的玻璃基板貼合，或者也可以將形成有陣列的普通厚度的玻璃基板與形成有濾色片的薄板玻璃基板貼合。此時，雖然作為凝 膠化後的顯示元件的總厚度變厚，但是有機械強度提高的優點。這裡所說的普
通厚度的玻璃基板是指厚度為0. 3mra以上的玻璃基板。
此外，如果以製造OLED時為例，則作為用於在薄板玻璃基板上形成有機 EL結構體的工序，包括形成透明電極的工序，蒸鍍空穴注入層、空穴傳輸層、 發光層、電子傳輸層等的工序，密封工序等各種工序；作為在這些工序中實施 的處理，具體地說例如可例舉成膜處理、蒸鍍處理、密封板的接合處理等。
實施上述規定的處理後，將薄板玻璃基板和支持用玻璃基板分離。圖5(a)、 (b)是表示實施液晶陣列 濾色片貼合工序後的顯示裝置中，將薄板玻璃基板 和支持用玻璃基板分離的步驟的圖。
圖5(a)中，2個薄板玻璃疊層體1通過封接材料21貼合，形成顯示裝置 20。顯示裝置20中，在由2塊薄板玻璃基板11和封接材料21定義的封閉空 間內，形成有陣列、濾色片等結構物22。
如圖5(b)所示，在將構成顯示裝置20的2個薄板玻璃疊層體1中的一個 用真空吸附等固定於固定臺50的狀態下，通過設置於另一個薄板玻璃疊層體1 的支持用玻璃基板12上的孔14，將壓縮空氣注入矽氧烷樹脂層13和薄板玻璃 基板11的界面，藉此使矽氧烷樹脂層13與薄板玻璃基板11剝離，將薄板玻 璃基板11和支持用玻璃基板12分離。之後，將顯示裝置20反轉，將從支持 用玻璃基板12分離的薄板玻璃基板11固定於固定臺50，在此狀態下，通過設 置於圖5(b)中固定於固定臺50的薄板玻璃疊層體1的支持用玻璃基板12上的 孔14，將壓縮空氣注入矽氧垸樹脂層13和薄板玻璃基板11的界面，藉此使矽 氧垸樹脂層13與薄板玻璃基板11剝離，從而可將薄板玻璃基板11和支持用 玻璃基板12分離。
將薄板玻璃基板和支持用玻璃基板分離後，經過必要的所希望的工序得到 具有薄板玻璃基板的顯示裝置。作為這裡所實施的工序，顯示裝置為LCD時， 例如可例舉分割成所希望的尺寸的單元的工序、注入液晶之後將注入口密封的 工序、貼附偏光板的工序、模塊形成工序等。顯示裝置為OLED時，除上述工 序外，還包括將形成有有機EL結構體的薄板玻璃基板和對向基板裝配起來的 工序。另外，因為薄板玻璃基板的強度不會因切割處理而下降，也不會產生碎 玻璃，所以分割成所希望的尺寸的單元的工序較好的是使用雷射切割器切割。
此外，本發明提供支持用玻璃基板，它是用於與薄板玻璃基板層疊的支持用玻璃基板，在支持用玻璃基板的一個面上形成有具有易剝離性及非粘著性的 矽氧烷樹脂層，支持用玻璃基板和矽氧烷樹脂層上設置有至少l個相互連通的 孔。
實施例 (實施例1)
本實施例中，製作了圖l、 2所示的薄板玻璃疊層體。
如圖2所示，在縱向長度100mm、橫向長度100mm、厚度0. 7mm、線膨脹系 數38X1(T/X:的支持用玻璃基板12(旭硝子株式會社制AN100)的中心部用金剛 石鑽頭開出孔徑1.5mm的孔14。用純水清洗、UV清洗等將該基板12淨化後， 用網板印刷機塗布100質量份的無溶劑加成反應型剝離紙用矽氧烷(信越有機 矽株式會社制KNS —320A)和2質量份的鉑系催化劑(信越有機矽株式會社制 CAT-PL-56)的混合物(塗布量15g/m2)，以IO(TC的溫度在大氣中加熱固化3分 鍾，形成膜厚15"m的矽氧烷樹脂層13。在支持用玻璃基板12上的孔14的部 分不形成矽氧垸樹脂層13，可形成連通支持用玻璃基板12和矽氧垸樹脂層13 的孔14。
用純水清洗、UV清洗等將縱向長度95mm、橫向長度95mm、厚度0. l誦、 線膨脹係數38X10—7。C的薄板玻璃基板(旭硝子株式會社制AN100)的與矽氧烷 樹脂層的接觸側的面淨化後，在室溫下用真空加壓將支持用玻璃基板的矽氧烷 樹脂層形成面與薄板玻璃基板貼合，得到薄板玻璃疊層體1。
薄板玻璃疊層體1中，薄板玻璃基板在不產生氣泡的情況下與矽氧垸樹脂 層密合，也無凸狀缺陷，平滑性也良好。
如圖6所示，將薄板玻璃疊層體1設置於固定臺50上，通過真空吸附固 定，使薄板玻璃基板11為下側。在此狀態下，將壓縮空氣注入用的管子30的 周圍用密封劑40密封，使其與設置於支持用玻璃基板12上的孔14相連，使 空氣不會洩漏。之後，將1.41kgf/cm2(13. 8X10卞a)的壓縮空氣通過孔14注入 矽氧烷樹脂層13和薄板玻璃基板11的界面，然後進行矽氧垸樹脂層13和薄 板玻璃基板11的剝離，可容易地用手將支持用玻璃基板12從薄板玻璃基板11 分離。
對以30(TC的溫度加熱1小時後的薄板玻璃疊層體1也實施相同步驟的處 理。將1.75kgf/cm2(17. 2X10卞a)的壓縮空氣通過孔14注入矽氧烷樹脂層13
20和薄板玻璃基板11的界面，然後進行矽氧垸樹脂層13和薄板玻璃基板11的 剝離，可容易地用手將支持用玻璃基板12從薄板玻璃基板11分離。
(實施例2、 3)
除將孔14的孔徑變為lmm(實施例2)、 2mm(實施例3)這一點以外，與實施 例1相同實施處理。
實施例1 3的剝離試驗的結果如圖7所示。由圖7可以確認，如果增大 孔14的孔徑，則可降低分離薄板玻璃基板11和支持用玻璃基板12所需的壓 縮空氣的壓力。此外，以30(TC的溫度加熱1小時後的薄板玻璃疊層體與加熱 前的薄板玻璃疊層體相比，雖有必要提高壓縮空氣的壓力，但可以容易地用手 將支持用玻璃基板12從薄板玻璃基板11分離。
(實施例4)
在縱向長度400隱、橫向長度300mm、厚度0. 7mm、線膨脹係數38X10—7 。C的支持用玻璃基板(旭硝子株式會社制AN100)的圖8所示的規定的位置上用 金剛石鑽頭開出7個孔徑1.5mm的孔。用純水清洗、UV清洗等將該基板淨化後， 用網板印刷機塗布100質量份的無溶劑加成反應型剝離紙用矽氧烷(信越有機 矽株式會社制KNS — 320A)和2質量份的鉑系催化劑(信越有機矽株式會社制 CAT-PL-56)的混合物(塗布量15g/m2)，以100°C的溫度在大氣中加熱固化3分 鍾，形成膜厚15ym的矽氧烷樹脂層。在支持用玻璃基板上的孔的部分不形成 矽氧烷樹脂層，可形成連通支持用玻璃基板和矽氧垸樹脂層的孔。
用純水清洗、UV清洗等將縱向長度400mm、橫向長度300腿、厚度0. lmm、 線膨脹係數38X10—7。C的薄板玻璃基板(旭硝子株式會社制認100)的與矽氧烷 樹脂層的接觸側的面淨化後，在室溫下用真空加壓將支持用玻璃基板的矽氧烷 樹脂層形成面與薄板玻璃基板貼合，得到本發明的薄板玻璃疊層體(薄板玻璃 疊層體2)。
薄板玻璃疊層體2中，薄板玻璃基板在不產生氣泡的情況下與矽氧垸樹脂 層密合，也無凸狀缺陷，平滑性也良好。 [剝離試驗]
將薄板玻璃疊層體2設置於具有多個微細的吸附孔的平滑的固定臺上，通 過真空吸附固定，使薄板玻璃基板為下側。在此狀態下，將壓縮空氣注入用的 管子的周圍用密封劑密封，使其與形成於支持用玻璃基板上的各孔相連，使空 氣不會洩漏。之後，將3. 5Xl(TPa的壓縮空氣通過設置於支持用玻璃基板上的孔注入矽氧烷樹脂層和薄板玻璃基板的界面，然後進行矽氧烷樹脂層和薄板玻 璃基板的剝離，可容易地用手將支持用玻璃基板從薄板玻璃基板分離。 (實施例5)
本實施例中，用實施例4中得到的薄板玻璃疊層體2製造LCD。準備2塊 薄板玻璃疊層體2，對l塊實施陣列形成工序，在薄板玻璃基板的表面形成陣 列。對剩下的l塊實施濾色片形成工序，在薄板玻璃基板的表面形成濾色片。 將形成有陣列的薄板玻璃基板與形成有濾色片的薄板玻璃基板貼合後，用使用 圖5(a)、 (b)進行說明的方法將2塊支持用玻璃基板分離。接著，用雷射切割 器切割薄板玻璃基板，分割成28個縱向長度51誦X橫向長度38咖的單元，之 後實施液晶注入工序及注入口的密封工序，形成液晶單元。實施在形成的液晶 單元上貼附偏光板的工序，接著實施模塊形成工序，得到LCD。如上所述得到 的LCD未產生特性方面的問題。
(實施例6)
本實施例中，用實施例4中得到的薄板玻璃疊層體2和厚度0. 7mm的無鹼 玻璃基板製造LCD。準備薄板玻璃疊層體2，實施濾色片形成工序，在薄板玻 璃基板的表面形成濾色片。另一方面，對厚度0. 7mm的無鹼玻璃基板(旭硝子 株式會社制AN100)實施陣列形成工序，在厚度0. 7mm的無鹼玻璃基板的表面形 成陣列。
將形成有濾色片的薄板玻璃基板與形成有陣列的厚度0. 7mm的無鹼玻璃基 板貼合後，用使用圖5(a)、 (b)進行說明的方法將支持用玻璃基板分離。
接著，將薄板玻璃基板一無鹼玻璃基板貼合體分割成28個縱向長度51rmn X橫向長度38mm的單元，此時，用雷射切割器切割薄板玻璃基板。另一方面， 用雷射切割器或劃線裂片(scribe-break)法切割無鹼玻璃基板。
之後，實施液晶注入工序及注入口的密封工序，形成液晶單元。實施在形 成的液晶單元上貼附偏光板的工序，接著實施模塊形成工序，得到LCD。如上 所述得到的LCD未產生特性方面的問題。
(實施例7)
本實施例中，用實施例4中得到的薄板玻璃疊層體2製造0LED。實施形成 透明電極的工序，形成輔助電極的工序，蒸鍍空穴注入層、空穴傳輸層、發光 層、電子傳輸層等的工序，將它們密封的工序，藉此在薄板玻璃疊層體2的薄 板玻璃基板上形成有機EL結構體。接著，用實施例4中記載的方法將薄板玻璃基板和支持用玻璃基板分離。接著，用雷射切割器切割薄板玻璃基板，分割 成40個縱向長度41ramX橫向長度30誦的單元，之後將形成有有機EL結構體 的薄板玻璃基板和對向基板裝配起來，實施模塊形成工序，製成0LED。如上所 述得到的OLED未產生特性方面的問題。 (比較例1)
除使用未開孔的支持用玻璃基板外，實施與實施例4相同步驟的處理，得 到比較例的薄板玻璃疊層體3。薄板玻璃疊層體3中，為剝離支持用玻璃基板， 必需用剃刀刀刃賦予端部以剝離的切入點，支持用玻璃基板的分離需要相當多 的時間。
產業上利用的可能性
利用本發明得到的薄板玻璃疊層體，可在LCD、 OLED等各種顯示裝置的制 造工序內作為顯示裝置用玻璃基板的處理用的薄板玻璃疊層體使用。此外，使 用了本發明的薄板玻璃疊層體的顯示裝置的製造方法可作為LCD、 OLED等各種 顯示裝置的製造方法使用。
這裡引用2006年5月8日提出申請的日本專利申請2006-129282號的說 明書、權利要求書、附圖以及摘要的全部內容作為本發明的說明書的揭示。
權利要求
1. 一種薄板玻璃疊層體，它是使薄板玻璃基板和支持用玻璃基板層疊而成的薄板玻璃疊層體，其特徵在於，所述薄板玻璃基板和所述支持用玻璃基板隔著具有易剝離性及非粘著性的矽氧烷樹脂層層疊，且所述矽氧烷樹脂層和所述支持用玻璃基板上設置有至少1個相互連通的孔。
2. 如權利要求1所述的薄板玻璃疊層體，其特徵在於，所述支持用玻璃 基板的孔的直徑為0. l畫 10mm。
3. 如權利要求1或2所述的薄板玻璃疊層體，其特徵在於，所述矽氧垸 樹脂層還具有低矽氧烷轉移性。
4. 如權利要求1 3中任一項所述的薄板玻璃疊層體，其特徵在於，所述 矽氧烷樹脂層是由剝離紙用矽氧垸的固化物構成的層。
5. 如權利要求4所述的薄板玻璃疊層體，其特徵在於，所述剝離紙用矽 氧垸的固化物是兩末端、或兩末端及側鏈中具有乙烯基的直鏈狀聚有機矽氧垸 與甲基氫聚矽氧垸的交聯反應物。
6. 如權利要求1 5中任一項所述的薄板玻璃疊層體，其特徵在於，所述 薄板玻璃基板的厚度不足0.3mm，所述支持用玻璃基板和所述矽氧烷樹脂層的 厚度的總和為O. 5mm以上。
7. 如權利要求1 6中任一項所述的薄板玻璃疊層體，其特徵在於，所述 支持甩玻璃基板的線膨脹係數和所述薄板玻璃基板的線膨脹係數的差為15 X 10—7"C以下。
8. —種使用了薄板玻璃疊層體的顯示裝置的製造方法，它是使用薄板玻 璃基板的顯示裝置的製造方法，其特徵在於，具有在具備至少l個孔的支持用玻璃基板上形成矽氧烷樹脂層的工序，該矽氧 烷樹脂層具有易剝離性及非粘著性，且具有至少l個與所述支持用玻璃基板所具備的孔連通的孔，在所述支持用玻璃基板的所述矽氧垸樹脂層形成面上層疊薄板玻璃基板 的工序，為了在所述薄板玻璃基板上製造顯示裝置而實施處理的工序，和 從所述支持用玻璃基板所具備的孔向所述矽氧烷樹脂層和所述薄板玻璃基板的界面注入壓縮氣體，將所述薄板玻璃基板和所述支持用玻璃基板分離的 工序。
9. 如權利要求8所述的使用了薄板玻璃疊層體的顯示裝置的製造方法， 其特徵在於，所述矽氧烷樹脂層是由剝離紙用矽氧烷的固化物構成的層。
10. 如權利要求9所述的使用了薄板玻璃疊層體的顯示裝置的製造方法，其特徵在於，所述剝離紙用矽氧烷的固化物是兩末端、或兩末端及側鏈中具有 乙烯基的直鏈狀聚有機矽氧烷與甲基氫聚矽氧垸的交聯反應物。
11. 如權利要求8所述的使用了薄板玻璃疊層體的顯示裝置的製造方法， 其特徵在於，所述在支持用玻璃基板上形成矽氧烷樹脂層的工序通過在所述支 持用玻璃基板上塗布剝離紙用矽氧烷，之後使所述剝離紙用矽氧烷固化來進 行。
12. 如權利要求11所述的使用了薄板玻璃疊層體的顯示裝置的製造方法， 其特徵在於，所述剝離紙用矽氧垸含有兩末端、或兩末端及側鏈中具有乙烯基 的直鏈狀聚有機矽氧烷，甲基氫聚矽氧垸及鉑系催化劑。
13. 如權利要求11或12所述的使用了薄板玻璃疊層體的顯示裝置的製造 方法，其特徵在於，所述剝離紙用矽氧烷不含非反應性矽氧烷。
14. 如權利要求11 13中任一項所述的使用了薄板玻璃疊層體的顯示裝 置的製造方法，其特徵在於，所述剝離紙用矽氧烷的塗布使用網版印刷法。
15. 如權利要求11 14中任一項所述的使用了薄板玻璃疊層體的顯示裝 置的製造方法，其特徵在於，塗布所述剝離紙用矽氧垸後，使其在50 250°C 的溫度下加熱固化。
16. 如權利要求11 15中任一項所述的使用了薄板玻璃疊層體的顯示裝 置的製造方法，其特徵在於，在所述支持用玻璃基板的所述矽氧垸樹脂層形成 面上層疊薄板玻璃基板的工序使用真空加壓或真空層壓。
17. —種支持用玻璃基板，它是用於與薄板玻璃基板層疊的支持用玻璃基 板，其特徵在於，在所述支持用玻璃基板的一個面上形成有具有易剝離性及非 粘著性的矽氧烷樹脂層，所述支持用玻璃基板和所述矽氧烷樹脂層上設置有至 少1個相互連通的孔。
全文摘要
本發明提供抑制薄板玻璃基板和支持用玻璃基板的氣泡的混入和異物導致的凸狀缺陷的產生、薄板玻璃基板和支持用玻璃基板的分離容易、且耐熱性優異的薄板玻璃疊層體，及使用了該薄板玻璃疊層體的顯示裝置的製造方法，以及該薄板玻璃疊層體用的支持用玻璃基板。上述薄板玻璃疊層體是使薄板玻璃基板和支持用玻璃基板層疊而成的薄板玻璃疊層體，其特徵在於，上述薄板玻璃基板和上述支持用玻璃基板隔著具有易剝離性及非粘著性的矽氧烷樹脂層層疊，且上述矽氧烷樹脂層和上述支持用玻璃基板上設置有至少1個相互連通的孔。
文檔編號G09F9/00GK101437772SQ20078001639
公開日2009年5月20日 申請日期2007年4月20日 優先權日2006年5月8日
發明者樋口俊彥 申請人:旭硝子株式會社