研磨墊用輔助板和採用它的研磨墊的再生方法

2024-01-31 09:55:15 2

專利名稱：研磨墊用輔助板和採用它的研磨墊的再生方法
技術領域：
本發明涉及以矽片、半導體基板、玻璃基板等這樣的要求高平坦加工精度的作為工件的基板為對象的研磨的技術，本發明特別是涉及可實現用於對該基板的表面進行研磨時的研磨墊的再使用的技術。
背景技術：
如人們熟知的那樣，在半導體的製造時，對構成組成部件的矽片或半導體基板、玻璃基板等的基板的表面進行平坦化的研磨處理。上述研磨處理一般通過下述方式實施，該方式為通過雙面膠帶而將由樹脂材料等形成的圓板形狀的研磨墊直接固定於研磨機的旋轉平臺上，一邊供給包括研磨顆粒的研磨液，一邊使研磨墊和基板相對地進行旋轉運動，進行研磨。於是，作為用於實施這樣的研磨處理的研磨墊，如日本特開2002-11630號公報 (專利文獻1)等中記載的那樣，採用由發泡或未發泡的氨基甲酸乙酯等形成的樹脂墊。另外，在上述研磨墊的研磨表面上，在許多的場合，進行同心圓狀或格子狀、輻射狀等的槽加工，或使發泡樹脂的氣泡開口等的處理。不過，在採用研磨墊而進行研磨加工的場合，作為研磨對象的基板在進行種類切換等時，具有必須將用於研磨加工的研磨墊與旋轉平臺剝離開，替換為另一研磨墊的情況。 另外，比如，即使以再使用等為目的，通過另一加工裝置對伴隨研磨加工而劣化的研磨墊進行表面開槽等的再加工這樣的場合等，仍必須將研磨墊與旋轉平臺剝離開。但是，薄壁圓板狀的樹脂墊通過粘接膠帶而牢固地固定於研磨裝置的旋轉平臺上，故將研磨墊與旋轉平臺剝離開時，研磨墊容易產生彎曲或折斷、褶皺、破壞等的損傷。於是，由於這樣的損傷的原因，具有產生許多雖然沒有到達壽命期限，卻無法再使用該研磨墊，不得不將其廢棄的問題。並且，由於一邊按照不損傷的方式進行細心的操作，一邊將研磨墊與旋轉平臺剝離開的作業要求熟練和謹慎，故還具有對作業者造成較大的負擔的問題。此外，由於將研磨墊與旋轉平臺剝離開的作業必須要求相當的時間，故還具有必須在較長時間停止高價、貴重的設備的研磨裝置，限制設備的操作時間的問題。此外，在日本特開2001-54859號公報(專利文獻2)中，提出了下述的結構，其中，直接將平板形狀的支承體層成一體地形成於研磨墊的內面上，並且通過磁力或負壓吸引力，將該支承體層吸附保持於研磨機的旋轉平臺上，由此，可從旋轉平臺上容易取下研磨墊。但是，不僅難以直接成一體地在研磨墊上形成支承體層，而且比如，即使在可成一體地在研磨墊上形成支承體層的情況下，實用化仍是存在問題。但是，在上述專利文獻2中，雖然例舉了通過磁力或負壓吸引力將研磨墊相對旋轉平臺的固定的例子，但是在薄壁的支承體層上，經由厚壁的旋轉平臺，作用充分的磁力是極困難的，另外，負壓吸引也未在平板狀的支承體層和旋轉平臺之間形成與外部空間確實隔絕的密封區域，難以作用充分的吸附力。再有，在上述專利文獻2中，還公開有通過粘接膠帶而將支承體層的內面固定於旋轉平臺上的結構，但是，具有僅覆蓋研磨墊的內面的薄壁平板形狀的支承體層中未獲得充分的剛性，在將支承體層與旋轉平臺剝離開時，與單體結構的研磨墊相同產生彎曲或折斷、折皺等的損傷的危險。另外，在上述的單體結構的研磨墊，與在專利文獻2中記載的研磨墊中的任意者中，均具有單純的圓板形狀，由此，還具有難以進行將其正確地相對旋轉平臺進行對中(中心對準)而安裝的作業，並且費事的問題。已有技術文獻專利文獻專利文獻1 日本特開2002-11630號公報專利文獻2 日本特開2001-54859號公報

發明內容
本發明是以上述的情況為背景而提出的，提供一種新結構的研磨墊用輔助板，其可在充分地確保研磨墊相對旋轉平臺的固定力的同時，容易進行研磨墊相對旋轉平臺的裝卸，特別是可防止在從旋轉平臺上取下研磨墊時的研磨墊的損傷，對於比如，研磨墊的再利用的實現也是有利的。此外，本發明的目的還在於提供採用上述研磨墊用輔助板實現研磨墊的再生利用的研磨墊的再生方法，以及下述的基板的製造方法，在該方法中，通過採用上述研磨墊用輔助板進行研磨加工的方式，獲得研磨加工的基板。為了解決上述課題，涉及研磨墊用輔助板的本發明的第1形式為下述的研磨墊用輔助板，其包括放置於研磨機的旋轉平臺的頂面上的輔助板主體，通過該輔助板主體的外面的中間部分，構成重合而固定有用於半導體基板等研磨的研磨墊的墊支承面，形成嵌合周壁部，其在該輔助板主體的外周緣部，沿該研磨機的旋轉平臺的外周面而向下方突出，嵌合於該旋轉平臺的外周，由此，固定於該墊支承面上的研磨墊可裝卸地安裝於該旋轉平臺上。在本形式的研磨墊用輔助板中，通過在輔助板主體的外周緣部上形成嵌合周壁部，發揮在下面的(1) (6)中記載的那樣的特別的技術效果。(1)可在將研磨墊固定於輔助板主體的頂面(外面)上的狀態，與輔助板主體一起，相對旋轉平臺而安裝和取下。於是，即使在從旋轉平臺上取下，對研磨墊進行清潔或再加工等的情況下，仍可在將研磨墊固定於輔助板的頂面上的狀態進行該作業。(2)由於嵌合周壁部，針對輔助板主體可發揮極有效的增強效果。特別是，嵌合周壁部形成於脫離研磨機的旋轉平臺的頂面的外周側，由此，可避免在旋轉平臺上進行的研磨等的加工作業的不利影響，同時以各種形狀或尺寸而形成嵌合周壁部，獲得對輔助板主體的有效的增強效果。於是，在上述(1)的場合，在將研磨墊固定於輔助板主體上的狀態進行處理，由此，在研磨墊相對旋轉平臺的裝卸時，或者研磨墊的清潔或再加工時等的場合， 顯然，即使在研磨墊的運送時或保存時等的情況下，仍可防止研磨墊的彎曲或損傷，保持在良好的狀態。(3)在將嵌合周壁部嵌入旋轉平臺時，通過旋轉平臺的外周面，對嵌合周壁部的內周面進行導向，由此，固定有研磨墊的輔助板主體可在保持與旋轉平臺的頂面基本平行的狀態的情況下，進行重合。於是，伴隨嵌合周壁部對輔助板主體的增強效果，防止研磨墊或輔助板主體的撓曲或傾斜，可有效地實現高精度地將輔助板主體和研磨墊重合於旋轉平臺的頂面上，實現密貼的穩定支承狀態。(4)可根據嵌合周壁部相對旋轉平臺的外嵌結構，不僅將嵌合周壁部，而且將固定於其上的研磨墊容易而正確地相對旋轉平臺而對中，進行安裝。(5)如在上述(1) O)中記載的那樣，可防止研磨墊的損傷，並且如在上述 (3) 中記載的那樣，可以正確的對位精度，快速地使研磨墊相對旋轉平臺而裝卸，其結果是，沒有因進行研磨墊的裝卸等的作業，而使高價的研磨設備的操作時間不必要地受到限制的情況，可實現研磨設備的操作效率的提高，進而實現基板的生產效率(研磨作業效率)的提高。(6)作為上述⑴ (5)的協同效果，由於還可解決比如在研磨墊的再利用時的問題，故即使在沒有特別的熟練或知識的情況下，仍能以實用水準實現研磨墊的再利用。艮口， 比如，在切換基板的種類等的情況下，再次利用暫時從旋轉平臺取下的研磨墊，或作為劣化對策的在另一加工裝置中進行表面開槽等的再加工而將從旋轉平臺上暫時取下的研磨墊， 在再加工後再利用等的方式也可按照實用化水準進行研究。此外，在本形式中，「輔助板主體」支承研磨墊，可滿足除了進行研磨機的研磨加工以外，在研磨墊表面上的修整、清掃、再開槽等的各種處理時所要求的強度或剛性、形狀穩定性和精度即可，其材質或壁厚尺寸沒有限定。特別是，上述輔助板主體無法通過其單體， 負擔研磨墊的支承強度或剛性等的性能，比如，在研磨加工時，按照重合於研磨機的旋轉平臺上的方式使用，由此，通過旋轉平臺支承內面，這樣，單體的強度或剛性並不是以那種程度被要求的。於是，除了不鏽鋼等的金屬以外、合成樹脂或纖維強化樹脂等均可用作輔助板主體的形成材料。特別是，合成樹脂制的輔助板主體與金屬制的場合相比較，由於重量輕、 加工或處理容易，比如，聚碳酸酯等具有厚度尺寸精度的穩定性或相對溫度變化的低變形特性優良的優點。尤其是最好，輔助板主體具有大於研磨墊的剛性。還有，「輔助板主體」在旋轉平臺的頂面，覆蓋至少研磨墊的放置區域即可，不必在整個的範圍內完全覆蓋旋轉平臺的頂面。具體來說，在上述輔助板主體中，以比如，在研磨墊的放置區域，離開外周側的部分以適當的尺寸形狀形成缺口或貫通窗等。另外，在本形式中，「嵌合周壁部」也可與輔助板主體成一體形成，還可單獨形成， 在之後固定於輔助板主體上。上述嵌合周壁部也可與輔助板主體相同，採用各種材質。特別是，對於嵌合周壁部，沒有輔助板主體那種程度要求尺寸精度，比如，通過沿周向或向下方的突出方向，將多個部件組合的組合結構，構成嵌合周壁部等的方式也是可能的。此外，由於「嵌合周壁部」可實現對輔助板主體的規定的增強效果，與對旋轉平臺的規定的定位效果就好，故不必在輔助板主體的全周的範圍內連續地形成。具體來說，比如，也可在輔助板主體的外周緣部，以沿周向相互間隔開的組合結構，形成嵌合周壁部。另外，還可形成形狀為部分地不同的嵌合周壁部。不過，在本形式的研磨墊用輔助板中，比如，也可通過粘接膠帶而將輔助板主體固定於研磨機的旋轉平臺上，或將輔助板主體以負壓方式吸引固定於研磨機的旋轉平臺上。 特別是，在本形式的研磨墊用輔助板中，由於通過設置於外周緣部的嵌合周壁部的增強作用，發揮優良的強度或形狀穩定性，故即使在通過粘接膠帶或負壓吸引，固定於旋轉平臺上的情況下，仍可有效地避免在粘接膠帶的剝離時的研磨墊的損傷，或者因負壓吸引孔而使部分的研磨墊的變形等的問題，可在確保研磨墊相對旋轉平臺的固定力的同時，容易地實現研磨墊相對旋轉平臺的裝卸。此外，在通過粘接膠帶，將輔助板主體固定於研磨機的旋轉平臺上的場合，最好， 具有比研磨墊相對輔助板主體的粘接膠帶的固定力小的固定力(單位面積的固定力)。由此，研磨墊用輔助板容易相對旋轉平臺而取下。此時，由於即使在輔助板主體相對旋轉平臺的固定力小的情況下(與研磨墊相對輔助板主體的固定面積相比較)，仍可按照大於輔助板主體相對旋轉平臺的固定面積的程度設定，或者一併發揮嵌合周壁部對旋轉平臺的定位作用或根據需要，可一併採用用於將研磨墊用輔助板固定於旋轉平臺上的另一固定機構等措施，故能以充分的固定力，將研磨墊用輔助板固定於旋轉平臺上。在這裡，在本發明的第2形式中，針對上述第1形式的研磨墊用輔助板設置固定機構，其將上述輔助板主體和上述嵌合周壁部中的至少一者以可解除的方式固定於上述旋轉平臺上。另外，作為輔助板主體相對旋轉平臺的固定機構，比如，除了可採用上述的粘接膠帶以外，還可採用利用負壓空氣等的負壓吸引，或者利用永久磁鐵或電磁鐵的磁力吸引等方式。另外，作為嵌合周壁部相對旋轉平臺的固定機構，比如，可採用後述的第3形式的固定螺栓等。此外，在本形式中，也可通過將研磨機相對旋轉平臺的固定機構設置於嵌合周壁部上，較小地設定輔助板主體相對旋轉平臺的固定機構的固定力，或不設置輔助板主體相對旋轉平臺的固定機構。在這裡，嵌合周壁部與輔助板主體相比較，可在幾乎不受到形狀或尺寸精度等的限制的情況下，採用各種固定機構，可以較大的設計自由度，採用發揮較大的固定強度的固定機構或固定/解除的作業性優良的固定機構等。特別是，與輔助板主體相比較，強度較大的嵌合周壁部固定於旋轉平臺上，經由該嵌合周壁部，對輔助板主體的外周緣作用約束力(固定力)，由此，可在輔助板主體的整體範圍內，對旋轉平臺有效地作用較大的固定力。還有，在本發明的第3形式中，針對上述第2形式的研磨墊用輔助板，上述固定機構包括多個固定用螺栓，該多個固定用螺栓在周壁上的多個部位，安裝於上述嵌合周壁部上，該固定用螺栓的擰入力作為固定力而作用於上述旋轉平臺的外周面上。在本形式中，可擰入各固定用螺栓，將研磨墊用輔助板固定於旋轉平臺上，擰松這些固定用螺栓，由此，可解除研磨墊用輔助板相對旋轉平臺的固定。另外，也可利用多個固定用螺栓，謀求研磨墊用輔助板相對旋轉平臺的對中精度的進一步的提高。比如，也可預先規定全部的固定用螺栓的擰入端，在將它們擰入到擰入端的狀態，研磨墊用輔助板按照相對旋轉平臺而正確地對中的方式設定。顯然，也可任意地調節多個固定用螺栓的擰入量，通過該擰入量的調節操作，將研磨墊用輔助板相對旋轉平臺而適當對中。另外，為了有效地獲得旋轉平臺的固定力，並且有效地獲得研磨墊用輔助板相對旋轉平臺的對中作用，最好，多個固定用螺栓沿嵌合周壁部的周向，等間距地設置。但是，本形式的固定用螺栓的擰入力可作為研磨墊用輔助板相對旋轉平臺的外周面的固定力而施加。具體來說，可採用比如，從嵌合周壁部的外周面側(朝向旋轉平臺的外周面)，沿軸直角方向貫通而螺合，其前端面與旋轉平臺的外周面接觸的多個固定用螺栓。另外，也可採用比如，沿軸向或軸直角方向貫穿嵌合周壁部，其前端部分與旋轉平臺或和旋轉平臺成一體的部件螺接的固定用螺栓等(具體來說，比如，在後述的形式的圖5中給出)。此外，也可這樣形成，S卩，上述固定用螺栓比如，在旋轉平臺的外周面上，沿軸向將緊固按壓部件重合於嵌合周壁部上，並且相對嵌合周壁部(與旋轉平臺的旋轉軸平行)，沿軸向使固定螺栓穿過，將其與緊固按壓部件螺合，由此，該固定螺栓的緊固力作用於介設於嵌合周壁部和緊固按壓部件之間的橡膠等的彈性材料上，沿軸向使該彈性材料壓縮變形， 使該彈性材料從嵌合周壁部朝向內周側突出，與旋轉平臺的外周面接觸而按壓，這樣，發揮研磨墊用輔助板相對旋轉平臺的固定力。另外，在如這樣，將緊固螺栓的緊固力經由彈性材料，用作旋轉平臺的固定力的場合，也可將上述彈性材料用作在後述的本發明的第4形式中記載的密封部件。還有，在本發明的第4形式中，針對上述第1 第3任意一個形式的研磨墊用輔助板，設置具有彈性的密封部件，其以壓縮狀態介設於上述嵌合周壁部和上述旋轉平臺的外周面之間。在本形式中，在嵌合周壁部和旋轉平臺的軸直角方向面對面之間壓縮介設有密封部件，由此，比如，也可根據密封部件的彈性的按壓力和摩擦力，獲得研磨墊用輔助板相對旋轉平臺的固定力。另外，比如，在周壁上的多個部位或全周的範圍內，在嵌合周壁部和旋轉平臺之間，作用密封部件的彈性的按壓力，由此，也可利用上述彈性的按壓力，進行研磨墊用輔助板相對旋轉平臺的對中。此外，比如，在將嵌合周壁部沿嵌合方向強烈地按壓而安裝於旋轉平臺的場合，如果巧妙地利用密封部件的按壓力和摩擦力，則也可將嵌合周壁部保持在沿嵌合方向壓入旋轉平臺的位置(不必要求在該狀態下，緊固固定螺栓等的特別的作業)。此外，在本發明的第5形式中，針對上述第4形式的研磨墊用輔助板，上述嵌合周壁部和上述密封部件在上述旋轉平臺的全周範圍內設置，該環狀周壁部和該旋轉平臺之間在全周的範圍內密封，並且形成將該旋轉平臺和上述輔助板主體之間的內部區域與外部空間連通的排氣孔。在本形式中，通過設置密封部件，可防止異物進入到旋轉平臺和輔助板主體的面對面之間。另外，由於可通過該密封部件，實質上使旋轉平臺的外周面和嵌合周壁部的內周面的面對面之間的徑向間隙消失，故可以更高的精度，發揮嵌合周壁部相對旋轉平臺的對中作用等。還有，在本形式中，由於在旋轉平臺的外周面和嵌合周壁部的內周面的面對面之間，在其全周的範圍內，沿徑向作用密封部件的彈性，由此，可自動而高精度地發揮作為上述彈性在全周範圍內的合力，相對旋轉平臺的嵌合周壁部，進而研磨用輔助板的對中作用。 並且，通過密封部件的彈性，即使在密封部件伴隨使用而躺倒的情況下，仍可長期穩定地發揮所需的密封性能或對中性能。此外，在本形式中，可不但採用在全周的範圍延伸的密封部件，而且採用使旋轉平臺和輔助板主體之間的內部區域連通於外部空間的排氣孔，通過上述排氣孔，根據需要而適當地解除通過密封部件密封的內部區域的完全封閉狀態。於是，比如，在將研磨墊用輔助板安裝於旋轉平臺上時，通過打開排氣孔，避免由於封閉於上述內部區域中的空氣而回彈的現象，可容易使旋轉平臺和輔助板主體密貼(不受到封閉於內部區域中的空氣而引起的不利影響)。另外，最好，在該排氣孔中，設置可開閉的蓋體，通過上述蓋體在不需要的狀況下，將排氣孔堵塞，由此，可防止異物從外部侵入到排氣孔中。此外，在本發明的第6形式中，針對上述第4或第5形式的研磨墊用輔助板，上述旋轉平臺和放置於其上的上述輔助板主體之間的內部區域，通過上述密封部件而以氣體密封方式密封，並且形成可實現從外部，向該內部區域的壓力流體的供排的壓力流體通路。在本形式中，可使旋轉平臺和放置於其上的上述輔助板主體之間的內部區域相對外部空間而密封。於是，利用作用於內部區域的壓力流體(比如，正壓或者負壓的空氣或惰性氣體等)的壓力，可容易而有效地進行輔助板主體相對旋轉平臺的固定和脫離。比如，在本發明的第7形式中，針對第6形式的研磨墊用輔助板，以可連接的方式設置對該內部區域施加負壓的負壓源。由此，也可使輔助板主體的內面主動地與旋轉平臺的頂面密貼，獲得較大的固定強度，並且在具有高度的平坦度的旋轉平臺的頂面，使輔助板主體的外面的平滑精度提高，謀求研磨墊的支承面的精度的提高。特別是，在將均為平坦面的旋轉平臺的頂面和輔助板主體的內面重合時，同時對內部區域作用負壓，由此，還可容易而有效地防止該兩個面之間的空氣的殘留。另外，在本發明的第6和第7形式中，也可將內部區域向大氣開放，或主動地將正壓作用於內部區域，由此，協助輔助板主體相對旋轉平臺的脫離，可使作業容易。還有，在本發明的第8形式中，針對上述第1 7中的任何一項形式的研磨墊用輔助板，上述輔助板主體在內面側具有緩衝層，該緩衝層重合於上述旋轉平臺上。在本形式中，可根據經由輔助板主體，作用於研磨墊的緩衝層的彈性，調節研磨墊的支承特性。即，可通過調節緩衝層的彈性或輔助板主體的強度和剛性，調節旋轉平臺對研磨墊的支承特性，由此，可謀求比如，研磨墊的研磨效率的面內均勻性的提高等的效果。特別是，以往提供緩衝層成一體形成於研磨墊的內面上的2層式的研磨墊，以便在研磨墊的整個面上，使研磨墊的研磨效率均勻。在這裡，在本形式中，也可不專門地採用研磨墊的緩衝層，獲得比1層式的研磨墊優良的研磨效率的面內均勻性。或者，在採用2層式的研磨墊時，通過設置於輔助板主體的內面上的緩衝層，補足設置於研磨墊上的緩衝層， 謀求緩衝層的效果的進一步的持續，還可實現再利用研磨墊時的研磨特性的長期的穩定化。此外，在本發明的第9形式中，針對上述1 8中的任何一項的形式的研磨墊用輔助板設置密貼層，其在重合有上述輔助板主體的上述旋轉平臺的頂面上擴展，提高該旋轉平臺和放置於其上的上述輔助板主體的重合面之間的密貼性。在本形式中，密貼層採用比如，粘接膠帶，由此，可有效地獲得輔助板主體相對旋轉平臺的固定力。特別是，輔助板主體的面積大於研磨墊，故可增加比如粘接膠帶的尺寸， 由此，也可謀求固定力的進一步的提高，或較小地設定粘接膠帶的單位面積的粘接力，容易實現剝離，謀求脫離作業性的提高。另外，通過粘接膠帶固定的輔助板主體在針對上述第8 形式而具有緩衝層的場合，形成構成輔助板主體的緩衝層。另外，密貼層也可採用比如，具有彈性的膠帶或薄膜、板(矽板等)，或按照塗敷蠟等的粘性材料或膠狀物質的方式使用。通過採用這樣的彈性薄層或塗敷層，可使輔助板主體和旋轉平臺的密貼性提高，防止兩者之間的空氣的殘留，可進一步提高輔助板主體對旋轉平臺的支承和增強的效果。
再有，在針對上述第8形式，輔助板主體在內面具有緩衝層的場合，作為上述密貼層，也可通過使比如，上述緩衝層具有水等的液體，將緩衝層用作密貼層。總之，在上述緩衝層為具有連續的內部氣泡的多孔質材料的場合，也可主動地利用它，謀求輔助板主體相對旋轉平臺的密貼性的提高。此外，在本發明的第10形式中，針對上述1 9中的任何一項的形式的研磨墊用輔助板，起重機構設置於該嵌合周壁部的周壁上的多個部位，該起重機構使上述嵌合周壁部與上述旋轉平臺的嵌合方向的位置調節力作用於該嵌合周壁部上。在本形式中，可在利用上述起重機構，比如，將研磨墊用輔助板安裝於旋轉平臺上時，一邊在全周的範圍內，調節嵌合周壁部相對旋轉平臺的嵌入量，一邊一點一點地在維持比如平行度的同時進行作業。另外，比如，在從旋轉平臺上，取下研磨墊用輔助板時，可沿使嵌合周壁部與旋轉平臺脫離的方向，作用起重機構的力，使嵌合周壁部相對旋轉平臺一點一點地，比如在維持平行度的同時實現脫離。由此，通過採用起重機構，可在避免特別是研磨墊用輔助板相對旋轉平臺的較大的傾斜造成的卡咬或鉤掛的同時，穩定而容易地進行研磨墊用輔助板相對旋轉平臺的安裝和取下。還有，在本發明的第11形式中，針對上述第10形式的研磨墊用輔助板，上述起重機構沿上述嵌合方向在周壁上的多個部位，與上述嵌合周壁部螺合，各前端部通過與上述研磨機側接觸的多個定位螺栓構成。在本形式中，上述起重機構可通過與嵌合周壁部螺合的螺栓，以簡單的結構而實現。特別是，定位螺栓通過其螺紋槽的引導，發揮加倍的力作用，由此，即使用粘接膠帶等將輔助板主體牢固地固定於旋轉平臺上的情況下，仍可以較小的作業力，容易使輔助板主體相對旋轉平臺而剝離，從其取下。此外，在本發明的第12形式中，針對上述1 11中的任何一項形式的研磨墊用輔助板，在上述輔助板主體的上述墊支承面上，重合而固定有上述研磨墊。還有，研磨墊的固定可採用比如，以往用於研磨墊相對旋轉平臺的固定的粘接膠帶等。在固定於輔助板主體上的狀態，對研磨墊進行處理，由此，不僅在研磨墊與旋轉平臺的裝卸時，而且同樣在研磨墊的移動或保管等時，可有效地防止研磨墊的損傷。另外，在本發明的第13形式中，針對上述第12形式的研磨墊用輔助板，在上述研磨墊的外周緣部，部分地設置未固定於上述輔助板主體的上述墊支承面上的非固定部。通過設置這樣的非固定部，使將研磨墊與研磨墊用輔助板剝離時的作業性提高。於是，即使在經過適當的再利用次數之後，廢棄研磨墊的情況下，仍容易將研磨墊剝離，再利用輔助板主體和嵌合周壁部。再有，為了解決上述課題而提出的研磨墊的再生方法的本發明的特徵在於採用上述第12或13形式的研磨墊用輔助板，在上述研磨墊因使用而磨損的場合，在安裝於該研磨墊用輔助板上的狀態，對研磨墊的表面進行再生加工。按照這樣的本發明的方法，即使在對研磨墊進行再生加工時的情況下，仍持續地發揮固定於內面上的研磨墊用輔助板的增強效果，由此，有效地防止研磨墊的損傷，可實現高精度的再生加工。另外，最好，在上述研磨墊的再生方法中，在上述研磨墊的表面上設置同心圓狀的槽，在上述再生加工時，去除進入這些槽中的附著物。
此外，在去除進入槽內的附著物時，也可進行壓縮空氣的吹拂或用刷進行掃出等的處理。特別是最好，比如採用下述的方法，其中，採用包括具有與預先形成的槽相對應的間距和尺寸的多個齒的梳狀的再生加工具，一邊將該多個齒插入各槽中，一邊沿槽而使該多個齒移動，將槽內的附著物掃出，將其去除。還有，本發明的特徵還在於一種採用本發明的特定結構的研磨墊用輔助板的基板的製造方法，其中，將上述第12或13形式的研磨墊用輔助板安裝於研磨機的旋轉平臺上， 對作為研磨對象的基板進行研磨加工、製造。另外，按照這樣的基板的製造方法，以總體價格低(因研磨墊的再生使用等的)，並且優良的加工效率(因研磨機的操作率的提高等)， 進行所需的研磨加工，可有利於製造研磨的基板。如上所述，按照本發明，可在防止研磨墊的損傷的同時，以優良的作業性使研磨墊相對旋轉平臺而裝卸，其結果是，沒有因研磨墊的裝卸等的作業而不必要地限制高價格的研磨設備的操作時間，可實現研磨設備的操作效率的提高，進而實現基板的生產效率(研磨作業效率)的提高。另外，其結果是，針對研磨墊的再利用，還可以實用水準實現。


圖1為本發明的一個實施形式的研磨墊用輔助板的俯視圖；圖2為圖1所示的研磨墊用輔助板的主視圖；圖3為沿圖1中的III-III線的剖視圖；圖4為表示本發明的另一實施形式的研磨墊用輔助板，與圖3相對應的剖視圖；圖5為沿圖1中的V-V線的剖視圖；圖6為表示本發明的還一實施形式的研磨墊用輔助板，與圖5相對應的剖視圖；圖7為表示本發明的又一實施形式的研磨墊用輔助板，與圖3相對應的剖視圖；圖8為表示本發明的再一實施形式的研磨墊用輔助板，與圖3相對應的剖視圖；圖9為表示圖8所示的研磨墊用輔助板中的密封狀態的剖視圖；圖10為表示圖9所示的研磨墊用輔助板中的負壓吸引部的剖視圖；圖11為表示本發明的還一實施形式的研磨墊用輔助板的剖視圖；圖12為表示本發明的又一實施形式的研磨墊用輔助板的剖視圖；圖13為表示本發明的再一實施形式的研磨墊用輔助板的剖視圖；圖14為沿圖13中的XIV箭頭的說明圖；圖15為表示圖14所示的非固定部的另一形式例，與圖14相對應的說明圖；圖16為表示本發明的還一實施形式的研磨墊用輔助板的俯視圖；圖17為用於說明圖16所示的研磨墊用輔助板中的研磨墊的再生加工的相當於沿圖16中的XVII-XVII剖面的說明圖；圖18為用於說明圖17所示的研磨墊的再生加工的另一步驟的與圖17相對應的說明圖；圖19為表示本發明的還一實施形式的研磨墊用輔助板的剖視圖；圖20為表示本發明的再一實施形式的研磨墊用輔助板的俯視圖；圖21為圖20所示的研磨墊用輔助板的主視圖22為表示本發明的還一實施形式的研磨墊用輔助板的底視圖；圖23為圖20所示的研磨墊用輔助板的主視圖。
具體實施例方式下面參照附圖，對本發明的實施形式進行說明。首先，圖1 圖3表示作為本發明的一個實施形式的研磨墊用輔助板10。該研磨墊用輔助板10按照安裝於眾所周知的研磨機的旋轉平臺12上的方式使用。具體來說，上述研磨墊用輔助板10包括具有薄壁的圓形平板狀的輔助板主體14， 包括均為平坦的外面(頂面)1 和內面(底面)14b。該輔助板主體14最好通過不鏽鋼等的金屬板或聚碳酸酯等的合成樹脂形成。另外，輔助板主體14的外徑與所安裝的旋轉平臺12的外徑相同或比其稍大。於是，通過將研磨墊用輔助板10安裝於旋轉平臺12上，輔助板主體14以重合方式放置於旋轉平臺12的頂面16上。由此，旋轉平臺12的頂面16的整體被輔助板主體14覆蓋。另外，在輔助板主體14的外周緣部上，成一體地形成沿周向延伸的嵌合周壁部 18。該嵌合周壁部18以壁厚大於輔助板主體14的塊狀截面(在本實施形式中為矩形截面) 沿周向延伸，在本實施形式中，呈在周向的全周範圍內連續延伸的圓環形狀。另外，嵌合周壁部18也與輔助板主體14相同，可通過除了不鏽鋼等的金屬材料以外，合成樹脂材料等形成。特別是在本實施形式中，在輔助板主體14的外周緣部上成一體形成嵌合周壁部18。上述嵌合周壁部18在研磨墊用輔助板10安裝於旋轉平臺12上，輔助板主體14 重合於旋轉平臺12的頂面16上時，從輔助板主體14朝向下方，沿旋轉平臺12的外周面而伸出。特別是，在本實施形式中，嵌合周壁部18的內周面20呈圓筒形狀，該內周面20與旋轉平臺12的外周面22嵌合，相互接觸或以稍稍的間隙間隔開地設置。另外，在旋轉平臺12 的外周面22和嵌合周壁部18的內周面20之間，形成適合的間隙，由此，研磨墊用輔助板容易相對旋轉平臺12而裝卸。另外，在嵌合周壁部18的內周面20的下方的開口端緣部，設置朝向下方而逐漸擴大的錐面或進行倒角處理，由此，可謀求將嵌合周壁部18嵌合而安裝於旋轉平臺12上的作業性的提高，雖然關於這一點在圖中未示出。此外，在輔助板主體14的外面1 上，研磨墊M以重合的方式安裝。該研磨墊M 可採用在過去公知的各種的研磨墊。另外，該研磨墊對的內面採用過去公知的粘接膠帶25 或適當的粘接劑等而固定於輔助板主體14的外面1 上。此外，研磨墊M的外徑一般為規定值，但是在許多的場合，按照小於所安裝的旋轉平臺12的頂面16的外徑的程度設定。 在本實施形式中，比如，通過使輔助板主體14的外面1 為大於旋轉平臺12的外徑，可採用而安裝其外徑大致等於或大於旋轉平臺12的外徑的研磨墊M。S卩，通過將研磨墊用輔助板10安裝於旋轉平臺12上，將輔助板主體14重合於旋轉平臺12的頂面16上，固定於輔助板主體14的外面1 上的研磨墊M經由輔助板主體 14，放置於旋轉平臺12的頂面16上，以固定狀態設定。於是，通過旋轉平臺12圍繞中心軸的旋轉動作，以對中方式安裝於旋轉平臺12上的研磨墊M也同時地旋轉，對圖中未示出的基板，進行研磨加工。此時，比如，圖4所示的那樣，可在旋轉平臺12的頂面16和輔助板主體14之間， 設置適合的緩衝層26。另外，作為該緩衝層沈，可最好採用比如，通過發泡而具有某種程度的壓縮性的樹脂片或彈性體片、橡膠片等。上述緩衝層沈按照至少以在研磨墊M的固定區域的整體的範圍內的尺寸，最好，在輔助板主體14的內面14b的整體的範圍內以一定厚度存在的方式形成，以便防止輔助板主體14的局部的變形。通過設置這樣的緩衝層沈，在研磨墊M的研磨加工時，可謀求對基板的研磨效率在整個面的範圍內的均勻化。隨便說一下，在本發明人進行的實驗中，關於300mm的基板外面氧化膜的研磨效率的面內均勻性，在研磨開始初期和8小時後中的任何一者，與沒有設置緩衝層26的場合相比較，通過設置緩衝層沈，確認使均勻性提高10%。另外，在本發明人進行的另一實驗中，採用在市場上銷售的緩衝層成一體形成於內面上的雙層結構的研磨墊(比如，二 ^夕· /、- ^公司生產的IC1400(商品名)，並且在輔助板主體14的內面14b 上沒有設置緩衝層的場合，確認與每分鐘的研磨量的面內偏差基本為1000埃的情況相比較，通過在輔助板主體14的內面14b上設置緩衝層沈，將每分鐘的研磨量的面內偏差抑制到幾百埃程度。另外，在進行研磨加工時，固定有研磨墊M的研磨墊用輔助板10中的嵌合周壁部 18嵌合於旋轉平臺12的外周面上，由此，在研磨加工時，有效地防止研磨墊用輔助板10，進而研磨墊M相對旋轉平臺12而脫落的故障。此外，研磨墊用輔助板10也可根據在比如，嵌合周壁部18與旋轉平臺12嵌合時的摩擦力等而固定於旋轉平臺12上，但是，最好，採用特別的固定機構。作為該固定機構， 也可採用比如，粘接膠帶或粘接劑等，但是，在圖1 圖3所示的實施形式中，如圖5所示的那樣，採用固定螺栓W。該固定螺栓觀在嵌合周壁部18中的周壁上的多個部位(最好，位於等分的3個部位以上)，穿過分別沿軸向貫通而形成的螺栓插孔30而安裝。另外，固定螺栓觀的頭部接納於形成於嵌合周壁部18上的接納凹部32的內部，由此，防止相對安裝有研磨墊M的輔助板主體14的外面14a的突出。還有，穿過螺栓插孔30的固定螺栓觀的前端(底端)均與形成於旋轉平臺12上的螺栓孔32螺合，由此，嵌合周壁部18緊固於旋轉平臺12上，通過螺栓而固定於其上。另外，在圖5中，為了有利於確保相對旋轉平臺12的頂面16的輔助板主體14的整個面的範圍內的密貼性，並且有效地確保嵌合周壁部18相對旋轉平臺12的固定螺栓觀的固定力， 最好，在嵌合周壁部18的軸向底面和旋轉平臺12的軸向面對面之間，按照即使在固定螺栓觀的緊固狀態，仍殘留稍稍的間隙的方式設置，根據需要，採用彈簧墊圈等。另外，作為將嵌合周壁部18固定於旋轉平臺12上的固定機構的固定螺栓，不但採用如上所述，沿嵌合周壁部18的軸向穿過，與旋轉平臺12或固定於旋轉平臺12上而成一體旋轉驅動的另一部件螺合的固定螺栓觀，而且還可採用比如，如圖6所示的那樣，沿軸直角方向與嵌合周壁部18螺合的固定螺栓34。S卩，在圖6所示的還一實施形式中，在嵌合周壁部18上，在周壁上的多個部位，形成沿軸直角方向貫通的螺紋孔36，在這些螺紋孔36中，分別從外周側擰入固定螺栓34。此外，各固定螺栓34的前端部接觸而按壓於旋轉平臺12的外周面上，通過多個固定螺栓34 而協同作用，基於軸直角方向的緊固力的固定力，作用於嵌合周壁部18和旋轉平臺12之間。如該圖6所示的那樣，如果採用沿水平方向擰入的多個固定螺栓34，在與旋轉平臺12的外徑相比較，將嵌合周壁部18的內徑按照規定量增加，允許嵌合周壁部18相對旋轉平臺12的軸直角方向的相對位移的狀態下，通過相互調節該多個固定螺栓34的擰入量， 可調節研磨墊用輔助板相對旋轉平臺12的軸直角方向的對位性(對中等)。另外，在採用這樣的多個固定螺栓34的場合，通過刻記號等方式設定各固定螺栓34相對螺紋孔36的擰入位置，由此，還可更加容易地進行研磨墊用輔助板10相對旋轉平臺的安裝時的對中。此外，在圖7所示的還一實施形式中，安裝作為由在嵌合周壁部18的內周面和旋轉平臺12的外周面的徑向面對面之間沿周向的全周而連續地延伸的彈性材料形成的密封部件的0型密封圈38。另外，在本實施形式中，在嵌合周壁部18的內周面上形成安裝用的周槽39，在該周槽39中嵌入0型密封圈38的外周緣部，由此實現定位安裝。通過採用0型密封圈38，可將嵌合周壁部18和旋轉平臺12的面對面之間密封。特別是在本實施形式中，可將包括支承研磨墊M的輔助板主體14和旋轉平臺12 的重合相對面之間而存在的內部區域40，與外部空間隔絕密封。由此，有效地防止在安裝等時，異物侵入上述內部區域40，輔助板主體14和旋轉平臺12的密接性的降低等的問題。並且，由於上述0型密封圈38在全周的範圍內設置，故還可根據0型密封圈38的彈性，自動地進行嵌合周壁部18相對旋轉平臺12的對中。還有，對於密封部件，代替上述0型密封圈38，而作為另一實施形式，如圖8所示的那樣，也可採用作為彈性材料的環狀彈性體42。在本實施形式中，從下方用作緊固按壓部件的(在本實施形式中，呈在周向的全周範圍內連續的圓環狀)的環狀按壓部件44與嵌合周壁部18重合。另外，在該嵌合周壁部18和環狀按壓部件44的軸向面對面之間，夾持而設置在內周緣部沿周向的全周範圍內延伸的環狀彈性體42。此外，在該嵌合周壁部18和環狀按壓部件44上，在周壁上的多個部位，按照沿軸向貫通的方式安裝緊固螺栓46。該緊固螺栓46的頭部與嵌合周壁部18的頂面卡扣，沿軸向使嵌合周壁部18鬆動穿插，與環狀按壓部件44螺合。由此，通過將緊固螺栓46緊固於環狀按壓部件44上，在嵌合周壁部18和環狀按壓部件44上作用重合方向(軸向)的按壓力。另外，緊固螺栓46的前端(底端)從環狀按壓部件44，進一步在下方突出，在該突出前端部分上螺接有鎖定螺母(雙鎖定螺母)48。該鎖定螺母48起防止環狀按壓部件44相對緊固螺栓46而脫落的自動防故障功能。還有，如圖9所示的那樣，通過上述緊固螺栓46和緊固螺母48的緊固力的軸向的按壓力，沿相互接觸而重合的方向按壓嵌合周壁部18和環狀按壓部件44，對介設於該兩個部件18、44之間的環狀彈性體42施加軸向的壓縮力。由此，環狀彈性體42 (特別是在本實施形式中，伴隨向外周側的彈性鼓出變形的阻止)對應於軸向的壓縮量，在徑向內方突出， 鼓出變形，其結果是，環狀彈性體42的內周緣部按壓於旋轉平臺12的外周面上，由此，按照流體密封的方式對該部位進行密封。特別是在這樣的環狀彈性體42的密封結構中，可通過調節緊固螺栓46的緊固量， 調節環狀彈性體42對旋轉平臺12的按壓力，由此，比如，在相對旋轉平臺12裝卸研磨墊用輔助板時，可解除或減輕環狀彈性體42與旋轉平臺12的接觸，可提高作業性。總之，也可將環狀彈性體42與旋轉平臺12的接觸力用作嵌合周壁部18對旋轉平臺12的固定力。此外，在圖1 圖3所示的本實施形式中，在嵌合周壁部18的適合的位置(參照表示沿圖1中的X-X線的剖面的圖10)，形成在內外貫通而延伸的壓力流體通路(50)。此外，在該壓力流體通路(50)上，以可裝卸的方式連接有空氣壓力管路，通過該空氣壓力管路，可受到來自外部的空氣源的空氣壓力的作用。由此，還可比如，在旋轉平臺12的頂面16 和輔助板主體14的重合面之間，施加負壓力，主動地吸引殘留於這些重合面的空氣，謀求上述重合面之間的密貼性的提高。或者，在旋轉平臺12的頂面16和輔助板主體14的重合面之間施加正壓力，對這些重合面作用隔離力，由此，還可提高研磨墊用輔助板10相對旋轉平臺12的脫離作業性，或防止異物進入重合面之間的情況。特別在本發明中，最好，在設置這樣的空氣壓力機構時，採用由上述圖7所示的0 型密封圈38或圖8 9所示的環狀彈性體42等形成的密封部件，劃分出密封的內部區域 40，對該內部區域40作用空氣壓力。具體來說，比如，如圖10所示的那樣，在如圖8 9所示的劃分由環狀彈性體42形成的密封部件密封的內部區域40的狀態，在該內部區域40中開口的壓力流體通路50按照沿徑向而貫通嵌合周壁部18的方式形成。在該壓力流體通路50中組裝單觸連接器52，並且該單觸連接器52包括內部設置有閥體的連接口體56。此外，在該連接口體56上連接有外部管路58，由此，利用單觸連接器52，外部管路58可容易相對壓力流體通路50而裝卸(可連接/脫離)。特別是，單觸連接器52在取下外部管路58時，通過內置的閥體，將壓力流體通路50隔斷，將內部區域40 保持在密封狀態。此外，壓力流體通路50通過外部管路58，與負壓泵或負壓儲壓器等的適合的負壓源(圖中未示出)連接。此外，也可在外部管路58上根據需要而設置開閉閥或切換閥，並且上述外部管路58可經由切換閥，有選擇地與負壓源和正壓源(比如，正壓泵或正壓儲壓器等)連接。在具有這樣的結構的壓力流體通路50的方案中，比如，在將研磨墊用輔助板10安裝於旋轉平臺12上時，將外部管路58與連接口體56連接，對內部區域40施加負壓，由此， 在高度的密接狀態，將旋轉平臺12的頂面16和輔助板主體14重合，並且在之後，從連接口體56取下外部管路58，由此可在維持內部區域40的負壓狀態的同時，避免外部管路58對旋轉平臺12的旋轉動作的不利影響等。此外，在圖11中，表示本發明的還一實施實施形式。即，在本實施形式中，在嵌合周壁部18的周壁上的多個部位，安裝有作為起重機構的定位螺栓60。該定位螺栓60擰入沿軸向貫穿嵌合周壁部18而形成的貫通螺紋孔62中，為大於貫通螺紋孔62的腿部軸尺寸。另外，從貫通螺紋孔62而向下方突出的定位螺栓60的前端與接觸部件66接觸，該接觸部件66突設於具有旋轉平臺12的研磨機主體64的面對部分上。於是，調節從嵌合周壁部18而向下方突設的定位螺栓60的擰入量，調節從嵌合周壁部18向下方的定位螺栓60 的突出量，由此，可適當調節輔助板主體14相對旋轉平臺12的頂面16的軸向的面對間距。於是，比如，在將研磨墊用輔助板10安裝於旋轉平臺12上時，通過一點一點而緩慢地擰松設置於周壁上的多個定位螺栓60，可在容易而以良好的精度維持輔助板主體14 的水平度的同時，在維持平行狀態逐漸接近旋轉平臺12的頂面16。由此，可避免旋轉平臺 12的頂面16和輔助板主體14的面對面之間的部分區域的封入空氣或相對傾斜等的問題的同時，穩定地將輔助板主體14重合於旋轉平臺12的頂面16上，有利地獲得密貼狀態。此外，比如，在從旋轉平臺12上取下研磨墊用輔助板10時，通過一點一點地擰入設置於周壁上的多個定位螺栓60的方式，由此，可有效地使離開旋轉平臺12的方向的力作用於以粘接等的方式設置於旋轉平臺12的頂面16上的輔助板主體14。由此，即使在通過粘接膠帶等而固定的情況下，仍可容易而快速地進行使輔助板主體14與旋轉平臺12剝離開的作業。還有，定位螺栓60中的接觸前端部所接觸的接觸部件66如上述那樣，形成於研磨機主體64上，此外，也可如圖12所示的那樣，形成突出於旋轉平臺12的外周面上的接觸突起68。該接觸突部68在與周壁上的各定位螺栓60相對應的位置，或在周向的全周的範圍內，在旋轉平臺12的軸向底部成一體形成而突出於外周面上。再有，在本發明中，如圖13 圖15所示的那樣，在將研磨墊M以密貼狀態重合而固定於研磨墊用輔助板10中的輔助板主體14的外面1 上時，最好，在研磨墊M的外周緣部中的至少周壁上的一個部位，形成非固定部70。在圖13 圖15所示的形式中，從嵌合周壁部18的外周面，朝向輔助板主體14的外面14a而向徑向內方延伸，到研磨墊M的固定區域的外周緣部的凹部72對準該非固定部70而形成。通過形成這樣的凹部72，在剝離研磨墊M時，作業者按照將手指或適合的工具鉤掛於研磨墊M的內面上的方式將其插入，容易作業。並且，在形成有該凹部72的部分，在研磨墊M的外周緣部的稍小的區域，形成沒有粘接膠帶等的固定的部分(非固定部70)，由此，可由於該非固定部70，更加容易開始研磨墊M的脫離作業。另外，如在圖13、圖14中記載的那樣，僅在嵌合周壁部18的頂端部分形成凹部72，此外，比如，可如在圖15中記載的那樣，按照在軸向的全長的範圍內，使嵌合周壁部18的外周緣部形成缺口的方式，形成任意的形狀的凹部72。尤其是，該凹部72僅形成於嵌合周壁部18或輔助板主體14中的外面，不在內部貫通，於是，可確保內部區域40的氣密性。另外，這樣的凹部72也可用作將研磨墊M安裝於輔助板主體14的外面1 上時的排氣部。此外，本發明所採用的研磨墊M沒有特別的限定，比如，也可任意地採用過去公知的類型。比如，如圖16所示的那樣，也可採用沿周向同心地延伸的多個槽74形成於外面上的研磨墊。特別是在表面上形成這樣的槽74的研磨墊M中，在研磨加工時產生的研磨屑等因進入槽74而嵌入，而難以去除。可知道，本發明人研究的內容在於在研磨墊M中，對於槽74的深度，即使在充分地有剩餘的情況下，研磨屑等嵌入槽74中，由此，槽74的深度仍不足，對研磨性能造成不利影響。於是，作為研磨墊M的再生方法的一個形式，如圖17 圖18所示的那樣，採用梳狀的再生加工具78，其包括具有與形成於研磨墊M中的槽74相對應的間距和尺寸的多個加工用齒76，一邊將該各齒76插入各槽74中，一邊沿槽74相對地使各齒76移動，由此，有效地掃出而去除槽74內的附著物。另外，再生加工工具78中的各齒76的形狀並不限於附圖所示的四邊形狀，其前端也要考慮研磨墊M的槽74的形狀，可採用圓狀、梯形狀、V字形狀等的任意的形狀。另外， 再生加工具78的齒76的數量也可是任意的，比如，也可一次性地獲得全部的槽74。另外， 也可在研磨機上，在平時安裝再生加工具78，將其齒76插入用於研磨加工的研磨墊M的槽 74中。此外，再生加工具78中的各齒76的尺寸也可按照小於比如，研磨墊M的槽74的寬度的齒寬度形成，由此，容易將再生加工具78的齒76相對研磨墊M的槽74進行對位，還可防止研磨墊M的未預想到的損傷等的情況。另外，不但可採用例舉的那樣的具有鋸齒狀的齒76的再生加工具，而且可適當地採用插入由研磨墊M的槽74中的包捆線材的刷狀的再生加工具，或從研磨墊M的槽74，更加主動地掃出研磨屑等的旋轉式的具有齒的結構的再生加工具等。如上所述，如果採用本發明的各實施形式的研磨墊用輔助板10，可在防止研磨墊 M的損傷的同時，以優良的作業性，使研磨墊M相對旋轉平臺12而裝卸。另外，其結果是， 研磨墊的再利用也容易，比如，在固定於研磨墊用輔助板10上的狀態，可再用於研磨墊的加工。另外，由於可快速地使研磨墊M相對旋轉平臺12而裝卸，故也可有效地確保研磨裝置的操作時間。另外，在半導體基板等的製造步驟，如果可多次地再利用研磨墊，則可有助於半導體基板等的製造步驟的大幅度的成本的削減、用於製造研磨墊的資源的節約、廢棄的研磨墊量的削減，有助於環保。但是，在前述的實施形式中，為了將研磨墊用輔助板10固定於旋轉平臺12上，設置固定螺栓觀或負壓吸引機構(58等)，但是，比如，也可利用密封部件的彈性，根據需要， 並用雙面膠帶等的粘接膠帶，將研磨墊用輔助板10安裝於旋轉平臺12上，以固定方式組裝。具體來說，比如如圖19所示的那樣，在研磨墊用輔助板10的嵌合周壁部18上，安裝與上述圖7相同的0型密封圈38。另外，在本實施形式中，安裝有0型密封圈38的周槽 39呈與開口寬度相比較，朝向裡側寬度擴大的截面形狀，大於該周槽39的開口寬度的截面直徑的0型密封圈38的超過一半的部分嵌入。由此，0型密封圈38在一部分從嵌合周壁部18的周槽38的開口部，在內周側突出的狀態，有效地阻止相對周槽38的抽出，穩定地嵌入而保持。附帶說一下，在裡側大於開口寬度的周槽39可通過比如，一邊對從開口部插入的切削工具的斜率(從開口部插入的方向)進行變更調節，一邊對其切削加工等的方式形成。此外，本實施形式的嵌合周壁部18通過下述的組合結構而形成，在該組合結構中，沿軸向(圖的上下方向)將圓環形狀的組合部件84重合於輔助板主體14的外周緣部 82的底面上。另外，在嵌合周壁部18上，形成在外周面上開口，在徑向內方延伸的排氣孔 88，該排氣孔88通過0型密封圈38封閉，由此，與包括旋轉平臺12的頂面和輔助板主體14 的重合面之間而形成的內部區域40連通。總之，上述內部區域40通過排氣孔88與外部空間連通。在這樣的結構的研磨墊用輔助板中，在從旋轉平臺12的上方重合而安裝時，防止位於旋轉平臺12和輔助板主體14的面對面之間的空氣封閉於由0型密封圈38密封的內部區域40中的情況，該空氣可通過排氣孔88，快速地排放到外部空間。由此，輔助板主體 14的內面14b相對旋轉平臺12的頂面16，可一邊有效地防止這兩個面之間的空氣的殘留， 一邊快速而穩定地實現密貼。接著，在以密貼狀態重合之後，根據基於0型密封圈38的彈性的接觸力和摩擦力， 研磨墊用輔助板10的嵌合周壁部18可相對旋轉平臺12的外周面，以規定的固定力而保持在安裝狀態。另外，在本實施形式中，為了進一步穩定地獲得上述固定力，輔助板主體14 和旋轉平臺12的頂面通過雙面膠帶(粘接膠帶)或粘接劑等的粘接層90而固定。另外， 最好，在採用研磨墊M的研磨加工或研磨墊M的再生加工等時，針對研磨墊用輔助板10的排氣孔88，安裝覆蓋嵌合周壁部18的外周側開口部的蓋部件91(由圖19中的假想線所示)。通過該蓋部件91覆蓋排氣孔88，由此，可防止異物侵入到排氣孔88中的情況。以上對本發明的實施形式進行了具體描述，但是，本發明並不限於這些實施形式的具體的記載。比如，為了進一步提高在研磨墊用輔助板10中對輔助板主體14的增強效果，也可比如，按照從嵌合周壁部18，向外周側突出的方式追加地設置在嵌合周壁部18的周壁上局部或全周地延伸的增強部件。此外，這樣的增強部件也可按照從嵌合周壁部18，向軸向下方突出的方式設置，或按照向軸向上方突出的方式設置。嵌合周壁部18從作為放置研磨墊M的墊支承面的外面(14a)的中間部分取下到外周側，由此，按照向軸向上方突出的方式形成。另外，研磨墊用輔助板中的輔助板主體14可包括至少將至少在整個面的範圍內支承研磨墊的尺寸和形狀，不必一定在整個面的範圍內覆蓋旋轉平臺12的頂面16。另外， 研磨墊用輔助板中的嵌合周壁部18可發揮相對旋轉平臺12的定位作用即可，不必一定在周向的全周的範圍內連續地形成。也可採用下述這樣的形式，其中，比如，如圖20 圖21所示的那樣，設置缺口部 94，其按照(在不必支承研磨墊的部分)以適當的尺寸在輔助板主體14的外周緣部而形成缺口，旋轉平臺12的頂面16部分地露出。或者，也可如圖20 圖21和圖22 圖23所示的那樣，由在周壁上將嵌合周壁部18斷開的多個組合結構96a d、98a f形成。另外，具有下述的優點，其中，通過如這樣，在周壁上將嵌合周壁部18斷開，即使在比如外周緣部， 仍可直接目視輔助板主體14相對旋轉平臺12的頂面16的重合面，可目視確認輔助板主體 14相對旋轉平臺12的安裝狀態。尤其是，缺口部94的數量或尺寸、形狀並沒有限定，嵌合周壁部18的各組合部分的形狀或尺寸，分割數量等均沒有限定。也可在多個缺口部94或嵌合周壁部18的組合部分，設定相互不同的形狀或尺寸等。
權利要求
1.一種研磨墊用輔助板，其包括放置於研磨機的旋轉平臺的頂面上的輔助板主體，其特徵在於通過該輔助板主體的外面的中間部分構成墊支承面，該墊支承面重合而固定有用於半導體基板等研磨的研磨墊；形成嵌合周壁部，其在該輔助板主體的外周緣部，沿該研磨機的旋轉平臺的外周面而向下方突出，嵌合於該旋轉平臺的外周；固定於該墊支承面上的該研磨墊可裝卸地安裝於該旋轉平臺上。
2.根據權利要求1所述的研磨墊用輔助板，其中，設置固定機構，其將上述輔助板主體和上述嵌合周壁部中的至少一者以可解除的方式固定於上述旋轉平臺上。
3.根據權利要求2所述的研磨墊用輔助板，其中，上述固定機構包括多個固定用螺栓， 該多個固定用螺栓在周壁上的多個部位，安裝於上述嵌合周壁部上，該固定用螺栓的擰入力作為固定力而作用於上述旋轉平臺的外周面上。
4.根據權利要求1 3中的任何一項所述的研磨墊用輔助板，其中，設置具有彈性的密封部件，其以壓縮狀態介設於上述嵌合周壁部和上述旋轉平臺的外周面之間。
5.根據權利要求4所述的研磨墊用輔助板，其中，上述嵌合周壁部和上述密封部件在上述旋轉平臺的全周範圍內設置，該環狀周壁部和該旋轉平臺之間在全周的範圍內密封， 並且形成將該旋轉平臺和上述輔助板主體之間的內部區域與外部空間連通的排氣孔。
6.根據權利要求4或5所述的研磨墊用輔助板，其中，上述旋轉平臺和放置於其上的上述輔助板主體之間的內部區域通過密封部件以氣密方式密封，而且形成可實現從外部到該內部區域的壓力流體的供排的壓力流體通路。
7.根據權利要求6所述的所述的研磨墊用輔助板，其中，在上述壓力流體通路上，經由閥體，以可連接的方式設置負壓源。
8.根據權利要求1 7中的任何一項所述的研磨墊用輔助板，其中，上述輔助板主體在內面側具有緩衝層，該緩衝層重合於上述旋轉平臺上。
9.根據權利要求1 8中的任何一項所述的研磨墊用輔助板，其中，設置密貼層，其在重合有上述輔助板主體的上述旋轉平臺的頂面上擴展，提高該旋轉平臺和放置於其上的上述輔助板主體的重合面之間的密貼性。
10.根據權利要求1 9中的任何一項所述的研磨墊用輔助板，其中，起重機構設置於該嵌合周壁部的周壁上的多個部位，該機構使上述嵌合周壁部與上述旋轉平臺的嵌合方向的位置調節力作用於該嵌合周壁部上。
11.根據權利要求10所述的研磨墊用輔助板，其中，上述起重機構沿上述嵌合方向在周壁上的多個部位，與上述嵌合周壁部螺合，各前端部通過與上述研磨機側接觸的多個定位螺栓構成。
12.根據權利要求1 11中的任何一項所述的研磨墊用輔助板，其中，在上述輔助板主體的上述墊支承面上，重合而固定有上述研磨墊。
13.根據權利要求12所述的研磨墊用輔助板，其中，在上述研磨墊的外周緣部，部分地設置未固定於上述輔助板主體的上述墊支承面上的非固定部。
14.一種研磨墊的再生方法，其採用權利要求12或13所述的研磨墊用輔助板，在上述研磨墊因使用而磨損的場合，在安裝於該研磨墊用輔助板上的狀態，對研磨墊的表面進行再生加工。
15.根據權利要求14所述的研磨墊的再生方法，其中，在上述研磨墊的表面上，設置同心圓狀的槽，在上述再生加工時，去除進入這些槽中的附著物。
16.一種基板的製造方法，其特徵在於將權利要求12或13所述的研磨墊用輔助板安裝於研磨機的旋轉平臺上，對作為研磨對象的基板進行研磨加工、製造。
全文摘要
本發明涉及一種研磨墊用輔助板和採用它的研磨墊的再生方法。本發明的課題在於提供一種新結構的研磨墊用輔助板，其可在確保研磨墊相對旋轉平臺的固定力的同時，容易進行研磨墊相對旋轉平臺的裝卸，特別是可防止在從旋轉平臺上取下研磨墊時的研磨墊的損傷。一種研磨墊用輔助板，其包括放置於旋轉平臺(12)的頂面上的輔助板主體(14)；設置於該輔助板主體(14)的頂面中間部分的墊支承面(14a)；嵌合周壁部(18)，其形成於輔助板主體(14)的外周緣部，嵌合於該旋轉平臺(12)的外周。
文檔編號B24B37/00GK102152227SQ20101057696
公開日2011年8月17日 申請日期2010年12月2日 優先權日2010年2月4日
發明者鈴木英資, 鈴木辰俊 申請人:東邦工程株式會社