軟性光罩曝光用裝置製造方法
2023-12-03 19:05:41 1
軟性光罩曝光用裝置製造方法
【專利摘要】一種軟性光罩曝光用裝置，包括一本體、一升降機構、一基板載臺及一光罩載臺。該本體的內部形成一腔室。該升降機構設置於該本體的內部，該升降機構具有一動力裝置。該基板載臺連接於該動力裝置，該基板載臺用於放置基板。該光罩載臺設置於該本體的頂部，該光罩載臺設置有一透孔，該透孔用於放置軟性光罩，通過負壓或正壓方式，使軟性光罩下垂變形，以貼附於基板進行曝光操作。本實用新型可以提高操作的便利性，使得圖型化基板的製作得以量產。
【專利說明】軟性光罩曝光用裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型在於提供一種軟性光罩曝光用裝置，尤指一種應用於圖型化基板配合軟性光罩曝光用的夾具(治具)。
【背景技術】
[0002]一般在進行基板(晶片)加工時，為了能夠在基板上設置出細小而複雜的電路結構，會以各種物理或化學的方式重複對基板表面進行堆積或蝕刻。而用來控制堆積或蝕刻區域的主要手段便是利用曝光顯影的方式，先在基板表面設置具有微小電路圖案的光阻層，接著在曝光步驟中將入射光通過一光罩而進行選擇性的感光，進而將此光罩上的圖案轉移至光阻層上。
[0003]已知的光罩包含硬性光罩及軟性光罩，軟性光罩是以可撓性材料製成，可撓性佳，且具有優良的表面貼附性，可適用於圖型化藍寶石基板等的工藝。然而，現有技術中並沒有一種較佳的軟性光罩曝光的夾具使得圖型化基板的製作難以量產。若是以人工方式操作，更是費工費時，且使良率大幅地降低。
[0004]綜上所述，本發明人有感上述缺陷的可改善，乃特潛心研究並配合學理的應用，終於提出一種設計合理且有效改善上述缺陷的實用新型。
實用新型內容
[0005]本實用新型所要解決的技術問題，在於提供一種軟性光罩曝光用裝置，可以提高操作的便利性，使得圖型化基板的製作得以量產。
[0006]為了解決上述的技術問題，本實用新型提供一種軟性光罩曝光用裝置，軟性光罩曝光用裝置包括:一本體，該本體的內部形成一腔室；一升降機構，該升降機構設置於該本體的內部，該升降機構具有一動力裝置；一基板載臺，該基板載臺連接於該動力裝置，該基板載臺用於放置基板；一光罩載臺，該光罩載臺設置於該本體的頂部，該光罩載臺設置有一透孔，該透孔用於放置軟性光罩，通過負壓或正壓方式，使該軟性光罩下垂變形，以貼附於該基板進行曝光操作。
[0007]進一步地，該動力裝置安裝於一基座上，該本體的內側固定有多個架體，該基座的四個角分別通過調整螺絲螺紋連接於架體。
[0008]進一步地，該基板載臺包含一連接座及能更換地設置於該連接座上的一置放臺，該連接座連接於該動力裝置，該置放臺為一負壓吸盤。
[0009]進一步地，該連接座的頂部設置有一定位槽，該置放臺放置入該定位槽中，該連接座設置有多個第一通孔，這些第一通孔貫穿至該定位槽，這些第一通孔的一端連接於一第三接頭，該第三接頭通過管路與一第二接頭連接，該第二接頭設置於該本體的側壁上。
[0010]進一步地，該定位槽的相對的兩邊各形成有一第一定位邊，第一定位邊相互平行，該置放臺的相對的兩邊各形成有一第二定位邊，第二定位邊相互平行，第一定位邊與第二定位邊相互牴觸。[0011]進一步地，該置放臺的頂面形成有一容置槽及多個溝槽，該置放臺設置有多個第二通孔，第二通孔與溝槽相連通且貫穿至該置放臺的底部，第二通孔與第一通孔相連通。
[0012]進一步地，該本體的頂部形成有一通口，該本體的一側形成有一開口，該開口配合有一門體，該本體與該門體之間設置有門鎖及密封墊。
[0013]進一步地，該本體的側壁設置有用於對該腔室抽真空的第一接頭。
[0014]進一步地，該光罩載臺呈平板狀，該光罩載臺固定於該本體的頂部，該光罩載臺與該本體之間設置有第一密封環。
[0015]進一步地，該透孔為一圓形孔，該透孔的內壁形成階梯狀的抵靠部，該軟性光罩牴觸於該抵靠部而定位。
[0016]進一步地，該軟性光罩與該光罩載臺之間設置有第二密封環。
[0017]進一步地，該軟性光罩的上方設置有一壓框，該壓框壓制於該軟性光罩上。
[0018]進一步地，該光罩載臺的上方設置有一罩體，該罩體設置有一上透孔，該上透孔中配合有一透光體，該罩體的內部形成一密閉空間，該罩體的內部輸送正壓。
[0019]進一步地，該罩體連接有用以輸送正壓至該罩體的內部的一第四接頭。
[0020]本實用新型至少具有下列的優點: [0021]本實用新型可提供一種較佳的軟性光罩曝光用的夾具，可以提高操作的便利性，使得圖型化基板的製作得以量產。再者，本實用新型可利用負壓或正壓的方式使軟性光罩微幅下垂變形，使基板與軟性光罩接觸時可以順利地排除之間可能存在的空氣，以提高產品的良率。
[0022]為使能更進一步了解本實用新型的特徵及技術內容，請參閱以下有關本實用新型的詳細說明與附圖，然而所附圖示僅提供參考與說明用，並非用來對本實用新型加以限制。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0023]圖1為本實用新型軟性光罩曝光用裝置第一實施例的立體分解圖。
[0024]圖2為本實用新型軟性光罩曝光用裝置第一實施例另一角度的立體分解圖。
[0025]圖3為本實用新型軟性光罩曝光用裝置第一實施例的立體剖視圖。
[0026]圖4為本實用新型軟性光罩曝光用裝置第一實施例的平面剖視圖。
[0027]圖5為本實用新型軟性光罩曝光用裝置第一實施例的立體組合圖。
[0028]圖6為本實用新型軟性光罩曝光用裝置第一實施例另一角度的立體組合圖。
[0029]圖7為本實用新型升降機構及基板載臺第一實施例的立體圖。
[0030]圖8為本實用新型升降機構及基板載臺第一實施例另一角度的立體圖。
[0031]圖9為本實用新型軟性光罩曝光用裝置第二實施例的立體分解圖。
[0032]圖10為本實用新型軟性光罩曝光用裝置第二實施例另一角度的立體分解圖。
[0033]圖11為本實用新型軟性光罩曝光用裝置第二實施例的平面剖視圖。
[0034]【符號說明】
[0035]I 本體
[0036]11 腔室
[0037]12 開口
[0038]13 門體[0039]14 鉸鏈
[0040]15 門鎖
[0041]16密封墊
[0042]17 通口
[0043]18第一接頭
[0044]19第二接頭
[0045]2升降機構
[0046]21動力裝置
[0047]22 基座
[0048]23 架體
[0049]24調整螺絲
[0050]3基板載臺
[0051]31連接座
[0052]311定位槽
[0053]312第一定位邊
[0054]313 第一通孔
[0055]314第三接頭
[0056]32置放臺
[0057]321第二定位邊
[0058]322容置槽
[0059]323 溝槽
[0060]324 第二通孔
[0061]4光罩載臺
[0062]41第一密封環
[0063]42 透孔
[0064]43抵靠部
[0065]44第二密封環
[0066]45 壓框
[0067]5 罩體
[0068]51上透孔
[0069]52透光體
[0070]53第四接頭
[0071]100 基板
[0072]200軟性光罩
【具體實施方式】
[0073][第一實施例]
[0074]請參閱圖1至圖6，本實用新型提供一種軟性光罩曝光用裝置，包括一本體1、一升降機構2、一基板載臺3及一光罩載臺4。[0075]本體I為一中空體，可利用板體焊接等方式組成。本體I內部形成有一腔室11,本體I的一側(前側)可形成有一開口 12，該開口 12與腔室11相連通，以便經由該開口 12進料及出料。該開口 12可開啟及關閉的配合有一門體13，該門體13以鉸鏈14樞接於本體1，且該門體13相對於鉸鏈14的一側可設置有一門鎖15，門鎖15設置於本體I與門體13之間，可在門體13關閉時鎖固，門鎖15的型式及構造並不限制。本體I及門體13之間可設置有一密封墊16，可降低漏氣的風險，以便於設備運作時本體I內部可抽真空(負壓狀態)。
[0076]本體I頂部形成有一通口 17，該通口 17可為一圓形孔或其他形狀的孔洞，該通口17貫通本體I內部的腔室11與外部空間。本體I的側壁另設置有一第一接頭18及一第二接頭19，第一接頭18及第二接頭19可與抽氣裝置連接，第一接頭18可對腔室11抽真空，第二接頭19則以管路連接於基板載臺3，可以負壓方式將基板吸住以固定。
[0077]升降機構2設置於本體I內部，升降機構2具有一動力裝置21，該動力裝置21連接於基板載臺3，可用以驅動基板載臺3上升及下降。動力裝置21的構造及固定方式並不限制，動力裝置21可為步進馬達或伺服馬達等，動力裝置21適當地固定於本體I。在本實施例中，動力裝置21安裝於一基座22上，且在本體I的內側固定有多個架體23，該基座22的四個角分別以調整螺絲24螺紋連接於這些架體23，藉以將動力裝置21固定於本體I內部，且可利用調整螺絲24調整基板載臺3的水平，使基板100及軟性光罩200可獲得較佳的平行度。
[0078]基板載臺3可用以放置基板100 (如圖型化藍寶石基板等)，該基板載臺3的構造並不限制。在本實施例中該基板載臺3包含一連接座31及可更換地設置於連接座31上的一置放臺32(請參閱圖7及圖8)，連接座31的底部連接於動力裝置21，可利用該動力裝置21驅動基板載臺3的連接座31上升及下降。連接座31頂部設置有一定位槽311，定位槽311相對的兩邊各形成有一第一定位邊312，兩個第一定位邊312相互平行。連接座31設置有多個第一通孔313，這些第一通孔313貫穿至定位槽311，且這些第一通孔313的一端連接於一第三接頭314，該第三接頭314可利用管路與第二接頭19連接。
[0079]置放臺32為一負壓吸盤，置放臺32可置入定位槽311中，且置放臺32相對的兩邊各形成有一第二定位邊321，兩個第二定位邊321相互平行，當置放臺32置入定位槽311中時，兩個第一定位邊312與兩個第二定位邊321相互牴觸，用以定位置放臺32，使置放臺32不會轉動。置放臺32的頂面(盤面)形成有一容置槽322，可用以容置及定位相對應的基板100。置放臺32的頂面另設置有多個環狀的溝槽323，這些溝槽323呈同心圓間隔地排列，置放臺32另外設置有多個第二通孔324，這些第二通孔324與這些溝槽323相連通且貫穿至置放臺32的底部，使這些第二通孔324可與這些第一通孔313相連通，以便通過第二接頭19、第三接頭314、這些第一通孔313、這些第二通孔324及這些溝槽323進行抽真空的操作，使放置於置放臺32上的基板100可被負壓吸附而固定。
[0080]光罩載臺4設置於本體I頂部,可用以放置一軟性光罩200,該光罩載臺4的形狀及構造並不限制。在本實施例中，該光罩載臺4呈平板狀，該光罩載臺4可利用螺絲鎖附等方式固定於本體I頂部，且在該光罩載臺4與該本體I之間可設置有一第一密封環41,藉以增加氣密性。該光罩載臺4設置有一透孔42，該透孔42為一圓形孔，該透孔42的內壁形成階梯狀的抵靠部43。[0081]該軟性光罩200優選但不限制為聚二甲基矽氧烷(PDMS)光罩，其尺寸可為2寸、4寸或6寸等，並不予以限制，該軟性光罩200的外圍可套設有一外框(未標示)。該軟性光罩200可由上而下放置於光罩載臺4的透孔42中，該軟性光罩200可牴觸於抵靠部43而定位。該軟性光罩200與該光罩載臺4之間可設置有一第二密封環44，藉以增加氣密性。該軟性光罩200的上方可設置有一壓框45,該壓框45可壓制於軟性光罩200上,且壓框45可利用螺絲鎖附等方式固定於光罩載臺4上，藉以將軟性光罩200固定於光罩載臺4上。
[0082]當基板100放置於基板載臺3的置放臺32上，並且以負壓吸附後，關上門體13，腔室11抽真空以形成負壓，此時軟性光罩200會因負壓產生的吸力而微幅下垂凹陷變形。而後以升降機構2驅動基板載臺3上升，讓基板100接近軟性光罩200，直至兩者完全地貼合，該動作也可以反覆多次。該動作為消泡動作，主要是為了避免在曝光時軟性光罩200與基板100之間會有空氣存在，影響曝光品質與良率。最後，利用曝光機進行曝光，在曝光步驟中將入射光通過軟性光罩200進行選擇性地感光，進而將該軟性光罩200上的圖案轉移至基板100的光阻層上。曝光後以升降機構2驅動基板載臺3下降，所有負壓解除，門體13開啟，即可取出基板100進入下個工藝。
[0083]本實施例主要利用本體I的腔室11形成負壓，使軟性光罩200上方的氣壓大於軟性光罩200下方的氣壓，進而造成軟性光罩200微幅下垂變形，以貼附該基板100進行曝光操作，使基板100與軟性光罩200接觸時可以順利地排除之間可能存在的空氣，以提高產品的良率。
[0084][第二實施例]
[0085]請參閱圖9至圖11，本實施例主要在光罩載臺4的上方設置一罩體5，該罩體5設置有一上透孔51，上透孔51中配合有一透光體52，透光體52可為石英玻璃等透光率佳的材質。該罩體5緊密地罩設於光罩載臺4的上方,使該罩體5內部形成一密閉空間。該罩體5連接有一第四接頭53，可用以輸送正壓至該罩體5的內部(本實施例的腔室11不需抽真空形成負壓)，使軟性光罩200上方的氣壓大於軟性光罩200下方的氣壓，同樣可造成軟性光罩200微幅下垂變形，使基板100與軟性光罩200接觸時可以順利地排除之間可能存在的空氣，以提聞廣品的良率。
[0086]然而以上所述僅為本實用新型的優選實施例，非意欲局限本實用新型的專利保護範圍，因此凡是運用本實用新型說明書及附圖內容所做的等效變化，均同理皆包含於本實用新型的權利要求保護範圍內，合予陳明。
【權利要求】
1.一種軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述軟性光罩曝光用裝置包括: 一本體，所述本體的內部形成一腔室； 一升降機構，所述升降機構設置於所述本體的內部，所述升降機構具有一動力裝置； 一基板載臺，所述基板載臺連接於所述動力裝置，所述基板載臺用於放置基板；以及 一光罩載臺，所述光罩載臺設置於所述本體的頂部，所述光罩載臺設置有一透孔，所述透孔用於放置軟性光罩，通過負壓或正壓的方式使所述軟性光罩下垂變形，以貼附於所述基板進行曝光操作。
2.根據權利要求1所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述動力裝置安裝於一基座上，所述本體的內側固定有多個架體，所述基座的四個角分別通過調整螺絲螺紋連接於所述架體。
3.根據權利要求1所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述基板載臺包含一連接座及能更換地設置於所述連接座上的一置放臺，所述連接座連接於所述動力裝置，所述置放臺為一負壓吸盤。
4.根據權利要求3所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述連接座的頂部設置有一定位槽，所述置放臺置入所述定位槽中，所述連接座設置有多個第一通孔，所述第一通孔貫穿至所述定位槽，所述第一通孔的一端連接於一第三接頭，所述第三接頭通過管路與一第二接頭連接， 所述第二接頭設置於所述本體的側壁上。
5.根據權利要求4所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述定位槽的相對的兩邊各形成有一第一定位邊，所述第一定位邊相互平行，所述置放臺的相對的兩邊各形成有一第二定位邊，所述第二定位邊相互平行，所述第一定位邊與所述第二定位邊相互牴觸。
6.根據權利要求4所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述置放臺的頂面形成有一容置槽及多個溝槽，所述置放臺設置有多個第二通孔，所述第二通孔與所述溝槽相連通且貫穿至所述置放臺的底部，所述第二通孔與所述第一通孔相連通。
7.根據權利要求1所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述本體的頂部形成有一通口，所述本體的一側形成有一開口，所述開口配合有一門體，所述本體與所述門體之間設置有門鎖及密封墊。
8.根據權利要求1所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述本體的側壁設置有用於對所述腔室抽真空的第一接頭。
9.根據權利要求1所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述光罩載臺呈平板狀，所述光罩載臺固定於所述本體的頂部，所述光罩載臺與所述本體之間設置有第一密封環。
10.根據權利要求1所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述透孔為一圓形孔，所述透孔的內壁形成階梯狀的抵靠部，所述軟性光罩牴觸於所述抵靠部而定位。
11.根據權利要求1所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述軟性光罩與所述光罩載臺之間設置有第二密封環。
12.根據權利要求1所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述軟性光罩的上方設置有一壓框，所述壓框壓制於所述軟性光罩上。
13.根據權利要求1所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述光罩載臺的上方設置有一罩體，所述罩體設置有一上透孔，所述上透孔中配合有一透光體，所述罩體的內部形成一密閉空間，所述罩體的內部輸送正壓。
14.根據權利要求13所述的軟性光罩曝光用裝置，其特徵在於，所述罩體連接有用以輸送正壓至所述罩體的內部的一第四``接頭。
【文檔編號】G03F7/20GK203502736SQ201320605677
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年9月27日 優先權日:2013年9月27日
【發明者】吳守滿 申請人:迅得機械股份有限公司