用於產生等離子體的電極裝置和設備的製作方法

2023-11-01 03:09:12 2

專利名稱：用於產生等離子體的電極裝置和設備的製作方法
技術領域：
本發明涉及用於產生等離子體的電極裝置和設備，且更特定來說，涉及用於根據 供應給電極裝置的高頻信號而在安置於基座上的襯底的上部部分中產生等離子體的電極 裝置和設備。
背景技術：
在半導體和顯示器製造工藝中，等離子體技術已更加重要且已廣泛使用等離子 體，因為等離子體是包括電荷粒子和電子的氣體，所以可通過控制例如電場、磁場等參數來 控制等離子體中的離子和活性物質。在半導體和顯示器的當前領域中，已大多使用通過使用射頻來產生等離子體 的方法。通過使用射頻來產生等離子體的方法包含通過使用電感性耦合的等離子體 (inductively coupled plasma, I CP)來產生等離子體的方法以及通過使用電容性耦合的 等離子體(capacitively coupled plasma, CCP)來產生等離子體的方法。通過使用CCP來產生等離子體的方法的結構特徵在於存在經設計以施加電壓的 電極裝置。如從CCP的名稱已知，通過由於分布於電極裝置的表面上的電荷而形成的電容 性電場來產生和維持等離子體。在通過使用CCP來產生等離子體的方法中，通過在上部電 極與下部電極之間形成的電場來產生和控制等離子體。電場對上部電極和下部電極的形狀 以及外圍結構的材料特性、機械特徵、電特徵和幾何特徵非常敏感。因此，難以通過使用電 場來控制等離子體。因此，需要相當多的專有技術來構成硬體。如上文所述，在半導體、顯示器和太陽光的領域中，等離子體用以通過在大尺寸襯 底上使用預定材料而形成一層。在此情況下，為了以低成本和高效率獲得生產力，需要處理 所述大尺寸襯底。為了處理所述大尺寸襯底，應產生具有較高沉積速度的高密度等離子體。 使用較高的電能來產生高密度等離子體，且需要高的供應頻率以改進所供應的電能與等離 子體之間的能量傳輸。在相關技術中，通過使用等離子體以通過在襯底上使用預定材料而使用大尺寸平 坦電極裝置來形成一層。圖1是安置於基座上的大尺寸平坦電極裝置的視圖，且圖2A到圖 2F是繪示圖1的大尺寸平坦電極裝置中根據頻率發生的電功率的損耗的圖像。參看圖2A 到圖2F，頻率經改進以產生高密度等離子體。隨著頻率增加，在圖1的大尺寸平坦電極裝置 中出現電功率的快速損耗。為了解決圖1的大尺寸平坦電極裝置的問題，已研發出包含直線狀元件的直線狀 電極裝置。需要在極高頻(very high frequency, VHF)帶下的具有30MHz到300MHz的頻率 的等離子體來減少離子碰撞能量且執行高效率沉積。圖3是常規的梯狀(ladder-shaped)電極裝置的視圖。參看圖3，在VHF帶下的具有60MHz的頻率的電功率被劃分為兩條路線， 且被供應到電極裝置的一端和另一端。在此情況下，將具有相同頻率的僅具有由移相器 (phase shifter)引起的相位差的電功率供應到電極裝置的一端和另一端。圖4A和圖4B為繪示在將具有相同頻率的電功率供應到圖3的梯狀電極裝置時 在圖3中所說明的常規梯狀電極裝置的表面上形成的電位的分布的圖像。參看圖4A和圖 4B，在將具有等於或小於40MHz的頻率的電功率供應到圖3的梯狀電極裝置時，產生前向 波(forwarded wave)且產生均勻的等離子體。然而，在將具有等於或高於60MHz的頻率的 電功率供應到圖3的梯狀電極裝置時，形成在電極裝置的表面上的電位的分布引起駐波圖 案，且產生對應於駐波圖案的等離子體。在此情況下，形成作為駐波特徵的節點，使得等離 子體的均勻性降低。如上文所述，在放電中使用VHF帶下的頻率，使得可產生致使與大尺寸襯底進行 強烈化學反應的高密度等離子體。所產生的等離子體的密度與放電頻率的平方成比例。隨 著等離子體的邊界面的厚度由於VHF帶下的高諧振特徵而降低，圖3的梯狀電極裝置與等 離子體之間的能量耦合得以進一步改進，且等離子體的密度得以增加。然而，根據等離子體 放電頻率的增加的波長減小而導致電源內部的電壓和電流的振幅的變化以及相位的變化， 使得發生電壓和電流的強波特徵。當作為波特徵之一的駐波在電極裝置上振蕩時，其上將 沉積等離子體的表面的均勻性大大地降低。而且，歸因於作為駐波特徵的節點的形成，其上 將沉積等離子體的表面處的等離子體的密度降低。因此，中性粒子的離子化程度降低，且未 部分地執行放電，使得無法適當地執行沉積。因此，需要防止產生駐波的電極裝置。

發明內容
本發明提供用於在將高頻信號用於在大尺寸襯底上產生高密度等離子體時通過 將反射係數最小化且通過抑制駐波的產生而產生具有均勻密度的等離子體的電極裝置和 設備。根據本發明的一方面，提供一種用於產生等離子體的電極裝置，所述電極裝置包 含平面部件，其經安置以面向支撐著襯底的基座，且在所述襯底與所述平面部件之間產生 等離子體；以及直線狀部件，其經由電連接到所述平面部件的多個饋送點而將高頻信號提 供給所述平面部件，且允許在所述直線狀部件在從將高頻信號供應到所述直線狀部件的供 應點到所述饋送點中的每一者的路徑上更靠近饋送點時減小導納，其中所述直線狀部件包 含連接單元，所述連接單元包含第一部件，其將來自以直線彼此鄰近安置的四個饋送點中 的兩個饋送點連接，且安置成與包含形成有所述饋送點的直線的平面分離，且與所述平面 部件形成預定角度；以及第二部件，其將來自所述四個饋送點中的未連接到所述第一部件 的兩個饋送點連接，且經安置以關於包含形成有所述饋送點的直線的平面而與所述第一部 件對稱。根據本發明的另一方面，提供一種用於產生等離子體的設備，所述設備包含電極 裝置，其歸因於供應給所述電極裝置的高頻信號而在所述電極裝置與安置在所述電極裝置 的下部部分中的襯底之間產生等離子體；電源單元，其產生將供應給所述電極裝置的高頻 信號；以及饋入裝置，其將由所述電源單元供應的所述高頻信號提供到所述電極裝置，其中 所述電極裝置包含平面部件，其經安置以面向支撐襯底的基座，且在所述襯底與所述平面部件之間產生等離子體；以及直線狀部件，其經由電連接到所述平面部件的多個饋送點而 將高頻信號提供給所述平面部件，且允許在所述直線狀部件在從將高頻信號供應到所述直 線狀部件的供應點到所述饋送點中的每一者的路徑上更靠近饋送點時減小導納，其中所述 直線狀部件包含連接單元，所述連接單元包含第一部件，其將來自以直線彼此鄰近安置的 四個饋送點中的兩個饋送點連接，且安置成與包含形成有所述饋送點的直線的平面分離， 且與所述平面部件形成預定角度；以及第二部件，其將來自所述四個饋送點中的未連接到 所述第一部件的兩個饋送點連接，且經安置以關於包含形成有所述饋送點的直線的平面而 與所述第一部件對稱。


通過參考多個附圖來詳細描述本發明的示範性實施例，將更加明白本發明的上述 和其它特徵和優點，附圖中圖1是安置在基座上的大尺寸平坦電極裝置的視圖。圖2A到2F是繪示圖1的大尺寸平坦電極裝置中根據頻率而發生的電功率的損耗 的圖像。圖3是常規的梯狀電極裝置的視圖。圖4A和圖4B是繪示在將具有相同頻率的電功率供應到圖3的梯狀電極裝置時圖 3中所說明的常規梯狀電極裝置的表面上形成的電位的分布的圖像。圖5A到圖5D是根據本發明的實施例的用於產生等離子體的電極裝置的視圖。圖6A到圖6C是根據本發明的實施例的耦合到平面部件的兩個直線狀部件的形狀 的視圖。圖7A到圖7D說明根據本發明的實施例的連接單元的形狀。圖8A是直線狀部件的透視圖，且圖8B是圖8A中所示的直線狀部件在方向A上的 平面圖，圖8C是圖8A的直線狀部件在方向B上的正視圖，且圖8D是圖8A的直線狀部件在 方向C上的側視圖。圖9說明根據本發明的實施例的具有四個饋送點的直線狀部件。圖IOA和圖IOB說明圖5A到圖5D中所說明的電極裝置通過使用電路元件而根據 輸入信號的頻率的狀態。圖11是傳輸線的單位長度的電路圖，以便通過使用傳輸理論來解釋一種分布常 數電路。圖12是根據本發明的實施例的高頻電源、表示為阻抗的阻抗匹配器和圖5A到圖 5D的電極裝置的電路圖。圖13是繪示從樹狀結構的上部層級到下部層級的每一層級處測得的導納的圖表。圖14A到圖14C說明在電極裝置的形狀不同時根據本發明的另一實施例的在安置 於電極裝置的每一者的下部部分上的襯底上形成的電位的分布。圖15A和圖15B說明圖14A中所說明的電極裝置的每一饋送點和從輸入高頻信號 的點到所述饋送點的路徑上的導納的每一測量位置以及每一測量位置中所測得的導納。圖16A和圖16B說明圖14B中所說明的電極裝置的每一饋送點和從輸入高頻信號的點到所述饋送點的路徑上的導納的每一測量位置以及每一測量位置中所測得的導納。圖17A和圖17B說明圖14C中所說明的電極裝置的每一饋送點和從輸入高頻信號 的點到所述饋送點的路徑上的導納的每一測量位置以及每一測量位置中所測得的導納。圖18A和圖18B說明根據本發明的實施例的用於產生等離子體的設備。圖19A和圖19B說明在多個直線狀部件安置在橫向方向上時的饋入裝置。
具體實施例方式下文中，將通過參考多個附圖闡釋本發明的示範性實施例來詳細描述本發明。圖5A到圖5D是根據本發明的實施例的用於產生等離子體的電極裝置100的視 圖。參看圖5A到圖5D，根據本發明的用於產生等離子體的電極裝置100包含平面部件110 和兩個直線狀部件120。
平面部件110經安置以面向支撐襯底的基座且在襯底與平面部件110之間產生等 離子體。平面部件110可包含彼此分離以彼此平行的多個杆狀框架，如圖5A和圖5B中所 說明，且可包含晶格狀框架，如圖5C中所說明，且可包含矩形的板形狀，如圖5D中所說明。兩個直線狀部件120耦合到平面部件110，如圖5A到圖5D中所說明。兩個直線狀 部件120耦合到平面部件110，使得直線狀部件120垂直於平面部件110的杆狀框架，如圖 5A中所說明，或使得直線狀部件120平行於平面部件110的杆狀框架，如圖5B中所說明。 而且，如圖5C和圖5D中所說明，直線狀部件120可耦合到平面部件110以彼此面向，使得 直線狀部件120垂直於平面部件110的頂表面。直線狀部件120可以其它形式耦合到平面 部件110。圖6A到圖6C是根據本發明的實施例的耦合到平面部件110的直線狀部件120的 形狀的視圖。參看圖6A到圖6C，兩個直線狀部件120可耦合到平面部件110的相對側，使 得其安置在與平面部件110相同的平面上，如圖6A中所說明，且直線狀部件120可耦合到 平面部件110的頂表面，使得其通過平面部件110的中心，如圖6B中所說明。而且，如圖6C 中所說明，兩個直線狀部件120可耦合到平面部件110，使得其平行於平面部件110的頂表 面。然而，本發明不限於此。平面部件110和直線狀部件120可以其它形式而彼此耦合。當電極裝置100包含多個直線狀部件120時，可將具有相同頻率的高頻信號輸入 到每一直線狀部件120，且也可將具有不同頻率的高頻信號輸入到直線狀部件120。在此情 況下，輸入到直線狀部件120的高頻信號的頻率處於400kHz到300MHz的範圍中。每一直線狀部件120經由電連接到所述平面部件110的多個饋送點而將高頻信號 提供給所述平面部件110，且允許在每一直線狀部件120在從將高頻信號供應到所述直線 狀部件120的供應點到所述饋送點中的每一者的路徑上更靠近饋送點時減小導納。為此， 每一直線狀部件120包含連接單元。圖7A到圖7D說明根據本發明的實施例的連接單元的形狀。所述連接單元具有不 同於圖7A到圖7D的形狀的其它各種形狀。參看圖7A到圖7D，每一連接單元包含構成直線狀部件120的第一部件122和第二 部件123。第一部件122將來自以直線彼此鄰近安置的四個饋送點中的兩個饋送點連接， 且安置成與包含形成有所述饋送點的直線的平面分離，且與所述平面部件110形成預定角 度。第二部件123將來自所述四個饋送點中的未連接到所述第一部件122的兩個饋送點連接，且經安置以關於包含形成所述饋送點的直線的平面而與所述第一部件122對稱。參看圖7A和圖7B，連接單元連接到四個饋送點，且第一部件122和第二部件123 基於包含形成所述饋送點的直線的平面而彼此對稱。在此情況下，可構成連接單元，使得第 一部件122將第一饋送點和第二饋送點彼此連接，且第二部件123將第三饋送點和第四饋 送點彼此連接，如圖7A中所說明。還可構成連接單元以使得第一部件122將第一饋送點和 第三饋送點彼此連接，且第二部件123將第二饋送點和第四饋送點彼此連接，如圖7B中所 說明。參看圖7C和圖7D，每一連接單元的第一部件122包含一對第一垂直部分122A和 第一連接部分122C。所述一對第一垂直部分122A連接到來自四個饋送點中的兩個饋送點 且彼此平行。所述第一連接部分122C將所述一對第一垂直部分122A的末端彼此連接，且 安置成與包含第一垂直部分122A的平面分離。每一連接單元的第二部件123包含一對第 二垂直部分123A和第二連接部分123C。所述一對第二垂直部分123A連接到來自所述四個 饋送點中的未連接到第一垂直部分122A的兩個饋送點且彼此平行。第二連接部分123C將 所述一對第二垂直部分123A的末端彼此連接，且經安置以關於包含第二垂直部分123A的 平面而與第一連接部分122C對稱。每一直線狀部件120包含一個或多個具有上述結構的連接單元。圖8A是直線狀 部件120的透視圖，且圖8B是圖8A中所示的直線狀部件120在方向A上的平面圖，且圖8C 是圖8A的直線狀部件120在方向B上的正視圖，且圖8D是圖8A的直線狀部件120在方向 C上的側視圖。下文中，將參考圖8A到圖8D來詳細描述直線狀部件120的結構。參看圖8A到圖8D，直線狀部件120具有包含兩個連接單元的三維結構。直線狀部 件120可直接連接到形成在平面部件110上的多個饋送點，或可通過基底部件121而連接 到平面部件110，所述基底部件具有形成著多個饋送點的頂表面。在此情況下，饋送點的數 目可為八，如圖8A到圖8D中所示，或可為八的倍數。多個第一部件122和多個第二部件123耦合到基底部件121上形成的或平面部件 110上形成的每一饋送點。換句話說，當饋送點的數目為八時(如圖8A到圖8D中所說明)， 兩個第一部件122耦合到四個饋送點。每一第一部件122包含一對第一垂直部分122A、一對第一延伸部分122B和第一 連接部分122C。所述一對第一垂直部分122A在一方向上延伸且連接到每一饋送點以彼此 平行。所述一對第一延伸部分122B在與第一垂直部分122A的縱長方向相交的方向上從所 述一對第一垂直部分122A的每一末端延伸。第一連接部分122C將所述一對第一延伸部分 122B的末端彼此連接。在此情況下，所述一對第一延伸部分122B可延伸到垂直於第一垂直 部分122A的縱長方向的方向。每一第二部件123包含一對第二垂直部分123A、一對第二延伸部分123B和第二連 接部分123C。所述一對第二垂直部分123A在一方向上延伸且與每一第一垂直部分122A交 替地連接到每一饋送點以彼此平行。所述一對第二延伸部分123B基於包含第二垂直部分 123A的平面而在與第一延伸部分122B的縱長方向不同的方向上從所述一對第二垂直部分 123A的每一末端延伸。第二連接部分123C將所述一對第二延伸部分123B的末端彼此連 接。當八個饋送點形成在一條直線上時，每一第一垂直部分122A和每一第二垂直部分123B 交替地安置於相同平面上。而且，第一部件122和第二部件123的第一垂直部分122A和第二垂直部分123A、第一延伸部分122B和第二延伸部分123B以及第一連接部分122C和第二 連接部分123C的長度分別相同。第一部件122和第二部件123可圍繞形成有饋送點的直線而旋轉。換句話說，每 一第一部件122的第一垂直部分122A以及每一第二部件123的第二垂直部分123A可垂直 於平面部件110的頂表面或可以預定角度而傾斜。由於其它元件耦合到每一第一部件122 和每一第二部件123的上部部分，所以所有第一部件122和第二部件123均耦合到基底部 件121或平面部件110以關於平面部件110的頂表面而具有相同角度。參看圖8A到圖8D，當直線狀部件120包含多個連接單元時，需要用於連接例如第 一連接部件124和第二連接部件125等多個連接單元的單元。在此情況下，第一連接部件 124連接多個第一部件122，且第二連接部件125連接多個第二部件123。具體來說，第一連接部件124安置於多個第一部件122上方且在一方向上彼此分 離，且第一連接部件124的兩端均連接到第一連接部分122C的中心。而且，第二連接部件 125安置於多個第二部件123上方，在與第一部件122的布置方向相同的方向上彼此分離， 且第二連接部件125的兩端均連接到第二連接部分123C的中心。而且，第一連接部件124 的高度和第二連接部件125的高度是相同的。直線狀部件120具有兩層堆疊的形狀，其是通 過連接第一部件122和第二部件123以及第一連接部件124和第二連接部件125而形成。最後，饋送部件126連接第一連接部件124和第二連接部件125的中心，使得高頻 信號的供應點處於饋送部件126的中心處。如圖8A中所說明，饋送部件126可具有一種饋 送部件126的兩個末端在相反方向上彎曲以使得饋送部件126耦合到第一連接部件124和 第二連接部件125的中心的形狀，或可具有一種用於連接第一連接部件124和第二連接部 件125的中心的直線的形狀。而且，將高頻信號供應到饋送部件126的中心，且供應給饋送部件126的高頻信號 經由第一連接部件124和第二連接部件125以通過第一部件122和第二部件123，且傳輸到 處於基底部件121或平面部件110的頂表面中的饋送點。此後，歸因於供應給平面部件110 的高頻信號，在平面部件110與安置於圖5A到圖5D中所說明的電極裝置100的下部部分 上的襯底之間產生等離子體。圖5A到圖5D中所說明的用於產生等離子體的電極裝置100 從正面和側面來看具有如圖8A到8D中所說明的三維和對稱結構。因此，從供應高頻信號 的饋送部件126的中心到每一饋送點的電氣長度均相同。當饋送點的數目為八的倍數時，即8、16…等，可通過在橫向方向上平行地連接具 有圖8A到圖8D的形狀的多個直線狀部件120來實施圖5A到圖5D的電極裝置100。當饋送點的數目為四時，即，當直線狀部件120包含連接單元時，直線狀部件120 可具有對稱結構。圖9說明根據本發明的實施例的具有四個饋送點的直線狀部件120。參 看圖9，由於饋送點的數目為四，所以第一部件122和第二部件123耦合到饋送點，使得第一 垂直部分122A和第二垂直部分123A中的每一者均交替安置。由於安置了第一部件122和 第二部件123，所以與饋送部件的數目為八時不同，不需要提供第一連接部件124和第二連 接部件125。因此，饋送部件126連接第一部件122的第一連接部分122C的中心和第二部 件123的第二連接部分123C的中心，且將高頻信號輸入到饋送部件126的中心。甚至當圖 5A到圖5D中所說明的用於產生等離子體的電極裝置100的直線狀部件120具有如圖9中 所示的結構時，從輸入高頻信號的饋送部件126的中心到每一饋送點的電氣長度均相同，且因此使高頻信號被均勻地分布到饋送部件126。圖5A到圖5D中所說明的用於產生等離子體的電極裝置100包含具有如圖8A到圖 8D或圖9中所說明的三維和對稱結構的直線狀部件120，使得在平面部件110中抑制駐波 的產生，且可在襯底的上部部分中產生具有均勻密度的等離子體。下文中，將詳細描述歸因 於圖5A到圖5D中所說明的用於產生等離子體的電極裝置100而抑制駐波的產生的原理。如先前所述，使用從高頻電源供應的電功率以便在襯底的上部部分中產生等離子 體。在此情況下，當通過阻抗匹配器將向其供應高頻信號的電極裝置的阻抗和由電極裝置 產生的等離子體的阻抗匹配於電路的特徵阻抗50Ω時，在高頻電源與阻抗匹配器之間不 產生反射功率，且由高頻電源供應的電功率經由電極裝置而被傳輸到等離子體。圖IOA和圖IOB說明電極裝置通過使用電路元件而根據輸入信號的頻率的狀態。 參看圖10A，當電極裝置小於輸入頻率的波長時，即，當將低頻帶下的信號輸入到電極裝置 時，可將電極裝置解譯為集總常數電路(lumpedconstant circuit)，其中電感器、電容器和 電阻器集中於一點。在此情況下，如上文所述，當電極裝置是電感器時，在襯底與例如圖5A 到圖5D的110等平面部件之間產生的等離子體被稱作電感性耦合的等離子體(ICP)，且當 電極裝置是電容器時，在襯底與例如圖5A到圖5D的110等平面部件之間產生的等離子體 被稱作電容性耦合的等離子體(CCP)。當將高頻信號輸入到電極裝置以使得可產生高密度等離子體時，電極裝置的尺 寸類似於輸入頻率的波長。因此，參看圖10B，甚至在電極裝置是電感器的ICP的情況 下，電極裝置包含電容器組件且無法被解譯為集總常數電路，且應被解譯為分布常數電路 (distributed constant circuit)。換句話說，電極裝置內的電壓和電流的振幅和相位在 空間中變化，且因此，應通過使用電磁波傳輸理論來解釋電極裝置中發生的電能的流動。在 所述傳輸理論中，所述電極裝置用作傳輸線，且當電壓和電流沿著所述傳輸線的行進方向 不同時，產生前向波和反射波，以便產生駐波。因此，產生不被供應能量的節點。在電極裝 置內產生的駐波節點導致等離子體的不均勻密度。圖11是傳輸線的單元長度的電路圖，以便通過使用傳輸理論來解釋分布常數電 路。參看圖11，當將電壓和電流規則應用於圖11的電路圖時，在具有長度L的傳輸線中可 由等式1來表達電壓和電流其中V。+和I。+是前向波的電壓和電流，且N:和1。_是反射波的電壓和電流，且β 是傳播常數，且β = ω/c。通過使用等式1，可通過使用等式2而將輸入阻抗表達為反射係數和傳輸線的長 度
權利要求
一種用於產生等離子體的電極裝置，其特徵在於所述電極裝置包括平面部件，其經安置以面向支撐襯底的基座，且在所述襯底與所述平面部件之間產生等離子體；以及直線狀部件，其經由電連接到所述平面部件的多個饋送點而將高頻信號提供給所述平面部件，且允許在所述直線狀部件在從將所述高頻信號供應到所述直線狀部件的供應點到所述饋送點中的每一者的路徑上更靠近所述饋送點時減小導納，其中所述直線狀部件包括連接單元，所述連接單元包括第一部件，其將來自以直線彼此鄰近安置的四個饋送點中的兩個饋送點連接，且安置成與包含形成有所述饋送點的所述直線的平面分離，且與所述平面部件形成預定角度；及第二部件，其將來自所述四個饋送點中的未連接到所述第一部件的兩個饋送點連接，且經安置以關於包含形成有所述饋送點的所述直線的所述平面而與所述第一部件對稱。
2.根據權利要求1所述的電極裝置，其特徵在於所述連接單元的所述第一部件包括 一對第一垂直部分，其連接到來自以直線彼此鄰近安置的四個饋送點中的兩個饋送點且彼此平行；以及第一連接部分，其將所述一對第一垂直部分的末端彼此連接，且安置成與包含所述第 一垂直部分的平面分離，且其中所述連接單元的所述第二部件包括一對第二垂直部分，其連接到來自所述四個饋送點中的未連接到所述第一垂直部分的 兩個饋送點且彼此平行；以及第二連接部分，其將所述一對第二垂直部分的末端彼此連接，且經安置以關於包含所 述第二垂直部分的平面而與所述第一連接部分對稱。
3.根據權利要求1或2所述的電極裝置，其包括多個連接單元，其特徵在於所述多個連 接單元通過連接第一部件中的每一者的第一連接部件以及連接第二部件中的每一者的第 二連接部件而彼此連接。
4.根據權利要求1所述的電極裝置，其特徵在於所述直線狀部件包括多個第一部件，每一第一部件包括一對第一垂直部分，其在一方向上延伸且連接到每 一饋送點以彼此平行；一對第一延伸部分，其在與所述第一垂直部分的縱長方向相交的方 向上從所述一對第一垂直部分的每一末端延伸；以及第一連接部分，其將所述一對第一延 伸部分的末端彼此連接，且每一者安置成在一方向上彼此分離；多個第二部件，每一第二部件包括一對第二垂直部分，其在一方向上延伸且與每一第 一垂直部分交替地連接到每一饋送點以彼此平行；一對第二延伸部分，其基於包含所述第 二垂直部分的平面而在與所述第一延伸部分的所述縱長方向不同的方向上從所述一對第 二垂直部分的每一末端延伸；以及第二連接部分，其將所述一對第二延伸部分的末端彼此 連接，且每一者安置成在與所述第一部件的布置方向相同的方向上彼此分離；第一連接部件，其安置於所述多個第一部件上方，使得所述第一連接部件的兩端均連 接到所述第一連接部分的中心；第二連接部件，其安置於所述多個第二部件上方，使得所述第二連接部件的兩端均連 接到所述第二連接部分的中心；以及饋送部件，其連接所述第一連接部件和所述第二連接部件的所述中心，使得高頻信號的供應點處於所述饋送部件的中心處。
5.根據權利要求4所述的電極裝置，其特徵在於所述直線狀部件進一步包括具有頂表 面的杆狀基底部件，在所述頂表面中，多個饋送點沿著縱長方向以規則間隔而形成，且耦合 到所述平面部件的頂表面。
6.根據權利要求4或5所述的電極裝置，其特徵在於所述直線狀部件耦合到所述平面 部件的所述頂表面，使得所述直線狀部件穿過所述平面部件的中心。
7.根據權利要求4或5所述的電極裝置，其包括多個直線狀部件，其特徵在於所述多個 直線狀部件平行地耦合到所述平面部件的所述頂表面。
8.根據權利要求7所述的電極裝置，其特徵在於具有不同頻率的高頻信號被供應到所 述多個直線狀部件中的每一者。
9.根據權利要求4或5所述的電極裝置，其特徵在於所述平面部件具有矩形的板形狀。
10.根據權利要求4或5所述的電極裝置，其特徵在於所述平面部件包括安置成彼此平 行而分離的多個杆狀框架。
11.根據權利要求10所述的電極裝置，其特徵在於所述多個饋送點形成在平行於所述 框架的一條直線上。
12.根據權利要求10所述的電極裝置，其特徵在於所述多個饋送點形成在垂直於所述 框架的一條直線上。
13.根據權利要求4或5所述的電極裝置，其特徵在於所述平面部件包括晶格狀框架。
14.根據權利要求4或5所述的電極裝置，其特徵在於所述高頻信號的頻率等於或高於 400kHz且等於或低於300MHz。
15.一種用於產生等離子體的設備，其特徵在於所述設備包括電極，其歸因於供應給所述電極的高頻信號而在所述電極與安置在所述電極的下部部 分中的襯底之間產生等離子體；電源單元，其產生將供應給所述電極的高頻信號；以及饋入裝置，其將由所述電源單元供應的所述高頻信號提供到所述電極，其中所述電極包括平面部件，其經安置以面向支撐著襯底的基座，且在所述襯底與所述平面部件之間產 生等離子體；以及直線狀部件，其經由電連接到所述平面部件的多個饋送點而將高頻信號提供給所述平 面部件，且允許在所述直線狀部件在從將所述高頻信號供應到所述直線狀部件的供應點到 所述饋送點中的每一者的路徑上更靠近所述饋送點時減小導納，其中所述直線狀部件包括連接單元，所述連接單元包括第一部件，其將來自以直線彼此鄰近安置的四個饋送點中的兩個饋送點連接，且安置 成與包含形成有所述饋送點的所述直線的平面分離，且與所述平面部件形成預定角度；以 及第二部件，其將來自所述四個饋送點中的未連接到所述第一部件的兩個饋送點連接， 且經安置以關於包含形成有所述饋送點的所述直線的所述平面而與所述第一部件對稱。
16.根據權利要求15所述的設備，其特徵在於所述連接單元的所述第一部件包括一對第一垂直部分，其連接到來自以直線彼此鄰近安置的四個饋送點中的兩個饋送點且彼此平行；以及第一連接部分，其將所述一對第一垂直部分的末端彼此連接，且安置成與包含所述第 一垂直部分的平面分離，且其中所述連接單元的所述第二部件包括一對第二垂直部分，其連接到來自所述四個饋送點中的未連接到所述第一垂直部分的 兩個饋送點且彼此平行；以及第二連接部分，其將所述一對第二垂直部分的末端彼此連接，且經安置以關於包含所 述第二垂直部分的平面而與所述第一連接部分對稱。
17.根據權利要求15或16所述的設備，其包括多個連接單元，其特徵在於所述多個連 接單元通過連接第一部件中的每一者的第一連接部件以及連接第二部件中的每一者的第 二連接部件而彼此連接。
18.根據權利要求15所述的設備，其特徵在於所述直線狀部件包括多個第一部件，每一第一部件包括一對第一垂直部分，其在一方向上延伸且連接到每 一饋送點以彼此平行；一對第一延伸部分，其在與所述第一垂直部分的縱長方向相交的方 向上從所述一對第一垂直部分的每一末端延伸；以及第一連接部分，其將所述一對第一延 伸部分的末端彼此連接，且每一者安置成在一方向上彼此分離；多個第二部件，每一第二部件包括一對第二垂直部分，其在一方向上延伸且與每一第 一垂直部分交替地連接到每一饋送點以彼此平行；一對第二延伸部分，其基於包含所述第 二垂直部分的平面而在與所述第一延伸部分的所述縱長方向不同的方向上從所述一對第 二垂直部分的每一末端延伸；以及第二連接部分，其將所述一對第二延伸部分的末端彼此 連接，且每一者安置成在與所述第一部件的布置方向相同的方向上彼此分離；第一連接部件，其安置於所述多個第一部件上方，使得所述第一連接部件的兩端均連 接到所述第一連接部分的中心；第二連接部件，其安置於所述多個第二部件上方，使得所述第二連接部件的兩端均連 接到所述第二連接部分的中心；以及饋送部件，其連接所述第一連接部件和所述第二連接部件的所述中心，使得高頻信號 的供應點處於所述饋送部件的中心處。
19.根據權利要求18所述的設備，其特徵在於當所述電極包括多個直線狀部件時，所 述饋入裝置具有樹狀結構，使得從所述電源單元到每一直線狀部件的電氣長度均相同。
20.根據權利要求19所述的設備，其特徵在於所述電源單元將具有不同頻率的高頻信 號供應到所述多個直線狀部件中的每一者。
全文摘要
用於產生等離子體的電極裝置包含平面部件，其經安置以面向支撐襯底的基座，且在襯底與平面部件之間產生等離子體；以及直線狀部件，其經由電連接到平面部件的多個饋送點而將高頻信號提供給平面部件，且允許在直線狀部件在從將高頻信號供應到直線狀部件的供應點到饋送點中的每一者的路徑上更靠近饋送點時減小導納，直線狀部件包含連接單元，連接單元包含第一部件，其將來自以直線彼此鄰近安置的四個饋送點中的兩個饋送點連接，且安置成與包含形成有饋送點的直線的平面分離，且與平面部件形成預定角度；以及第二部件，其將來自四個饋送點中的未連接到第一部件的兩個饋送點連接，且經安置以關於包含形成有饋送點的直線的平面而與第一部件對稱。
文檔編號H05H1/46GK101945529SQ20101014511
公開日2011年1月12日 申請日期2010年3月31日 優先權日2009年7月6日
發明者丁宇榮, 高僖辰 申請人:株式會社Tes