電子背散射衍射系統氣動推進裝置的製作方法
2023-10-26 04:16:22 3
專利名稱：電子背散射衍射系統氣動推進裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用於掃描電鏡的電子背散射衍射系統氣動推動裝置。
背景技術：
掃描電鏡是當今得到普遍應用的大型分析儀器，廣泛應用於材料科學、生命科學、微電子學、農業、環境、地礦、醫學、刑偵檢查等眾多領域，是進行顯微觀察及成分分析的重要手段。掃描電鏡電子背散射衍射裝置及相應的數據處理系統是用於獲取塊狀樣品中各種大小晶粒的晶體結構、晶粒間的取向關係等晶體學信息。這一技術的開發和研製擴展了掃描電鏡的應用範圍，使掃描電鏡不僅能對材料進行形貌觀察和成分分析，而且也能對材料進行晶體結構、晶粒取向等晶體學特徵的分析。使晶體材料的組織、成分和取向一一對應起來，將研究材料的形貌、成分和結構在掃描電鏡上有機的聯繫起來。但由於國外產品和相應的軟體價格昂貴，國內用戶難於大量購置和普遍使用。為此，本申請人曾在2000年成功研製了電鏡的接收裝置，其專利號為ZL00257222.2，能夠與掃描電鏡連接安裝，接收電子背散射衍射圖像，降低了成本，擴大了掃描電鏡的應用範圍。該掃描電鏡的接收裝置主要由電光轉換器、X-射線防護裝置、聚光鏡、攝像機、攝像機控制單元、電子束掃描控制單元及計算機構成。攝像機控制單元和電子束掃描控制單元插在計算機主機內，攝像機通過連接線與計算機接口連接，計算機的控制信號通過連接線與掃描電鏡內的電子信號輸出部分連接。還專門設計了一連接裝置，攝像機通過連接裝置固定安裝於掃描電鏡為波譜儀預留的窗口處，並可保證攝像機沿軸向移動。連接裝置由外缸體、支承筒及移動控制裝置構成，該移動控制裝置的主要功能部件為移動把、絲杆、手輪。背反射電子探頭固定安在外缸體上，螢光屏安置在外缸體的中心孔內，攝像機安裝在滑動支架上，再與移動把安裝在一起，搖動手輪可帶動絲杆轉動，從而驅動移動把帶動攝像機沿軸向移動。其缺陷是手搖驅動費力，亟待改進。
發明內容
本實用新型的目的是提供一種電子背散射衍射系統氣動推進裝置，其能夠克服上述掃描電鏡接收裝置的連接裝置的不足，與掃描電鏡連接安裝，接收電子背散射衍射圖像。
為實現上述目的，本實用新型採取以下設計方案一種電子背散射衍射系統氣動推進裝置，包括一帶有進出口的法蘭，一固定在法蘭上帶有水平導向槽的導軌及通過滑動驅動裝置能沿導軌移動的滑動支架和固定在支架上隨其一起運動的入像管；所述的入像管和滑動支架一塊置於水平導軌上且穿過法蘭的進出口伸入電鏡真空工作室內；入像管的後端裝有X-射線防護窗口；所述的滑動驅動裝置，包括一固定於法蘭上的氣缸及上下分別固定著入像管和連杆且位於水平導軌上能夠沿著導軌槽做往返移動的滑動支架，氣缸活塞桿頭部與連杆固定聯接；所述的入像管在氣缸活塞杆的作用下通過連杆驅動滑動支架沿水平導軌的運動而實現其在掃描電鏡工作室內的往復移動。
入像管的前端上方可裝有背反射電子探頭支座，在導軌的尾端可裝有限位定位銷。
所述的入像管的內壁可帶有X-射線防護筒。
本實用新型的優點是1.可以輔助電鏡迅速、準確定位接收電子背散射衍射圖以完成系統在線處理和分析；2.藉助該裝置實現了操作的自動化；3.藉助該裝置使電子背散射衍射探測器在掃描電鏡中可自如地移動且不影響掃描電鏡原有功能。
圖1為本實用新型結構示意圖(主視)圖2為本實用新型結構示意圖(俯視)圖3為本實用新型應用時組裝裝配示意圖(主視)具體實施方式
如圖1、圖2所示，本實用新型掃描電鏡背散射衍射數據處理系統氣動推進裝置主要由法蘭1、入像管3、滑動支架19、導軌23、連杆24和帶有自動換向氣動閥的氣缸25等組成，導軌23及氣缸分別用螺釘固定在法蘭1上。
本實施例中，所述的法蘭1主要是配合JSM-840電鏡而設計的，其既是入像管3的進出移動密封窗口和其他組成部件的支承件，又是與掃描電鏡的聯接密封件，被安裝在電鏡鏡筒為波譜儀預留的窗口處。
所述的入像管3被固定在滑動支架19上，且管身穿過法蘭的進出口密封窗口，而滑動支架19被安放在水平導軌23上，可沿著導管槽滑動，參見圖1、2、3；與系統組配時，入像管3的前端裝有系統組件螢光屏5，並用固定螺圈6將其固定在螢光屏座4內；入像管的前端上方裝有背反射電子探頭支座2；內壁可帶有X-射線防護筒7；其後端裝配時位於攝像機鏡頭之前，裝有X-射線防護窗口17與「O」型圈15用壓緊螺帽18及入像管3密封固定。
由氣缸25及分別位於水平導軌23上、下的滑動支架19和連杆24構成本裝置的滑動驅動單元，氣缸活塞杆與連杆24用螺母27鎖緊固定聯接。
應用時，所述的入像管3和系統的帶冷卻的CCD攝像機20還有連杆24均用螺釘和滑動支架19固定在一起成為一個整體，可實現沿水平導軌導向槽滑動。
為防止入像管3的前端脫離密封圈8、9，造成真空室的破壞，在導軌23的尾端可裝有定位銷26。
本實用新型電子背散射衍射系統氣動推進裝置的設計原理是按圖3所示，將系統各部件與本實用新型單元裝置聯接——長方形法蘭與掃描電鏡固定，電源接通後，通過氣缸25活塞杆的往返運動即可帶動連杆24來驅動滑動支架19在導軌23上滑動，從而實現入像管穿過法蘭的密封窗口在電鏡真空工作室內的移動。螢光屏5將電子背散射衍射電信號轉化為光信號，由攝像機20接收送至計算機內，由計算機中的收集卡及掃描卡對圖像進行處理、分析、標定、顯示、貯存、列印等。由上述可看出通過該裝置可省去人工操作所帶來的一些弊端。另外)氣缸的活塞杆啟動時間及移動行程均可進一步實現自動控制。
權利要求1.一種電子背散射衍射系統氣動推進裝置，包括一帶有進出口的法蘭、一固定在法蘭上且帶有導向槽的水平導軌及通過滑動驅動裝置實現在導軌上滑行的入像管，其特徵在於所述的入像管置於水平導軌上且穿過法蘭進出密封窗口伸入電鏡真空工作室內，入像管的後端裝有X-射線防護窗口；所述的滑動驅動裝置包括一氣缸及分別位於水平導軌上、下的滑動支架和連杆，氣缸活塞桿頭端與連杆固定聯接，其尾端固定在法蘭上；所述的入像管和連杆分別與支架相互聯接固定可實現沿水平導軌導向槽滑動。
2.根據權利要求1所述的電子背散射衍射系統氣動推進裝置，其特徵在於在入像管的前端上方裝有背反射電子探頭支座。
3.根據權利要求1所述的電子背散射衍射系統氣動推進裝置，其特徵在於在導軌的尾端裝有定位銷。
專利摘要本實用新型公開了一種電子背散射衍射系統氣動推進裝置，包括一帶有進出口的法蘭，一固定在法蘭上帶有水平導向槽的導軌及通過滑動驅動裝置能沿導軌移動的滑動支架和固定在支架上隨其一起運動的入像管；所述的入像管和滑動支架一塊置於水平導軌上且穿過法蘭的進出口伸入電鏡真空工作室內；入像管前端上方裝有旋轉背反射衍射系統的背反射探頭支座，其後端裝有X－射線防護窗口；所述的滑動驅動裝置，包括一固定於法蘭上的氣缸及上下分別固定著入像管和連杆且位於水平導軌上能夠沿著導軌槽做往返移動的滑動支架，氣缸活塞桿頭部與連杆固定聯接；入像管在氣缸活塞杆的作用下通過連杆驅動滑動支架沿水平飛彈軌的運動而實現其在電鏡工作室內的往復移動。
文檔編號G01N23/20GK2856997SQ20052010766
公開日2007年1月10日 申請日期2005年5月30日 優先權日2005年5月30日
發明者孫麗虹, 劉安生, 邵貝羚, 胡廣勇, 孫繼光, 張希順, 黃玉生, 杜鳳貞 申請人:北京有色金屬研究總院